JP2011237389A

JP2011237389A - 試験装置および試験装置の制御方法

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Publication number: JP2011237389A
Application number: JP2010111409A
Authority: JP
Inventors: Akimasa Yuzurihara; 章政譲原; Tsuneaki Kanazawa; 経明金澤; Hidekazu Nakai; 秀和中井
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2010-05-13
Filing date: 2010-05-13
Publication date: 2011-11-24

Abstract

【課題】複数の試験モジュールに対して効率的に制御命令を送信する。
【解決手段】複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記複数の被試験デバイスを試験する複数の試験部と、前記複数の試験部のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択コマンドと、有効化された試験部を制御するための制御コマンドとを、ブロードキャストする試験制御部と、それぞれが前記複数の試験部のうち少なくとも１つの試験部を制御し、前記試験制御部からブロードキャストされた制御コマンドに対応する処理を、有効化された前記試験部に対して行う複数のサイト制御部と、を備える試験装置を提供する。
【選択図】図３

Description

本発明は、試験装置および試験装置の制御方法に関する。

半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置として、複数の試験モジュール、および、テスタコントローラを備える装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
特許文献１特開平９−８９９９９号公報

従来のテスタコントローラは、複数の試験モジュールに対し、順次制御命令を発行しているので、複数の試験モジュールを制御するのに時間を要する。このため、複数の試験モジュールに対して効率的に制御命令を送信できる試験装置が望まれる。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、複数の被試験デバイスを試験する複数の試験部と、複数の試験部のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択コマンドと、有効化された試験部を制御するための制御コマンドとを、ブロードキャストする試験制御部と、それぞれが複数の試験部のうち少なくとも１つの試験部を制御し、試験制御部からブロードキャストされた制御コマンドに対応する処理を、有効化された試験部に対して行う複数のサイト制御部と、を備える試験装置を提供する。

また、本発明の第２の態様においては、複数の被試験デバイスを試験する複数の試験部を有する試験装置の制御方法であって、複数の試験部のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択コマンドをブロードキャストし、有効化された試験部を制御するための制御コマンドをブロードキャストし、選択コマンドにより有効化された試験部が、ブロードキャストされた制御コマンドに対応する処理を行う試験装置の制御方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る試験装置１００の構成を複数のＤＵＴ９００とともに示す。マシンワードを構成するマシンワードアドレスとマシンワードデータのフォーマットを示す。本実施形態に係る試験ボード１５０の構成例を示す。選択ビットマップのフォーマットの一例を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成を複数の被試験デバイス（ＤＵＴと呼ぶ場合もある）９００とともに示す。試験装置１００は、複数のＤＵＴ９００を並行して試験する。ＤＵＴ９００は、一例として、被試験メモリであってもよく、より具体的にはフラッシュメモリ等の不揮発性メモリであってよい。

試験装置１００は、試験コントローラ１１０と、ネットワーク部１２０と、制御ボード１３０と、デバイス接続部１４０と、試験ボード１５０とを備える。試験コントローラ１１０は、制御ボード１３０および複数の試験ボード１５０に接続され、ＵＤＰ／ＩＰ（User Datagram Protocol/Internet Protocol）等の通信パケットを複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０とやり取りして、複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０を制御する。より具体的には、試験コントローラ１１０は、ワークステーション等の外部のコンピュータまたは記憶装置等から試験に用いる試験プログラムを取得して、もしくは、ユーザからの入力により試験プログラムを取得して、当該プログラムを実行することにより、制御ボード１３０および試験ボード１５０の動作を制御してよい。

試験コントローラ１１０は、試験プログラムにより指定される試験情報、試験シーケンス、および／または制御コマンド、制御コマンドの送信先を設定するための選択コマンド等を、ネットワーク部１２０を介して対応する制御ボード１３０または試験ボード１５０に送信してよい。また、試験コントローラ１１０は、一例として、複数の試験ボード１５０のそれぞれから試験結果を読み出す。これにより、試験コントローラ１１０は、複数のＤＵＴ９００のそれぞれの試験結果をユーザに表示したり、一の試験結果に応じて次の試験内容を変更したりすることができる。

試験コントローラ１１０から送信される制御コマンド、選択コマンド等のコマンドは、マシンワードアドレスとマシンワードデータの組合せによって定義されるマシンワードとして、送受信される。図２は、マシンワードを構成するマシンワードアドレスとマシンワードデータのフォーマットを示す。マシンワードアドレスは、コマンドを送信する宛先のレジスタのアドレスを指定し、制御ボード１３０又は試験ボード１５０内における読み出し又は書き込み対象のレジスタを特定する。マシンワードアドレスは、例えば１６ビットの２進数で表現される。図２に示した例では、０−１０番目のビットが、試験装置１００内のリレー・スイッチの制御に用いられるリレー設定レジスタ、試験装置１００内の電源制御に用いられる電源コントロールレジスタ、試験パターンの転送に用いるパターン転送レジスタ等のハードウェアレジスタアドレス空間に割り当てられる。また、マシンワードアドレスの１１−１４番目のビットがＤＵＴ９００の選択用に割り当てられ、４ビットの２進値により１６個のＤＵＴ９００を個別に選択できる。また、マシンワードアドレスの１５番目のビットは、全てのＤＵＴ９００を選択するためのビットとして割り当てられる。また、マシンワードデータは、例えば１６ビットの２進数で表現され、マシンワードアドレスで指定されたレジスタに設定すべきデータを指定する。

ネットワーク部１２０は、試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを通信可能に接続する。ネットワーク部１２０は、汎用または専用のインターフェイスを介して試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを接続して、通信パケットをそれぞれ転送してよい。ネットワーク部１２０は、Ethernet（登録商標）、ＵＳＢ、Serial RapidIO等の汎用の高速シリアルインターフェースまたはパラレルインターフェースを用いてよい。

制御ボード１３０は、ＤＵＴ９００に対する電源供給の制御、および試験ボード１５０とＤＵＴ９００との間を接続／切断するスイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御を実行する。制御ボード１３０は、試験の種類または項目、ＤＵＴ９００が不良品であることを示す情報等に応じて、試験ボード１５０とＤＵＴ９００との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。また、制御ボード１３０は、ＤＵＴ９００の種類および数、試験ボード１５０の種類および数等に応じて、複数の試験ボード１５０と複数のＤＵＴ９００との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。試験装置１００は、複数の制御ボード１３０を備えてもよい。複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０は、一例として、当該試験装置１００の本体部であるテストヘッドの内部に収納される。

デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０、試験ボード１５０、およびＤＵＴ９００の間を通信可能に接続する。デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０の指示に応じて、制御ボード１３０、試験ボード１５０、およびＤＵＴ９００の間の接続を、スイッチによってＯＮ／ＯＦＦする。

試験ボード１５０は、試験コントローラ１１０の試験パターン、試験シーケンス、および／または制御コマンド等に基づき、ＤＵＴ９００を試験する。試験装置１００は、同時に試験するＤＵＴ９００の数に応じて同種の試験ボード１５０を複数搭載してよい。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、１つのＤＵＴ９００または複数のＤＵＴ９００にそれぞれデバイス接続部１４０を介して接続されてよい。

また、それぞれの試験ボード１５０は、試験装置１００と着脱できてよい。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、１または複数のＤＵＴ９００と接続される。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、接続された１または複数のＤＵＴ９００との間で信号を授受して、これら１または複数のＤＵＴ９００を試験する。

図３は、本実施形態に係る試験ボード１５０の構成例を示す。試験ボード１５０は、試験制御部２００と、複数のサイト制御部２２０と、複数の試験部２４０とを備える。

試験制御部２００は、ネットワーク部１２０を介して試験コントローラ１１０および／または制御ボード１３０と接続され、試験ボード１５０内で複数のサイト制御部２２０と接続される。一例として、試験制御部は８個のサイト制御部と接続される。試験制御部２００は、一例として、回路構成をプログラム可能なプログラマブル回路により構成される。試験制御部２００は、試験コントローラ１１０および／または制御ボード１３０と通信し、試験パターン、試験シーケンス、および／または制御コマンド等を受け取る。また、試験制御部２００は、試験結果、および／または試験ボード１５０のステータス等を試験コントローラ１１０および／または制御ボード１３０へ送信する。試験制御部２００は、試験コントローラ１１０と同様、図２に示したマシンワードを用いて、制御コマンドおよび選択コマンドをサイト制御部２２０に送信する。

試験制御部２００は、複数の試験部２４０のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択コマンドと、有効化された試験部２４０を制御するための制御コマンドとをブロードキャストする。ブロードキャストとは、試験制御部２００に接続された全てのサイト制御部２２０に対し、同時に同じコマンドを送信することを意味する。具体的には、マシンワードアドレスにおける１５番目のビットを１とすることにより全てのＤＵＴ９００を選択しつつ、コマンドを指定するマシンワードデータを送信することでブロードキャストを実現する。また、試験制御部２００は、選択コマンドと制御コマンドとをブロードキャストに代えてマルチキャスト送信してもよい。マルチキャストとは、試験制御部２００に接続された複数のサイト制御部２２０のうちの特定の複数個に対し、同時に同じコマンドを送信する、１対多の送信形態ことを意味する。

一例として、試験制御部２００は、複数のサイト制御部２２０のそれぞれの有効または無効を示す選択ビットを配列した選択ビットマップを生成する。そして、試験制御部２００は、選択ビットマップを選択コマンドにより送信する。ビットマップとは、試験部２４０の数に対応した数のビットの配列である。図４は、選択ビットマップのフォーマットの一例を示す。選択ビットマップは１６ビットのビット配列であり、各ビットの論理値が対応する試験部２４０が有効か無効かを示す。例えば論理値１が有効、論理値０が無効を示してよい。試験制御部２００は、マシンワードアドレスの１５番目のビットを１とし、マシンワードデータに選択ビットマップを設定することで、選択コマンドをブロードキャストする。他の例として、試験制御部２００は、選択ビットマップに代えて個々のＤＵＴ９００の有効または無効を、個別に指定してもよい。

試験制御部２００は、無効化した試験部２４０に対しても制御コマンドが送信されるが、後述するように、サイト制御部２２０が有効化された試験部２４０に対して制御コマンドを転送し、無効化された試験部２４０に対しては制御コマンドを転送しないことにより、有効化された試験部２４０のみに制御コマンドが届く。このような構成により、複数の試験部２４０のそれぞれにたいして順次個別に制御コマンドを送信する必要が無く、試験制御部２００から全ての試験部２４０に対して一括で制御コマンドをブロードキャストすれば、当該制御が必要とされる（すなわち有効化された）試験部２４０のみに制御コマンドを届けることができる。

試験制御部２００は、ある試験部２４０を無効化したい場合に、当該試験部２４０の無効化を選択する選択コマンドを送信する。例えば、試験制御部２００は、複数のＤＵＴ９００の試験中に一のＤＵＴ９００の不良が検出されたことに応じて、当該一のＤＵＴ９００を試験する試験部２４０の無効化を選択する選択コマンドを送信する。試験制御部２００は、あるサイト制御部２２０の制御下にある試験部２４０によって試験されているＤＵＴ９００について不良が検出されたことを、当該サイト制御部２２０から通知されてよい。このような制御により、不良検出時に、該試験部２４０に対して以後の試験のための制御が行われないよう設定し、不良のＤＵＴ９００に対する以後の試験を行わないようにできる。他の例として、試験制御部２００は、複数種類のＤＵＴ９００の試験を並行して実行する場合、複数種類の処理を各ＤＵＴ９００に対して行う場合等に、当該ＤＵＴの種類又は処理の種類に応じて、制御対象から除外すべき試験部２４０の無効とする選択コマンドを送信してよい。

他の例として、複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、制御対象の試験部２４０がＤＵＴ９００の不良を検出したことに応じて、当該試験部２４０を無効化してもよい。不良検出時に、該試験部２４０に対して以後の試験のための制御が行われないよう設定し、不良のＤＵＴ９００に対する以後の試験を行わないようにすることができる。また、試験制御部２００からの選択コマンドを待つことなく、迅速に試験部２４０を無効化できる。この場合、複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、制御対象の試験部が被試験デバイスの不良を検出したことにより当該試験部を無効化した場合に、当該試験部を無効化したことを試験制御部に通知してもよい。不良検出時にサイト制御部２２０側で試験部２４０を無効化した場合に、試験制御部２００が管理する有効または無効の状態を最新の状態に自動的に更新することができ、以後、不良のＤＵＴ９００に対応する試験部に対し不要な設定がなされることを防ぐことができる。試験制御部２００は、複数の試験部２４０のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択ビットを配列した選択ビットマップにより複数の試験部２４０のそれぞれの有効または無効の状態を管理し、サイト制御部２２０から試験部２４０を無効化した旨の通知を受けた場合に、当該試験部２４０の管理状態を無効状態に更新してもよい。

試験制御部２００は、複数のサイト制御部２２０に格納された有効または無効の状態を読み出す読出コマンドを送信し、複数のサイト制御部２２０に格納された有効または無効の状態を読み出した結果に基づいて、選択ビットマップを生成してよい。試験制御部２００が自ら複数のサイト制御部２２０に格納された有効または無効の状態を読み出すので、サイト制御部２２０から不定期に通知が発せられる場合のように予期せぬタイミングで有効または無効の状態の更新を通知されることがなく、ユーザが予め決めたタイミングで複数の試験部２４０のそれぞれの有効または無効の状態を更新できる。複数のサイト制御部２２０のそれぞれが全ての試験部２４０の有効または無効の情報を格納する場合には、試験制御部２００は、各サイト制御部２２０から全ての試験部２４０についての有効または無効の情報を読み出し、各サイト制御部２２０から読み出された有効または無効の状態の論理積を得ることで個々の試験部２４０の有効または無効の状態を生成してよい。

試験制御部２００は、複数の試験部２４０の全てを有効化することを指示するリセットコマンドをブロードキャストまたはマルチキャストしてよい。このとき、複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、リセットコマンドを受信したことに応じて、制御対象の全ての試験部２４０を有効化する。複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、リセットコマンドを受信したことに応じて、制御対象の全ての試験部２４０を有効化するだけでなく、更に所定の初期状態にリセットしてもよい。試験部２４０の有効化または無効化には選択ビットマップの更新と選択コマンドおよび制御コマンドの送信が必要であるところ、上記のリセットコマンドにより、試験の初期段階等で頻繁に行われる全ての試験部２４０を有効化および／または初期化する処理を、一度のリセットコマンド送信により実現できるので試験装置１００の設定時間を短縮できる。

サイト制御部２２０は、試験制御部２００および少なくとも１つの試験部２４０と接続される。一例としてサイト制御部２２０は２個の試験部２４０と接続される。サイト制御部２２０は、それぞれが複数の試験部２４０のうち少なくとも１つの試験部２４０を制御し、試験制御部２００からブロードキャストされた制御コマンドに対応する処理を、有効化された試験部２４０に対して行う。複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、選択コマンドを受信して、制御対象の試験部２４０に対応する選択ビットの値に基づいて、制御対象の試験部２４０が有効または無効のいずれであるかを判別する。複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、有効化された試験部２４０に対して制御コマンドを転送し、無効化された試験部に対しては制御コマンドを転送しない。このような構成により、複数の試験部２４０のそれぞれに対して順次個別に制御コマンドを送信する必要が無く、試験制御部２００から全ての試験部２４０に対して一括で制御コマンドをブロードキャストすれば、当該制御が必要とされる（すなわち有効化された）試験部２４０のみに制御コマンドを届けることができる。

複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、複数の試験部２４０の有効または無効の状態を格納する。一例として、複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、制御対象の試験部２４０の有効または無効の状態を格納してよい。複数のサイト制御部２２０のそれぞれが制御対象の試験部２４０についてのみ、有効または無効の状態を格納することで、各サイト制御部２２０に必要とされる記憶領域を抑制できる。他の例としては、複数のサイト制御部２２０のそれぞれが全ての試験部２４０の有効または無効の情報を格納してよい。

複数のサイト制御部２２０のそれぞれは、制御対象の試験部２４０がビジーか否かを示すビジー状態を管理してよい。ビジーとは、制御対象の試験部２４０が、試験の実行中である場合、他の制御の結果必要とされる待ち時間の最中である場合、またはＤＵＴ９００の出力が所定の状態になるのを待つ必要が有る場合等の事情により、制御を受け付けられない状態、あるいは次の制御に移れない状態であることを意味する。各サイト制御部２２０は、試験制御部２００からビジー状態の読出コマンドを受けたことに応じて、制御対象の試験部２４０が有効である場合に当該試験部２４０のビジー状態を試験制御部２００へと返送し、制御対象の試験部２４０が無効である場合には当該試験部２４０がビジーでない旨を試験制御部２００へと返送する。無効である試験部２４０が常にビジーでない旨を試験制御部２００へと返送するため、制御コマンドの送信先とはならない無効化された試験部２４０がビジー状態を示すことにより、試験が次に進まなくなることを防ぐことができ、効率的に制御コマンドを送信できる。

試験制御部２００は、ブロードキャストまたはマルチキャストにより制御コマンドを送信するのに加え、宛先の試験部２４０を指定した個別制御コマンドを送信してもよい。この場合、宛先の試験部２４０を制御するサイト制御部２２０は、個別制御コマンドを受信したことに応じて、宛先の試験部２４０が有効または無効のいずれの場合においても宛先の試験部２４０に対して個別制御コマンドに対応する処理を行う。有効化された試験部２４０への制御コマンド送信と併せて、特定の試験部２４０に対して個別に制御コマンドを送信する必要がある場合に、選択コマンドによって有効／無効の設定を切り替えることなく特定の試験部２４０に対する制御コマンド送信を行うことができ、一連のコマンド送信に要する時間を抑制できる。

複数の試験部２４０のそれぞれは、当該試験部２４０を制御するＤＵＴ９００を試験する。具体的には、複数の試験部２４０のそれぞれは、サイト制御部２２０の制御に基づき、デバイス接続部１４０を介してＤＵＴ９００に対して試験信号を供給し、またはＤＵＴ９００が出力する信号をデバイス接続部１４０を介して受け取って、ＤＵＴ９００を試験する。また、試験部２４０は、ビジー状態であるか否かを示すビジーフラグを出力してよい。例えば、ビジーフラグが論理値ハイである場合にはビジー状態であることを示し、ビジーフラグが論理値ローである場合にはビジー状態でないことを示してよい。試験部２４０とＤＵＴ９００は１対１に対応してもよいし、複数の試験部２４０が協働して１つのＤＵＴ９００を試験してもよい。試験部２４０は、例えば、パターン発生回路、論理比較回路、デバイス電源供給回路、直流試験回路、ＡＤ変換回路、任意波形発生回路、および／またはジッタ測定回路等を有してよい。

上記の実施形態では、試験ボード１５０内に試験制御部２００が設けられる場合が例示されたが、試験制御部２００は必ずしも試験ボード１５０内に設けられる必要はない。例えば、試験コントローラ１１０が試験制御部２００としての機能を担ってもよい。この場合、選択コマンドおよび制御コマンドは、試験コントローラ１１０からネットワーク部１２０を介して試験ボード１５０内の複数のサイト制御部２２０に送られてよい。試験コントローラ１１０からの選択コマンドおよび制御コマンドは、それぞれが複数のサイト制御部２２０を有する複数の試験ボード１５０に対してブロードキャストまたはマルチキャストされてよい。このような構成により、試験可能なＤＵＴ９００の数を試験ボード１５０の増減によりフレキシブルに変更できる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１００試験装置、１１０試験コントローラ、１２０ネットワーク部、１３０制御ボード、１４０デバイス接続部、１５０試験ボード、２００試験制御部、２２０サイト制御部、２４０試験部、９００ＤＵＴ

Claims

複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記複数の被試験デバイスを試験する複数の試験部と、
前記複数の試験部のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択コマンドと、有効化された試験部を制御するための制御コマンドとを、ブロードキャストする試験制御部と、
それぞれが前記複数の試験部のうち少なくとも１つの試験部を制御し、前記試験制御部からブロードキャストされた制御コマンドに対応する処理を、有効化された前記試験部に対して行う複数のサイト制御部と、
を備える試験装置。
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、有効化された前記試験部に対して前記制御コマンドを転送し、無効化された前記試験部に対しては前記制御コマンドを転送しない請求項１に記載の試験装置。
前記試験制御部は、前記複数の試験部のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択ビットを配列した選択ビットマップを前記選択コマンドにより送信し、
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、前記選択コマンドを受信して、制御対象の前記試験部に対応する選択ビットの値に基づいて、制御対象の前記試験部が有効または無効のいずれであるかを判別する
請求項１または２に記載の試験装置。
前記試験制御部は、前記複数の被試験デバイスの試験中に一の被試験デバイスの不良が検出されたことに応じて、当該一の被試験デバイスを試験する前記試験部の無効化を選択する前記選択コマンドを送信する請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。
前記試験制御部は、前記複数の試験部の全てを有効化することを指示するリセットコマンドを更にブロードキャストし、
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、前記リセットコマンドを受信したことに応じて、制御対象の全ての前記試験部を有効化する
請求項１から４のいずれかに記載の試験装置。
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、前記リセットコマンドを受信したことに応じて、制御対象の全ての前記試験部を更にリセットする請求項５に記載の試験装置。
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、制御対象の前記試験部が被試験デバイスの不良を検出したことに応じて、当該試験部を無効化する請求項１から６のいずれかに記載の試験装置。
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、制御対象の前記試験部が前記被試験デバイスの不良を検出したことにより当該試験部を無効化した場合に、当該試験部を無効化したことを前記試験制御部に通知し、
前記試験制御部は、前記複数の試験部のそれぞれの有効または無効の状態を管理し、サイト制御部から前記試験部を無効化した旨の通知を受けた場合に当該試験部の管理状態を無効状態に更新する
請求項７に記載の試験装置。
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、制御対象の前記試験部の有効または無効の状態を格納し、
前記試験制御部は、前記複数のサイト制御部に格納された前記有効または無効の状態を読み出す読出コマンドを送信する
請求項７または８に記載の試験装置。
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、前記複数の試験部の有効または無効の状態を格納し、
前記試験制御部は、前記複数のサイト制御部に格納された前記有効または無効の状態を読み出した結果に基づいて、前記複数のサイト制御部のそれぞれの有効または無効を示す選択ビットを配列した選択ビットマップを生成する
請求項７から９のいずれかに記載の試験装置。
前記複数のサイト制御部のそれぞれは、制御対象の前記試験部がビジーか否かを示すビジー状態を管理し、前記試験制御部からビジー状態の読出コマンドを受けたことに応じて、制御対象の前記試験部が有効である場合に当該試験部のビジー状態を前記試験制御部へと返送し、制御対象の前記試験部が無効である場合には当該試験部がビジーでない旨を前記試験制御部へと返送する
請求項１から１０のいずれかに記載の試験装置。
前記試験制御部は、宛先の前記試験部を指定した個別制御コマンドを更に送信し、
宛先の前記試験部を制御するサイト制御部は、前記個別制御コマンドを受信したことに応じて、宛先の前記試験部が有効または無効のいずれの場合においても宛先の前記試験部に対して前記個別制御コマンドに対応する処理を行う
請求項１から１１のいずれかに記載の試験装置。
複数の被試験デバイスを試験する複数の試験部を有する試験装置の制御方法であって、
前記複数の試験部のそれぞれの有効化または無効化を選択する選択コマンドをブロードキャストし、
有効化された試験部を制御するための制御コマンドをブロードキャストし、
選択コマンドにより有効化された試験部が、ブロードキャストされた制御コマンドに対応する処理を行う試験装置の制御方法。