JP2011505074A - 成膜設備のためのフレームをベースとする真空チャンバ - Google Patents
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Abstract
Description
さらに真空チャンバを製造する方法が開示され、この方法では、金属プレートからフレームを製作するためにアームを備えている底面が切り出され、アームがプレートの平面から曲げられてフレームのウェブを形成するのに適するようにされ、次いで、場合によりフレームに比べて等級の低いカバープレートがウェブと結合され、フレームによって生じた穴の中へ、閉止された排気可能なスペースを共同で形成する挿入プレートおよび場合により1つまたは複数の扉が挿入される。このことは、図8に示す代替的な態様についても当てはまる。
たとえば、挿入プレートを取り付けるために筐体フレームにねじ穴は不要である。筐体面を曲げることで、挿入プレートの領域における溶接継目を回避することができる。
曲げられた筐体の代替または追加として、安定性を確保し、簡素な筐体という利点を得るために、追加の補強リブ、たとえばブリッジの場合におけるような支持部を取り付けることができる。
Claims (6)
- 機能部材がチャンバに配置されている成膜設備のための真空チャンバであって、前記チャンバはチャンバフレームを含んでおり、前記フレームには挿入プレートが機械的に取外し可能かつ気密に挿入されており、前記挿入プレートのいくつかは機能部材を担持している、そのような真空チャンバにおいて、前記チャンバフレームは一体的な金属プレートから成形されていてアームを備える少なくとも1つの底面を含んでおり、前記アームは前記底面と接合された領域で曲げられており、それによって前記アームが前記チャンバフレームのウェブを形成するようになっていることを特徴とする真空チャンバ。
- 前記チャンバにより包摂される容積部の表面は少なくとも40%、好ましくは少なくとも50%、前記挿入プレートによって区切られていることを特徴とする、請求項1に記載の真空チャンバ。
- 前記機能部材と前記挿入プレートはフランジ接合によって、好ましくは前記挿入プレートに設けられた留め具によって、取外し可能に結合されていることを特徴とする、先行請求項のいずれか1項に記載の真空チャンバ。
- 前記フレームによって形成される少なくとも2つ、好ましくはそれ以上の開口部は幾何学的に実質的に同一の形状を有しており、それにより少なくとも2つ、好ましくはそれ以上の前記挿入プレートを機械的な脱着によってそれぞれの位置に関して入れ替えることができることを特徴とする、先行請求項のいずれか1項に記載の真空チャンバ。
- 前記挿入プレートは少なくとも前記フレームとの結合領域において平坦なプレートであることを特徴とする、先行請求項のいずれか1項に記載の真空チャンバ。
- 前記フレームは実質的に1つの軸に関してn個の対称部分を有しており、このときnは2よりも大きい整数であり、前記挿入プレートは前記フレームの前記対称部分のうちの1つに呼応する仕方で挿入されていることを特徴とする、先行請求項のいずれか1項に記載の真空チャンバ。
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