JP2011249532A - 圧電素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】反りの小さな、薄い板状の圧電素子を製造することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】薄板状圧電体６と一対の電極とを有する電極配設薄板状焼成圧電体３の端部５のうち少なくとも一部が枠体２に固定されてなる枠体付き電極配設薄板状圧電体３を、第１平面部を有する第１保持部材３１の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材３３の第２平面部とで挟んだ状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、キュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で枠体付き電極配設薄板状圧電体３を加熱する工程を有する、薄板状圧電体６と一対の電極とを有する圧電素子の製造方法。
【選択図】図１Ａ

Description

本発明は、圧電素子の製造方法に関し、詳しくは、反りの小さな、薄い板状の圧電素子の製造方法に関する。

近年、電子機器に搭載される圧電素子は、電子機器が小型化、薄型化、省電力化するのに伴い、薄型化、小型化が要求されている。

しかし、薄い圧電素子を製造しようとした場合、焼成後の圧電体に反りが発生するという問題があった。これに対し、圧電体の反りを小さくする方法が開示されている（例えば、特許文献１〜２を参照）。

特開２００６−６００００号公報 特開平８−２１３６６４号公報

しかしながら、従来の圧電素子には、以下のような問題があった。

特許文献１に開示された圧電素子の製造方法では、ダミー層に厚膜電極層を成膜し、圧電体のグリーンシートを積層、焼成した後、厚膜電極層を除去することで、焼成体の反りを防止しつつ、ハンドリング性を向上させようとするものである。しかし、厚膜電極は、高温の圧電焼成に耐えられる耐熱性の金属材料を使い、さらにダミー層を除去（捨てる）する必要があるため、非常にコストがかかるものである。

特許文献２に開示された圧電素子の製造方法では、積層セラミック圧電体素子の表面を研磨加工することにより、当該素子の反りをなくし平面度を高めようとしているが、加工時の応力により分極後に反りが発生することがある。

本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題は、反りの小さな、薄い板状の圧電素子を、安価に製造することができる圧電素子の製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明によって以下の圧電素子の製造方法が提供される。

［１］ 薄板状圧電体と一対の電極とを有する電極配設薄板状焼成圧電体の少なくとも一の端部が枠体に固定されてなる枠体付き電極配設薄板状圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで挟んだ状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、前記キュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する工程を有する、前記薄板状圧電体と前記一対の電極とを有する圧電素子の製造方法。

［２］ 前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱した後、前記枠体を分離する、［１］に記載の圧電素子の製造方法。

［３］ 前記電極配設薄板状焼成圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで加圧しながら挟んだ状態で、前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する、［１］又は［２］に記載の圧電素子の製造方法。

［４］ 前記電極配設薄板状焼成圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで加圧しながら挟むときの圧力が、１００〜１０００Ｐａである［１］〜［３］のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。

［５］ 前記第１保持部材又は前記第２保持部材の外周の少なくとも一部を取り囲むように、位置ズレ防止部材を配置して、前記枠体と前記位置ずれ防止部材とにより形成された開口部内に前記電極配設薄板状焼成圧電体が配設された状態で、前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する、［１］〜［４］のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。

［６］ 大気雰囲気であり、且つＰｂＯが存在しない雰囲気中で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する［１］〜［５］のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。

［７］ 前記電極配設薄板状焼成圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで挟んだ状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、前記薄板状圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱した後に、０．２〜１００℃／分の冷却速度で冷却を行い、その後、前記枠体から前記電極配設薄板状焼成圧電体を切り離して圧電素子を得る［１］〜［６］のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。

［８］ 少なくとも一の開口部が形成された平板状の枠体と、それぞれの前記開口部内に配置されるとともに一の端部及び前記一の端部に対して反対側に位置する他の端部が、前記枠体に固定された、薄板状圧電体の両面に膜状の電極が配設されてなる電極配設薄板状焼成圧電体と、を備える枠体付き電極配設薄板状圧電体を作製し、前記電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面に、第３平面部を有する第３保持部材の前記第３平面部を接触させた状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、前記薄板状圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱し、前記枠体から前記電極配設薄板状焼成圧電体を切り離して圧電素子を得る圧電素子の製造方法。

このように、本発明の圧電素子の製造方法によれば、枠体付き電極配設薄板状圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで挟んだ状態で、「薄板状圧電体のキュリー温度以上、キュリー温度より６００℃高い温度以下」の温度範囲で加熱する工程を有するため、「第１保持部材の第１平面部と、第２保持部材の第２平面部とで挟むとともに、薄板状圧電体のキュリー温度以上の所定の温度範囲で加熱する」ことにより、効果的に電極配設薄板状焼成圧電体の反りを低減することができ、その結果、反りの小さな圧電素子を得ることができる。

本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、製造過程で作製される枠体付き電極配設薄板状圧電体を模式的に示す平面図である。 図１ＡのＡ−Ａ’断面を示す模式図である。 本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、製造過程で作製される薄板状焼成圧電体用グリーンシートを模式的に示す斜視図である。 本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、製造過程で作製される焼成用補強部が配設された薄板状焼成圧電体用グリーンシートを模式的に示す斜視図である。 本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、製造過程で作製される補強板付き薄板状焼成圧電体の、薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、製造過程で作製される、スルーホールが形成された補強板付き薄板状焼成圧電体の、薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、製造過程で作製される、電極が配設された補強板付き薄板状焼成圧電体の、薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、製造過程で作製される、枠体付き電極配設薄板状圧電体の、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 本発明の圧電素子の製造方法の一実施形態において、枠体付き電極配設薄板状圧電体の電極配設薄板状焼成圧電体を、第１保持部材の第１平面部と、第２保持部材の第２平面部とで挟んだ状態を模式的に示す、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 本発明の圧電素子の製造方法（第２の製造方法）の一実施形態において、枠体付き電極配設薄板状圧電体の電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面に、第３保持部材の第３平面部を接触させた状態を模式的に示す、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 実施例において修正法２により反り修正を行う際の、枠体付き電極配設薄板状焼成圧電体、第１保持部材及び第２保持部材の配置を示し、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 実施例において修正法４により反り修正を行う際の、電極配設薄板状焼成圧電体及び第３保持部材の配置を示し、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 実施例において修正法５により反り修正を行う際の、電極配設薄板状焼成圧電体、第１保持部材及び第２保持部材の配置を示し、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 実施例において修正法６により反り修正を行う際の、枠体付き電極配設薄板状焼成圧電体及び第３保持部材の配置を示し、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 実施例において修正法７により反り修正を行う際の、枠体付き電極配設薄板状焼成圧電体を示し、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 実施例において修正法８により反り修正を行う際の、枠体付き電極配設薄板状焼成圧電体、第１保持部材、第２保持部材及び支持体の配置を示し、電極配設薄板状焼成圧電体の表面に直交する断面を示す模式図である。 実施例において修正法８により反り修正を行う際の、枠体付き電極配設薄板状焼成圧電体、第１保持部材、第２保持部材及び支持体の配置を模式的に示す平面図である。

次に本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。

本発明の圧電素子の製造方法（第１の製造方法）の一実施形態は、まず、図１Ａ、図１Ｂに示すような、少なくとも一の開口部４が形成された平板状の枠体２と、開口部４内に配置されるとともに少なくとも一の端部５が枠体２に固定された、厚さ１〜３０μｍで枠体２より薄い、薄板状圧電体６の両面に膜状の電極が配設されてなる電極配設薄板状焼成圧電体３と、を備える枠体付き電極配設薄板状圧電体１を作製する。図１Ａ、図１Ｂにおいては、電極配設薄板状焼成圧電体３に配設された電極は省略されている。

枠体付き電極配設薄板状圧電体１の作製方法は以下の通りである。

まず、圧電材料を用いて、図２に示されるような、厚さ１〜３５μｍの薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１を作製する。具体的には、例えば、圧電材料の粉末であるセラミックス粉末にバインダ、溶剤、分散剤、可塑剤等を添加混合してスラリーを作製し、これを脱泡処理後、リバースロールコーター法、ドクターブレード法等の方法によって、所望の厚さのグリーンシートを作製し、その後、金型を用いた打ち抜き、レーザー加工等の方法により、所望の大きさに加工して薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１を得る。

圧電材料は、圧電効果若しくは電歪効果等の電界誘起歪みを起こす材料であればよい。例えば、半導体セラミック、強誘電体セラミック、及び反強誘電体セラミックを用いることが可能であり、用途に応じて適宜選択することができる。また、分極処理が必要な材料であってもよいし、分極処理が不要な材料であってもよい。好ましい圧電材料としては、具体的には、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、ニッケルタンタル酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、マグネシウムタングステン酸鉛、マグネシウムタンタル酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸ナトリウムビスマス、チタン酸ビスマスネオジウム（ＢＮＴ）、ニオブ酸カリウムナトリウム、タンタル酸ストロンチウムビスマス、銅タングステンバリウム、鉄酸ビスマス、又は、これらのうちの２種以上からなる複合酸化物を挙げることが出来る。また、これらの材料には、ランタン、カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン、セリウム、カドミウム、クロム、コバルト、アンチモン、鉄、イットリウム、タンタル、リチウム、ビスマス、スズ、銅等の酸化物が固溶されていてもよい。これらのなかでも、ジルコン酸鉛、チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、及びニッケルニオブ酸鉛の複合酸化物は、高い材料特性を発現出来るので好ましい。更に、上記材料等に、ビスマス酸リチウム、ゲルマン酸鉛等を添加した材料、例えば、ビスマス酸リチウム乃至ゲルマン酸鉛を添加した材料は、圧電体の低温焼成を実現しつつ高い材料特性を発現出来るので、更に好ましい。

薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１の厚さは、１〜３５μｍが好ましいが、作製しようとする圧電素子の厚さに合わせて、適宜厚さを決定することが好ましい。また、薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１の大きさは、特に限定されないが、図２に示すように、長方形の薄板状である場合、１０ｍｍ×１０ｍｍ〜１０００ｍｍ×１０００ｍｍの大きさであることが好ましい。

次に、図３に示されるような、厚さが１０〜３００μｍの焼成用補強部１２を、薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１上に形成する。例えば、まず、上記薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１の作製の場合と同様にして、圧電材料の粉末であるセラミックス粉末にバインダ、溶剤、分散剤、可塑剤等を添加混合してスラリーを作製する。そして、得られたスラリーを、脱泡処理後、スクリーン印刷法により薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１上に塗布し、焼成用補強部１２を形成する。

焼成用補強部１２の開口部１６は、印刷で補強をしていない部分であり、本実施形態の
圧電素子の製造方法においては、３つの長方形（直方体）の焼成用補強部の開口部１６が形成されている。焼成用補強部の開口部１６の大きさは、特に限定されないが、例えば、図３に示すように、四角形の開口形状である場合、０．１ｍｍ×０．１ｍｍ〜１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさであることが好ましい。また、焼成用補強部の開口部１６が複数形成される場合、焼成用補強部の開口部１６間の距離は、特に限定されないが、０．１〜１０ｍｍが好ましい。また、焼成用補強部の開口部１６の個数は、特に限定されないが、１〜１００個／ｃｍ^２が好ましい。

焼成用補強部１２の材料（圧電材料）についても、薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１の作製に用いる上記圧電材料として挙げられた材料を用いることが出来る。熱膨張の程度を同じにすべく、薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１と同じ材料を用いることが好ましい。また、焼成用補強部１２は、焼成用補強部を形成するためのグリーンシートを、薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１に貼り付けて形成してもよい。

薄板状焼成圧電体用グリーンシート１１上に焼成用補強部１２を形成した後、原料として使用した圧電材料に基づき、８００〜１６００℃の範囲の適切な温度で焼成し、図４に示されるような、薄板状焼成圧電体１４と補強部１５とが一体化されてなる補強板付き薄板状焼成圧電体１３を得る。薄板状焼成圧電体１４は、補強部１５と接合されている（接触している）部分と、補強部１５の開口部１７と重なり、補強部１５とは接触していない部分とに区分することができる。ここで、薄板状焼成圧電体１４の中で、補強部１５と接合されている（接触している）部分を接合部１８と称し、補強部１５の開口部１７と重なり、補強部１５とは接触していない部分を露出部１９と称する。薄板状焼成圧電体１４の厚さは、１〜３０μｍが好ましく、１〜２０μｍが更に好ましい。１μｍより薄いと得られる圧電素子の強度が低下するため好ましくない。３０μｍより厚いと所望の圧電定数を得難くなるため好ましくない。

次に、図５に示すように、補強板付き薄板状焼成圧電体１３にスルーホール（電極形成用貫通孔）２１を形成することが好ましい。スルーホール２１の形成方法としては、特に限定されないが、レーザーによる形成方法、金型による打ち抜き形成方法等を挙げることができる。また、補強板付き薄板状焼成圧電体１３を作製する際に、金型で打ち抜き成形をしておいてもよい。スルーホール２１の形状（薄板状焼成圧電体１４の厚さ方向に直交する断面の形状）は、特に限定されず、円形、楕円形、多角形等、いずれの形状であってもよい。スルーホール２１の大きさは、特に限定されないが、例えば、円形の場合、直径０．０５〜１ｍｍが好ましい。

次に、図６に示すように、例えばレジストパターニングを行い、ペースト（導電性材料（例えば金））をスピンコート法で塗布して、補強板付き薄板状焼成圧電体１３の所定面、及びスルーホール２１内に、導電性材料（例えば金）からなる膜状の電極２２，２３を形成する。電極２２，２３の形成は、スパッタ処理で行なうことも出来る。パターニングはレーザー加工によって行なってもよい。

電極の材料としては、導電性の金属が採用される。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、パラジウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、又は鉛等の金属単体又はこれら２種類以上からなる合金、例えば、銀−白金、白金−パラジウム、銀−パラジウム等を１種単独で又は２種類以上を組み合わせたものを用いることが好ましい。また、これらの材料と、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ケイ素、酸化セリウム、ガラス、又は圧電材料等との混合物、サーメットであってもよい。これらの材料の選定にあたっては、圧電材料の種類に応じて選択することが好ましい。

次に、図７に示すように、電極が形成された補強板付き薄板状焼成圧電体１３の、電極が配設された露出部１９における「後に圧電素子となる部分２４」を残して、後に圧電素子とならない部分を切り落とす。「後に圧電素子となる部分２４」の輪郭に沿って露出部を切断してもよい。このとき、「後に圧電素子となる部分２４」の少なくとも一の端部が補強部に固定された状態になるようにする。このように、「後に圧電素子となる部分２４」の少なくとも一の端部が補強部に固定された状態で、露出部１９の一部を切り落す又は切断することにより、図１Ａ、図１Ｂ及び図７に示される、「開口部４内に配置されるとともに少なくとも一の端部５が枠体２に固定された、電極配設薄板状焼成圧電体３」が形成されることになる。切断は、レーザー、エッチング、ブラスト、ダイサー、機械加工（例えば砥石による切断）で行うことが出来る。エッチングやブラストの場合は、マスクが必要になるため、事前にマスクをレジスト等で形成しておく。ここで、「後に圧電素子となる部分」とは、電極が配設された露出部１９の中の、最終的に枠体から切り離されて圧電素子になる部分である。厳密には圧電素子と枠体とを接合する部分も含まれる。本実施形態の圧電素子の製造方法においては、「後に圧電素子となる部分２４」は、図１Ａに示される長方形の電極配設薄板状焼成圧電体３のことである。また、図１Ａ、図１Ｂに示される枠体２は、図７に示される補強部１５と接合部１８とを合わせた部分である。これにより、図１Ａ、図１Ｂ及び図７に示すような、少なくとも一の開口部４が形成された平板状の枠体２と、開口部４内に配置されるとともに少なくとも一の端部５が枠体２に固定された、厚さ１〜３０μｍで枠体２より薄い、薄板状圧電体６の両面に膜状の電極２２，２３が配設されてなる電極配設薄板状焼成圧電体３と、を備える枠体付き電極配設薄板状圧電体１が得られる。

本実施形態の圧電素子の製造方法においては、枠体付き電極配設薄板状圧電体１を作製した後に、電極配設薄板状焼成圧電体３を、第１保持部材３１と、第２保持部材３３とで挟んだ状態で所定の温度で加熱するが、電極配設薄板状焼成圧電体３を、第１保持部材３１と第２保持部材３３とで挟むときの荷重は軽いものである。そのため、電極配設薄板状焼成圧電体３を上から押える第２保持部材３３は、かなり軽い必要があるが、軽い場合には、少しの衝撃で動くことがある。これに対し、電極配設薄板状焼成圧電体３が枠体２に固定されているため、枠体２を、第２保持部材３３の移動を阻止するように形成することにより（例えば、電極配設薄板状焼成圧電体３の周囲を囲むことにより）、枠体２により、第２保持部材３３を動かないように固定することができる。また、電極配設薄板状焼成圧電体３が枠体２に固定されていると、電極配設薄板状焼成圧電体３を枠体２と共に取り扱うことができるため、より大きなものを取り扱うことになり、電極配設薄板状焼成圧電体３だけを取り扱うよりも、扱い易いものである。

電極配設薄板状焼成圧電体３の大きさは、例えば、形状が四角形である場合、０．１ｍｍ×０．１ｍｍ〜１０ｍｍ×１０ｍｍであることが好ましい。０．１ｍｍ×０．１ｍｍより小さいと、所望の変位量が得られないことがある。１０ｍｍ×１０ｍｍより大きいと、焼成時に割れることがある。

本実施形態の圧電素子の製造方法においては、図１Ａに示されるように、後に圧電素子となる部分２４すなわち電極配設薄板状焼成圧電体３の一の端部が枠体２に固定されているが、電極配設薄板状焼成圧電体３の少なくとも一の端部が枠体２に固定されている。「電極配設薄板状焼成圧電体３の端部」とは、板状の電極配設薄板状焼成圧電体３の外周の一部であり、例えば、電極配設薄板状焼成圧電体３の外周形状（面積が最も大きい面の外周形状）が四角形である場合、当該四角形の４つの辺に相当する部分がそれぞれ端部となり、４つの端部を有することになる。例えば、電極配設薄板状焼成圧電体３の一の端部が枠体２に固定されるとともに、一の端部に対して反対側に位置する他の端部も枠体２に固定され、合計２箇所が枠体２に固定されていてもよい。

次に、図８に示すように、枠体付き電極配設薄板状圧電体１を、第１平面部３２を有する第１保持部材３１の当該第１平面部３２と、第２平面部３４を有する第２保持部材３３の当該第２平面部３４とで挟んだ状態で、「薄板状圧電体のキュリー温度以上、薄板状圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下」の温度範囲で枠体付き電極配設薄板状圧電体１を加熱する。この工程により、電極配設薄板状焼成圧電体３の反りを修正する。枠体付き電極配設薄板状圧電体１を、第１保持部材３１の第１平面部３２と、第２保持部材３３の第２平面部３４とで挟む際には、枠体付き電極配設薄板状圧電体１の電極配設薄板状焼成圧電体３を、第１保持部材３１の第１平面部３２と、第２保持部材３３の第２平面部３４とで挟む。

このように、「第１保持部材３１の第１平面部３２と、第２保持部材３３の第２平面部３４とで挟むとともに、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上の所定の温度範囲で加熱する」ことにより、効果的に電極配設薄板状焼成圧電体の反りを低減することができ、その結果、反りの小さな圧電素子を得ることができる。薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上の温度で加熱することにより、応力が残ることなく電極配設薄板状焼成圧電体３の反りを小さくすることができ（反りを修正することができ）、反りの小さな圧電素子を得ることができる。また、電極配設薄板状焼成圧電体３より厚さが厚い枠体２を挟むことなく、電極配設薄板状焼成圧電体３のみを個別に挟むため、確実に電極配設薄板状焼成圧電体３の反りを小さくすることができる。図８に示される第１保持部材の第１平面部３２は、枠体付き電極配設薄板状圧電体１より大きく、枠体付き電極配設薄板状圧電体１全体を上に載せた状態で、第１平面部３２を電極配設薄板状焼成圧電体３の一方の面に接触させている。このとき、電極配設薄板状圧電体１の一方の面と枠体２の一方の面とが同一平面上に位置し、電極配設薄板状圧電体１の一方の面と枠体２の一方の面とにより枠体付き電極配設薄板状圧電体１全体の一方の面を形成している。そして、電極配設薄板状圧電体１の一方の面と枠体２の一方の面とにより構成された枠体付き電極配設薄板状圧電体１の一方の面が、第１保持部材の第１平面部３２と接触している。また、電極配設薄板状圧電体１と枠体２とは厚さが異なるため、枠体付き電極配設薄板状圧電体１の他方の面側は、電極配設薄板状圧電体１と枠体２との境界部分に段差が形成されている。また、図８に示される第２保持部材３３は、第２平面部３４が電極配設薄板状焼成圧電体３と略同じ面積で、第２平面部３４が電極配設薄板状焼成圧電体３のみに接触しており、枠体２には接触していない。

電極配設薄板状焼成圧電体３における、第１平面部３２と第２平面部３４とにより挟まれる部分の面積は、電極配設薄板状焼成圧電体３全体の面積の３０〜９５％であることが好ましく、５０〜８５％であることが更に好ましい。３０％より狭いと、電極配設薄板状焼成圧電体３の反りを修正し難くなることがある。９５％より広いと、第１保持部材３１又は第２保持部材３３が枠体２に接触し易くなり、反りの修正を妨げることがある。

電極配設薄板状焼成圧電体３を、第１保持部材の第１平面部と第２保持部材の前記第２平面部とで挟んで加熱するとき（電極配設薄板状焼成圧電体３の反りを修正するとき）には、第１保持部材の第１平面部と、第２保持部材の第２平面部とで加圧しながら挟んで加熱することが好ましい。加圧することにより、より効果的に電極配設薄板状焼成圧電体３の反りが小さくなるように修正することができる。また、電極配設薄板状焼成圧電体３を、第１保持部材の第１平面部と第２保持部材の第２平面部とで加圧しながら挟むときの圧力は、１００〜１０００Ｐａであることが好ましい。１００Ｐａより小さいと、電極配設薄板状焼成圧電体３の反りを修正し難くなることがある。１０００Ｐａより大きいと、電極配設薄板状焼成圧電体３を変形等させることがある。

電極配設薄板状焼成圧電体３の反りを修正する際には、枠体付き電極配設薄板状圧電体１を、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上、薄板状焼成圧電体のキュリー温度より６０
０℃高い温度以下の温度範囲で加熱する。そして、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上、薄板状焼成圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で加熱することが好ましい。薄板状焼成圧電体のキュリー温度より低い温度で加熱すると、電極配設薄板状焼成圧電体３の反りの修正が難くなり、また仮に反りを修正できたとしても、反り修正後に応力が残存し、再度反りが発生することがあるため好ましくない。薄板状焼成圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度より、高い温度で加熱すると電極が劣化するため好ましくない。キュリー温度は、５００℃まで加熱した後、ＬＣＲメーターで誘電率を測定しながら冷却する方法で測定した温度である。

また、枠体付き電極配設薄板状圧電体１を、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上、薄板状焼成圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で加熱したときの、当該温度での保持時間は、１分〜１時間が好ましく、５分〜２０分が更に好ましい。１分より短いと、電極配設薄板状焼成圧電体３の反りが修正され難くなることがある。１時間より長いと、不必要に時間を要することになるため、生産効率が低下することがある。

また、電極配設薄板状焼成圧電体３を、第１保持部材と第２保持部材とで挟んで、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上、キュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で、枠体付き電極配設薄板状圧電体１を加熱した後に、キュリー点以下の温度域を０．２〜１００℃／分の冷却速度で冷却を行うことが好ましい。冷却速度は、０．５〜５℃／分であることが更に好ましい。０．２℃／分より遅いと、電極配設薄板状焼成圧電体３の反りが修正されないことがある。１００℃／分より速いと、熱衝撃により電極配設薄板状焼成圧電体３が割れることがある。

また、電極配設薄板状焼成圧電体３を、第１保持部材と第２保持部材とで挟んで、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上、キュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で、枠体付き電極配設薄板状圧電体１を加熱するときには、「大気雰囲気であり、且つＰｂＯが存在しない雰囲気」中で枠体付き電極配設薄板状圧電体１を加熱することが好ましい。ＰｂＯが存在しない大気雰囲気とすることにより、枠体付き電極配設薄板状圧電体１の圧電粒界に微量偏析しているＰｂＯを蒸発させ、粒界の再配列を促進させることができるため、反りを、より小さくすることが可能になる。

第１保持部材及び第２保持部材の材質としては、ジルコニア、アルミナ、マグネシア、共材等のセラミックスが好ましく、これらの中でも、ジルコニアが好ましい。ジルコニアは、組織が緻密であるため、第１平面部及び第２平面部の平面性を高くすることができる。第１保持部材の第１平面部及び第２保持部材の第２平面部の表面粗さは、１０μｍ／ｍｍ以下が好ましい。１０μｍ／ｍｍを超える場合は、反りが強制できなかったり、割れが生じやすくなるためである。第１保持部材及び第２保持部材の材料の緻密性は、緻密質であっても、多孔質であっても特に限定されない。

本実施形態の圧電素子の製造方法においては、電極配設薄板状焼成圧電体３の修正前の反り量は、１００μｍ／ｍｍ以下であることが好ましい。１００μｍ／ｍｍより反り量が大きいと、反りを修正し難くなることがある。ここで、「１μｍ／ｍｍの反り量」というときは、薄板形状の表面における１ｍｍの長さに対して、１μｍだけ表面に直交する方向に反っている（曲がっている）ことを意味する。「反り量」は、表面形状測定機を用いて測定した値であり、当該反り量は、例えば、ＺＹＧＯ社製の「表面形状測定機」を用いて測定することができる。

本実施形態の圧電素子の製造方法によって、反りを修正した後の電極配設薄板状焼成圧電体３の「反り量」を、０．５〜１０μｍ／ｍｍとすることができる。電極配設薄板状焼成圧電体３の「反り量」は、小さいほど好ましいが、０．５μｍ／ｍｍ程度が下限値であ
る。

本実施形態の圧電素子の製造方法においては、第２保持部材の外周の少なくとも一部を取り囲むように、位置ズレ防止部材を配置して、枠体と位置ずれ防止部材とにより形成された開口部内に電極配設薄板状焼成圧電体が配設された状態で、枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱することが好ましい。

本実施形態の圧電素子の製造方法は、次に、枠体から電極配設薄板状圧電体３を切り離して圧電素子を得る。切断は、レーザー、エッチング、ブラスト、ダイサー、機械加工（例えば砥石による切断）で行うことが出来る。エッチングやブラストの場合は、マスクが必要になるため、事前にマスクをレジスト等で形成しておく。得られる圧電素子は、薄板状圧電体と一対の電極とを有する圧電素子であり、薄板状圧電体の両面に電極が配設された形状の圧電素子である。

本実施形態の圧電素子の製造方法においては、得られた圧電素子の形状は特に限定されず、長方形、台形、三角形、五角形等の多角形、それらを組み合わせた多角形等のいずれの形状であってもよい。

本実施形態の圧電素子の製造方法においては、枠体から電極配設薄板状圧電体を切り離す前に、電極配設薄板状圧電体の表面をポリイミドでコーティングすることが好ましい。ポリイミドでコーティングする方法は、特に限定されず、公知の方法を用いることができる。

次に、本発明の圧電素子の製造方法（第２の製造方法）について説明する。

本発明の圧電素子の製造方法（第２の製造方法）の一実施形態は、図９に示すように、少なくとも一の開口部４４が形成された平板状の枠体４２と、それぞれの開口部４内に配置されるとともに一の端部４５及び当該一の端部に対して反対側に位置する他の端部４６が、枠体４２に固定された、厚さ１〜３０μｍで枠体４２より薄い、薄板状圧電体の両面に膜状の電極が配設されてなる電極配設薄板状焼成圧電体４３と、を備える枠体付き電極配設薄板状圧電体４１を作製し、電極配設薄板状焼成圧電体４３の一方の面５１に、第３平面部３６を有する第３保持部材３５の当該第３平面部３６を接触させた状態で、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上、薄板状焼成圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で枠体付き電極配設薄板状圧電体４１を加熱し、枠体４２から電極配設薄板状圧電体４３を切り離して圧電素子を得るものである。本実施形態の圧電素子の製造方法は、「枠体付き電極配設薄板状圧電体において、電極配設薄板状焼成圧電体の少なくとも一の端部が枠体に固定されること、及び、電極配設薄板状焼成圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで挟んだ状態で枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する」ことを、「枠体付き電極配設薄板状圧電体において、電極配設薄板状焼成圧電体の一の端部及び当該一の端部に対して反対側に位置する他の端部が、枠体に固定されることとし、更に、電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面に、第３平面部を有する第３保持部材の第３平面部を接触させた状態で、枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する」こととした以外は、上記第１の製造方法と同じである。

このように、電極配設薄板状焼成圧電体の両端部を枠体に固定し、電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面のみを第３保持部材の第３平面部と接触させた状態で、薄板状焼成圧電体のキュリー温度以上の温度で加熱することによっても、電極配設薄板状焼成圧電体の反りを小さくすることができる。

本実施形態の圧電素子の製造方法は、枠体付き電極配設薄板状圧電体において、電極配設薄板状焼成圧電体の一の端部及び当該一の端部に対して反対側に位置する他の端部が枠体に固定されるようにする。これは、上記、本発明の圧電素子の製造方法（第１の製造方法）の一実施形態において、露出部１９（図４参照）の一部を切り落す又は切断することにより、図１Ａ、図１Ｂ及び図７に示される、「開口部４内に配置されるとともに少なくとも一の端部５が枠体２に固定された、電極配設薄板状焼成圧電体３」を作製するときに、電極配設薄板状焼成圧電体の、一の端部及び当該一の端部に対して反対側に位置する他の端部が、枠体に固定されるように電極配設薄板状焼成圧電体を作製すればよい。

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
圧電材料として、０．２７Ｐｂ（Ｎｉ_１／３Ｎｂ_２／３）Ｏ_３−０．４０ＰｂＴｉＯ_３−０．３３ＰｂＺｒＯ_３を使用した。圧電材料は、Ｆ２ｍｍのＺｒＯ_２ビーズで湿式粉砕したものを用いた。圧電材料の比表面積は７ｍ^２／ｇであり、キュリー温度は２５０℃であった。比表面積の測定は、ＢＥＴ法で行った。キュリー温度は、５００℃から冷却した際の誘電率の最大値をＬＣＲメーターで測定して求めた。

圧電材料を、キシレンとブタノールの混合溶媒中に分散させ、分散剤、バインダーを適量添加して、グリーンシート形成用原料を得た。そして、ドクターブレード法で、グリーンシート形成用原料を成形し、厚さ１２μｍのグリーンシート（薄板状焼成圧電体用グリーンシート）を得た。グリーンシートは、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの長方形に形成した。

次に、上記グリーンシート形成用原料を、脱泡処理後、スクリーン印刷法で薄板状焼成圧電体用グリーンシート上に塗布し、焼成用補強部を形成した。焼成用補強部の厚さは、８０μｍであった。また、焼成用補強部は、外周形状が１５０ｍｍ×１５０ｍｍの長方形であり、中央部に８ｍｍ×５ｍｍの長方形の開口部を一つ有する形状であった。

次に、焼成用補強部が形成された薄板状焼成圧電体用グリーンシートを、１０５０℃で３時間の条件で、ＭｇＯの鞘内で密閉焼成して、補強板付き薄板状焼成圧電体を得た。

次に、レーザーにより補強板付き薄板状焼成圧電体の薄板状焼成圧電体（露出部）にスルーホールを形成した。そして、導電性材料として金を含有させたペーストをスピンコート法で塗布して、補強板付き薄板状焼成圧電体（薄板状焼成圧電体）の両面、及びスルーホール内に、金からなる膜状の電極を形成した。

次に、「後に圧電素子となる部分（電極配設薄板状焼成圧電体）」を、一の端部を枠体に固定した状態で残して、露出部をレーザー加工により切り落して、枠体付き電極配設薄板状圧電体を得た。電極配設薄板状焼成圧電体の大きさは、５ｍｍ×５ｍｍ×１５μｍであった。ここで、電極配設薄板状焼成圧電体の「反り量」は、６０μｍ／ｍｍであった。「反り量」は、下記「反り量の測定方法」により測定した値である。

次に、図８に示すように、第１平面部３２を鉛直方向の上向きに向けて第１保持部材３１を配置し、その上に、枠体付き電極配設薄板状圧電体１を、電極配設薄板状焼成圧電体３が第１平面部３２に接するようにして配置し、更に、電極配設薄板状焼成圧電体３の上に、第２平面部３４を鉛直方向の下向きに向けて第２保持部材３３を配置した。そして、第１保持部材３１と第２保持部材３３とにより、電極配設薄板状焼成圧電体３に１００Ｐａの「荷重」をかけながら、反り修正温度８００℃、保持時間１５分の条件で加熱して、
反り修正を行った。加熱後の冷却速度は、２０℃／分とした。加熱は大気中で行った。第１保持部材及び第２保持部材の材質は、ジルコニアとした。また、第１保持部材及び第２保持部材の形状は、直方体とし、第１平面部３２の面積を４００ｍｍ^２とし、第２平面部の面積を９ｍｍ^２とした。ここで、図８に示すように、電極配設薄板状焼成圧電体３の一の端部５が枠体２に固定された枠体付き電極配設薄板状圧電体１を、電極配設薄板状焼成圧電体３を第１保持部材３１と第２保持部材３３とで挟んだ状態で加熱する、反りの修正方法（反り修正法）を「修正法１」とする。

次に、レーザーにより、枠体から電極配設薄板状圧電体を切り離して圧電素子を得た。圧電素子の大きさは、４ｍｍ×４ｍｍ×１５μｍであった。

得られた、圧電素子について、下記方法により、「反り量」及び「割れ発生率」を測定した。結果を表１に示す。評価素子数は、２０個とした。

（反り量の測定方法）
反り量（μｍ／ｍｍ）は、ＺＹＧＯ社製の「表面形状測定機」を用いて測定した。評価素子数は２０個全数測定し、その平均値を「反り量（μｍ／ｍｍ）」とした。

（割れ発生率の測定方法）
顕微鏡（３０倍）で観察することにより割れが生じているか否かを判断した。１００μｍ^２の面積以上の欠けが顕微鏡で判断できるため、それ以上の欠けがある場合を「割れ発生」とした。評価素子数は２０個全数検査し、割れ発生の比率を算出し、それを「割れ発生率（％）」とした。

（実施例２〜２０、比較例１〜１６）
反り修正法、荷重及び冷却速度を表１に示すように変化させた以外は、実施例１と同様にして圧電素子を作製した。得られた圧電素子について、上記方法により、「反り量」及び「割れ発生率」を測定した。結果を表１に示す。

表１において、反り修正法の欄の「修正法２」は、図１０に示すように、電極配設薄板状焼成圧電体６３の一の端部６５及び当該一の端部６５に対して反対側に位置する他の端部６６が、枠体６２に固定された枠体付き電極配設薄板状圧電体６１を、電極配設薄板状焼成圧電体６３の部分を第１保持部材３１と第２保持部材３３とで挟んだ状態で加熱する、電極配設薄板状焼成圧電体の反りの修正方法（反り修正法）である。従って、この場合、枠体付き電極配設薄板状圧電体としては、電極配設薄板状焼成圧電体の一の端部及び当該一の端部に対して反対側に位置する他の端部が枠体に固定されたものを作製している。

表１において、反り修正法の欄の「修正法３」は、図９に示すように、電極配設薄板状焼成圧電体４３の一の端部４５及び当該一の端部４５に対して反対側に位置する他の端部４６が、枠体４２に固定された枠体付き電極配設薄板状圧電体４１を、電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面に、第３保持部材３５の第３平面部３６を接触させた状態で加熱する、電極配設薄板状焼成圧電体の反りの修正方法（反り修正法）である。従って、この場合、枠体付き電極配設薄板状圧電体としては、電極配設薄板状焼成圧電体の一の端部及び当該一の端部に対して反対側に位置する他の端部が枠体に固定されたものを作製している。

表１において、反り修正法の欄の「修正法４」は、図１１に示すように、枠体から完全に切り離された電極配設薄板状焼成圧電体７３を、第３保持部材３５の第３平面部３６の上に載せた状態で加熱する、電極配設薄板状焼成圧電体の反りの修正方法（反り修正法）である。従って、この場合、補強板付き薄板状焼成圧電体に電極を配設した後に、電極配設薄板状焼成圧電体を、枠体から完全に分離するように切り取り、枠体から完全に切り離された電極配設薄板状焼成圧電体について反りの修正を行っている。

表１において、反り修正法の欄の「修正法５」は、図１２に示すように、枠体から完全に切り離された電極配設薄板状焼成圧電体７４を、第１保持部材３１と第２保持部材３３とで挟んだ状態で加熱する、電極配設薄板状焼成圧電体の反りの修正方法（反り修正法）である。従って、この場合、補強板付き薄板状焼成圧電体に電極を配設した後に、電極配設薄板状焼成圧電体を、枠体から完全に分離するように切り取り、枠体から完全に切り離された電極配設薄板状焼成圧電体について反りの修正を行っている。

表１において、反り修正法の欄の「修正法６」は、図１３に示すように、電極配設薄板状焼成圧電体８３の一の端部８５が枠体８２に固定された枠体付き電極配設薄板状圧電体８１を、電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面に、第３保持部材３５の第３平面部３６を接触させた状態で加熱する、電極配設薄板状焼成圧電体の反りの修正方法（反り修正法）である。

表１において、反り修正法の欄の「修正法７」は、図１４に示すように、電極配設薄板状焼成圧電体９３の一の端部９５及び当該一の端部９５に対して反対側に位置する他の端部９６が、枠体９２に固定された枠体付き電極配設薄板状圧電体９１を、保持部材を用いずに加熱する、電極配設薄板状焼成圧電体の反りの修正方法（反り修正法）である。従って、この場合、枠体付き電極配設薄板状圧電体としては、電極配設薄板状焼成圧電体の一の端部及び当該一の端部に対して反対側に位置する他の端部が枠体に固定されたものを作製している。

表１において、反り修正法の欄の「修正法８」は、図１５Ａ、図１５Ｂに示すように、電極配設薄板状焼成圧電体１０３の一の端部１０５が枠体１０２に固定された枠体付き電極配設薄板状圧電体１０１を、電極配設薄板状焼成圧電体１０３を第１保持部材３１と第２保持部材３３とで挟むとともに、第２保持部材３３の外周の３つの辺を取り囲むように、支持体１０４で支持した状態で加熱する、電極配設薄板状焼成圧電体の反りの修正方法である。支持体１０４は、枠体付き電極配設薄板状圧電体１０１、第１保持部材及び第２
保持部材３３が、荷重によりずれることを防止するものである。

表１より、反り修正法が「修正法１」、「修正法２」、「修正法３」又は「修正法８」であり、反り修正温度が圧電材料のキュリー温度（２５０℃）より高い温度である場合に、反り量及び割れ発生率が良好な結果であることがわかる。また、反り修正を行う際の「荷重」が、１００〜１０００Ｐａである場合に、反り量及び割れ発生率が特に良好な結果であることがわかる（実施例１〜７）。また、反り修正を行う際の「冷却速度」が、０．２〜１００℃／分である場合に、反り量及び割れ発生率が特に良好な結果であることがわかる（実施例１７〜２０）。

本発明に係る圧電素子は、計測器、光変調器、光スイッチ、マイクロバルブ、搬送装置、画像表示装置（ディスプレイ、プロジェクタ等）、画像描画装置、マイクロポンプ、液滴吐出装置、微小混合装置、微小撹拌装置、微小反応装置、等に適用される各種の圧電アクチュエータ（圧電デバイス）や、流体特性、音圧、微小重量、加速度等の検出に用いられる各種の圧電センサ（圧電デバイス）として、好適に利用される。

１：枠体付き電極配設薄板状圧電体、２：枠体、３：電極配設薄板状焼成圧電体、４：開口部、５：一の端部、６：薄板状圧電体、１１，１１ａ：薄板状焼成圧電体用グリーンシート、１２：焼成用補強部、１３：補強板付き薄板状焼成圧電体、１４：薄板状焼成圧電体、１５：補強部、１６：焼成用補強部の開口部、１７：補強部の開口部、１８：接合部、１９：露出部、２１：スルーホール、２２，２３：電極、２４：後に圧電素子となる部分、３１：第１保持部材、３２：第１平面部、３３：第２保持部材、３４：第２平面部、３５：第３保持部材、３６：第３平面部、４１：枠体付き電極配設薄板状圧電体、４２：枠体、４３：電極配設薄板状焼成圧電体、４４：開口部、４５：一の端部、４６：他の端部、５１：電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面、６１：枠体付き電極配設薄板状圧電体、６２：枠体、６３：電極配設薄板状焼成圧電体、６５：一の端部、６６：他の端部、７３，７４：電極配設薄板状焼成圧電体、８１：枠体付き電極配設薄板状圧電体、８２：枠体、８３：電極配設薄板状焼成圧電体、９１：枠体付き電極配設薄板状圧電体、９２：枠体、９３：電極配設薄板状焼成圧電体、９５：一の端部、９６：他の端部、１０１：枠体付き電極配設薄板状圧電体、１０２：枠体、１０３：電極配設薄板状焼成圧電体、１０４：支持体。

Claims (8)

1. 薄板状圧電体と一対の電極とを有する電極配設薄板状焼成圧電体の少なくとも一の端部が枠体に固定されてなる枠体付き電極配設薄板状圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで挟んだ状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、前記キュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する工程を有する、前記薄板状圧電体と前記一対の電極とを有する圧電素子の製造方法。
2. 前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱した後、前記枠体を分離する、請求項１に記載の圧電素子の製造方法。
3. 前記電極配設薄板状焼成圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで加圧しながら挟んだ状態で、前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する、請求項１又は２に記載の圧電素子の製造方法。
4. 前記電極配設薄板状焼成圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで加圧しながら挟むときの圧力が、１００〜１０００Ｐａである請求項１〜３のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。
5. 前記第１保持部材又は前記第２保持部材の外周の少なくとも一部を取り囲むように、位置ズレ防止部材を配置して、前記枠体と前記位置ずれ防止部材とにより形成された開口部内に前記電極配設薄板状焼成圧電体が配設された状態で、前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する、請求項１〜４のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。
6. 大気雰囲気であり、且つＰｂＯが存在しない雰囲気中で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱する請求項１〜５のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。
7. 前記電極配設薄板状焼成圧電体を、第１平面部を有する第１保持部材の前記第１平面部と、第２平面部を有する第２保持部材の前記第２平面部とで挟んだ状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、前記薄板状圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱した後に、０．２〜１００℃／分の冷却速度で冷却を行い、その後、前記枠体から前記電極配設薄板状焼成圧電体を切り離して圧電素子を得る請求項１〜６のいずれかに記載の圧電素子の製造方法。
8. 少なくとも一の開口部が形成された平板状の枠体と、それぞれの前記開口部内に配置されるとともに一の端部及び前記一の端部に対して反対側に位置する他の端部が、前記枠体に固定された、薄板状圧電体の両面に膜状の電極が配設されてなる電極配設薄板状焼成圧電体と、を備える枠体付き電極配設薄板状圧電体を作製し、
   前記電極配設薄板状焼成圧電体の一方の面に、第３平面部を有する第３保持部材の前記第３平面部を接触させた状態で、前記薄板状圧電体のキュリー温度以上、前記薄板状圧電体のキュリー温度より６００℃高い温度以下の温度範囲で前記枠体付き電極配設薄板状圧電体を加熱し、
   前記枠体から前記電極配設薄板状焼成圧電体を切り離して圧電素子を得る圧電素子の製造方法。

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