JP2011240346A - 接合方法および接合装置ならびに接合体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光1の吸収により加熱された加圧ツール2を用いて、一方の部材を押しつぶしながらレーザ照射し、2つの部材を接合することにより、接合面積を拡大した状態で熱拡散接合をさせることが可能となるため、簡便な構成で、レーザ反射率が高い金メッキや銅などの様々な接合材料をも、高速かつ高品質・高安定に接合することが可能となる。
【選択図】図1
Description
図9は従来の接合方法および接合装置を説明する概略断面図である。
例えば、図9に示すように、超音波ホーン116にとりつけられた透明なボンディングツール115の上端面117からレーザ光を導入し、レーザ出口でもある加圧面118で板状のリード103をレーザ光による加熱アシストすると共に、電極パット105とリード103を超音波ホーン116から入力する超音波による摩擦熱で、効率良く接合し、接合品質をあげることができる(例えば、特許文献1参照)。
まず、接合される部材は通常銅板や金メッキ板等のレーザの高反射体であることが多く、これらの材料はレーザが表面で殆ど反射してあまり加熱されないので熱による接合品質はあがらない。そこでレーザ光を強くして接合される部材の温度をあげようとすると反射したレーザ光が周囲に多く飛び散り、周辺の熱に弱い樹脂パッケージ等にダメージを起こしたり、レーザ発振器にレーザが戻り、戻り光でレーザ発振器が破損することがあった。
さらに、本発明の接合方法は、保持台上に第2部材を載置し、前記第2部材上に第1部材を載置する工程と、レーザ光の一部を吸収し、前記レーザ光の残りを透過する加圧ツールと前記第2部材とで前記第1部材を挟みこむ工程と、前記加圧ツールを介して前記レーザ光を前記第1部材に照射すると共に、前記加圧ツールで前記第1部材を加圧する工程とを有し、前記レーザ光の一部を吸収することにより加熱された前記加圧ツールの熱と圧力により前記第1部材を押しつぶしながら、前記第1部材と前記第2部材とを熱拡散接合させることを特徴とする。
また、前記第1部材は樹脂がコートされたワイヤであり、前記加熱によって前記樹脂が熱分解した後、前記ワイヤと前記第2部材とを接合することができる。
また、前記レーザ光の照射を、前記レーザ光のパワーを徐々に上げるように行うことが好ましい。
また、前記加圧の前に、前記第2部材の前記第1部材に接触する面に対する裏面を加熱することが好ましい。
また、前記第2部材として前記第1部材より融点の低い材料を用い、前記加熱によって前記第2部材のみを融解させ、前記第1部材を前記第2部材に埋め込んで接合しても良い。
また、前記第1部材を載置する際に、前記第1部材より融点の低い材料の半田を介して前記第2部材上に前記第1部材を載置し、前記加熱によって前記半田のみを融解させ、前記第1部材を前記半田に埋め込んで接合しても良い。
さらに、本発明の接合体は、前記接合方法で接合された接合体であって、前記第1部材であるワイヤと前記第2部材である金属板とが接合され、前記ワイヤと前記金属板との接合界面における前記ワイヤの表面粗さが、前記ワイヤの加圧面の表面粗さより粗いことを特徴とする。
本発明に係わる接合方法は、第1部材と第2部材とを接合する際に、レーザ光を10〜40%吸収して発熱する熱伝導性の良いセラミック系加圧部材と銅板等の第2部材とで銅ワイヤ等の第1部材を挟み込んだ状態で、加圧部材にレーザを照射して、加圧部材を通過したレーザ光によって、第1部材と第2部材を加熱すると同時に、レーザ光で加圧部材を加熱し、加圧部材からの伝熱で第1部材を加熱して軟化させた上で加圧することにより、第1部材を扁平状に変形させ、第1部材と第2部材の接触面積を増加させて接合するものである。
加圧部材のレーザ受光面に窒素ガス等の不活性ガスをふきつけることにより、セラミックの酸化を防止して長寿命化するばかりでなく、レーザ部分透過型のセラミックといえども、レーザ受光面が最も高熱になるので、その高熱部を不活性ガスで冷却でき、また溶融防止でき、さらにセラミック系加圧部材のレーザ出入口の温度勾配を減らすことができるので、熱疲労を削減でき長期に渡り安定した接合品質が維持できる。
レーザ光を一部吸収する加圧部材と半田等の第2部材とでリード線等の第1部材を挟み込み、加熱部材にレーザを照射して、加圧部材を通過したレーザ光によって、第1部材と第2部材を加熱すると同時に、レーザ光で加圧部材を加熱し、加圧部材からの伝熱で第1部材を加熱し、第1部材であるリード線より融点が低い半田等の第2部材を軟化させて第1部材を第2部材に埋め込んでいくことにより、接触不良の無い高い品質の接合ができる。
本発明は、2つの部材を接合する際に、レーザ光を一部透過し、一部を吸収する加圧ツールを用い、第1の部材を加圧ツールと第2の部材とで挟みこんで圧力を加えながら、加圧ツールを介して部材にレーザ光を照射することにより、レーザ光の吸収により加圧ツールが加熱され、加圧ツールからの圧力と熱とにより第1の部材を押しつぶすことにより、第1の部材と第2の部材との接触面積を拡大した状態で、レーザ光の照射による発熱を加えて、第1の部材と第2の部材とを熱拡散接合するものである。
(実施の形態1)
以下まず、図1〜図3を用いて、実施の形態1について説明する。
ここで、加圧ツール2として、レーザ光を部分吸収するセラミックスを材料として用いることができ、セラミック材料としてはレーザの吸収率が10〜40%になる配合が適しており、ツールのサイズや形状により最適な吸収率は変わり、加圧対象からの戻り光を加味して、全体が出来るだけ均質に加熱できるように最適な設計パラメータとして吸収率を定める。
図1(a)は加圧状態でレーザ照射開始時の図である。通常のセラミックではレーザ照射面9でレーザ光1の大半を吸収ないし反射するが、加圧ツール2はレーザ光1を部分的にしか吸収しない。従って、加圧面10までレーザ光1の例えば半分以上が通過し全体を加熱できるので加圧面10を1000℃以上等の高温にすることができる。また、ポリウレタン線4の周囲の銅板3も少し加熱される。
図1(b)では、ポリウレタン線4が変形する途中で、被膜7が溶融・気化し、銅線8がむき出しになる。その状態で加熱が進行するので、直接銅板3が加熱される。
また、加圧ツール2を長時間高温条件下にさらすと加圧ツール2の劣化が促進される。そこで、本接合工程においてポリウレタン線4と銅板3の温度上昇に時間を要するので、レーザ1のパワーを徐々に上げていくことが可能となり、加熱ツール1のレーザ照射面9と加圧面10との温度勾配を小さくすることができ、加圧ツール2のレーザ照射面9の温度上昇を抑えることができるので加熱ツール2の長寿命化がはかれる。図において、図1(a)〜(d)に行くにつれレーザ1を濃く示しており、この濃さはレーザパワー強度Ptの変化を示している。
図3(a)は生産開始時であり、被接合部材が銅の場合は、銅のレーザの反射率が95%以上あるため、銅ワイヤ20からの反射レーザ光により主に加圧ツール2からの熱伝導で扁平された銅ワイヤ20の加圧受け面16が加熱され、更に扁平された銅ワイヤ20の熱伝導で銅板3の表面17が融点近くまで加熱されて熱拡散接合が起きるが、この時、保持台5に熱を奪われることになり、レーザ1のパワーをあげ、より高温に加熱ツール2の温度をあげる必要がある。
(実施の形態2)
次に、図4を用いて実施の形態2の接合方法および接合装置について説明する。
図4(a)は加圧ツール2の1実施例の具体形状である。レーザ1を効率良く受光する為に、レーザスポット24より大きな受光面には加熱ツール2を保持する為のツバ25を有し、レーザ1の透過部より少し大きな光導波路22を途中に形成することで、光ファイバのように壁面反射される為、加圧面10以外の周囲23へのレーザ漏れを殆どなくし、周囲の樹脂等へのレーザによるダメージをなくしている。
(実施の形態3)
次に図5を用いて実施の形態3の接合方法について説明する。
図5は、上記各実施の形態において、レーザ光1を一部吸収する加圧ツール2と基板30のランド31とでプリコート半田32とポリウレタン線4を挟み込み、加圧ツール2にレーザ光1を照射して、加圧ツール2を通過したレーザ光6によって、ポリウレタン銅線4とプリコート半田32を加熱してポリウレタン被膜7を溶融物33と気化物34に分解させると共に、レーザ光1で加圧ツール2を加熱し、加圧ツール2を介して銅線8とプリコート半田32を加熱してポリウレタン被膜7を完全に除去し、銅線8より融点が低いプリコート半田32を軟化・溶融させて銅線8をそのままの形状でプリコート半田32に埋め込んでいく接合方法を示す。
(実施の形態4)
次に図6を用いて実施の形態4の接合方法について説明する。
図6は加圧ツール2で2つのフレキ基板50、53を加圧・加熱して接合する1実施例である。
なお、フレキ基板50、53の樹脂シート55、57は600〜1500nmの通常の半導体レーザの波長に対してレーザ透過性とレーザ部分吸収特性を有する。
図6(a)は加圧ツール2がフレキ基板53とでフレキ基板50を挟み込む際に、レーザ1を加圧ツール2に照射する直前の図である。
また、加圧する前にレーザ光1を照射し始めて加圧ツール2、フレキ基板50,53を予熱して良いし、別の方法でフレキ基板50,53を加熱してからレーザ照射を始めても良く、フレキ基板50,53を予熱することによりロバストかつ簡単に接合できる。
(実施の形態5)
次に、上記各実施の形態の接合装置あるいは接合方法を用いた接合体について、図7を用いて説明する。
図7は、銅版3にポリウレタン線4を接合した接合体を示しており、ポリウレタン線4の接合箇所近傍は加熱により皮膜7が除去され、剥き出しになった銅線8は加圧により変形して扁平部46が形成されている。扁平部46は加圧ツール2により十分に薄く扁平に変形している部分である。
加圧ツール2のr部は内部を通過したレーザ光を凸レンズの様にR部に集光するので、扁平部46は銅板3の接合界面47で既に熱拡散接合が起きる融点近傍まで温度上昇しており、R部は部分的に銅の融点を超え、滑らかなRを有する液面形状になり、傷や微細なクラックがなくR部の引張強度が増すので、接合体としての品質が向上する。
(実施の形態6)
次に、上記各実施の形態の接合装置あるいは接合方法を用いた接合体の別の構成について、図8を用いて説明する。
実施の形態6の接合体は、プリコート半田35に埋め込まれた銅線38の表面の一部のむき出し部43が外部から観察できることが特徴である。
以上の実施の形態として同種金属である銅どうしの接合を銅の融点以下の半田を用いて熱拡散接合している例を示したが、銅とニッケル等異種金属を接合する場合でも、半田の融点より高い融点の材料どうしを熱拡散接合ができる。また、加圧ツール2を高温にすることで、銅の融点を超える温度に加熱することで、半田を用いずに、溶融した銅に銅線を埋め込むように溶接しても良いし、同様に異種金属でも加圧状態で融点ないし、融点を超えるまで加熱できる場合には、溶融した一方の金属に他方の金属を埋め込むように接合できる。勿論、ポリウレタン等の被覆がなくても接合できる。
また、第2部材としてポリウレタン被覆線で説明したが、エナメル線等の絶縁被覆でも良く、また薄板でも接合に加熱ツール2から必要な温度を供給すれば接合できる。
2・・・加圧ツール
3・・・銅板
4・・・ポリウレタン線
5・・・保持台
6・・・レーザ光
7・・・被覆
8・・・銅線
9・・・レーザ照射面
10・・・加圧面
11・・・扁平体
13・・・接合界面
14・・・断熱材
15・・・ポリウレタン層
16・・・面
17・・・面
19・・・ポリウレタン
20・・・銅ワイヤ
22・・・光導波路
24・・・レーザスポット
25・・・ツバ
26・・・戻りレーザ光
27・・・レーザ受光面
28・・・ピンフォトダイオード
29・・・レーザ漏れ
30・・・基板
31・・・ランド
32・・・プリコート半田
33・・・溶融物
34・・・気化物
35・・・プリコート半田
36・・・溶融半田
37・・・固化半田
38・・・銅線
46・・・扁平部
47・・・接合界面
50、53・・・フレキ基板
51、54・・・ランド
52・・・半田
55,57・・・樹脂シート
56・・・熱伝対
65・・・ポリウレタン収縮部
103・・・リード
105・・・電極パット
115・・・ボンディングツール
116・・・超音波ホーン
117・・・上端面
118・・・加圧面
Claims (16)
- レーザ光の一部を吸収し、前記レーザ光の残りを透過して第1部材に照射する加圧ツールと、
前記第1部材と第2部材とが載置される保持台と
を有し、前記第1部材を前記加圧ツールと前記第2部材とで挟みこんだ状態で、前記加圧ツールを介して前記レーザ光を前記第1部材に照射すると共に、前記加圧ツールで前記第1部材を加圧することにより、前記第1部材を加熱、加圧して押しつぶし、前記第1部材と前記第2部材との接触面積を拡大した状態で前記第1部材と前記第2部材とを熱拡散接合させることを特徴とする接合装置。 - 前記加圧ツールの前記レーザ光の吸収率が10〜40%であることを特徴とする請求項1記載の接合装置。
- 前記加圧ツールの加圧面または前記保持台表面に、予め前記保持台より熱伝導率が低い材料をコートすることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の接合装置。
- 保持台上に第2部材を載置し、前記第2部材上に第1部材を載置する工程と、
レーザ光の一部を吸収し、前記レーザ光の残りを透過する加圧ツールと前記第2部材とで前記第1部材を挟みこむ工程と、
前記加圧ツールを介して前記レーザ光を前記第1部材に照射すると共に、前記加圧ツールで前記第1部材を加圧する工程と
を有し、前記レーザ光の一部を吸収することにより加熱された前記加圧ツールの熱と圧力により前記第1部材を押しつぶしながら、前記第1部材と前記第2部材とを熱拡散接合させることを特徴とする接合方法。 - 前記加圧ツールの前記レーザ光の吸収率が10〜40%であることを特徴とする請求項4記載の接合方法。
- 前記第1部材は樹脂がコートされたワイヤであり、前記加熱によって前記樹脂が熱分解した後、前記ワイヤと前記第2部材とを接合することを特徴とする請求項4または請求項5のいずれかに記載の接合方法。
- 前記加圧ツールの加圧面または前記保持台表面に、前記保持台より熱伝導率が低い材料または前記樹脂がコートされていることを特徴とする請求項6記載の接合方法。
- 前記レーザ光の照射を、前記レーザ光のパワーを徐々に上げるように行うことを特徴とする請求項4〜請求項7のいずれかに記載の接合方法。
- 前記加圧の前に、前記第2部材の前記第1部材に接触する面に対する裏面を加熱することを特徴とする請求項4〜請求項8のいずれかに記載の接合方法。
- 前記レーザ光の照射の際に、前記第1部材の加熱部の周囲に不活性ガスを供給することを特徴とする請求項4〜請求項9のいずれかに記載の接合方法。
- 前記第2部材として前記第1部材より融点の低い材料を用い、前記加熱によって前記第2部材のみを融解させ、前記第1部材を前記第2部材に埋め込んで接合することを特徴とする請求項4〜請求項10のいずれかに記載の接合方法。
- 前記第2部材が錫ないし錫合金であり、前記第1部材がワイヤであることを特徴とする請求項11記載の接合方法。
- 前記第1部材を載置する際に、前記第1部材より融点の低い材料の半田を介して前記第2部材上に前記第1部材を載置し、前記加熱によって前記半田のみを融解させ、前記第1部材を前記半田に埋め込んで接合することを特徴とする請求項4〜請求項10のいずれかに記載の接合方法。
- 前記加熱に際し、前記第1部材と前記加圧ツールの界面で発生する前記レーザ光の戻り光も用いることを特徴とする請求項4〜請求項13のいずれかに記載の接合方法。
- 請求項4〜請求項14のいずれかに記載の接合方法で接合された接合体であって、
前記第1部材であるワイヤと前記第2部材である金属板とが接合され、
前記ワイヤと前記金属板との接合界面における前記ワイヤの表面粗さが、前記ワイヤの加圧面の表面粗さより粗いことを特徴とする接合体。 - 請求項11記載の接合方法で接合された接合体であって、
前記第1部材であるワイヤと前記第2部材とが接合され、
前記第2部材に埋め込まれた前記ワイヤ表面の一部が前記第2部材から露出することを特徴とする接合体。
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