JP2011249550A - 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面側の受光センサと裏面側のマイクロレンズおよびカラーフィルタとのアライメント精度をより上げる。
【解決手段】裏面照射タイプにおいて、受光センサ4に対するアライメントマークと同一のアライメントマークを基準として基板表面に位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)形成する。裏面加工時に、素子分離膜7の表面上まで開口された開口部3Aを通して透明な素子分離膜7下の位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)をよりはっきりと確認しつつ、位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)に基づいて、基板表面側フォトダイオードである受光センサ4に対して基板裏面側のマイクロレンズ6およびその下のカラーフィルタ5をアライメント精度をより上げて形成することができる。
【選択図】図1
【解決手段】裏面照射タイプにおいて、受光センサ4に対するアライメントマークと同一のアライメントマークを基準として基板表面に位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)形成する。裏面加工時に、素子分離膜7の表面上まで開口された開口部3Aを通して透明な素子分離膜7下の位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)をよりはっきりと確認しつつ、位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)に基づいて、基板表面側フォトダイオードである受光センサ4に対して基板裏面側のマイクロレンズ6およびその下のカラーフィルタ5をアライメント精度をより上げて形成することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、被写体からの画像光を光電変換して撮像する半導体素子で構成された固体撮像素子およびその製造方法、この固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、テレビジョン電話装置、カメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器に関する。
この種の従来の裏面照射型固体撮像素子では、表面加工時にシリコン層にアライメントマークとしてのトレンチを形成し、その中へ酸化膜の埋め込みを行っている。これを表面側と裏面側とのアライメントマークとして、裏面加工時に利用している。
図4は、特許文献1に開示されている従来の裏面照射型固体撮像素子の要部構成例を示す縦断面図である。
図4に示すように、従来の裏面照射型の固体撮像素子100の中央側の撮像領域101Aには、2次元状に複数の受光センサ101が形成されたシリコン層102の裏面側(上側)に平坦化膜103が形成され、その上に、カラーフィルタ104さらにマイクロレンズ105が各受光センサ101にそれぞれ位置合わせして設けられている。撮像領域101Aの周辺のシリコン層102にレンチ(溝)が形成され、このレンチ(溝)内に絶縁層106,107が埋め込まれて形成されている。さらに、パッド部の電極層108と表面側の配線層109とを接続するコンタクト層110の周囲に絶縁層107が埋め込まれている。
また、前述したように、撮像領域101Aの周辺側のパッド部において、シリコン層102にそれぞれレンチ(溝)を形成し、それぞれのレンチ(溝)内に絶縁層106,107を埋め込み、レンチ(溝)内に埋め込まれた絶縁層107内に導電材料を埋め込んでコンタクト層110とし、これを介してパッド部の配線層109に接続している。撮像領域101Aの周辺のレンチ(溝)内に埋め込まれた絶縁層106を位置合わせ用マークとして、シリコン層102の裏面側に各受光センサ101にそれぞれ対応させてカラーフィルタ104さらにマイクロレンズ105を形成する。
一方、シリコン層102の表面側には、層間絶縁膜111を介して第1層目の配線層112が形成され、その上に層間絶縁膜111を介して第2層目の配線層112が形成され、さらに、その上に層間絶縁膜111を介して第3層目の配線層112が形成され、その上を層間絶縁膜111で平坦化されている。平坦化された層間絶縁膜111の上に接着層113、114を介して支持基板115が形成されている。
上記従来の裏面照射型固体撮像素子100は、前述したように、シリコン基板の表面側に、層間絶縁膜111を介して第1〜第3の配線層112が積層され、さらに、その上に接着層113、114を介して支持基板115が形成された後に、シリコン基板の裏面側を研磨して薄板化してシリコン層102とし、その上に、受光センサ101に対して平坦化膜を介してカラーフィルタ104さらにマイクロレンズ105を形成している。ところが、上記従来の裏面照射型の固体撮像素子100では、その表面加工時の熱処理や研磨時のストレスなどの影響により、レンチ(溝)内の絶縁層106の位置合わせ用マークが変形して読めなくなる場合があった。
本発明は、上記従来の問題を解決するもので、裏面光照射タイプにおいて、基板表面に形成した位置合わせ用マークを裏面加工時にアライメントマークとして利用することにより、表面側の受光センサと裏面側のマイクロレンズおよびカラーフィルタとのアライメント精度をより上げることができる固体撮像素子およびその製造方法、この固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器を提供することを目的とする。
本発明の固体撮像素子は、半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサと、該受光センサの形成時に用いた第1アライメントマークまたは該第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマークとが形成され、該半導体基板の裏面側に、該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークを用いて、該複数の受光センサのそれぞれに対応するようにカラーフィルタおよびその上のマイクロレンズが形成された裏面光照射用の固体撮像素子において、該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークの上方の半導体基板材料の一部または全部がエッチング除去されてマーク確認用の開口部が形成されているものであり、そのことにより上記目的が達成される。
また、好ましくは、本発明の固体撮像素子における半導体基板の表面側において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜がその境界部に設けられ、前記第2アライメントマークは該素子分離膜の上方位置に設けられ、該半導体基板の裏面側において、該第2アライメントマークを含む平面視領域で該素子分離膜上の半導体層がエッチング除去されて前記開口部が形成されている。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子における半導体基板の表面側において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜がその境界部に設けられ、前記第2アライメントマークは該素子分離膜の上方位置に設けられ、該半導体基板の裏面側において、該第2アライメントマークを含む所定の平面視領域で該素子分離膜上の半導体層および該素子分離膜の一部または全部がエッチング除去されて前記開口部が形成されている。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子において、前記第1アライメントマークの材料または前記第2アライメントマークの材料はポリシリコン材料またはメタル材料である。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子において、前記第1アライメントマークの形状または前記第2アライメントマークの形状は矩形状または十字形状である。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子において、前記第1アライメントマークまたは前記第2アライメントマークの位置は、撮像領域内のスクライブラインに沿って配置されている。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子において、前記第1アライメントマークまたは/および前記第2アライメントマークの位置は、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する境界部に配置されているかまたは/および、該撮像領域内のスクライブラインに沿って配置されている。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子における半導体基板の表面側に形成した前記第1アライメントマークまたは前記第2アライメントマークを裏面加工時のアライメントマークとして利用する。
本発明の固体撮像素子の製造方法は、半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサと、該受光センサの形成時に用いた第1アライメントマークまたは該第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマークとを形成する受光センサおよびマーク形成工程と、該半導体基板の裏面側に、該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークを用いて、該複数の受光センサのそれぞれに対応するようにカラーフィルタおよびその上のマイクロレンズを形成するフィルタおよびレンズ形成工程とを有する裏面光照射用の固体撮像素子の製造方法において、該フィルタおよびレンズ形成工程の前に、該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークの上方の半導体基板材料の一部または全部をエッチング除去してマーク確認用の開口部を形成する開口部形成工程が設けられているものであり、そのことにより上記目的が達成される。
また、好ましくは、本発明の固体撮像素子の製造方法において、前記受光センサおよびマーク形成工程において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜をその境界部に形成し、前記第2アライメントマークを該素子分離膜の上方位置に形成し、前記開口部形成工程は、該第2アライメントマークを含む平面視領域で該素子分離膜上の半導体層を、前記半導体基板の裏面側からエッチング除去して前記開口部を形成する。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子の製造方法において、前記受光センサおよびマーク形成工程において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜をその境界部に形成し、前記第2アライメントマークを該素子分離膜の上方位置に形成し、前記開口部形成工程は、該第2アライメントマークを含む平面視領域で該素子分離膜上の半導体層および該素子分離膜の一部または全部を、前記半導体基板の裏面側からエッチング除去して前記開口部を形成する。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子の製造方法における複数の受光センサおよび前記第1アライメントマーク、前記第2アライメントマーク上に、層間絶縁膜および配線層を複数層績層した後に支持基板を固定する支持基板固定工程を有する。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子の製造方法における支持基板固定工程の後に、前記半導体基板の裏面側を研磨して薄板化した後に前記フィルタおよびレンズ形成工程を行う。
さらに、好ましくは、本発明の固体撮像素子の製造方法において、赤外光で前記第2アライメントマークを読み取った後に、前記開口部形成工程を実行して表面マーク認識用に半導体層を窓開けして、その窓開け部分に配置した酸化膜上の該第2アライメントマークを読み取って前記フィルタおよびレンズ形成工程を実行する。
本発明の電子情報機器は、本発明の上記固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いたものであり、そのことにより上記目的が達成される。
上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。
本発明においては、半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサと、受光センサの形成時に用いた第1アライメントマークまたは第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマークとが形成され、半導体基板の裏面側に、第1アライメントマークまたは第2アライメントマークを用いて、複数の受光センサのそれぞれに対応するようにカラーフィルタおよびその上のマイクロレンズが形成された裏面光照射用の固体撮像素子において、第1アライメントマークまたは第2アライメントマークの上方の半導体基板材料の一部または全部がエッチング除去されてマーク確認用の開口部が形成されている。この場合の固体撮像素子の製造方法としては、半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサと、受光センサの形成時に用いた第1アライメントマークまたは第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマークとを形成する受光センサおよびマーク形成工程と、半導体基板の裏面側に、第1アライメントマークまたは第2アライメントマークを用いて、複数の受光センサのそれぞれに対応するようにカラーフィルタおよびその上のマイクロレンズを形成するフィルタおよびレンズ形成工程とを有する裏面光照射用の固体撮像素子の製造方法において、フィルタおよびレンズ形成工程の前に、第1アライメントマークまたは第2アライメントマークの上方の半導体基板材料を一部または全部エッチング除去してマーク確認用の開口部を形成する開口部形成工程が設けられている。
これによって、裏面光照射タイプにおいて、受光センサを形成した第1アライメントマークまたは第1アライメントマークから形成された第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)を、裏面加工時に、素子分離膜7の表面上まで開口された開口部または素子分離膜7をも貫通した開口部を通して位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)の位置をよりはっきりと確認することができて、このように、基板表面に形成した位置合わせ用マークを裏面加工時にアライメントマークとして利用することにより、表面側の受光センサと裏面側のマイクロレンズおよびカラーフィルタとのアライメント精度をより上げることが可能となる。
以上により、本発明によれば、裏面光照射タイプにおいて、基板表面に形成した位置合わせ用マーク(第1アライメントマークから形成された第2アライメントマーク)を裏面加工時にアライメントマークとして利用することにより、表面側の受光センサと裏面側のマイクロレンズおよびカラーフィルタとのアライメント精度をより高精度に上げることができる。
以下に、本発明の固体撮像素子およびその製造方法の実施形態1,2および、この固体撮像素子の実施形態1または2を画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばカメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器の実施形態3について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図における構成部材のそれぞれの厚みや長さなどは図面作成上の観点から、図示する構成に限定されるものではない。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1における固体撮像素子の要部構成例を示す縦断面図である。
図1は、本発明の実施形態1における固体撮像素子の要部構成例を示す縦断面図である。
図1において、本実施形態1の固体撮像素子1は、半導体チップ中央部の撮像領域2において、半導体基板としてのシリコン基板3の表面側に、被写体からの入射光を画素毎に光電変換して撮像するマトリクス状の複数の受光センサ4(フォトダイオード)が形成されている。シリコン基板3の裏面側には、図示しない平坦化膜を介してカラーフィルタ5さらにマイクロレンズ6が各受光センサ4の位置にそれぞれ対応して設けられている。
この撮像領域2の周辺部には、撮像領域2とその周辺部を分離するための素子分離膜7が設けられ、素子分離膜7上のシリコン層3は、後述する位置合わせ用マークを確認するために、シリコン基板3の裏面側からエッチングで取り除かれて開口部3Aを形成している。
シリコン基板3の表面側には、絶縁層8を介して所定形状のポリシリコン層9が位置合わせ用マークとして素子分離膜7の下側に形成されている。このポリシリコン層9上を平坦化する層間絶縁膜10が設けられている。さらに、その層間絶縁膜10上に第1層目の配線層11が設けられている。この第1層目の配線層11上を平坦化する層間絶縁膜12が設けられ、その上に第2層目の配線層13が設けられている。この第2層目の配線層13上を平坦化する層間絶縁膜14が設けられ、その上に第3層目の配線層15が設けられている。この第3層目の配線層15上を平坦化する層間絶縁膜16が設けられ、その上に支持基板17が形成されている。これらの配線層11、13および15により多層のMR配線18が構成されている。
上記構成の固体撮像素子1の製造方法について説明する。
まず、シリコン基板3の表面側の撮像領域2に、行列方向にマトリクス状に配列された受光センサ4(フォトダイオード)を形成し、その周辺部側に素子分離膜7や周辺駆動回路などの各種回路を形成する。
次に、その周辺部の広い素子分離膜7上に絶縁膜8を介して所定形状のポリシリコン層9で位置合わせ用マークを形成する。この所定形状のポリシリコン層9は、受光センサ4(フォトダイオード)を形成した時のアライメントマークに基づいて形成されているため、所定形状のポリシリコン層9の位置合わせ用マークは、受光センサ4(フォトダイオード)に対して正確な位置に形成することができる。
続いて、所定形状のポリシリコン層9の表面側に、層間絶縁膜10を介して第1層目の配線層11を形成し、その上に層間絶縁膜12を介して第2層目の配線層13を形成し、その上に層間絶縁膜14を介して第3層目の配線層15を形成し、さらにその上に層間絶縁膜16を形成して、図示しない接着層を介して支持基板17を形成する。必要に応じて、上下の配線層間や、各種回路を構成するトランジスタのゲート、ソースおよびドレイン領域と配線層間を電気的に接続するコンタクトを層間絶縁膜に形成する。
その後、シリコン基板3の裏面側を研磨して薄板化し、この位置合わせ用マーク下の素子分離膜7を裏面側からエッチングストッパとしてシリコン基板3に窓(開口部3A)を開ける。この開口部3Aのサイズおよび位置は、精度が要求されず、撮像領域2の周辺部(例えばダイシングラインや素子分離膜7)の上記位置合わせ用マークを内部に包含すればよい。開口部3Aの形成は、赤外カメラにより基板表面側の位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)を目印に、シリコン基板3の窓開けを実施して、素子分離膜7上に基板裏面側から開口部3Aを形成する。
さらに、窓開けして露出した素子分離膜7下の位置合わせ用マークをはっきり映し出してアライメントを取りつつ、ステッパによりフォトリソ工程でアライメント精度が要求されるカラーフィルタ5やその上のマイクロレンズ6を受光センサ4(フォトダイオード)に対して正確な位置に形成する。要するに、窓開けされた部分のポリシリコン層8の位置合わせ用マークを用いて受光センサ4(フォトダイオード)に対してカラーフィルタ5およびその上のマイクロレンズ6のアライメントを実施する。
即ち、本実施形態1の固体撮像素子1の製造方法は、裏面加工用に、精度をあまり要求されない撮像領域2の周辺部分に、赤外光で表面の位置合わせ用マーク(アライメントマーク)を読み取り、表面マーク認識用にシリコン基板3を窓開けして、その窓開け部分に露出した素子分離膜7の酸化膜上に配置した所定形状のポリシリコン層9を読み取って、精度の高い、シリコン基板3の表面と裏面のアライメントを取る構造とする。
以上により、本実施形態1によれば、裏面光照射タイプにおいて、受光センサ4を形成したアライメントマークと同一のアライメントマーク(第1アライメントマーク)を基準として基板表面に形成した位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9;第2アライメントマーク)を、裏面加工時に、素子分離膜7の表面上まで開口された開口部3Aを通して透明な素子分離膜7下の位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)をよりはっきりと確認しつつ、位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)に基づいて、基板表面側フォトダイオードである受光センサ4に対して基板裏面側のマイクロレンズ6およびその下のカラーフィルタ5をアライメント精度をより上げて形成することができる。要するに、従来では、深いトレンチを形成するため、研磨ストレスや、熱処理でパターンが破損する危険性があったが、本実施形態1では、トレンチを使用しないため、破損はなく、且つ、精度の高いアライメントを行うことができる。
(実施形態2)
上記実施形態1では、素子分離膜7の表面上まで開口された開口部3Aを用いて透明な素子分離膜7下の位置合わせ用マークを確認する構成としたが、本実施形態2では、素子分離膜7の表面上まで開口した後に、さらに素子分離膜7をも貫通して開口部を形成して位置合わせ用マークを直に(透明な素子分離膜7を通さずに)確認する場合について説明する。
上記実施形態1では、素子分離膜7の表面上まで開口された開口部3Aを用いて透明な素子分離膜7下の位置合わせ用マークを確認する構成としたが、本実施形態2では、素子分離膜7の表面上まで開口した後に、さらに素子分離膜7をも貫通して開口部を形成して位置合わせ用マークを直に(透明な素子分離膜7を通さずに)確認する場合について説明する。
図2は、本発明の実施形態2における固体撮像素子の要部構成例を示す縦断面図である。なお、図1の構成部材と作用効果が同一の構成部材には同一の部材番号を付してその説明を省略する。
図2において、本実施形態2の固体撮像素子1Aは、半導体チップ中央部の撮像領域2において、半導体基板としてのシリコン基板3の表面側に、被写体からの入射光を画素毎に光電変換して撮像するマトリクス状の複数の受光センサ4(フォトダイオード)が形成されている。シリコン基板3の裏面側には、図示しない平坦化膜を介してカラーフィルタ5さらにマイクロレンズ6が各受光センサ4の位置にそれぞれ対応して設けられている。
この撮像領域2の周辺部には、撮像領域2とその周辺部を分離するための素子分離膜7が設けられている。また、シリコン基板3の表面側には、絶縁層8を介して所定形状のポリシリコン層9が位置合わせ用マークとして、取り除かれる前の素子分離膜7の下側に形成されている。
後述する位置合わせ用マークの確認をより正確にするために、素子分離膜7上のシリコン層3は素子分離膜7が離出するまで、シリコン基板3の裏面側からエッチングで取り除かれた後に、素子分離膜7をも貫通するようにエッチングで取り除かれて開口部3Bを形成している。
上記構成の固体撮像素子1の製造方法について簡説明する。
まず、アライメントマークに基づいて撮像領域2に複数の受光センサ4(フォトダイオード)およびその周辺部側に素子分離膜7を形成する。
次に、同じアライメントマークに基づいて、その周辺部の広い素子分離膜7上に絶縁膜8を介して所定形状のポリシリコン層9で位置合わせ用マークを形成する。
続いて、所定形状のポリシリコン層9の表面側に、層間絶縁膜および配線層を複数層績層した後に支持基板17を形成する。
その後、シリコン基板3の裏面側を研磨して薄板化し、この位置合わせ用マーク下の素子分離膜7を裏面側からエッチングストッパとして素子分離膜7の表面が露出するまでシリコン基板3に窓を開けた後に、素子分離膜7をも貫通するようにエッチング除去して開口部3Bを形成する。
さらに、窓開けした開口部3Bから位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)をより正確にアライメントを取りつつ、ステッパによりフォトリソ工程でアライメント精度が要求されるカラーフィルタ5やその上のマイクロレンズ6を受光センサ4(フォトダイオード)に対して正確な位置に形成する。
以上により、本実施形態2によれば、素子分離膜7の表面上まで開口した後に、さらに素子分離膜7をも貫通して開口部を形成して位置合わせ用マークを透明な素子分離膜7を通さずに直に確認するようにしたため、位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)を、裏面加工時にアライメントマークとして利用する際に、位置合わせ用マーク(所定形状のポリシリコン層9)をよりはっきりと確認することができて、基板表面側フォトダイオードである受光センサ4と基板裏面側のマイクロレンズ6およびその下のカラーフィルタ5との各受光センサ4に対するアライメント精度をより上げることができる。要するに、従来では、深いトレンチを形成するため、研磨ストレスや、熱処理でパターンが破損する危険性があったが、本実施形態1では、トレンチを使用しないため、破損はなく、且つ、より精度の高いアライメントを行うことができる。
なお、上記実施形態2では、素子分離膜7の表面上まで開口した後に、さらに素子分離膜7をも貫通して開口部を形成して位置合わせ用マークを透明な素子分離膜7を通さずに確認する場合について説明したが、これに限らず、素子分離膜7の厚さの半分だけエッチング除去してもよい。要するに、素子分離膜7の厚さの途中までエッチング除去してもよく、素子分離膜7を介在させない分だけ、位置合わせ用マークをより明確に確認することができる。
なお、上記実施形態1、2では、位置合わせ用マーク(アライメントマーク)を所定形状(例えば十字形状または矩形状など)のポリシリコン層8で構成したが、これに限らず、光を反射させるアルミニュウムなどからなるメタル層のアライメントマークとすることもできる。
また、上記実施形態1、2では、シリコン基板3の表面において、位置合わせ用マーク(アライメントマーク)を構成する所定形状のポリシリコン層9を素子分離膜7上に形成したが、これに限らず、素子分離膜7上ではなく、別途、別の位置に、基板表面側からストッパー用酸化膜を加工形成し、その上に所定形状のポリシリコン層9を形成してもよい。例えば、位置合わせ用マーク(アライメントマーク)の位置は、素子分離膜7上に限らず、撮像領域2内のスクライブラインに沿って配置(例えばライン交差部に十字形状にアライメントマークを形成)されていてもよい。
要するに、受光センサ4の形成時に用いた第1アライメントマークまたは第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)とが形成され、第1アライメントマークまたは第2アライメントマークの位置は、複数の受光センサ4が設けられた撮像領域2とその周辺部とを分離する境界部に配置されているかまたは/および、撮像領域2内の複数のスクライブラインの一部に沿って配置されていてもよい。
また、第1アライメントマークや第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)がストッパー用酸化膜を介して半導体基板材料(シリコン層3)が基板裏面側から一部または全部がエッチング除去されてマーク確認用の開口部が形成されていてもよい。この場合にも、素子分離膜7上に第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)が形成されないが、本発明の目的を達成することができる。
(実施形態3)
図3は、本発明の実施形態3として、本発明の実施形態1、2の固体撮像素子1または1Aを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
図3は、本発明の実施形態3として、本発明の実施形態1、2の固体撮像素子1または1Aを撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。
図3において、本実施形態3の電子情報機器90は、上記実施形態1または2の固体撮像素子1または1Aからの撮像信号を所定信号処理をした後にカラー画像信号を得る固体撮像装置91と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を記録用に所定の信号処理した後にデータ記録可能とする記録メディアなどのメモリ部92と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示可能とする液晶表示装置などの表示部93と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を通信用に所定の信号処理をした後に通信処理可能とする送受信装置などの通信部94と、この固体撮像装置91からのカラー画像信号を印刷用に所定の印刷信号処理をした後に印刷処理可能とするプリンタなどの画像出力部95とを有している。なお、この電子情報機器90として、これに限らず、固体撮像装置91の他に、メモリ部92と、表示部93と、通信部94と、プリンタなどの画像出力部95とのうちの少なくともいずれかを有していてもよい。
この電子情報機器90としては、前述したように例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラ、ドアホンカメラ、車載用後方監視カメラなどの車載用カメラおよびテレビジョン電話用カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、カメラ付き携帯電話装置および携帯端末装置(PDA)などの画像入力デバイスを有した電子機器が考えられる。
したがって、本実施形態3によれば、この固体撮像装置91からのカラー画像信号に基づいて、これを表示画面上に良好に表示したり、これを紙面にて画像出力部95により良好にプリントアウト(印刷)したり、これを通信データとして有線または無線にて良好に通信したり、これをメモリ部92に所定のデータ圧縮処理を行って良好に記憶したり、各種データ処理を良好に行うことができる。
なお、本実施形態1、2では、特に詳細には説明しなかったが、半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサ4と、受光センサ4の形成時に用いた第1アライメントマークまたは第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)とが形成され、半導体基板の裏面側に、第1アライメントマークまたは第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)を用いて、複数の受光センサ4のそれぞれに対応するようにカラーフィルタ5およびその上のマイクロレンズ6が形成された裏面光照射用の固体撮像素子1または1Aにおいて、第1アライメントマークまたは第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)の上方の半導体基板材料(シリコン層3)の一部または全部がエッチング除去されてマーク確認用の開口部が形成されていてもよい。この場合であっても、半導体基板材料(シリコン層3)を少しでも介在しない方が第1アライメントマークまたは第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)がはっきり見えて精度が良くなる。要するに、基板表面に形成した位置合わせ用マークを裏面加工時にアライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)として利用することにより、表面側の受光センサ4と裏面側のマイクロレンズ6およびカラーフィルタ5とのアライメント精度をより上げることができる本発明の目的を達成することができる。この場合の固体撮像素子の製造方法としては、半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサ4と、受光センサ4の形成時に用いた第1アライメントマークまたは第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)とを形成する受光センサおよびマーク形成工程と、半導体基板の裏面側に、第1アライメントマークまたは第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)を用いて、複数の受光センサ4のそれぞれに対応するようにカラーフィルタ5およびその上のマイクロレンズ6を形成するフィルタおよびレンズ形成工程とを有している固体撮像素子の製造方法において、フィルタおよびレンズ形成工程の前に、第1アライメントマークまたは第2アライメントマーク(所定形状のポリシリコン層9)の上方の半導体基板材料(シリコン層3)を一部または全部をエッチング除去してマーク確認用の開口部を形成する開口部形成工程が設けられていてもよい。
以上のように、本発明の好ましい実施形態1〜3を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態1〜3に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態1〜3の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
本発明は、被写体からの画像光を光電変換して撮像する半導体素子で構成された固体撮像素子およびその製造方法、この固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた例えばデジタルビデオカメラおよびデジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、監視カメラなどの画像入力カメラ、スキャナ装置、ファクシミリ装置、テレビジョン電話装置、カメラ付き携帯電話装置などの電子情報機器の分野において、裏面光照射タイプにおいて、基板表面に形成した位置合わせ用マークを裏面加工時にアライメントマークとして利用することにより、表面側フォトダイオードと裏面側レンズおよびカラーフィルタとのアライメント精度をより上げることができる。
1、1A 固体撮像素子
2 撮像領域
3 シリコン基板
3A、3B 開口部
4 受光センサ(フォトダイオード)
5 カラーフィルタ
6 マイクロレンズ
7 素子分離膜
8 絶縁層
9 ポリシリコン層
10、12、14 層間絶縁膜
11 第1層目の配線層
13 第2層目の配線層
15 第3層目の配線層
16 層間絶縁膜
17 支持基板
18 多層のMR配線
90 電子情報機器
91 固体撮像装置
92 メモリ部
93 表示部
94 通信部
95 画像出力部
2 撮像領域
3 シリコン基板
3A、3B 開口部
4 受光センサ(フォトダイオード)
5 カラーフィルタ
6 マイクロレンズ
7 素子分離膜
8 絶縁層
9 ポリシリコン層
10、12、14 層間絶縁膜
11 第1層目の配線層
13 第2層目の配線層
15 第3層目の配線層
16 層間絶縁膜
17 支持基板
18 多層のMR配線
90 電子情報機器
91 固体撮像装置
92 メモリ部
93 表示部
94 通信部
95 画像出力部
Claims (15)
- 半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサと、該受光センサの形成時に用いた第1アライメントマークまたは該第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマークとが形成され、
該半導体基板の裏面側に、該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークを用いて、該複数の受光センサのそれぞれに対応するようにカラーフィルタおよびその上のマイクロレンズが形成された裏面光照射用の固体撮像素子において、
該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークの上方の半導体基板材料の一部または全部がエッチング除去されてマーク確認用の開口部が形成されている固体撮像素子。 - 前記半導体基板の表面側において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜がその境界部に設けられ、前記第2アライメントマークは該素子分離膜の上方位置に設けられ、該半導体基板の裏面側において、該第2アライメントマークを含む平面視領域で該素子分離膜上の半導体層がエッチング除去されて前記開口部が形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記半導体基板の表面側において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜がその境界部に設けられ、前記第2アライメントマークは該素子分離膜の上方位置に設けられ、該半導体基板の裏面側において、該第2アライメントマークを含む所定の平面視領域で該素子分離膜上の半導体層および該素子分離膜の一部または全部がエッチング除去されて前記開口部が形成されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第1アライメントマークの材料または前記第2アライメントマークの材料はポリシリコン材料またはメタル材料である請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第1アライメントマークの形状または前記第2アライメントマークの形状は矩形状または十字形状である請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第1アライメントマークまたは前記第2アライメントマークの位置は、撮像領域内のスクライブラインに沿って配置されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記第1アライメントマークまたは/および前記第2アライメントマークの位置は、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する境界部に配置されているかまたは/および、該撮像領域内のスクライブラインに沿って配置されている請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記半導体基板の表面側に形成した前記第1アライメントマークまたは前記第2アライメントマークを裏面加工時のアライメントマークとして利用する請求項1に記載の固体撮像素子。
- 半導体基板の表面側に、被写体からの画像光を光電変換して撮像する複数の受光センサと、該受光センサの形成時に用いた第1アライメントマークまたは該第1アライメントマークを用いて形成された別の第2アライメントマークとを形成する受光センサおよびマーク形成工程と、
該半導体基板の裏面側に、該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークを用いて、該複数の受光センサのそれぞれに対応するようにカラーフィルタおよびその上のマイクロレンズを形成するフィルタおよびレンズ形成工程とを有する裏面光照射用の固体撮像素子の製造方法において、
該フィルタおよびレンズ形成工程の前に、該第1アライメントマークまたは該第2アライメントマークの上方の半導体基板材料の一部または全部をエッチング除去してマーク確認用の開口部を形成する開口部形成工程が設けられている固体撮像素子の製造方法。 - 前記受光センサおよびマーク形成工程において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜をその境界部に形成し、前記第2アライメントマークを該素子分離膜の上方位置に形成し、
前記開口部形成工程は、該第2アライメントマークを含む平面視領域で該素子分離膜上の半導体層を、前記半導体基板の裏面側からエッチング除去して前記開口部を形成する請求項9に記載の固体撮像素子の製造方法。 - 前記受光センサおよびマーク形成工程において、前記複数の受光センサが設けられた撮像領域とその周辺部とを分離する素子分離膜をその境界部に形成し、前記第2アライメントマークを該素子分離膜の上方位置に形成し、
前記開口部形成工程は、該第2アライメントマークを含む平面視領域で該素子分離膜上の半導体層および該素子分離膜の一部または全部を、前記半導体基板の裏面側からエッチング除去して前記開口部を形成する請求項9に記載の固体撮像素子の製造方法。 - 前記複数の受光センサおよび前記第1アライメントマーク、前記第2アライメントマーク上に、層間絶縁膜および配線層を複数層績層した後に支持基板を固定する支持基板固定工程を有する請求項9に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記支持基板固定工程の後に、前記半導体基板の裏面側を研磨して薄板化した後に前記フィルタおよびレンズ形成工程を行う請求項12に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 赤外光で前記第2アライメントマークを読み取った後に、前記開口部形成工程を実行して表面マーク認識用に半導体層を窓開けして、その窓開け部分に配置した酸化膜上の該第2アライメントマークを読み取って前記フィルタおよびレンズ形成工程を実行する請求項9に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた電子情報機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010121033A JP2011249550A (ja) | 2010-05-26 | 2010-05-26 | 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP2011249550A true JP2011249550A (ja) | 2011-12-08 |
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ID=45414456
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JP2010121033A Pending JP2011249550A (ja) | 2010-05-26 | 2010-05-26 | 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 |
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2007324629A (ja) * | 2007-09-07 | 2007-12-13 | Sony Corp | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
US20080038864A1 (en) * | 2006-08-10 | 2008-02-14 | Gil-Sang Yoo | Method of Manufacturing Image Sensor |
JP2009071187A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JP2009252963A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Fujifilm Corp | 裏面照射型撮像素子及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-05-26 JP JP2010121033A patent/JP2011249550A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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