JP2011243138A - 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム - Google Patents
画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011243138A JP2011243138A JP2010117083A JP2010117083A JP2011243138A JP 2011243138 A JP2011243138 A JP 2011243138A JP 2010117083 A JP2010117083 A JP 2010117083A JP 2010117083 A JP2010117083 A JP 2010117083A JP 2011243138 A JP2011243138 A JP 2011243138A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- pixel
- edge strength
- calculated
- edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 118
- 238000004590 computer program Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 211
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 120
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 50
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 26
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 20
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 11
- 238000001303 quality assessment method Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 29
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10024—Color image
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】取得した各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出し、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の平均値を算出する。算出した平均値を中心として、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の相互相関分布領域を算出する。判定対象物に関する第二の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出し、算出した第二の多値画像の画素ごとのエッジ強度が、算出してある各第一の多値画像の画素ごとのエッジ強度の相互相関分布領域に含まれているか否かを判断する。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る画像処理装置の構成を模式的に示すブロック図である。図1に示すように本実施の形態1に係る画像処理装置2は、多値画像を撮像する撮像手段であるカメラ1及び撮像された多値画像又は演算処理の途上で生成された画像を表示する画像表示手段である表示装置3に接続されている。
本発明の実施の形態2に係る画像処理装置の構成は、実施の形態1と同様であることから、同一の符号を付することにより詳細な説明を省略する。本実施の形態2は、カラー画像に関する良品判定処理を行う点で、実施の形態1とは相違する。
2 画像処理装置
3 表示装置(画像表示手段)
4 可搬型記録媒体
5 コンピュータプログラム
6 外部制御機器
7 画像処理部
8 画像表示部
21 主制御部
22 メモリ
23 記憶手段
24 入力手段
25 出力手段
26 通信手段
27 補助記憶手段
28 内部バス
Claims (12)
- 判定対象物を撮像した多値画像を、良品に関する多値画像群と比較して良品判定を行う画像処理装置において、
撮像手段で撮像された、良品に関する複数の第一の多値画像を取得する良品画像取得手段と、
取得した各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出するエッジ強度算出手段と、
算出したエッジ強度に基づいて、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の平均値を算出する平均値算出手段と、
算出した平均値を中心として、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の相互相関分布領域を算出する分布領域算出手段と、
撮像手段で撮像された、判定対象物に関する第二の多値画像を取得する多値画像取得手段と、
取得した第二の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出する画像エッジ強度算出手段と、
算出した第二の多値画像の画素ごとのエッジ強度が、算出してある各第一の多値画像の画素ごとのエッジ強度の相互相関分布領域に含まれているか否かを判断する判断手段と
を備えることを特徴とする画像処理装置。 - 前記エッジ強度算出手段は、前記エッジ強度を互いに直交する二方向にて算出するようにしてあることを特徴とする請求項1記載の画像処理装置。
- 前記エッジ強度算出手段は、前記エッジ強度を二次元画像における列方向と行方向との二方向にて算出するようにしてあることを特徴とする請求項2記載の画像処理装置。
- 前記第一の多値画像と前記第二の多値画像との位置合わせを行う位置調整手段を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の画像処理装置。
- 前記分布領域算出手段は、仮想的な楕円領域として前記相互相関分布領域を算出するようにしてあることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の画像処理装置。
- 前記判断手段は、仮想的な前記楕円領域の重心から前記第二の多値画像の画素ごとのエッジ点までの距離を、前記重心から前記エッジ点に向かう方向における前記楕円領域の境界と前記重心との距離で正規化したマハラノビス距離を算出する距離算出手段を備え、
算出したマハラノビス距離が所定値より小さいか否かで前記相互相関分布領域に含まれているか否かを判断するようにしてあることを特徴とする請求項5記載の画像処理装置。 - 前記距離算出手段は、仮想的な前記楕円領域の重心から前記第二の多値画像の画素ごとのエッジ点までの距離であるユークリッド距離を算出するようにしてあり、
前記判断手段は、算出したユークリッド距離が、前記楕円領域の重心から前記第二の多値画像の画素ごとのエッジ点に向かう方向における前記楕円領域の境界と前記重心との距離に基づく所定値より小さいか否かで前記相互相関分布領域に含まれているか否かを判断するようにしてあることを特徴とする請求項5記載の画像処理装置。 - 仮想的な前記楕円領域の長軸、及び前記楕円領域の中心点を通り該長軸と直交する短軸を座標軸とした座標系に座標値を変換する座標変換手段と、
変換した座標系の長軸方向及び短軸方向にて、取得した各第一の多値画像の画素ごとに、エッジ強度、エッジ強度の平均値、及びエッジ強度の相互相関分布領域を再算出する再算出手段と
を備え、
前記画像エッジ強度算出手段は、取得した第二の多値画像の画素ごとに、変換した座標系の長軸方向及び短軸方向におけるエッジ強度を算出するようにしてあり、
前記判断手段は、算出した第二の多値画像の画素ごとのエッジ強度が、再算出した各第一の多値画像の画素ごとのエッジ強度の要素ごとの相互相関分布領域に含まれているか否かを判断するようにしてあることを特徴とする請求項5記載の画像処理装置。 - 取得した前記第一の多値画像及び前記第二の多値画像はカラー画像であり、
色の成分ごとにエッジ強度、エッジ強度の平均値、及びエッジ強度の相互相関分布領域を算出するようにしてあることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の画像処理装置。 - 色の成分ごとに算出したエッジ強度の相互相関分布領域を包括する近似分布領域を算出する近似分布領域算出手段を備え、
前記判断手段は、算出した近似分布領域を相互相関分布領域として、算出した第二の多値画像の画素ごとのエッジ強度が、前記近似分布領域に含まれているか否かを判断するようにしてあることを特徴とする請求項9記載の画像処理装置。 - 判定対象物を撮像した多値画像を、良品に関する多値画像群と比較して良品判定を行う画像処理装置で実行することが可能な画像処理方法において、
前記画像処理装置は、
撮像手段で撮像された、良品に関する複数の第一の多値画像を取得し、
取得した各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出し、
算出したエッジ強度に基づいて、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の平均値を算出し、
算出した平均値を中心として、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の相互相関分布領域を算出し、
撮像手段で撮像された、判定対象物に関する第二の多値画像を取得し、
取得した第二の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出し、
算出した第二の多値画像の画素ごとのエッジ強度が、算出してある各第一の多値画像の画素ごとのエッジ強度の相互相関分布領域に含まれているか否かを判断することを特徴とする画像処理方法。 - 判定対象物を撮像した多値画像を、良品に関する多値画像群と比較して良品判定を行う画像処理装置で実行することが可能なコンピュータプログラムにおいて、
前記画像処理装置を、
撮像手段で撮像された、良品に関する複数の第一の多値画像を取得する良品画像取得手段、
取得した各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出するエッジ強度算出手段、
算出したエッジ強度に基づいて、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の平均値を算出する平均値算出手段、
算出した平均値を中心として、各第一の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度の相互相関分布領域を算出する分布領域算出手段、
撮像手段で撮像された、判定対象物に関する第二の多値画像を取得する多値画像取得手段、
取得した第二の多値画像の画素ごとに、異なる二方向におけるエッジ強度を算出する画像エッジ強度算出手段、及び
算出した第二の多値画像の画素ごとのエッジ強度が、算出してある各第一の多値画像の画素ごとのエッジ強度の相互相関分布領域に含まれているか否かを判断する判断手段
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010117083A JP5486403B2 (ja) | 2010-05-21 | 2010-05-21 | 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム |
US13/091,252 US8866903B2 (en) | 2010-05-21 | 2011-04-21 | Image processing apparatus, image processing method, and computer program |
CN201110131826.8A CN102254179B (zh) | 2010-05-21 | 2011-05-20 | 图像处理设备及图像处理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010117083A JP5486403B2 (ja) | 2010-05-21 | 2010-05-21 | 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011243138A true JP2011243138A (ja) | 2011-12-01 |
JP2011243138A5 JP2011243138A5 (ja) | 2013-05-23 |
JP5486403B2 JP5486403B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=44972209
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010117083A Expired - Fee Related JP5486403B2 (ja) | 2010-05-21 | 2010-05-21 | 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8866903B2 (ja) |
JP (1) | JP5486403B2 (ja) |
CN (1) | CN102254179B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019151489A1 (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 日本電気株式会社 | センサ情報統合システム、センサ情報統合方法及びプログラム |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103870516B (zh) * | 2012-12-18 | 2019-10-25 | 北京三星通信技术研究有限公司 | 检索图像的方法、实时绘画提示方法及其装置 |
JP6235684B1 (ja) * | 2016-11-29 | 2017-11-22 | Ckd株式会社 | 検査装置及びptp包装機 |
CN113392913B (zh) * | 2021-06-21 | 2023-09-29 | 常州大学 | 基于边界特征点集的平面图形匹配度评价方法、装置及系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0720060A (ja) * | 1993-07-05 | 1995-01-24 | Nikon Corp | パターン欠陥および異物検査装置 |
JP2007114843A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Denso Corp | 良否判定装置 |
JP2008139074A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Rozefu Technol:Kk | 画像の欠陥検出方法 |
JP2008139262A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Omron Corp | 欠陥検査方法およびその方法を用いた検査装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5291563A (en) * | 1990-12-17 | 1994-03-01 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Method and apparatus for detection of target object with improved robustness |
JP3749090B2 (ja) | 2000-07-06 | 2006-02-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | パターン検査装置 |
US7274820B2 (en) * | 2001-09-26 | 2007-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pattern evaluation system, pattern evaluation method and program |
JP3741672B2 (ja) | 2002-07-08 | 2006-02-01 | 株式会社アドイン研究所 | 画像特徴学習型欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラム |
JP2004112603A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | 画像処理装置、画像処理方法、およびコンピュータが実行するためのプログラム |
US7366344B2 (en) * | 2003-07-14 | 2008-04-29 | Rudolph Technologies, Inc. | Edge normal process |
US7284230B2 (en) * | 2003-10-30 | 2007-10-16 | International Business Machines Corporation | System for search and analysis of systematic defects in integrated circuits |
JP2005265661A (ja) | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Ovit:Kk | 画像処理方法およびその装置 |
JP4563740B2 (ja) * | 2004-07-13 | 2010-10-13 | グローリー株式会社 | 画像照合装置、画像照合方法および画像照合プログラム。 |
JP4976681B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2012-07-18 | 株式会社東芝 | パターン形状評価方法およびパターン形状評価プログラム |
US8126257B2 (en) * | 2006-04-12 | 2012-02-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Alignment of semiconductor wafer patterns by corresponding edge groups |
CN101211341A (zh) * | 2006-12-29 | 2008-07-02 | 上海芯盛电子科技有限公司 | 图像智能模式识别搜索方法 |
JP5271031B2 (ja) * | 2008-08-09 | 2013-08-21 | 株式会社キーエンス | 画像のデータ圧縮方法、画像処理におけるパターンモデルの位置決め方法、画像処理装置、画像処理プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
CN101493939A (zh) * | 2009-02-27 | 2009-07-29 | 西北工业大学 | 基于小波域同态滤波的检测伪造图像的方法 |
-
2010
- 2010-05-21 JP JP2010117083A patent/JP5486403B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-04-21 US US13/091,252 patent/US8866903B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-20 CN CN201110131826.8A patent/CN102254179B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0720060A (ja) * | 1993-07-05 | 1995-01-24 | Nikon Corp | パターン欠陥および異物検査装置 |
JP2007114843A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Denso Corp | 良否判定装置 |
JP2008139074A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Rozefu Technol:Kk | 画像の欠陥検出方法 |
JP2008139262A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Omron Corp | 欠陥検査方法およびその方法を用いた検査装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019151489A1 (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 日本電気株式会社 | センサ情報統合システム、センサ情報統合方法及びプログラム |
JPWO2019151489A1 (ja) * | 2018-02-02 | 2021-01-14 | 日本電気株式会社 | センサ情報統合システム、センサ情報統合方法及びプログラム |
US11308346B2 (en) | 2018-02-02 | 2022-04-19 | Nec Corporation | Sensor information integration system, sensor information integration method, and program |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102254179B (zh) | 2016-05-11 |
JP5486403B2 (ja) | 2014-05-07 |
CN102254179A (zh) | 2011-11-23 |
US8866903B2 (en) | 2014-10-21 |
US20110285843A1 (en) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8115169B2 (en) | Method and apparatus of pattern inspection and semiconductor inspection system using the same | |
JP5684505B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム | |
JP4154374B2 (ja) | パターンマッチング装置及びそれを用いた走査型電子顕微鏡 | |
JP4871144B2 (ja) | 画像処理装置、方法、プログラム | |
CN111028213A (zh) | 图像缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质 | |
JP4001162B2 (ja) | 画像処理方法、画像処理用のプログラムならびにその記憶媒体、および画像処理装置 | |
TWI512787B (zh) | A defect analysis support means, a program executed by the defect analysis support means, and a defect analysis system | |
US8442322B2 (en) | Image processing apparatus and non-transitory storage medium storing image processing program | |
TWI500925B (zh) | Check the device, check the method and check the program | |
JP5469532B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム | |
JP3706051B2 (ja) | パターン検査装置および方法 | |
US8331670B2 (en) | Method of detection document alteration by comparing characters using shape features of characters | |
JP2991163B2 (ja) | カメラキャリブレーション装置 | |
KR102073468B1 (ko) | 비전 시스템에서 컬러 이미지에 대해 컬러 후보 포즈들의 점수화를 위한 시스템 및 방법 | |
US20140119638A1 (en) | System, method and computer program product to evaluate a semiconductor wafer fabrication process | |
KR102153962B1 (ko) | 비전 시스템으로 이미지에서 라인을 찾기 위한 시스템 및 방법 | |
JP5486403B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法及びコンピュータプログラム | |
US8687921B2 (en) | Image processing apparatus, image processing method, and image processing program | |
Zhang et al. | A new algorithm for accurate and automatic chessboard corner detection | |
JP2011227748A (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、画像処理プログラム、及び欠陥検出装置 | |
JP3661635B2 (ja) | 画像処理方法およびその装置 | |
JP2005352543A (ja) | テンプレートマッチング装置 | |
TW201923923A (zh) | 判定圖樣的臨界尺寸變異 | |
JP5397103B2 (ja) | 顔位置検出装置、顔位置検出方法及びプログラム | |
JP4872895B2 (ja) | 顔中心線検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130409 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140221 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5486403 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |