JP2011258930A - Laminated electronic component manufacturing device and method for manufacturing laminated electronic components - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、積層セラミックコンデンサなどの積層型電子部品を製造するための積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method for manufacturing a multilayer electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.
特許文献1の従来技術は、積層セラミックコンデンサの製造方法において、キャリアフィルムに支持されたマザーのセラミックグリーンシートを供給し、サクションロールで剥離し、該マザーのセラミックグリーンシートを転写・圧着法により高精度に平面ステージに積層し、積層体を得る。この特許文献1の従来技術では、長尺セラミックグリーンシートを連続供給できず、間欠供給することが必要である。 The prior art of Patent Document 1 is a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, in which a mother ceramic green sheet supported by a carrier film is supplied, peeled off by a suction roll, and the mother ceramic green sheet is removed by a transfer / crimping method. Laminate on a flat stage with precision to obtain a laminate. In the prior art of this patent document 1, long ceramic green sheets cannot be continuously supplied, and it is necessary to supply intermittently.
特許文献2の従来技術は、積層セラミックコンデンサの製造方法において、ロール上に成形されたセラミックグリーンシートに内部電極が印刷されたセラミックグリーンシートを供給し、ローラ上でのシートハンドリングを経て、平板上に積層して積層体を得る。この特許文献2の従来技術では、セラミックグリーンシートの形成、および内部電極の形成は連続加工ができず、所定サイズごとに停止することが必要である。 The prior art of Patent Document 2 is a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, in which a ceramic green sheet having internal electrodes printed on a ceramic green sheet formed on a roll is supplied, and after sheet handling on a roller, To obtain a laminate. In the prior art of Patent Document 2, the formation of the ceramic green sheet and the formation of the internal electrode cannot be performed continuously, and must be stopped for each predetermined size.
しかしながら、上記特許文献1の従来技術では、短冊状の積層ステージにセラミックグリーンシートを積層する場合、供給されたセラミックグリーンシートをサクションロールで剥離する動作とサクションロールから積層ステージへ積層する動作は同時に行うことができないため、各動作は間欠動作となる。セラミックグリーンシートの供給を間欠動作にするためには、供給リール自体を間欠動作させる、または連続回転する供給リールからサクションロールでの剥離部までの間にバッファ部を持たせることが必要となり、装置が高価となり、容積も大きくなり、電力などの消費エネルギーも大きくなる。また、間欠動作に伴う品質ばらつきの要因(セラミックグリーンシート搬送および剥離の際のキズ、ひずみ、ハンドリングミスによる積層位置ズレ、カット屑の飛散によるコンタミネーション)が発生する。そして、ここでもサクションロールの重量が重いため、加減速時の慣性が大きく高速化が難しい。そして、積層ズレが発生する。 However, in the prior art disclosed in Patent Document 1, when a ceramic green sheet is laminated on a strip-shaped lamination stage, the operation of peeling the supplied ceramic green sheet with a suction roll and the operation of laminating from the suction roll to the lamination stage are performed simultaneously. Since it cannot be performed, each operation is an intermittent operation. In order to intermittently supply the ceramic green sheet, it is necessary to operate the supply reel itself intermittently or to have a buffer part between the continuously rotating supply reel and the peeling part of the suction roll. Becomes expensive, the volume increases, and energy consumption such as electric power also increases. In addition, quality variations due to intermittent operation (scratches and distortion during ceramic green sheet conveyance and peeling, stacking position shift due to handling mistakes, contamination due to scattering of cut waste) occur. And since the weight of a suction roll is also heavy here, the inertia at the time of acceleration / deceleration is large, and it is difficult to speed up. Then, stacking deviation occurs.
一方、上記特許文献2の従来技術では、セラミックグリーンシート形成、内部電極形成を含めた工程とする場合、セラミックグリーンシート形成、電極形成したものを短冊状の積層体へ積層する動作において、積層工程へのセラミックグリーンシートの供給が間欠動作となる。それに伴い、セラミックグリーンシート形成、内部電極形成を1層毎に停止する場合、各形成工程において形成開始後、連続安定状態に達するまでの材料ロス、品質ばらつき(グリーンシート膜厚、電極膜厚、電極面積のばらつき)やシートスジが発生する。また、間欠動作をすることで電力などの消費エネルギーが大きくなる。さらに、ロールの重量が重いため、加減速時の慣性が大きく高速化が難しい。 On the other hand, in the prior art disclosed in Patent Document 2, when the process includes ceramic green sheet formation and internal electrode formation, in the operation of laminating the ceramic green sheet formation and electrode formation on a strip-shaped laminate, the lamination process The supply of the ceramic green sheet to the battery becomes an intermittent operation. Along with this, when the formation of ceramic green sheets and internal electrodes is stopped for each layer, material loss and quality variation (green sheet thickness, electrode thickness, Variation in electrode area) and sheet streaks occur. Moreover, energy consumption, such as electric power, becomes large by performing intermittent operation | movement. Furthermore, since the roll is heavy, the inertia during acceleration / deceleration is large and it is difficult to increase the speed.
そこで、本発明の目的は、上記問題点に鑑み、設備の簡素化、小型化及び低コスト化が可能であり、高品質の積層型電子部品を効率良く製造することができる積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法を提供することである。 Accordingly, in view of the above problems, an object of the present invention is to manufacture a multilayer electronic component capable of simplifying equipment, reducing the size and reducing the cost, and efficiently manufacturing a high-quality multilayer electronic component. An apparatus and a method for manufacturing a multilayer electronic component are provided.
本発明は、セラミックシートを所定の方向に連続搬送するシート搬送部材と、前記セラミックシートを所定の長さに切断するシート切断部材と、前記シート切断部材で所定の長さに切断された前記セラミックシートの切断片が積層されるシート積層部材と、前記シート切断部材で所定の長さに切断された前記セラミックシートの切断片を前記シート搬送部材から剥離させ、前記セラミックシートの前記切断片を前記シート積層部材に転写させる複数のシート転写部材と、を有し、一方の前記シート転写部材と他方の前記シート転写部材は、前記セラミックシートの前記切断片を交互に転写させて積層する。 The present invention provides a sheet conveying member that continuously conveys a ceramic sheet in a predetermined direction, a sheet cutting member that cuts the ceramic sheet to a predetermined length, and the ceramic cut to a predetermined length by the sheet cutting member. A sheet lamination member on which cut pieces of the sheet are laminated, and a cut piece of the ceramic sheet cut to a predetermined length by the sheet cutting member are peeled off from the sheet conveying member, and the cut piece of the ceramic sheet is A plurality of sheet transfer members to be transferred to the sheet stacking member, and the one sheet transfer member and the other sheet transfer member are stacked by alternately transferring the cut pieces of the ceramic sheet.
この構成によれば、複数のシート転写部材のうち一方のシート転写部材によって、シート切断部材で切断されたセラミックシートの切断片がシート搬送部材から剥離されてシート積層部材に転写される。そして、複数のシート転写部材のうち他方のシート転写部材によって、シート切断部材で切断されたセラミックシートの切断片がシート搬送部材から剥離されて、シート積層部材に既に転写されているセラミックシートの切断片に転写される。このようにして、一方のシート転写部材と他方のシート転写部材との動作により、セラミックシートの切断片が交互に転写されて積層される。 According to this configuration, the cut piece of the ceramic sheet cut by the sheet cutting member is peeled off from the sheet conveying member by one of the plurality of sheet transfer members and transferred to the sheet stacking member. Then, the cut piece of the ceramic sheet cut by the sheet cutting member is peeled off from the sheet conveying member by the other sheet transfer member among the plurality of sheet transfer members, and the ceramic sheet already transferred to the sheet lamination member is cut. It is transferred to a piece. In this way, the cut pieces of the ceramic sheet are alternately transferred and stacked by the operation of one sheet transfer member and the other sheet transfer member.
本発明によれば、セラミックシートを連続的に停止することなく供給しつつ、1つのシート積層部材上に積層することができる。その結果、バッファ機構、加減速を必要とする部分が不要となり、装置コストを低減でき、装置サイズを小さく、さらに電力などの消費電力を小さくすることができる。また、ほぼ等速で各工程が実行されるため、セラミックシートへのダメージ、ひずみ、ハンドリングミス、カット屑を低減でき、搬送位置決めバラツキ低減により積み重ね精度の向上が可能となる。さらに、装置面、品質面での課題が低減できることで、生産ライン速度の向上が容易となる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can laminate | stack on one sheet | seat laminated member, supplying a ceramic sheet, without stopping continuously. As a result, the buffer mechanism and the portion that requires acceleration / deceleration are not required, the device cost can be reduced, the device size can be reduced, and the power consumption such as power can be reduced. Moreover, since each process is performed at substantially constant speed, damage, distortion, handling error, and cut waste to the ceramic sheet can be reduced, and stacking accuracy can be improved by reducing conveyance positioning variation. Furthermore, since the problems in terms of apparatus and quality can be reduced, the production line speed can be easily improved.
また、前記セラミックシートに電極回路を形成する電極回路形成部を有し、前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記電極回路形成部によって前記セラミックシートに前記電極回路が形成されることが好ましい。 In addition, an electrode circuit forming unit for forming an electrode circuit on the ceramic sheet is provided, and the electrode circuit is formed on the ceramic sheet by the electrode circuit forming unit in a state where the conveyance of the ceramic sheet by the sheet conveying member is continued. Preferably it is formed.
この構成によれば、シート搬送部材によるセラミックシートの搬送が継続された状態で、電極回路形成部によってセラミックシートに電極回路が形成される。これにより、電極回路の連続印刷が可能になる。 According to this configuration, the electrode circuit is formed on the ceramic sheet by the electrode circuit forming unit while the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member. This allows continuous printing of the electrode circuit.
また、前記電極回路の形成によって生じる前記セラミックシートの段差部に誘電体塗膜を形成する誘電体塗膜形成部を有し、前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記誘電体塗膜形成部によって前記段差部に前記誘電体塗膜が形成されることが好ましい。 Also, having a dielectric coating film forming portion for forming a dielectric coating film on the step portion of the ceramic sheet generated by the formation of the electrode circuit, in a state where the conveyance of the ceramic sheet by the sheet conveying member is continued, It is preferable that the dielectric coating film is formed on the stepped portion by the dielectric coating film forming unit.
この構成によれば、シート搬送部材によるセラミックシートの搬送が継続された状態で、誘電体塗膜形成部によってセラミックシートの段差部に誘電体塗膜が形成される。これにより、シート搬送部材によりセラミックシートの搬送が継続された状態で、誘電体塗膜の形成工程が行われるため、誘電体塗膜の連続印刷が可能になる。この結果、別の工程でかつそれぞれ独立した時間で誘電体塗膜が形成される場合と比較して、セラミックシートを積層した積層構造体、ひいては電子部品の品質のバラツキの低減、ライン速度の向上、材料ロスの低減が可能となる。さらに、全体の装置コストを低減でき、装置サイズを小さく、さらに消費エネルギーを小さくすることができる。 According to this configuration, the dielectric coating film is formed on the step portion of the ceramic sheet by the dielectric coating film forming unit while the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member. Thereby, since the formation process of a dielectric coating film is performed in the state where conveyance of the ceramic sheet was continued by the sheet conveyance member, continuous printing of a dielectric coating film is attained. As a result, compared to the case where dielectric coatings are formed in separate processes and in independent time, the laminated structure in which ceramic sheets are laminated, and thus the variation in the quality of electronic components is reduced, and the line speed is improved. It is possible to reduce material loss. Furthermore, the overall apparatus cost can be reduced, the apparatus size can be reduced, and the energy consumption can be further reduced.
また、前記電極回路形成部又は前記誘電体塗膜形成部は、無版印刷装置であることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the said electrode circuit formation part or the said dielectric material coating film formation part is a plateless printing apparatus.
この構成によれば、セラミックシートの切断片の各層毎に異なるパターンの電極回路及び誘電体塗膜を容易かつ高速に形成することができる。また、シート積層部材の位置制御に誤差が発生しても、電極回路間及び誘電体塗膜間のピッチを自在に調整して、位置ズレのない電極回路及び誘電体塗膜を形成することができる。この結果、複雑な設備が不要になるため、新規設備投資コストの低減を図ることができる。 According to this configuration, it is possible to easily and quickly form electrode circuits and dielectric coating films having different patterns for each layer of the cut pieces of the ceramic sheet. In addition, even if an error occurs in the position control of the sheet laminated member, it is possible to freely adjust the pitch between the electrode circuits and between the dielectric coating films to form an electrode circuit and a dielectric coating film without misalignment. it can. As a result, complicated equipment is not required, and the cost of new equipment investment can be reduced.
また、前記シート搬送部材にセラミックスラリーを塗布して前記セラミックシートを形成する成膜形成部を有し、前記成膜形成部による前記セラミックシートの形成が継続された状態で、複数の前記シート転写部材による前記セラミックシートの前記切断片の転写が行われることが好ましい。 The sheet transfer member includes a film formation unit that forms a ceramic sheet by applying a ceramic slurry to the sheet conveying member, and the plurality of sheet transfers are performed while the formation of the ceramic sheet by the film formation unit is continued. It is preferable that the cut piece of the ceramic sheet is transferred by a member.
この構成によれば、成膜形成部によるセラミックシートの形成が継続された状態で、複数のシート転写部材によるセラミックシートの切断片の転写が行われる。これにより、セラミックシートの連続形成と、セラミックシートの切断片の連続転写が可能となる。このため、連続した一連の工程として、セラミックシートの積層構造体を製造することが可能になる。この結果、別の工程でかつそれぞれ独立した時間で成膜形成部によるセラミックシートの形成と複数のシート転写部材によるセラミックシートの切断片の転写が行われる場合と比較して、セラミックシートの積層構造体、ひいては電子部品の品質のバラツキの低減、ライン速度の向上、材料ロスの低減が可能となる。さらに、全体の装置コストを低減でき、装置サイズを小さく、さらに消費エネルギーを小さくすることができる。 According to this configuration, the cut pieces of the ceramic sheet are transferred by the plurality of sheet transfer members while the formation of the ceramic sheet by the film forming unit is continued. Thereby, continuous formation of the ceramic sheet and continuous transfer of the cut pieces of the ceramic sheet are possible. For this reason, it becomes possible to manufacture the laminated structure of a ceramic sheet as a continuous series of processes. As a result, compared with the case where the formation of the ceramic sheet by the film forming unit and the transfer of the cut pieces of the ceramic sheet by a plurality of sheet transfer members are performed in separate steps and independent times, the laminated structure of the ceramic sheets It is possible to reduce the variation in the quality of the body and the electronic parts, improve the line speed, and reduce the material loss. Furthermore, the overall apparatus cost can be reduced, the apparatus size can be reduced, and the energy consumption can be further reduced.
また、本発明は、シート搬送部材によってセラミックシートを所定の方向に連続搬送するシート搬送工程と、前記セラミックシートをシート切断部材によって所定の長さに切断するシート切断工程と、前記シート切断部材で所定の長さに切断された前記セラミックシートの切断片を複数のシート転写部材によって前記シート搬送部材から剥離させ、シート積層部材に転写させるシート転写工程と、を有し、前記シート転写工程では、一方の前記シート転写部材と他方の前記シート転写部材は、前記セラミックシートの前記切断片を前記シート積層部材に交互に転写させて積層することを特徴とする積層型電子部品の製造方法である。 The present invention also includes a sheet conveying step of continuously conveying a ceramic sheet in a predetermined direction by a sheet conveying member, a sheet cutting step of cutting the ceramic sheet to a predetermined length by a sheet cutting member, and the sheet cutting member. A sheet transfer step in which a piece of the ceramic sheet cut to a predetermined length is peeled off from the sheet conveying member by a plurality of sheet transfer members and transferred to a sheet lamination member, and in the sheet transfer step, One of the sheet transfer members and the other sheet transfer member are laminated by transferring the cut pieces of the ceramic sheet alternately onto the sheet lamination member, and laminating them.
また、前記セラミックシートに電極回路形成部によって電極回路を形成する電極回路形成工程を有し、前記電極回路形成工程では、前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記電極回路形成部によって前記セラミックシートに前記電極回路が形成されることが好ましい。 In addition, an electrode circuit forming step of forming an electrode circuit on the ceramic sheet by an electrode circuit forming unit, and in the electrode circuit forming step, the electrode is formed while the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member. It is preferable that the electrode circuit is formed on the ceramic sheet by a circuit forming unit.
また、前記電極回路の形成によって生じる前記セラミックシートの段差部に誘電体塗膜形成部によって誘電体塗膜を形成する誘電体塗膜形成工程を有し、前記誘電体塗膜形成工程では、前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記誘電体塗膜形成部によって前記段差部に前記誘電体塗膜が形成されることが好ましい。 In addition, a dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion on a step portion of the ceramic sheet generated by the formation of the electrode circuit, the dielectric coating film forming step, It is preferable that the dielectric coating film is formed on the stepped portion by the dielectric coating film forming unit in a state where the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member.
また、前記電極回路形成工程又は前記誘電体塗膜形成工程では、前記電極回路形成部又は前記誘電体塗膜形成部として、無版印刷装置を使用することが好ましい。 In the electrode circuit forming step or the dielectric coating film forming step, it is preferable to use a plateless printing apparatus as the electrode circuit forming unit or the dielectric coating film forming unit.
さらに、前記シート搬送部材に成膜形成部によってセラミックスラリーを塗布して前記セラミックシートを形成する成膜形成工程を有し、前記成膜形成工程において前記成膜形成部による前記セラミックシートの形成が継続された状態で、複数の前記シート転写部材による前記セラミックシートの前記切断片の転写が行われることが好ましい。 Furthermore, it has a film-forming process which forms a ceramic sheet by applying a ceramic slurry to the sheet conveying member by a film-forming part, and in the film-forming part, the formation of the ceramic sheet by the film-forming part It is preferable that the cut piece of the ceramic sheet is transferred by the plurality of sheet transfer members in a continued state.
本発明によれば、設備の小型化及び低コスト化が可能であり、高品質の積層型電子部品を効率良く製造することができる。 According to the present invention, it is possible to reduce the size and cost of equipment, and it is possible to efficiently manufacture a high-quality multilayer electronic component.
本発明の第1実施形態に係る積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、本発明の製造対象としている「積層型電子部品」には、積層セラミックコンデンサや積層セラミックインダクタなどの積層型電子部品が含まれる。以下、積層型電子部品として、積層セラミックコンデンサを一例に挙げて説明する。 A multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The “multilayer electronic component” to be manufactured in the present invention includes multilayer electronic components such as a multilayer ceramic capacitor and a multilayer ceramic inductor. Hereinafter, a multilayer ceramic capacitor will be described as an example of the multilayer electronic component.
先ず、積層型電子部品製造装置について説明する。
なお、第1実施形態は、電極回路(内部電極)及び誘電体塗膜が既に形成された長尺セラミックシートが下記のシート搬送ロールに連続的(非間欠的)に搬送される態様のものである。
First, a multilayer electronic component manufacturing apparatus will be described.
In addition, 1st Embodiment is a thing of the aspect by which the elongate ceramic sheet in which the electrode circuit (internal electrode) and the dielectric coating film were already formed is conveyed continuously (non-intermittently) to the following sheet conveyance roll. is there.
図1に示すように、積層型電子部品製造装置10は、主として、セラミックシートS(セラミックグリーンシート)及び基材フィルムを搬送するシート搬送ロール12(シート搬送部材)と、セラミックシートSを所定の長さに切断する切断機構14(シート切断部材)と、シート搬送ロール12で搬送されてきたセラミックシートSをシート搬送ロール12の外周面から剥離する第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16B(シート転写部材)と、切断機構14により所定の長さに切断されかつ各剥離ロール16A、16Bによって剥離されたセラミックシートSの切断片ST1、ST2が積層されてセラミックシートSの積層構造体が形成される平板状の積層ステージ18(シート積層部材)と、を有している。基材フィルムの表面には、離形処理が施されている。
As shown in FIG. 1, the multilayer electronic
具体的に、シート搬送ロール12は、剛体ロール(円柱状あるいは円筒状)で構成されている。シート搬送ロール12は、図示しない回転駆動機構により回転駆動されるように構成されている。
Specifically, the
切断機構14は、例えば、図示しない回転駆動機構により回転するカット用ローラに刃を設け、シート搬送ロール12に近接し、略同じ周速度で回転して、シート搬送ロール12上のセラミックシートSを所定のカット位置で切断するものが用いられる。あるいは、切断機構14として、図示しない直線駆動機構により、刃が直線往復運動するように設けられてもよい。この場合には、刃が直線往復運動することにより、シート搬送ロール12上で搬送しているセラミックシートSを所定のカット位置で切断する。
For example, the
第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bは、セラミックシートSの切断片ST1、ST2をロール上に保持する機構(手段)を有している。セラミックシートSの切断片ST1、ST2をロール上に保持する機構として、例えば、真空吸引機構、加圧・温度による密着、静電気による密着(静電吸着)など、セラミックシートSの切断片ST1、ST2を吸着できる手段や機構であれば、特に問われない。
The
また、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bは、図示しない移動装置により、シート搬送ロール12に近接する位置(剥離位置)から積層ステージ18に近接する位置(転写位置)の間を自在に移動可能(例えば、直線移動)となるように構成されている。これにより、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bは、シート搬送ロール12上のセラミックシートSの切断片ST1、ST2を剥離させて、積層ステージ18上に転写させることが可能になる。
The
さらに、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bは、図示しない回転駆動機構により、回転可能となるように設けられている。第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bは、シート搬送ロール12の外周面上のセラミックシートSの切断片ST1、ST2に圧接して回転することにより、シート搬送ロール12の基材フィルムの外周面からセラミックシートSの切断片ST1、ST2を剥離させる。
Furthermore, the
積層ステージ18は、例えば、剛体平板が用いられる。ただし、剛体平板に限られるものではなく、円筒状あるいは円柱状のロールを使用してもよい。ロールを使用する場合には、セラミックシートSの切断片ST1、ST2を外周面上に巻き付けて積層する。また、積層ステージ18は、図示しない直線駆動機構により、水平方向(図1中矢印X参照)に沿って移動するように構成されている。これにより、積層ステージ18は、水平方向(図1中では左右方向)に往復運動することができる。
As the
剥離ロール16A、16Bは、吸着(吸引、静電吸着あるいは粘着)などの手段によりセラミックシートSを保持する。また、セラミックシートSの切断片ST1、ST2を積層ステージ18上で保持する手段として、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bのブロー正圧、または加圧・温度による密着方法を用いる。剥離ロール16A、16Bが切断片ST1,ST2を保持する力は、基材フィルムが切断片ST1、ST2を保持する力より大きく、さらに積層ステージ18が切断片ST1、ST2を保持する力より小さく設定されているため、セラミックシートSの切断片ST1、ST2は基材フィルムから剥離されて剥離ロール16A、16Bに保持され、その後、積層ステージ18へ転写される。
The peeling rolls 16A and 16B hold the ceramic sheet S by means such as adsorption (suction, electrostatic adsorption or adhesion). Further, as means for holding the cut pieces ST1 and ST2 of the ceramic sheet S on the
剥離ロール16A、16Bは、セラミックシートSを吸引して剥離する真空引きの吸引ロールでもよい。このとき、剥離ロール16A、16Bは、セラミックシートSを吸着する部位と吸着しない部位とを制御するように構成されることが好ましい。基材フィルムからセラミックシートSを受け取るときにセラミックシートSに接触する剥離ロール16A、16Bの所定部位に吸着機能をもたせ、受け取ったセラミックシートSを積層ステージ18に転写するときにセラミックシートSに接触する剥離ロール16A、16Bの所定部位に非吸着領域をもたせることにより、セラミックシートSの受け取りと転写を円滑に行うことができる。
The peeling rolls 16 </ b> A and 16 </ b> B may be vacuum suction rolls that suck and peel the ceramic sheet S. At this time, it is preferable that peeling
次に、第1実施形態に係る積層型電子部品製造装置10を用いたセラミックシートSの積層構造体の製造方法について説明する。
Next, the manufacturing method of the laminated structure of the ceramic sheet S using the multilayer electronic
図1及び図2に示すように、既に電極回路及び誘電体塗膜が形成された長尺状のセラミックシートSがシート搬送ロール12によって連続的かつ一定の速度で搬送される。なお、シート搬送ロール12は、図示しない回転駆動機構により回転駆動されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, a long ceramic sheet S on which an electrode circuit and a dielectric coating film have already been formed is conveyed continuously and at a constant speed by a
そして、シート搬送ロール12により搬送されているセラミックシートSが切断機構14によって切断される。切断機構14は、図示しない回転駆動機構により回転し、刃がセラミックシートSを所定の部位で切断する。このため、切断機構14が一回転する度に、セラミックシートS上の一箇所が切断される。なお、切断機構14による切断工程においても、セラミックシートSの搬送が継続される。すなわち、セラミックシートSは、切断機構14による切断工程の影響を受けることなく、連続供給されている。このようにして、シート搬送ロール12上のセラミックシートSが所定の間隔をあけて次々に切断されシート搬送ロール12の外周面上にセラミックシートSである短冊状の切断片ST1、ST2が複数生成される。
Then, the ceramic sheet S conveyed by the
次に、所定のタイミングで、第1剥離ロール16Aあるいは第2剥離ロール16Bが、シート搬送ロール12上のセラミックシートSの切断片ST1、ST2を交互にシート搬送ロール12から剥離する。すなわち、セラミックシートSの切断片ST1が第1剥離ロール16Aによってシート搬送ロール12上の基材フィルムから剥離され、別のセラミックシートSの切断片ST2が第2剥離ロール16Bによってシート搬送ロール12上の基材フィルムから剥離される。このようにして、シート搬送ロール12上のセラミックシートSの複数の切断片ST1、ST2が、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bによって交互に剥離されていく。なお、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bによる剥離動作は、途中で停止することなく、セラミックシートSの切断片ST1、ST2を所定の枚数、積層するまで継続する。
Next, at a predetermined timing, the
ここで、第1剥離ロール16Aあるいは第2剥離ロール16Bによる剥離速度は、シート搬送ロール12によるセラミックシートSの切断片ST1、ST2の供給速度と略同じ速度に調節されている。このため、セラミックシートSの切断片ST1、ST2が連続供給された状態を維持しながら、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bによる剥離動作を継続させることができる。この結果、シート搬送ロール12によるセラミックシートSの切断片ST1、ST2の供給速度を遅くしたり、あるいはセラミックシートSの切断片ST1、ST2の供給を一旦停止させる必要がないため、セラミックシートSの積層構造体の製造を高速化させることができる。
Here, the peeling speed by the first peeling roll 16 </ b> A or the second peeling roll 16 </ b> B is adjusted to substantially the same speed as the supply speed of the cut pieces ST <b> 1 and ST <b> 2 of the ceramic sheet S by the
なお、本明細書の「第1剥離ロール16Aあるいは第2剥離ロール16Bによる剥離速度は、シート搬送ロール12によるセラミックシートSの切断片ST1、ST2の供給速度と略同じ速度に調節されている」とは、第1剥離ロール16Aの周速度及び第2剥離ロール16Bの周速度がシート搬送ロール12の周速度と同速度であるという意味である。詳細には、第1剥離ロール16A(あるいは第2剥離ロール16B)がシート搬送ロール12に近接している間(短冊シート1枚の剥離開始から終了までを含む間)、第1剥離ロール16A(あるいは第2剥離ロール16B)の周速度とシート搬送ロール12の周速度とが略同じ周速であるという意味である。
In the present specification, “the peeling speed by the
続いて、セラミックシートSの切断片ST1を保持した第1剥離ロール16Aが転写位置に向って垂直方向(図1の下方向)に移動し、かつ切断片ST1の端部が下方に向くように回転しながら積層ステージ18に向けて移動する。その後、積層ステージ18が第1剥離ロール16Aの転写位置に向かって水平移動(図1の右方向)することにより、第1剥離ロール16Aに保持されたセラミックシートSの切断片ST1と積層ステージ18の上面とが所定の圧力で接触する。両者が接触した後も、積層ステージ18が水平方向に移動することにより、第1剥離ロール16Aが回転し、第1剥離ロール16Aによってシート搬送ロール12から剥離されたセラミックシートSの切断片ST1が積層ステージ18の上面に転写される(1層目の形成)。なお、転写方法については上述した通りである。1層目となるセラミックシートSの切断片ST1の転写後に、第1剥離ロール16Aは、垂直方向(図1の上方向)に移動して、再度、シート搬送ロール12上のセラミックシートSの切断片ST1をシート搬送ロール12から剥離する。
Subsequently, the
そして、第1剥離ロール16AによるセラミックシートSの切断片ST1の転写後(1層目の形成後)に、セラミックシートSの切断片ST2を保持した第2剥離ロール16Bが転写位置に向って垂直方向(図1の下方向)に移動し、かつ切断片ST2の端部が下方に向くように回転しながら積層ステージ18に向けて移動する。その後、積層ステージ18が第2剥離ロール16Bの転写位置に向って水平移動(図1の左方向)することにより、第2剥離ロール16Bに保持されたセラミックシートSの切断片ST2と積層ステージ18に転写された1層目の切断片ST1とが所定の圧力で接触する。両者が接触した後も、積層ステージ18が水平方向に移動することにより、第2剥離ロール16Bが回転し、第1剥離ロール16Aによって積層ステージ18上に転写されたセラミックシートSの切断片ST1の上面に、第2剥離ロール16Bによってシート搬送ロール12から剥離されたセラミックシートSの切断片ST2が転写される(2層目の形成)。2層目となるセラミックシートSの切断片ST2の転写後に、第2剥離ロール16Bは、垂直方向(図1の上方向)に移動して、再度、シート搬送ロール12上のセラミックシートSの切断片ST2をシート搬送ロール12から剥離する。
After the transfer of the cut piece ST1 of the ceramic sheet S by the
さらに、第2剥離ロール16BによるセラミックシートSの切断片ST2の転写後(2層目の形成後)に、セラミックシートSの切断片ST1を保持した第1剥離ロール16Aが転写位置に向って垂直方向(図1の下方向)に移動し、かつ切断片ST1の端部が下方に向くように回転しながら積層ステージ18に向けて移動する。その後、積層ステージ18が第1剥離ロール16Aの転写位置に向かって水平移動(図1の右方向)することにより、第1剥離ロール16Aに保持されたセラミックシートSの切断片ST1と積層ステージ18に転写された2層目の切断片ST2とが所定の圧力で接触する。両者が接触した後も、積層ステージ18が水平方向に移動することにより、第1剥離ロール16Aが回転し、2層目のセラミックシートSの切断片ST2の上面に、第1剥離ロール16Aによってシート搬送ロール12から剥離されたセラミックシートSの切断片ST1が転写される(3層目の形成)。3層目となるセラミックシートSの切断片ST1の転写後に、第1剥離ロール16Aは、垂直方向(図1の上方向)に移動して、再度、シート搬送ロール12上のセラミックシートSの切断片ST1をシート搬送ロール12から剥離する。
Further, after the transfer of the cut piece ST2 of the ceramic sheet S by the
続いて、第1剥離ロール16AによるセラミックシートSの切断片ST1の転写後(3層目の形成後)に、セラミックシートSの切断片ST2を保持した第2剥離ロール16Bが転写位置に向って垂直方向(図1の下方向)に移動し、かつ切断片ST2の端部が下方に向くように回転しながら積層ステージ18に向けて移動する。その後、積層ステージ18が第2剥離ロール16Bの転写位置に向かって水平移動(図1の左方向)することにより、第2剥離ロール16Bに保持されたセラミックシートSの切断片ST2と積層ステージ18に転写された3層目の切断片ST1とが所定の圧力で接触する。両者が接触した後も、積層ステージ18が水平方向に移動することにより、第2剥離ロール16Bが回転し、3層目のセラミックシートSの切断片ST1の上面に、第2剥離ロール16Bによってシート搬送ロール12から剥離されたセラミックシートSの切断片ST2が転写される(4層目の形成)。4層目となるセラミックシートSの切断片ST2の転写後に、第2剥離ロール16Bは、垂直方向(図1の上方向)に移動して、再度、シート搬送ロール12上のセラミックシートSの切断片ST2をシート搬送ロール12から剥離する。
Subsequently, after the transfer of the cut piece ST1 of the ceramic sheet S by the
このようにして、規定枚数のセラミックシートSの切断片ST1、ST2が積層ステージ18に積層されるまで、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bの垂直方向への直線往復移動が継続され、かつ積層ステージ18の水平方向への直線往復移動が継続され、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bによる剥離動作及び転写動作が繰り返される(連続的に剥離動作及び転写動作が実行される)。そして、第1剥離ロール16AによるセラミックシートSの切断片ST1の剥離・転写と第2剥離ロール16BによるセラミックシートSの切断片ST2の剥離・転写とが交互に実行され、セラミックシートSの切断片ST1、ST2が積層されていく。そして、セラミックシートSの積層構造体が形成される。
In this way, the linear reciprocation of the
なお、積層ステージ18に形成されたセラミックシートSの積層構造体が積層ステージ18から取り外され、ダイサーカットによりチップ状に切断される。その後、焼成、電極回路(外部電極回路)が形成されるなどして通常の製造プロセスを経て、積層セラミックコンデンサが製造される。
The laminated structure of the ceramic sheets S formed on the
以上のように、第1実施形態によれば、長尺のセラミックシートSを連続的に停止することなく供給しつつ、セラミックシートSの切断片ST1、ST2を各剥離ロール16A、16Bでシート搬送ロール12から剥離させて、積層ステージ18上に連続積層することができる。このため、セラミックシートSの搬送工程と、セラミックシートSの切断工程と、セラミックシートSの切断片ST1、ST2の剥離・転写工程の各工程がノンストップで進行して、セラミックシートSの積層構造体が形成される。この結果、バッファ機構、加減速を必要とする部分が不要となり、装置コストを低減でき、装置サイズを小さく、さらに電力などの消費電力を小さくすることができる。また、略等速で各工程が実行されるため、セラミックシートSへのダメージ、ひずみ、ハンドリングミス、カット屑を低減でき、各剥離ロール16A、16BによるセラミックシートSの切断片ST1、ST2の搬送位置決めのバラツキが低減されることにより、セラミックシートSの切断片ST1、ST2の積み重ね精度の向上が可能となる。さらに、装置面、品質面での課題が低減できることで、生産ライン速度の向上が容易となる。
As described above, according to the first embodiment, the cut pieces ST1 and ST2 of the ceramic sheet S are conveyed by the peeling rolls 16A and 16B while the long ceramic sheet S is continuously supplied without being stopped. It can be peeled off from the
ここで、タイムチャートに基づいて説明する。図6は、剥離ローラ16A、16Bを使ってセラミックシートの切断片ST1、ST2を積層ステージ18に積層するときのタイミングチャートである。セラミックシートの切断片ST1、ST2の2枚積重ねを1サイクルとして示している。すでに、剥離ロール16Aによって積層ステージ18の上面に転写されたセラミックシートSの切断片ST1の上面に、剥離ローラ16Bによって切断片ST2を積み重ねている間、剥離ローラ16Aが次に転写するセラミックシートSの切断片ST1の剥離を行っている。2つの剥離ロール16A、16Bを交互に動かし、さらにセラミックシートの切断片ST1、ST2の積層、剥離動作を同時進行させることにより、時間的な余裕ができ、セラミックシートSの連続搬送を止めることなく、セラミックシートSの切断片ST1、ST2を積層ステージ18に積層することができる。なお、図6のタイムチャート中の各工程が終了した時点の構成図が図1に示されている。
Here, it demonstrates based on a time chart. FIG. 6 is a timing chart when the cut pieces ST1 and ST2 of the ceramic sheet are laminated on the
なお、第1実施形態では、シート搬送ロール12が本発明の「シート搬送部材」に対応し、また、積層ステージ18が本発明の「シート積層部材」に対応する。また、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bが本発明の「シート転写部材」に対応し、切断機構14が本発明の「シート切断部材」に対応する。
In the first embodiment, the
上記実施形態では、シート搬送ロール12によってキャリアフィルム(PETフィルム)付きのセラミックシートS(電極回路24が予め形成されたもの)を搬送することにより、セラミックスラリーの塗布から電極回路24を形成するまでの工程が削除できる。この結果、設備の小型化及び低コスト化を実現することができる。
In the above embodiment, the ceramic sheet S (with the
なお、キャリアフィルムは、シート搬送ロール12にそのまま搬送されていく。このように、搬送・積層対象をキャリアフィルム付のセラミックシートSまで広げることができるため、新規な設備投資コストを大きく低減させることができる。
The carrier film is conveyed as it is to the
また、セラミックシートSとして、既にキャリアフィルムに付着されたものを使用するため、セラミックスラリーを塗布してセラミックシートが形成される場合と比較して、切断機構14によるセラミックシートSの切断が容易になる。これにより、セラミックシートSの切断片ST1、ST2の積層をさらに高速に行うことができる。また、セラミックシートSの切断片ST1、ST2の積層停止状態から積層開始状態におけるセラミックスラリーのロスを無くすことができる。
Further, since the ceramic sheet S that has already been attached to the carrier film is used, the cutting of the ceramic sheet S by the
次に、本発明の第2実施形態に係る積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、第1実施形態の構成と重複する構成には同符号を付するとともに、重複する構成及び作用効果の説明を省略する。 Next, a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, while the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 1st Embodiment, description of the overlapping structure and effect is abbreviate | omitted.
第2実施形態は、コーティング搬送ロール(シート搬送部材)上にセラミックスラリーを塗布してセラミックシートを形成し、さらに、コーティング搬送ロール上のセラミックシートに電極回路(内部電極)と誘電体塗膜を形成した後、セラミックシートを切断機構により切断して、その切断片を積層ステージ上で転写する態様である。 In the second embodiment, ceramic slurry is applied on a coating conveying roll (sheet conveying member) to form a ceramic sheet, and an electrode circuit (internal electrode) and a dielectric coating film are further formed on the ceramic sheet on the coating conveying roll. After the formation, the ceramic sheet is cut by a cutting mechanism, and the cut piece is transferred on the lamination stage.
図2に示すように、コーティング搬送ロール(シート搬送部材)20の周囲には、コーティング搬送ロール20の表面にセラミックシートSの材料になるセラミックスラリーを塗布するための成膜手段22と、成膜手段22にセラミックスラリーを供給するための給液手段26と、成膜手段22を基準としてコーティング搬送ロール回転方向下流側に位置しコーティング搬送ロール20の表面上のセラミックスラリーを乾燥固化させるための乾燥硬化装置28と、コーティング搬送ロール20上のセラミックシートSに対して電極回路24を形成するための電極回路形成手段30(電極回路形成部)と、電極回路24の形成によりセラミックシートSの切断片ST1、ST2の表面に発生する段差部34(図3及び図4参照)に誘電体塗膜36を形成するための誘電体塗膜形成手段32(誘電体塗膜形成部)と、電極回路24及び誘電体塗膜36を乾燥させるための乾燥硬化装置38と、が配置されている。
As shown in FIG. 2, on the periphery of the coating conveyance roll (sheet conveyance member) 20, a film forming means 22 for applying a ceramic slurry to be a material of the ceramic sheet S on the surface of the
なお、第1実施形態と同様にして、第2実施形態においても、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bと、積層ステージ18と、が設けられている。
Note that, similarly to the first embodiment, the
コーティング搬送ロール20は、表面に離型処理が施された金属などの剛体ロール(円柱状あるいは円筒状)で構成されている。コーティング搬送ロール20は、図示しない回転駆動機構により回転駆動されるように構成されている。コーティング搬送ロール20が回転駆動することにより、外周面に形成されたセラミックシートSが搬送される。なお、離型処理とは、例えば、フッ素系めっき処理などが該当する。
The
成膜手段22としては、例えば、ダイコータ、ドクターブレード、ロールコータなどが適宜採用される。なお、コーティング搬送ロール20の外周面に形成されるセラミックシートSの膜厚をより薄くするためには、ダイコータに上流減圧機構を設けることが好ましい。成膜手段22からコーティング搬送ロール20に対して連続的にセラミックスラリーを塗布して、セラミックシートSが形成される。このように、同一のコーティング搬送ロール20に対して、セラミックスラリーが連続的に供給される。なお、セラミックスラリーはとしては、例えば、有機溶媒にセラミックス粉末と樹脂成分を溶解分散させたものが採用される。UV硬化樹脂にセラミックス粉末を分散させたものを用いてもよい。なお、溶媒は、水系でもよい。
As the film forming means 22, for example, a die coater, a doctor blade, a roll coater or the like is appropriately employed. In order to make the film thickness of the ceramic sheet S formed on the outer peripheral surface of the
給液手段26としては、例えば、シリンダ型ディスペンサが採用される。なお、給液手段26は、シリンダ型ディスペンサに限られるものではなく、ギヤポンプ、ダイヤフラムポンプなど適宜採用してもよい。 As the liquid supply means 26, for example, a cylinder type dispenser is adopted. The liquid supply means 26 is not limited to the cylinder-type dispenser, and a gear pump, a diaphragm pump, or the like may be appropriately employed.
電極回路形成手段30としては、例えば、インクジェット印刷装置が採用される。電極回路形成手段30は、無版印刷手段が好ましいが、乾燥後の電極回路24を転写してもよいし、凹版印刷、凹版オフセット印刷など手段は問わない。また、電極回路形成手段30で使用される電極材インクは、例えば、有機溶媒にNi粉末(ニッケル粉末)と樹脂を溶解分散させたものが使用される。UV硬化性の樹脂にNi粉末を分散させたものでもよい。特に、セラミック塗膜に対して、膨潤性の低い溶媒を用いることが好ましい。なお、溶媒は、水系でもよい。
As the electrode
誘電体塗膜形成手段32としては、例えば、インクジェット印刷装置が採用される。誘電体塗膜形成手段32は、無版印刷手段が好ましいが、乾燥後の誘電体塗膜を転写してもよいし、凹版印刷、凹版オフセット印刷、グラビア印刷、グラビアオフセット印刷、ロータリースクリーン印刷など手段は問わない。また、誘電体塗膜形成手段32で使用される誘電体材料は、セラミックスインク、例えば、有機溶媒にセラミックス粉末と樹脂を溶解分解させたものである。UV硬化樹脂にセラミックス粉末を分散させたものを用いてもよい。特に、セラミック塗膜に対して、膨潤性の低い溶媒を用いることが好ましい。なお、溶媒は、水系でもよい。 As the dielectric coating film forming means 32, for example, an ink jet printing apparatus is employed. The dielectric coating film forming means 32 is preferably plateless printing means, but may transfer the dried dielectric coating film, intaglio printing, intaglio offset printing, gravure printing, gravure offset printing, rotary screen printing, etc. Any means can be used. The dielectric material used in the dielectric coating film forming means 32 is a ceramic ink, for example, a material obtained by dissolving and dissolving ceramic powder and resin in an organic solvent. You may use what disperse | distributed ceramic powder to UV hardening resin. In particular, it is preferable to use a low swelling solvent for the ceramic coating. The solvent may be aqueous.
乾燥硬化装置28、38としては、例えば、熱風により乾燥する方法やコーティング搬送ロール20の外周面を加熱する方法が採用される。UV硬化性の樹脂を用いている場合、UV照射して硬化させてもよい。乾燥硬化装置28、38は、コーティング搬送ロール20上に塗布されたセラミックスラリーを乾燥または硬化させてセラミックシートSを形成するためのものである。
As the drying and curing
次に、第2実施形態の積層型電子部品製造装置を用いたセラミックシートSの積層構造体の製造方法について説明する。なお、第1実施形態の積層型電子部品製造装置の作用効果と重複する作用効果については、適宜、説明を省略する。 Next, the manufacturing method of the laminated structure of the ceramic sheet S using the multilayer electronic component manufacturing apparatus of 2nd Embodiment is demonstrated. In addition, about the effect which overlaps with the effect of the multilayer electronic component manufacturing apparatus of 1st Embodiment, description is abbreviate | omitted suitably.
図2に示すように、離型処理を施したコーティング搬送ロール20を所定の速度で回転させ、この外周面にセラミックスラリーを成膜手段22により塗布する。なお、セラミックスラリーの供給は、給液手段26であるシリンダ型ディスペンサを用いて行われる。そして、コーティング搬送ロール20上でセラミックスラリーを、乾燥硬化装置38を用いて乾燥し固化させる。ここで、乾燥硬化装置38によるセラミックスラリーの乾燥には、所定の温度の熱風を用いる。コーティング搬送ロール20の外周面が適温となるように別途、温度調整する。なお、これらの温度は、セラミックシートSの材料により適宜調整する。このようにして、成膜手段22及び給液手段26によって、セラミックスラリーがコーティング搬送ロール20に対して連続的に供給され、コーティング搬送ロール20上でセラミックシートSが形成され続ける。
As shown in FIG. 2, the
次に、形成されたセラミックシートSに対して電極材インクが塗布され、所定の図形パターンの電極回路(内部電極回路)24が印刷される。また、セラミックシートSに形成された電極回路24によって発生した段差部34(凹部)に対して、誘電体塗膜形成手段32(例えば、インクジェット印刷)からセラミック材料(誘電体材料)が塗布され、所定の図形パターンの誘電体塗膜36が印刷される。
Next, electrode material ink is applied to the formed ceramic sheet S, and an electrode circuit (internal electrode circuit) 24 having a predetermined graphic pattern is printed. Further, a ceramic material (dielectric material) is applied from the dielectric coating film forming means 32 (for example, ink jet printing) to the step portion 34 (concave portion) generated by the
ここで、電極回路形成手段30による電極回路24の形成速度及び誘電体塗膜形成手段32による誘電体塗膜36の形成速度は、コーティング搬送ロール20によるセラミックシートSの形成速度や、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bによる剥離速度と、略同じ速度に調節されている。このため、セラミックシートSが連続形成される状態を維持しながら、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成作業を実行し、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bによる剥離動作を継続させることができる。すなわち、セラミックシートSの形成工程から、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成工程、セラミックシートSの切断工程、切断片ST1、ST2の剥離転写工程までをノンストップで実行することができる。この結果、コーティング搬送ロール20によるセラミックシートSの搬送速度を遅くしたり、あるいはセラミックシートSの搬送を一旦停止させる必要がないため、セラミックシートSの積層構造体の製造を高速化させることができる。
Here, the formation speed of the
そして、セラミックシートSに形成された誘電体塗膜36と電極回路24は、乾燥硬化装置38から温風が吹き付けられて乾燥する。なお、誘電体塗膜36と電極回路24の形成順序は、特に問われない。このようにして、セラミックシートSの形成に続いて、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成が実行される。このため、セラミックシートSの形成と電極回路24及び誘電体塗膜36の形成とが連続して実行される。さらに、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成(乾燥硬化装置38による乾燥も含む)の際にも、セラミックシートSの形成が継続されるため、外周面に形成されたセラミックシートSのコーティング搬送ロール20による搬送が継続された状態で、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成が行われる。
The
次に、電極回路24及び誘電体塗膜36が形成されたセラミックシートSは、切断機構14により所定の部位で切断される。なお、切断機構14によるセラミックシートSの切断方法は、第1実施形態と同様であるため、説明は省略する。切断機構14による切断後、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bにより、セラミックシートSの切断片ST1、ST2が次々にコーティング搬送ロール20から剥離されて、積層ステージ18上に積層されていく。第2実施形態においても、第1剥離ロール16AによるセラミックシートSの切断片ST1と第2剥離ロール16BによるセラミックシートSの切断片ST2とが交互に重ねられていき、セラミックシートSの積層構造体が形成される。
Next, the ceramic sheet S on which the
第2実施形態によれば、セラミックシートSの成形・電極回路24・誘電体塗膜36の印刷・積層を一貫して行う場合に、セラミックシートSの形成と共に、連続成形、連続印刷が可能となるため、品質のバラツキの低減、ライン速度の向上、材料ロスの低減が可能となる。
According to the second embodiment, when forming the ceramic sheet S, printing and laminating the
特に、コーティング搬送ロール20上で成膜手段22によるセラミックシートSの形成が継続された状態で、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16BによるセラミックシートSの切断片ST1、ST2の転写が行われる。これにより、セラミックシートSの連続成形、セラミックシートSの切断片ST1、ST2の連続転写が可能となる。また、コーティング搬送ロール20上で成膜手段22によるセラミックシートSの形成が継続された状態で、電極回路形成手段30による電極回路24の形成と、誘電体塗膜形成手段32による誘電体塗膜36の形成と、が行われる。これにより、セラミックシートSの連続形成、電極回路24及び誘電体塗膜36の連続形成が可能となる。このため、セラミックシートSの形成工程、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成工程、セラミックシートSの切断工程、セラミックシートSの切断片ST1、ST2の剥離・転写工程の各工程がノンストップで進行して、セラミックシートSの積層構造体が形成される。これにより、全て工程が連続した一連の工程となって、セラミックシートSの積層構造体を製造することが可能になる。この結果、セラミックシートSの積層構造体、ひいては電子部品の品質のバラツキの低減、ライン速度の向上、材料ロスの低減が可能となる。さらに、全体の装置コストを低減でき、装置サイズを小さく、さらに消費エネルギーを小さくすることができる。
In particular, the transfer of the cut pieces ST1 and ST2 of the ceramic sheet S by the
また、図3及び図4に示すように、セラミックシートSに電極回路24を形成すると、電極回路24間に凹部が生じ、セラミックシートS上に段差部34(凹部)が発生するが、この段差部34に、誘電体塗膜36を印刷することにより、段差部34を低減することができる。このように、電極回路間の段差部34を誘電体塗膜36で埋めることにより、セラミックシートSの積層数が増加した場合に発生し易くなる、積みズレや接着不良を防止することができ、また、段差部34が存在することに起因する構造欠陥を抑制することができる。この結果、製造される電子部品の品質不良を防止することができる。
As shown in FIGS. 3 and 4, when the
特に、電気回路24及び誘電体塗膜36がコーティング搬送ロール20上で略同じタイミングで形成されることにより、電気回路24及び誘電体塗膜36の位置精度を高めることができる。これにより、CCDカメラなどの検知手段を別途設置しなくても、高精度のセラミックシートSの積層構造体を製造することができる。
In particular, since the
また、セラミックシートSが剛体であるコーティング搬送ロール20上に形成され、シート成形からシート積層工程までをコーティング搬送ロール20や転写ロール14でシート面を支持されながら搬送するので、薄くて低強度のセラミックシートSを使用しても、セラミックシートSの破れや傷つきの発生を抑制することができる。この結果、薄くて低強度のセラミックシートSのハンドリング性を高めることができる。また、積層ステージ18が剛体である金属で構成されているため、セラミックシートSの切断片ST1、ST2の積層工程において、薄くて低強度のセラミックシートSを使用しても、位置ずれ(積層ズレ)することがない。
Further, since the ceramic sheet S is formed on the
また、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成にインクジェットなどの無版印刷工法を用いることにより、電極回路24及び誘電体塗膜36の形成を高速化することができる。また、セラミックシートSの各層毎において異なる電極パターンを備えた電極回路24及び誘電体塗膜36の形成が可能になる。特にセラミックシートSの積層の進行に伴いセラミックシートSの歪みや積層ステージ18の高さが変化しても、電極回路24及び誘電体塗膜36のパターンや形成位置を自在に変更することができるため、電極回路24間及び誘電体塗膜36間のピッチ(間隔)を適宜調整して、位置ズレのない電極回路24及び誘電体塗膜36の形成が可能になる。
Moreover, the formation of the
なお、第2実施形態では、コーティング搬送ロール20が本発明の「シート搬送部材」に対応し、また、積層ステージ18が本発明の「シート積層部材」に対応する。また、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bが本発明の「シート転写部材」に対応し、切断機構14が本発明の「シート切断部材」に対応する。さらに、電極回路形成手段30が本発明の「電極回路形成部」に対応し、また、誘電体塗膜形成手段32が本発明の「誘電体塗膜形成部」に対応する。
In the second embodiment, the
次に、本発明の第3実施形態に係る積層型電子部品製造装置及び積層型電子部品の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、第1実施形態及び第2実施形態の構成と重複する構成には同符号を付するとともに、重複する構成及び作用効果の説明を省略する。 Next, a multilayer electronic component manufacturing apparatus and a multilayer electronic component manufacturing method according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, while the same code | symbol is attached | subjected to the structure which overlaps with the structure of 1st Embodiment and 2nd Embodiment, description of the overlapping structure and an effect is abbreviate | omitted.
第3実施形態は、コーティング搬送ロール上にセラミックスラリーを塗布してセラミックシートを形成し、セラミックシートを切断機構により切断して、その切断片を積層ステージに転写後、セラミックシートに対して電極回路(内部電極)と誘電体塗膜を形成する態様である。 In the third embodiment, a ceramic slurry is applied on a coating conveying roll to form a ceramic sheet, the ceramic sheet is cut by a cutting mechanism, and the cut piece is transferred to a lamination stage, and then an electrode circuit is applied to the ceramic sheet. (Internal electrode) and a dielectric coating are formed.
図5に示すように、電極回路形成手段30と、誘電体塗膜形成手段32と、電極回路24及び誘電体塗膜36を乾燥させる乾燥硬化装置38と、が積層ステージ18の移動軌跡近傍に配置されている。
As shown in FIG. 5, the electrode
第3実施形態によれば、コーティング搬送ロール20上でセラミックスラリーを塗布して形成されたセラミックシートSが切断機構14により切断される。そして、セラミックシートSの切断片ST1、ST2が第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bによりコーティング搬送ロール20から剥離されて、積層ステージ18上に交互に転写される。
According to the third embodiment, the ceramic sheet S formed by applying the ceramic slurry on the
ここで、積層ステージ18上に転写されたセラミックシートSの切断片ST1、ST2に対して電極回路形成手段30によって電極回路24が形成され、誘電体塗膜形成手段32によって誘電体塗膜36が形成される。そして、乾燥硬化装置38によって電極回路24及び誘電体塗膜36が乾燥される。このように、積層ステージ18に一層のセラミックシートSの切断片ST1、ST2が転写される度に、電極回路24及び誘電体塗膜36が形成される。そして、電極回路24及び誘電体塗膜36が形成された後、2層目となるセラミックシートSの切断片ST2が1層目の切断片ST1に重ねられるようにして転写される。これが繰り返されて、セラミックシートSの積層構造体が形成される。
Here, the
なお、第3実施形態では、コーティング搬送ロール20が本発明の「シート搬送部材」に対応し、また、積層ステージ18が本発明の「シート積層部材」に対応する。また、第1剥離ロール16A及び第2剥離ロール16Bが本発明の「シート転写部材」に対応し、切断機構14が本発明の「シート切断部材」に対応する。さらに、電極回路形成手段30が本発明の「電極回路形成部」に対応し、また、誘電体塗膜形成手段32が本発明の「誘電体塗膜形成部」に対応する。
In the third embodiment, the
10 積層型電子部品製造装置
12 シート搬送ロール(シート搬送部材)
14 切断機構(シート切断部材)
16A 第1剥離ロール(シート転写部材)
16B 第2剥離ロール(シート転写部材)
18 積層ステージ(シート積層部材)
20 コーティング搬送ロール(シート搬送部材)
22 成膜手段(成膜形成部)
24 電極回路
30 電極回路形成手段(電極回路形成部)
32 誘電体塗膜形成手段(誘電体塗膜形成部)
34 段差部
36 誘電体塗膜
S セラミックシート
ST1 セラミックシートの切断片
ST2 セラミックシートの切断片
DESCRIPTION OF
14 Cutting mechanism (sheet cutting member)
16A 1st peeling roll (sheet transfer member)
16B Second peeling roll (sheet transfer member)
18 Lamination stage (sheet lamination member)
20 Coating transport roll (sheet transport member)
22 Film forming means (film forming section)
24
32 Dielectric coating film forming means (dielectric coating film forming section)
34
ST2 Ceramic sheet cutting
Claims (10)
前記セラミックシートを所定の長さに切断するシート切断部材と、
前記シート切断部材で所定の長さに切断された前記セラミックシートの切断片が積層されるシート積層部材と、
前記シート切断部材で所定の長さに切断された前記セラミックシートの切断片を前記シート搬送部材から剥離させ、前記セラミックシートの前記切断片を前記シート積層部材に転写させる複数のシート転写部材と、
を有し、
一方の前記シート転写部材と他方の前記シート転写部材は、前記セラミックシートの前記切断片を交互に転写させて積層することを特徴とする積層型電子部品製造装置。 A sheet conveying member for continuously conveying the ceramic sheet in a predetermined direction;
A sheet cutting member for cutting the ceramic sheet into a predetermined length;
A sheet lamination member on which the cut pieces of the ceramic sheet cut to a predetermined length by the sheet cutting member are laminated;
A plurality of sheet transfer members for peeling the cut pieces of the ceramic sheet cut to a predetermined length by the sheet cutting member from the sheet conveying member, and transferring the cut pieces of the ceramic sheet to the sheet lamination member;
Have
One of the sheet transfer members and the other sheet transfer member are laminated by alternately transferring the cut pieces of the ceramic sheet.
前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記電極回路形成部によって前記セラミックシートに前記電極回路が形成されることを特徴とする請求項1に記載の積層型電子部品製造装置。 Having an electrode circuit forming part for forming an electrode circuit on the ceramic sheet;
2. The multilayer electronic component manufacturing according to claim 1, wherein the electrode circuit is formed on the ceramic sheet by the electrode circuit forming unit in a state where the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member. apparatus.
前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記誘電体塗膜形成部によって前記段差部に前記誘電体塗膜が形成されることを特徴とする請求項2に記載の積層型電子部品製造装置。 Having a dielectric coating film forming portion for forming a dielectric coating film on a step portion of the ceramic sheet generated by the formation of the electrode circuit;
3. The laminate according to claim 2, wherein the dielectric coating film is formed on the stepped portion by the dielectric coating film forming unit in a state where the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member. Type electronic component manufacturing equipment.
前記成膜形成部による前記セラミックシートの形成が継続された状態で、複数の前記シート転写部材による前記セラミックシートの前記切断片の転写が行われることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の積層型電子部品製造装置。 Having a film forming part for applying the ceramic slurry to the sheet conveying member to form the ceramic sheet;
5. The cut piece of the ceramic sheet is transferred by a plurality of the sheet transfer members in a state where the formation of the ceramic sheet by the film forming unit is continued. 2. The multilayer electronic component manufacturing apparatus according to item 1.
前記セラミックシートをシート切断部材によって所定の長さに切断するシート切断工程と、
前記シート切断部材で所定の長さに切断された前記セラミックシートの切断片を複数のシート転写部材によって前記シート搬送部材から剥離させ、シート積層部材に転写させるシート転写工程と、
を有し、
前記シート転写工程では、一方の前記シート転写部材と他方の前記シート転写部材は、前記セラミックシートの前記切断片を前記シート積層部材に交互に転写させて積層することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。 A sheet conveying step of continuously conveying the ceramic sheet in a predetermined direction by the sheet conveying member;
A sheet cutting step of cutting the ceramic sheet into a predetermined length by a sheet cutting member;
A sheet transfer step in which a cut piece of the ceramic sheet cut to a predetermined length by the sheet cutting member is peeled from the sheet conveying member by a plurality of sheet transfer members and transferred to a sheet lamination member;
Have
In the sheet transfer step, one of the sheet transfer members and the other sheet transfer member are laminated by alternately transferring the cut pieces of the ceramic sheet to the sheet lamination member. Manufacturing method.
前記電極回路形成工程では、前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記電極回路形成部によって前記セラミックシートに前記電極回路が形成されることを特徴とする請求項6に記載の積層型電子部品の製造方法。 An electrode circuit forming step of forming an electrode circuit on the ceramic sheet by an electrode circuit forming portion;
7. The electrode circuit forming step, wherein the electrode circuit is formed on the ceramic sheet by the electrode circuit forming unit in a state where the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member. The manufacturing method of the multilayer electronic component of description.
前記誘電体塗膜形成工程では、前記シート搬送部材による前記セラミックシートの搬送が継続された状態で、前記誘電体塗膜形成部によって前記段差部に前記誘電体塗膜が形成されることを特徴とする請求項7に記載の積層型電子部品の製造方法。 A dielectric coating film forming step of forming a dielectric coating film by a dielectric coating film forming portion on a step portion of the ceramic sheet generated by the formation of the electrode circuit;
In the dielectric coating film forming step, the dielectric coating film is formed on the stepped portion by the dielectric coating film forming unit in a state in which the ceramic sheet is continuously conveyed by the sheet conveying member. A method for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 7.
前記成膜形成工程において前記成膜形成部による前記セラミックシートの形成が継続された状態で、複数の前記シート転写部材による前記セラミックシートの前記切断片の転写が行われることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の積層型電子部品の製造方法。
A film forming step of forming the ceramic sheet by applying a ceramic slurry to the sheet conveying member by a film forming unit;
The transfer of the cut piece of the ceramic sheet by a plurality of the sheet transfer members is performed in a state in which the formation of the ceramic sheet by the film forming unit is continued in the film forming step. The method for manufacturing a multilayer electronic component according to any one of 7 to 9.
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