JP2011232110A5 - - Google Patents

Description

本発明の一態様によれば、検査対象物を撮像して前記検査対象物の画像を得る検査装置であって、前記検査対象物のエッジ画像に対する第１の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第１の特徴部を検出し、前記エッジ画像に対する第２の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第２の特徴部を検出する特徴検出部と、前記第１の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第１の欠陥部を検出し、前記第２の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第２の欠陥部を検出する欠陥検出部と、前記第１の欠陥部を示す情報及び前記第２の欠陥部を示す情報を、前記画像と共に表示する表示部と、を有することを特徴とする検査装置を提供することができる。
また、検査対象物を撮像して得られた前記検査対象物の画像を得る検査装置を用いた欠陥検出方法であって、前記検査対象物のエッジ画像に対する第１の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第１の特徴部を検出し、前記検査対象物のエッジ画像に対する第２の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第２の特徴部を検出し、前記第１の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第１の欠陥部を検出し、記第２の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第２の欠陥部を検出し、前記第１の欠陥部を示す情報及び前記第２の欠陥部を示す情報を、前記画像と共に前記検査装置の表示部に表示することを特徴とする欠陥検出方法を提供することができる。

Claims (9)

1. 検査対象物を撮像して前記検査対象物の画像を得る検査装置であって、
   前記検査対象物のエッジ画像に対する第１の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第１の特徴部を検出し、前記エッジ画像に対する第２の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第２の特徴部を検出する特徴検出部と、
   前記第１の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第１の欠陥部を検出し、前記第２の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第２の欠陥部を検出する欠陥検出部と、
   前記第１の欠陥部を示す情報及び前記第２の欠陥部を示す情報を、前記画像と共に表示する表示部と、
   を有することを特徴とする検査装置。
2. 前記特徴検出部は、前記検査対象物のエッジ画像のエッジに対して、円近似処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記特徴検出部は、前記円近似処理によって算出された円の径と予め記録された前記円の径の閾値とを比較し、前記円の径の閾値より大きな径を検出することを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
4. 前記特徴検出部は、前記円の径の閾値より大きな径を有する円に関連付けられたエッジを除去し、
   前記欠陥検出部は、前記エッジを除去したエッジ画像を第１の欠陥部として検出することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
5. 前記特徴検出部は、前記第１の特徴部及び前記第２の特徴部を、前記エッジ画像のエッジ強度に基づいて検出することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
6. 前記第１の欠陥部を示す情報及び前記第２の欠陥部を示す情報は、前記画像が記録されるファイルとは異なるファイルに記録されることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
7. 前記表示部は、前記検査対象物の動画像を表示し、該動画像に前記第１の欠陥部が含まれる時間帯を表す欠陥時間表示部を表示することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
8. 前記表示部は、前記画像に含まれる前記第1の欠陥部の量を表す欠陥量表示部を表示することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
9. 検査対象物を撮像して得られた前記検査対象物の画像を得る検査装置を用いた欠陥検出方法であって、
   前記検査対象物のエッジ画像に対する第１の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第１の特徴部を検出し、
   前記検査対象物のエッジ画像に対する第２の条件に基づいて、前記画像から前記検査対象物の第２の特徴部を検出し、
   前記第１の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第１の欠陥部を検出し、
   前記第２の特徴部に基づいて、前記検査対象物の第２の欠陥部を検出し、
   前記第１の欠陥部を示す情報及び前記第２の欠陥部を示す情報を、前記画像と共に前記検査装置の表示部に表示すること
   を特徴とする欠陥検出方法。