JP2011252647A - Clean room, and method of controlling air supply device thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、クリーンルームおよびクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法に関する。 The present invention relates to a clean room and a method for controlling an air supply device in a clean room.
クリーンルーム内においては、清浄度を高めるために粉塵を排出するようにしている。このようなクリーンルーム内における粉塵の排出を行うものとして、従来、ファンとフィルタとを一体化したファン・フィルタユニットを天井に設けるとともに、発熱性機器の上方の天井部材に開口部を設けたクリーンルームが知られている(たとえば、特許文献1参照)。 In the clean room, dust is discharged to increase the cleanliness. In order to discharge dust in such a clean room, conventionally, there is a clean room in which a fan / filter unit in which a fan and a filter are integrated is provided on the ceiling, and an opening is provided in the ceiling member above the exothermic device. It is known (for example, refer to Patent Document 1).
このクリーンルームでは、温度の低い清浄空気は、発熱性機器に近い側から順に機器上部の開口に向かって吸引される。また、発熱性機器の付近では空気温度が上昇して上昇気流が発生し、天井に設けられた開口に向けて流れる。この空気の流れによって、空気が発熱性機器の上部に設けられた開口に向けて流れ、粉塵の拡散を防止しながら、天井に設けられたファン・フィルタユニットにおけるフィルタ部材に捕捉させるようにしている。このため、発熱性機器が設けられた位置の粉塵をクリーンルームから効率的に排出することができる。 In this clean room, clean air having a low temperature is sucked from the side closer to the exothermic device toward the opening in the upper part of the device. Further, in the vicinity of the exothermic device, the air temperature rises and an ascending air current is generated and flows toward the opening provided on the ceiling. This air flow causes air to flow toward the opening provided in the upper part of the exothermic device, and prevents the dust from diffusing, and is captured by the filter member in the fan / filter unit provided on the ceiling. . For this reason, the dust of the position in which the exothermic apparatus was provided can be discharged | emitted efficiently from a clean room.
ところで、近年におけるクリーンルームにおいては、非常に高い清浄度で行う必要がある作業を行うエリアとして高清浄度エリアを設定し、高清浄度エリア以外の場所は、さほど高い清浄度が要求されない低清浄度エリアとすることがある。このようなクリーンルームでは、上記特許文献1に開示される発熱性機器については、低清浄度エリアに設置されることが多くなる。 By the way, in a clean room in recent years, a high cleanliness area is set as an area for performing work that needs to be performed with a very high cleanliness, and a low cleanliness where a high cleanliness is not required in places other than the high cleanliness area. It may be an area. In such a clean room, the exothermic device disclosed in Patent Document 1 is often installed in a low cleanliness area.
ここで、上記特許文献1に開示されたクリーンルームでは、発熱性機器の上部に設けられた開口に向けて空気を流すことにより、粉塵を上昇気流によって効率よく天井から排出することができる。ところが、床部などに滞留している粉塵を舞い上げることにもなる。 Here, in the clean room disclosed in Patent Document 1, dust can be efficiently discharged from the ceiling by the rising airflow by flowing air toward the opening provided in the upper part of the exothermic device. However, the dust staying on the floor or the like is also raised.
このとき、低清浄度エリアについては、舞い上げた粉塵を上昇気流に乗せることで、要求される清浄度を保つことができる。ところが、高清浄度が要求される高清浄度エリアや高清浄度エリアに隣接する低清浄度エリアにおいて、上記特許文献1における発熱性機器の近傍における上昇気流を発生させると、上昇気流を発生させるための空気によって床部に滞留している滞留粉塵をも巻き上げてしまい、逆に高い清浄度を維持するための妨げとなることがあるという問題があった。 At this time, in the low cleanliness area, the required cleanliness can be maintained by placing the raised dust on the rising airflow. However, in the high cleanliness area where high cleanliness is required and in the low cleanliness area adjacent to the high cleanliness area, when the updraft is generated in the vicinity of the exothermic device in Patent Document 1, the updraft is generated. For this reason, there is a problem in that the accumulated dust staying in the floor portion is also rolled up by the air for preventing the maintenance of high cleanliness.
そこで、本発明の課題は、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができるとともに、高清浄度エリアを高い清浄度に維持することができるクリーンルームおよびクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法を提供することにある。 Then, the subject of this invention can discharge | emit the dust of the position where the high exothermic apparatus in the low cleanliness area is provided efficiently, and can maintain a high cleanliness area with high cleanliness. An object of the present invention is to provide a clean room and a method for controlling an air supply device in the clean room.
上記課題を解決した本発明に係るクリーンルームは、天井から床に向けてエアを供給するエア供給装置を備えるとともに、発生した粉塵を除去するフィルタ部材を天井に配設したクリーンルームであって、低清浄度エリアと、低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアがエア供給装置から供給され、低清浄度エリアにおける高発熱機器が配置されている位置には、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度のエアがエア供給装置から供給されることを特徴とする。 A clean room according to the present invention that has solved the above problems is a clean room that includes an air supply device that supplies air from the ceiling toward the floor, and in which a filter member that removes generated dust is disposed on the ceiling. And a high cleanliness area that requires higher cleanliness than the low cleanliness area, and high heat generating equipment is arranged in the low cleanliness area. Air at a high speed is supplied from an air supply device, and air at a blowing speed that promotes an updraft caused by heat generated from the high heat generation device is provided at the position where the high heat generation device is arranged in the low cleanliness area. It is characterized by being supplied from.
本発明に係るクリーンルームにおいては、低清浄度エリアにおける高発熱機器が配置されている位置には、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度のエアがエア供給装置から供給される。このため、高発熱機器が設けられている位置では、上昇気流を促進する吹出速度のエアが供給されるので、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができる。その一方、高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアがエア供給装置から供給される。このため、床部に滞留する滞留粉塵を巻き上げないようにすることができるので、高い清浄度を維持することができる。したがって、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができるとともに、高清浄度エリアを高い清浄度に維持することができる。 In the clean room according to the present invention, air at a blowing speed that promotes an updraft accompanying heat generated from the high heat generating device is supplied from the air supply device to the position where the high heat generating device is arranged in the low cleanliness area. The For this reason, air at a blowing speed that promotes the updraft is supplied at the position where the high heat generating device is provided, so the dust at the position where the high heat generating device is provided in the low cleanliness area can be efficiently removed. Can be discharged. On the other hand, air with a normal blowing speed is supplied from the air supply device to the high cleanliness area. For this reason, since it is possible to prevent the accumulated dust staying on the floor from being rolled up, a high cleanliness can be maintained. Therefore, it is possible to efficiently discharge the dust at the position where the highly exothermic device is provided in the low cleanliness area, and to maintain the high cleanliness area at a high cleanliness.
ここで、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にアイリッドが設けられ、アイリッドは、パスラインよりも上方位置まで延在しており、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段が設けられている態様とすることができる。 Here, an eyelid is provided between the high cleanliness area and the low cleanliness area, and the eyelid extends to a position above the pass line, and between the high cleanliness area and the low cleanliness area. It can be set as the aspect provided with the air curtain formation means which forms an air curtain.
本発明に係るクリーンルームにおいては、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にアイリッドが設けられているが、アイリッドは、パスラインよりも上方位置までしか延在していない。このため、クリーンルームで作業を行う際に、アイリッドが作業の邪魔となることを防止することができる。その一方で、アイリッドがパスラインよりも上方までしか延在していないと、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間の清浄度の仕切りが難しくなる。この点、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段が設けられている。このため、高清浄度エリアと低清浄度エリアとの間の清浄度の仕切りを確実に行うことができる。 In the clean room according to the present invention, an eyelid is provided between the high cleanliness area and the low cleanliness area, but the eyelid only extends to a position above the pass line. For this reason, when working in a clean room, it is possible to prevent the eyelid from interfering with the work. On the other hand, if the eyelid extends only above the pass line, it becomes difficult to partition the cleanliness between the high cleanliness area and the low cleanliness area. In this regard, air curtain forming means for forming an air curtain between the high cleanliness area and the low cleanliness area is provided. For this reason, the cleanliness partition between the high cleanliness area and the low cleanliness area can be reliably performed.
また、エア供給装置から、低清浄度エリアにおける高発熱機器が配置されている位置に供給されるエアの吹出速度を制御する吹出速度制御手段と、高発熱機器における高発熱状態を検知する高発熱状態検知手段と、を備え、吹出速度制御手段は、高発熱状態検知手段が検知した高発熱機器の高発熱状態に応じてエア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御する態様とすることができる。 Also, a blow speed control means for controlling the blow speed of the air supplied from the air supply device to the position where the high heat generating device is arranged in the low cleanliness area, and a high heat generation detecting the high heat generation state in the high heat generating device. A state detection means, and the blow speed control means controls the blow speed of the air supplied from the air supply device in accordance with the high heat generation state of the high heat generation device detected by the high heat generation state detection means. Can do.
このように、吹出速度制御手段は、高発熱状態検知手段が高発熱機器の高発熱状態に応じてエア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御することにより、高発熱機器の稼動に合わせて適切な風速のエアを低清浄度エリアに供給することができる。 In this way, the blow speed control means is adapted to the operation of the high heat generation device by the high heat generation state detection means controlling the blow speed of the air supplied from the air supply device according to the high heat generation state of the high heat generation device. Therefore, air with an appropriate wind speed can be supplied to the low cleanliness area.
さらに、高発熱状態検知手段は、高発熱機器のON−OFF状態を検知するON−OFF状態検知手段であり、高発熱機器がONであるときに、高発熱機器が高発熱状態であることを検知する態様とすることができる。 Further, the high heat generation state detection means is an ON-OFF state detection means for detecting the ON / OFF state of the high heat generation device. When the high heat generation device is ON, the high heat generation device is in a high heat generation state. It can be set as the aspect detected.
このように、高発熱機器のON−OFF状態で高発熱機器の高発熱状態を検知することにより、高発熱機器の高発熱状態を簡易に判断することができる。 Thus, by detecting the high heat generation state of the high heat generation device in the ON-OFF state of the high heat generation device, it is possible to easily determine the high heat generation state of the high heat generation device.
また、吹出速度制御手段は、高発熱機器が高発熱状態のときに、エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度に制御し、高発熱機器が非高熱状態のときに、エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を通常の吹出速度よりも遅い吹出速度に制御する態様とすることができる。 The blow speed control means controls the blow speed of the air supplied from the air supply device to a blow speed that promotes the rising air flow accompanying the heat generated from the high heat generating device when the high heat generating device is in the high heat generating state. In addition, when the high heat-generating device is in a non-high heat state, the air blowing speed supplied from the air supply device can be controlled to be slower than the normal blowing speed.
このように、エア供給装置のエアの吹出速度として、高発熱機器が高発熱状態のときに、上昇気流を促進する吹出速度に制御することにより、高発熱機器が稼動しているときに滞留粉塵を、上昇気流を利用して舞い上げて、フィルタ部材によって効率的に除去することができる。また、高発熱機器が非高熱状態のときに、通常の吹出速度よりも遅い吹出速度に制御することにより、床部における滞留粉塵を巻き上げないようにし、低清浄度エリアの清浄度の低下を防止することができる。 As described above, when the high heat generating device is in operation, the air supply speed of the air supply device is controlled to a blowing speed that promotes the upward air flow when the high heat generating device is in a high heat generating state. Can be lifted up using the rising airflow and efficiently removed by the filter member. In addition, when the high heat-generating equipment is in a non-high heat state, it is controlled to a blow speed that is slower than the normal blow speed, so that the accumulated dust on the floor is not raised, and the cleanliness of the low cleanliness area is prevented from being lowered. can do.
さらに、高清浄度エリアおよび低清浄度エリアにおける床部には、開口部が形成されていない態様とすることができる。 Furthermore, it can be set as the aspect by which the opening part is not formed in the floor part in a high cleanliness area and a low cleanliness area.
このように、床部には、開口部が形成されていないことにより、床下にエアの流通領域を形成する必要がなくなる。したがって、床下スペースの削減により、建物高さを縮減することができる。 Thus, since the opening is not formed in the floor, it is not necessary to form an air circulation region under the floor. Therefore, the height of the building can be reduced by reducing the space under the floor.
また、上記課題を解決した本発明に係るクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法は、天井から床部に向けてエアを供給するエア供給装置を備えるとともに、発生した粉塵を除去するフィルタ部材を天井に配設したクリーンルームにおけるエア供給装置を制御するクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法であって、クリーンルームは、低清浄度エリアと、低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアをエア供給装置から供給し、低清浄度エリアにおける高発熱機器が配置されている位置には、高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度のエアをエア供給装置から供給することを特徴とする。 Moreover, the control method of the air supply apparatus in the clean room which solved the said subject is equipped with the air supply apparatus which supplies air toward a floor part from a ceiling, and the filter member which removes the generated dust on a ceiling A control method of an air supply device in a clean room for controlling an air supply device in a clean room, wherein the clean room has a low cleanliness area and a high cleanliness area that requires a higher cleanliness than the low cleanliness area. In the low cleanliness area, a high heat generating device is arranged. In the high cleanliness area, air at a normal blowing speed is supplied from the air supply device, and a high heat generating device is arranged in the low cleanliness area. The air supply device supplies air at a blowing speed that promotes the updraft accompanying the heat generated from the high heat-generating equipment. To.
また、高発熱機器の高発熱状態に応じてエア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御する態様とすることができる。 Moreover, it can be set as the aspect which controls the blowing speed of the air supplied from an air supply apparatus according to the high heat_generation | fever state of a high heat generation apparatus.
本発明に係るクリーンルームおよびクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法によれば、低清浄度エリアにおける高発熱性機器が設けられている位置の粉塵を効率的に排出することができるとともに、高清浄度エリアを高い清浄度に維持することができる。 According to the control method of the clean room and the air supply device in the clean room according to the present invention, the dust at the position where the high heat generating device is provided in the low cleanliness area can be efficiently discharged, and the high cleanliness area Can be maintained at a high level of cleanliness.
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各実施形態において、同一の機能を有する部分については同一の符号を付し、重複する説明は省略することがある。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each embodiment, portions having the same function are denoted by the same reference numerals, and redundant description may be omitted.
図1〜図3に示すように、本実施形態に係るクリーンルームRには、高発熱機器1、高清浄度エリア設置機器2、および低発熱機器3が設けられている。高発熱機器1は、たとえば加熱装置、オーブンなどの発熱量が大きい機器であり、高清浄度エリア設置機器2は、たとえばウェハにレジストを塗布するコーターやラミネーターなどの高い清浄度下における作業が要求される装置である。低発熱機器3は、搬送装置、組立ロボットなどの発熱量が小さい機器である。また、高清浄度エリア設置機器2は、低発熱機器3と同様、高発熱機器1よりも発熱量が小さい機器である。
As shown in FIGS. 1 to 3, the clean room R according to the present embodiment is provided with a high heat generating device 1, a high cleanliness
本実施形態では、4台の低発熱機器3がクリーンルームR内に配設されている。そのうちの高清浄度エリア設置機器2と2台の低発熱機器3との間に、それぞれコンベア4が設けられている。クリーンルームR内における高清浄度エリア設置機器2が設けられている周囲が高清浄度エリアHPとなり、クリーンルームR内におけるその他のエリアが低清浄度エリアLPとなる。ここで、高清浄度エリア設置機器2の周囲上方位置には、アイリッド5が設けられており、高清浄度エリアHPと低清浄度エリアLPは、アイリッド5によって実質的に仕切られている。高清浄度エリア設置機器2が設定された高清浄度エリアHPは、低清浄度エリアLPにおける高発熱機器1が設置されている位置に隣接して配置されている。
アイリッド5は、天井から吊るされて配設されており、コンベア4が設けられた高さ位置であるパスラインPLよりも上方まで延在しており、パスラインPLよりも下方までは延在していない長さとされている。パスラインPLは、床下から1.5m程度の高さとされているが、おおむね1〜3m程度の高さとすることができる。
In the present embodiment, four low
The
また、クリーンルームRには、床部6が設けられており、高発熱機器1、高清浄度エリア設置機器2、および低発熱機器3は、いずれも床部6上に設置されている。この床部6は、開口部が形成されていない全面閉塞板によって形成されている。さらに、クリーンルームRにおける床部6は、構造体のスラブによって構成されており、床部6の下方には、床下空間が形成されていない構造とされている。
The clean room R is provided with a
さらに、図2に示すように、高発熱機器1の上方には、天井部に開口が形成されており、この開口を囲むようにして高発熱機器用ファン・フィルタユニット(以下「FFU」という)11が設けられている。また、高清浄度エリアHPの上方には、高清浄度エリア用FFU12が設けられている。さらに、低発熱機器3の上方には、低発熱機器用FFU13が設けられている。
Further, as shown in FIG. 2, an opening is formed in the ceiling portion above the high heat generating device 1, and a fan / filter unit (hereinafter referred to as "FFU") 11 for the high
他方、高清浄度エリアHPの周囲におけるコンベア4が通過する位置の上方には、エアカーテン気流生成用FFU14が設けられている。エアカーテン気流生成用FFU14では、床部に向けてエアを吹き出すことにより、高清浄度エリアHPに対するコンベア4の進入領域および退出領域にエアカーテンを形成する。高清浄度エリアHPに対するコンベア4の進入領域および退出領域においては、エアカーテン気流生成用FFU14から吹き出されるエアによって形成されるエアカーテンおよびアイリッド5によって、高清浄度エリアHPと低清浄度エリアLPとが仕切られている。
On the other hand, an air curtain
FFU11〜14としては、いずれも送風機とHEPAフィルタが一体化されたFFUであり、同性能のものが用いられており、運転時における吹出速度が異なる制御がなされることとなる。また、FFU11〜14は、いずれもクリーンルームRの天井7に設けられ、天井7から床部6に向けてエアを供給するとともに、クリーンルームR内を循環して戻ってきた循環エアに含まれる粉塵を捕捉する。FFU11〜14は、本発明のエア供給装置およびフィルタ部材を構成する。
As FFU11-14, all are FFUs with which the air blower and the HEPA filter were integrated, and the thing of the same performance is used, The control from which the blowing speed at the time of a driving | operation differs is made. Further, the
このように、クリーンルームR内においては、高清浄度エリアHPに高清浄度エリア用FFU12およびエアカーテン気流生成用FFU14が設けられており、低清浄度エリアLPには、高発熱機器用FFU11および低発熱機器用FFU13が設けられている。ここで、高清浄度エリア用FFU12としては、99個のFFUが用いられており、高清浄度エリアHP内において密に配置されている。
Thus, in the clean room R, the high
また、低清浄度エリアLPに配置おける高発熱機器用FFU11としては、26個のFFUが用いられており、高発熱機器1の上方に形成された開口部を囲むようにして配置されている。また、高発熱機器用FFU11は、高清浄度エリア用FFU12よりも疎に配置されている。さらに、低発熱機器用FFU13は、低清浄度エリアLPにおいて、44個のFFUが用いられており、高発熱機器用FFU11よりもさらに疎に配置されている。また、図3に示すように、天井裏におけるFFU11〜14が設けられている位置のさらに上方には、ドライコイル15が設けられている。
In addition, 26 FFUs are used as the high heat
ここで、高清浄度エリア用FFU12から供給されるエアの吹出速度は、通常の吹出速度でとされており、床部からの吹き返しエアが天井7に到達する程度の吹出速度に制御されている。ここでいう通常の吹出速度とは、たとえば0.3〜0.35m/s程度とされている。
Here, the blowing speed of the air supplied from the
また、高発熱機器用FFU11は、高出力稼動および低出力稼動に切り換え可能とされている。高出力稼動の際には、高発熱機器用FFU11から供給されるエアの吹出速度は、高発熱機器1から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度とされており、たとえば通常の吹出速度よりも早い吹出速度とされている。
Further, the
一方、低出力稼動の際には、高発熱機器用FFU11から供給されるエアの吹出速度は、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部まで到達しない程度の吹出速度に制御される。あるいは、通常の吹出速度に制御される。また、低発熱機器用FFU13から供給されるエアの吹出速度は、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部まで到達しない程度の吹出速度に制御される。
On the other hand, at the time of low output operation, the blowing speed of the air supplied from the high heat
さらに、クリーンルームRにおける図示しない制御室には、図4に示す制御装置20が設けられている。制御装置20には、高発熱機器1に設けられた高発熱機器スイッチセンサ30が接続されている。高発熱機器1は、高発熱機器スイッチがONのときに稼動しており、高発熱機器スイッチがOFFのときに高発熱機器1が停止している。高発熱機器スイッチセンサ30は、高発熱機器スイッチがONとなっているかOFFとなっているかを検知している。また、高発熱機器スイッチセンサ30は、検知した高発熱機器スイッチのON−OFF状態に基づくON−OFF信号を制御装置20に送信する。
Furthermore, a control room (not shown) in the clean room R is provided with a
また、制御装置20には、高発熱機器用FFU11、高清浄度エリア用FFU12、低発熱機器用FFU13、およびエアカーテン気流生成用FFU14が接続されている。制御装置20は、高発熱機器用FFU11、高清浄度エリア用FFU12、低発熱機器用FFU13、およびエアカーテン気流生成用FFU14の運転を制御し、それぞれのFFU11〜14から供給されるエアの吹出速度を調整している。特に、制御装置20は、高発熱機器スイッチセンサ30から送信されるON−OFF信号に基づいて、高発熱機器用FFU11の吹出速度を調整する。
The
ここで、図6に示すように、高発熱機器1が稼動している際、高発熱機器用FFU11からはクリーンルームRにおける床部6に到達し、高発熱機器1から発生する熱に伴う上昇気流を促進して上昇気流が天井7に容易に到達する吹出速度のエアAが供給されている。このため、天井7から高発熱機器1およびその下方の床部6の範囲においては、高発熱機器用FFU11から供給されるエアAが循環している。
Here, as shown in FIG. 6, when the high heat generating device 1 is operating, the high heat
また、高清浄度エリア用FFU12からは、通常の吹出速度のエアAが供給されている。このため、高清浄度エリアHPでは、エアAの循環は小さく、エアは主に上方から下方に流れている。さらに、低発熱機器用FFU13からは、通常の吹出速度よりも遅い吹出速度のエアAが供給されている。このため、低発熱機器3やコンベア4よりも上方において、低発熱機器用FFU13から供給されるエアAが循環し、いわばショートサーキットを形成している。
Further, air A having a normal blowing speed is supplied from the
以上の構成を有する本実施形態に係るクリーンルームRにおいて、低清浄度エリアLPにおける高発熱機器1が設けられた位置では、上昇気流によって粉塵が天井まで舞い上げられるので、多くの粉塵を排出することができる。ところが、この上昇気流によって、床部6に滞留する滞留粉塵をも舞い上げられてしまうため、滞留粉塵を空気中に舞い上げることとなり、清浄度の低下が懸念される。ここで、本実施形態に係るクリーンルームRでは、高発熱機器1の上方に配置された高発熱機器用FFU11から供給されるエアは、通常より早い吹出速度で供給されており、高発熱機器1による上昇気流を促進している。このため、床部6から滞留粉塵を舞い上げたとしても、上昇気流によって効率よく天井における高発熱機器用FFU11まで粉塵を舞い上げることができる。したがって、空気中に舞い上げられた粉塵までも高発熱機器用FFU11によって効率よく捕捉し、クリーンルームRから排出することができる。
In the clean room R according to the present embodiment having the above-described configuration, dust is raised up to the ceiling by the rising airflow at the position where the high heat generating device 1 is provided in the low cleanliness area LP, and thus a lot of dust is discharged. Can do. However, since the rising dust causes the accumulated dust staying on the
また、高清浄度エリアHPにおいては、低清浄度エリアLPよりも要求される清浄度が高くなる。このため、高清浄度エリアHPに高発熱機器用FFU11から供給されるエアAの吹出速度と同等の吹出速度のエアAを供給した場合、床部6に滞留する滞留粉塵を舞い上げてしまい、清浄度を低下させる原因となることが懸念される。この場合、低清浄度エリアLPに要求される程度の清浄度に維持することはできるが、高清浄度エリアHPに要求される程度の清浄度に維持することは困難となる。
In the high cleanliness area HP, the required cleanliness is higher than in the low cleanliness area LP. For this reason, when air A having a blowing speed equivalent to the blowing speed of air A supplied from the
この点、本実施形態に係るクリーンルームRでは、高清浄度エリアHPに設けられた高清浄度エリア用FFU12からは、通常の吹出速度のエアAが供給されている。通常の吹出速度のエアAが供給される場合には、床部6に滞留する滞留粉塵については、床部6から舞い上げることなく、そのまま床部6に滞留した状態となる。この結果、高清浄度エリアHPに要求される高い清浄度を維持することができる。
In this regard, in the clean room R according to the present embodiment, air A having a normal blowing speed is supplied from the high
さらに、高清浄度エリアHPに供給されるエアは、高清浄度エリアHP内において舞い上がることなく、そのまま床部6伝って低清浄度エリアLPに流出することが多くなる。このため、高清浄度エリアHPの床部6に滞留する滞留粉塵を低清浄度エリアLPに移動させる効果を期待することもできる。
Further, the air supplied to the high cleanliness area HP often flows out to the low cleanliness area LP through the
また、本実施形態に係るクリーンルームRにおいては、低清浄度エリアLPにおいて、低発熱機器用FFU13からは、通常の吹出速度よりも遅い吹出速度のエアAが供給されており、低発熱機器3やコンベア4よりも上方において低発熱機器用FFU13から供給されたエアAが循環している。このため、上昇気流を利用しにくい低発熱機器3近傍については、床部から舞い上がないようにすることができる。しかも、空中に浮遊する粉塵については、低発熱機器用FFU13から供給されたエアAの流れによって好適にクリーンルームから排出することができる。この結果、低発熱機器3やコンベア4よりも上方の粉塵の量を増加させることなく、効率よく排出することができる。
Further, in the clean room R according to the present embodiment, in the low cleanliness area LP, the air A having a blowing speed slower than the normal blowing speed is supplied from the
さらに、本実施形態に係るクリーンルームRにおいては、床部6に開口部が形成されていない閉塞板によって形成されている。このため、クリーンルームR内に供給されたエアAは、クリーンルームRの天井に形成された開口から排出されるので、床下にエアAの流通領域を形成する必要がない。したがって、床下スペースを削減することができ、クリーンルームRの建物高さを縮減することができる。
Furthermore, in the clean room R according to the present embodiment, the
また、本実施形態に係るクリーンルームRにおいては、高清浄度エリアHPがアイリッド5で囲まれている。アイリッド5がパスラインPLよりも低い位置まで延在していると、コンベア4に搭載された加工品等とアイリッド5とが干渉してしまい、粉塵を生じさせたり、加工品等に悪影響を与えたりすることとなる。この点、アイリッド5は、その長さが短く、パスラインPLの高さまでだけ延在している。このため、コンベア4に搭載された加工品等とアイリッド5とが干渉を防止することができる。
In the clean room R according to the present embodiment, the high cleanliness area HP is surrounded by the
また、アイリッド5を短くすると、高清浄度エリアHPに対する粉塵の侵入などが懸念される。特に、粉塵の侵入は、コンベア4などを介して行われることが多い。この点、高清浄度エリアHPにおけるコンベア4の進入・退出領域にエアカーテンを形成するエアカーテン気流生成用FFU14が設けられている。エアカーテン気流生成用FFU14によってエアカーテンを形成することにより、高清浄度エリアHPへの粉塵の侵入を防止することができる。
Further, if the
次に、本実施形態に係るクリーンルームにおける高発熱機器用FFUの制御手順について説明する。図5は、制御装置における高発熱機器用FFUの制御手順を示すフローチャートである。 Next, the control procedure of the FFU for high heat generating equipment in the clean room according to the present embodiment will be described. FIG. 5 is a flowchart showing the control procedure of the FFU for high heat-generating equipment in the control device.
図5に示すように、本実施形態に係るクリーンルームRにおける制御装置20では、まず、高発熱機器スイッチセンサ30から送信されるON−OFF信号を確認し、高発熱機器が稼動中であるか否かを判断する(S1)。その結果、高発熱機器1が稼動中であると判断した場合には、続いて高発熱機器用FFU11が低出力稼動となっているか否かを判断する(S2)。
As shown in FIG. 5, in the
ここで、高発熱機器用FFU11が低出力稼動となっていないと判断した場合には、そのままステップS1に戻る。一方、高発熱機器用FFU11が低出力稼動となっていると判断した場合には高発熱機器用FFU11を高出力稼動にして(S3)、ステップS1に戻る。
Here, when it is determined that the
また、ステップS1において、高発熱機器1が稼動中でないと判断した場合には、高発熱機器用FFU11が高出力稼動となっているか否かを判断する(S4)。その結果、高発熱機器用FFU11が高出力稼動となっている場合には、高発熱機器用FFU11を低出力稼動にして(S5)、ステップS1に戻る。一方、高発熱機器用FFU11が高出力稼動となっていない場合には、そのままステップS1に戻る。このようにして、制御装置20における制御が行われる。
If it is determined in step S1 that the high heat generating device 1 is not in operation, it is determined whether the high heat
高発熱機器1であっても、高発熱状態となっていないことがあり、高発熱状態となっていないときには、上昇気流はあまり発生しない。このため、高発熱機器1が高発熱状態でないときに、高発熱機器用FFU11を高出力稼動とすると、高発熱機器1から生じる粉塵を舞い上げて、粉塵を空中に浮遊させてしまい、清浄度を低下させる原因となることが考えられる。
Even the high heat-generating device 1 may not be in a high heat generation state, and when it is not in a high heat generation state, an updraft is not generated much. For this reason, when the high heat generating device 1 is not in a high heat generating state and the high heat
この点、本実施形態に係る制御装置20においては、高発熱機器1が稼動中であるときに、高発熱状態であると判断し、高発熱機器用FFU11を高出力稼動とする。このため、高発熱機器1が稼動中であり、上昇気流が生じ易い状態であるときには、床部6からの吹き返しエアAが天井7に到達する吹出速度に制御されるので、床部から滞留粉塵を舞い上げたとしても、上昇気流によって効率よく天井における高発熱機器用FFU11まで粉塵を舞い上げることができる。したがって、空気中に舞い上げられた粉塵までも高発熱機器用FFU11によって効率よく捕捉し、クリーンルームRから排出することができる。
In this regard, in the
一方、高発熱機器1が稼動中でないときには、高発熱機器1は低発熱状態であると判断し、高発熱機器用FFU11を低出力稼動とする。このため、高発熱機器1から生じる粉塵を舞い上げてしまい、粉塵を空中に浮遊させてしまうことを防止することができる。よって、清浄度の低下を防止することができる。また、高発熱機器1の発熱状態を高発熱機器1のON−OFFで判断するので、発熱状態を簡易に判断することができる。
On the other hand, when the high heat generating device 1 is not in operation, it is determined that the high heat generating device 1 is in a low heat generating state, and the high heat
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。たとえば、上記実施形態では、高清浄度エリアHPに隣接する形で低清浄度エリアにおける高発熱機器1が配設されているが、高清浄度エリアHPを挟む形で低清浄度エリアにおける高発熱機器が配設されている態様とすることもできる。あるいは、高清浄度エリアから離れて高発熱機器が配設されている態様とすることもできる。 The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, the high heat generating device 1 in the low cleanliness area is disposed adjacent to the high cleanliness area HP, but the high heat generation in the low cleanliness area is sandwiched between the high cleanliness areas HP. It can also be set as the aspect by which the apparatus is arrange | positioned. Or it can also be set as the aspect by which the high heat generation apparatus is arrange | positioned away from the high cleanliness area.
また、上記実施形態では、高発熱機器1のON−OFFに基づいて高発熱状態を検知しているが、高発熱機器1における所定の位置の温度を検出したり、高発熱機器1の周辺における空気の温度を計測したりして高発熱機器1の高発熱状態を検知することもできる。さらに、上記実施形態では、FFU11〜14として、同性能のFFUが用いられているが、取り付け位置に応じた性能のFFUを設ける態様とすることができる。 Moreover, in the said embodiment, although the high heat generation state is detected based on ON-OFF of the high heat generation apparatus 1, the temperature of the predetermined position in the high heat generation apparatus 1 is detected, or in the periphery of the high heat generation apparatus 1 It is also possible to detect the high heat generation state of the high heat generating device 1 by measuring the temperature of the air. Furthermore, in the said embodiment, although FFU of the same performance is used as FFU11-14, it can be set as the aspect which provides FFU of the performance according to an attachment position.
また、上記実施形態では、低発熱機器用FFU13からは、通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部6まで到達しない程度の吹出速度されているが、その他の吹出速度とすることもでき、たとえば、通常の吹出速度とすることもできる。あるいは、低清浄度エリアLPにおける高発熱機器1が設けられていないエリアをさらに機器が配置された機器配置エリアと機器が配置されていない床面エリアとに分けて、機器配置エリアには通常の吹出速度よりも遅く、供給されたエアが床部6まで到達しない程度の吹出速度のエアを供給し、床面エリアには通常の吹出速度のエアを供給する態様とすることもできる。
Moreover, in the said embodiment, from the FFU13 for low heat generation apparatuses, the blowing speed is slower than a normal blowing speed and the supplied air does not reach the
1…高発熱機器
2…高清浄度エリア設置機器
3…低発熱機器
4…コンベア
5…アイリッド
6…床部
7…天井
11…高発熱機器用FFU
12…高清浄度エリア用FFU
13…低発熱機器用FFU
14…エアカーテン気流生成用FFU
15…ドライコイル
20…制御装置
30…高発熱機器スイッチセンサ
HP…高清浄度エリア
LP…低清浄度エリア
R…クリーンルーム
PL…パスライン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... High
12 ... FFU for high cleanliness area
13 ... FFU for low heat generation equipment
14 ... FFU for air curtain airflow generation
15 ...
Claims (8)
低清浄度エリアと、前記低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、前記低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、
前記高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアが前記エア供給装置から供給され、
前記低清浄度エリアにおける前記高発熱機器が配置されている位置には、前記高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度のエアが前記エア供給装置から供給されることを特徴とするクリーンルーム。 A clean room provided with an air supply device that supplies air from the ceiling toward the floor, and a filter member that removes generated dust on the ceiling,
A low cleanliness area and a high cleanliness area that requires a higher cleanliness than the low cleanliness area, and a high heat generating device is disposed in the low cleanliness area,
In the high cleanliness area, air at a normal blowing speed is supplied from the air supply device,
In the low cleanliness area, air at a blowing speed that promotes an upward air flow accompanying heat generated from the high heat generating device is supplied from the air supply device at a position where the high heat generating device is disposed. And a clean room.
前記高清浄度エリアと前記低清浄度エリアとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段が設けられている請求項1に記載のクリーンルーム。 An eyelid is provided between the high cleanliness area and the low cleanliness area, and the eyelid extends to a position above the pass line,
The clean room according to claim 1, wherein an air curtain forming means for forming an air curtain between the high cleanliness area and the low cleanliness area is provided.
前記高発熱機器における高発熱状態を検知する高発熱状態検知手段と、を備え、
前記吹出速度制御手段は、前記高発熱状態検知手段が検知した前記高発熱機器の高発熱状態に応じて前記エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を制御する請求項1または請求項2に記載のクリーンルーム。 A blow speed control means for controlling a blow speed of air supplied from the air supply device to a position where a high heat generating device is arranged in the low cleanliness area,
A high heat generation state detecting means for detecting a high heat generation state in the high heat generation device,
The blow-out speed control means controls the blow-out speed of air supplied from the air supply device according to a high heat generation state of the high heat generation device detected by the high heat generation state detection means. The listed clean room.
前記高発熱機器がONであるときに、前記高発熱機器が高発熱状態であることを検知する請求項3に記載のクリーンルーム。 The high heat generation state detection means is an ON-OFF state detection means for detecting an ON-OFF state of the high heat generation device,
The clean room according to claim 3, wherein when the high heat generating device is ON, it is detected that the high heat generating device is in a high heat generating state.
前記高発熱機器が非高熱状態のときに、前記エア供給装置から供給されるエアの吹出速度を通常の吹出速度よりも遅い吹出速度に制御する請求項3または請求項4に記載のクリーンルーム。 The blowing speed control means is configured to increase the blowing speed of the air supplied from the air supply device when the high heat generating device is in a high heat generating state, and to promote the rising air flow accompanying the heat generated from the high heat generating device. Control to
5. The clean room according to claim 3, wherein when the high heat generating device is in a non-high heat state, the blow speed of air supplied from the air supply device is controlled to a blow speed that is slower than a normal blow speed.
前記クリーンルームは、低清浄度エリアと、前記低清浄度エリアよりも高い清浄度が要求される高清浄度エリアと、を備え、前記低清浄度エリアに高発熱機器が配置されており、
前記高清浄度エリアには、通常の吹出速度のエアを前記エア供給装置から供給し、
前記低清浄度エリアにおける前記高発熱機器が配置されている位置には、前記高発熱機器から発生する熱に伴う上昇気流を促進する吹出速度のエアを前記エア供給装置から供給することを特徴とするクリーンルームにおけるエア供給装置の制御方法。 A control method for an air supply device in a clean room, comprising an air supply device for supplying air from the ceiling toward the floor, and controlling the air supply device in a clean room provided with a filter member for removing generated dust on the ceiling Because
The clean room includes a low cleanliness area and a high cleanliness area that requires a higher cleanliness than the low cleanliness area, and a high heat generating device is disposed in the low cleanliness area,
In the high cleanliness area, air at a normal blowing speed is supplied from the air supply device,
In the low cleanliness area, the air supply device supplies air at a blowing speed that promotes an updraft accompanying heat generated from the high heat generating device at a position where the high heat generating device is disposed. Control method for air supply device in clean room.
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