JP2011232073A - 観察用試料作製装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検体の表面を転写した型取り材から観察用試料を作製する観察用試料作製装置であって、型取り材Mを支持する支持台11と、支持台11上に設けられ、所定の方向にて隣接して配置されると共に、当該所定の方向に直交する方向で対向して配置される6つの支柱21〜26と、支柱21〜26のそれぞれに取り付けられる押え板31〜36と、押え板31〜36を固定するナット41とを備える支持機構10を有する。
【選択図】図1
Description
まず、台座に型取り材に載せる。型取り材としては、例えばシリコーンゴムなどが挙げられる。この型取り材を被検体に対向して配置し、台座側から被検体側に押圧し、型取り材の表面が乾燥するまで保持する(約10分)。乾燥後、これを被検体から剥離する。そして、被検体の表面状態を転写した型取り材から台座を必要に応じて取り外し、図7(a)に示すように、型取り材103を手110で固定し、型取り材103の目的の位置にカッターナイフ101の刃101aを当て矢印Cの方向へ引くことにより切断する。続いて、型取り材の切断面から厚さ0.5mm〜1.0mmとなる位置にカッターナイフ101の刃101aを当て切断面と平行に引くことにより切断する。これにより、図7(b)に示すように、厚さ0.5mm〜1.0mm程度の薄板状の観察用試料104を得て、観察用試料の作製が終了する。
被検体の表面を転写した型取り材から観察用試料を作製する観察用試料作製装置であって、
前記型取り材を支持する支持台と、
前記支持台上に設けられ、所定の方向にて隣接して配置されると共に、当該所定の方向に直交する方向で対向して配置される少なくとも4つの支柱と、
前記支柱のそれぞれに取り付けられる押え板と、
前記押え板を固定する固定具と
を備える支持機構を有する
ことを特徴とする。
第1の発明に係る観察用試料作製装置であって、
前記固定具がナットであり、
前記支柱には、前記ナットが螺合するねじ部が形成されている
ことを特徴とする。
第2の発明に係る観察用試料作製装置であって、
前記固定具は、前記支柱の上部に固定された固定板と、前記固定板と前記押え板との間に配置される伸縮バネとを備える
ことを特徴とする。
第1の発明に係る観察用試料作製装置であって、
前記押え板には、前記支柱が挿通する長孔が形成されている
ことを特徴とする。
第1の発明に係る観察用試料作製装置であって、
前記型取り材を切断する切断具をさらに有する
ことを特徴とする。
第5の発明に係る観察用試料作製装置であって、
前記切断具が、間隔を持って隣接して配置される2枚の刃を有する
ことを特徴とする。
第6の発明に係る観察用試料作製装置であって、
前記切断具が、前記間隔を調整する調整手段を有する
ことを特徴とする。
本発明の第一番目の実施形態に係る観察用試料作製装置について、図1〜図3を参照して説明する。
まず支持台11の上面11aにおける支柱21〜26で囲まれる領域に型取り材Mを配置する。続いて、押え板31〜36の貫通穴31a〜36aに各支柱21〜26をそれぞれ挿通し、型取り材Mの上部に押え板31〜36をそれぞれ接触させて配置する。このとき、押え板31と押え板34の間、押え板32と押え板35の間、および押え板33と押え板36の間のそれぞれに隙間が生じるように、且つ、押え板31〜33における型取り材Mの上部に配置される端部側が直線状をなすとともに、押え板34〜36における型取り材Mの上部に配置される端部側が直線状をなすように各押え板31〜36を配置する。
本発明の第二番目の実施形態に係る観察用試料作製装置について図4および図5を参照して説明する。
本実施形態に係る観察用試料作製装置は、上述した第一番目の実施形態に係る観察用試料作製装置が具備する支持機構10と同一の支持機構を具備する。
本実施形態にて、上述した第一番目の実施形態の観察用試料作製装置10が具備する機器と同一機器には同一符号を付記する。
本発明の第三番目の実施形態に係る観察用試料作製装置について図6を参照して説明する。
本実施形態に係る観察用試料作製装置は、上述した第一番目の実施形態に係る観察用試料作製装置が具備する支持台11と同一の支持台11を具備する。
まず、押え板81,82を上方に引き上げ、支持台11と押え板81,82との間に型取り材Mを配置する。続いて、作業者が押え板81,82を離すことにより、伸縮バネ92が伸張し押え板81,82を下方に向けて押圧する。このとき、押え板81,82と支持台11との間に型取り材Mが配置されているため、押え板81,82により型取り材Mが支持台11の上に固定される。続いて、上述した第一番目または第二番目の実施形態と同様に、型取り材Mをカッターナイフで引き切ることにより、薄板状の観察用試料を得ることができる。
上記では、6個の支柱と、各支柱に取り付けられる押え板とを具備する観察用試料作製装置を用いて説明したが、支柱及び押え板の数量は6個に限らず、少なくとも4個以上である観察用試料作製装置とすることも可能である。このような観察用試料作製装置であれば、支持台の上面における支柱で囲まれる領域に、型取り材の搭載スペースを確保することができるとともに、型取り材の大きさに応じて押え板により当該型取り材を支持台に向けて押え付けることができ、上述した第一番目〜第三番目の実施形態に係る観察用試料作製装置と同様な作用効果を奏する。
11 支持台(ベース)
21〜26 支柱
31〜36 押え板
41 ナット
50 カッターナイフ
50a 刃
50b 柄
60 カッターナイフ
61 柄
62,63 刃
64,65 調整ネジ
71,72 支柱
81,82 押え板
90 固定具
91 固定板
92 伸縮バネ
93 押圧板
Claims (7)
- 被検体の表面を転写した型取り材から観察用試料を作製する観察用試料作製装置であって、
前記型取り材を支持する支持台と、
前記支持台上に設けられ、所定の方向にて隣接して配置されると共に、当該所定の方向に直交する方向で対向して配置される少なくとも4つの支柱と、
前記支柱のそれぞれに取り付けられる押え板と、
前記押え板を固定する固定具と
を備える支持機構を有する
ことを特徴とする観察用試料作製装置。 - 請求項1に記載の観察用試料作製装置であって、
前記固定具がナットであり、
前記支柱には、前記ナットが螺合するねじ部が形成されている
ことを特徴とする観察用試料作製装置。 - 請求項2に記載の観察用試料作製装置であって、
前記固定具は、前記支柱の上部に固定された固定板と、前記固定板と前記押え板との間に配置される伸縮バネとを具備する
ことを特徴とする観察用試料作製装置。 - 請求項1に記載の観察用試料作製装置であって、
前記押え板には、前記支柱が挿通する長孔が形成されている
ことを特徴とする観察用試料作製装置。 - 請求項1に記載の観察用試料作製装置であって、
前記型取り材を切断する切断具をさらに有する
ことを特徴とする観察用試料作製装置。 - 請求項5に記載の観察用試料作製装置であって、
前記切断具は、間隔を持って隣接して配置される2枚の刃を有する
ことを特徴とする観察用試料作製装置。 - 請求項6に記載の観察用試料作製装置であって、
前記切断具は、前記間隔を調整する調整手段を有する
ことを特徴とする観察用試料作製装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010100719A JP2011232073A (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 観察用試料作製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010100719A JP2011232073A (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 観察用試料作製装置 |
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JP2011232073A true JP2011232073A (ja) | 2011-11-17 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP2011232073A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022073917A1 (de) * | 2020-10-05 | 2022-04-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur bestimmung der partikelbelastung einer oberfläche |
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-
2010
- 2010-04-26 JP JP2010100719A patent/JP2011232073A/ja active Pending
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