CN204954213U - 一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具 - Google Patents

一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具 Download PDF

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王旭葆
宋冬冬
王泽宇
牛霞
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Abstract

一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具,载物板为矩形结构,载物板的四个角部上分别设有四个通孔,三个螺纹孔在载物板的平面间夹角为60°;载物板上设有一个半圆通孔;四个M6螺栓分别通过四个通孔将夹具固定在光学试验平台上;压板的一端通过M3螺栓安装在载物板上的螺纹孔中,压板的另一端设有橡胶压头;压板与M3螺栓之间设有弹簧;压板的端部设有与M3螺栓配合的圆形通孔。碳化硅薄片放置在载物板上,且碳化硅片完全或部分覆盖半圆通孔;碳化硅片紧固在橡胶压头与载物板之间,三个橡胶压头通过三点定位将碳化硅薄片进行紧固。该夹具结构简单、安装方便等特点,价格便宜,装卸工件方便等优点。

Description

一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具
技术领域
本实用新型涉及激光加工技术领域,尤其涉及一种用于碳化硅薄片激光切割的夹具。
背景技术
碳化硅(SiC)的硬度大,熔点高,抗压强度大,抗弯强度高的特点,使其作为结构材料,可以应用于火箭的燃烧室和喷嘴材料。SiC作为半导体材料,可以应用于制作高温高压二极管。由于SiC的内部结构的硬、脆性,还有SiC的硬度与其晶轴方向有关的特性,使得目前SiC片的加工过程中,出现受力不均匀,易碎易裂等问题。为了研究激光切割碳化硅的性质,需要提供一种用于碳化硅薄片的激光切割的夹具。
发明内容
由于碳化硅具有硬、脆、热的良导体等性质,在设计夹具时,把夹具设计为两部分。一半有载物板,一半无载物板。采用三脚按压的方式。用螺栓穿过弹簧和压板上事先做好的小孔,最后采用螺纹连接和载物板相连。螺栓上的弹簧压在压板上,可以使压板上下活动并且有一个俯仰角。同时压板可以自由旋转,这样就可以达到压紧碳化硅片的效果。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具,该夹具包括载物板(1)、M6螺栓(2)、压板(3)、M3螺栓(4)、弹簧(5)、橡胶压头(6)、半圆通孔(7)、通孔(8)、螺纹孔(9);载物板(1)为矩形结构,载物板(1)的四个角部上分别设有四个通孔(8),载物板(1)上设有三个螺纹孔(9),三个螺纹孔(9)在载物板(1)的平面间夹角为60°;载物板(1)上设有一个半圆通孔(7);四个M6螺栓(2)分别通过四个通孔(8)将夹具固定在光学试验平台上;压板(3)的一端通过M3螺栓(4)安装在载物板(1)上的螺纹孔(9)中,压板(3)的另一端设有橡胶压头(6);压板(3)与M3螺栓(4)之间设有弹簧(5);压板(3)的端部设有与M3螺栓(4)配合的圆形通孔。
压板(3)绕螺纹孔(9)旋转,压板(3)为弹性构件,压板(3)沿载物板(1)竖直方向进行的弹性变形范围为0°-30°。
碳化硅薄片放置在载物板(1)上,且碳化硅片完全或部分覆盖半圆通孔(7);碳化硅片紧固在橡胶压头(6)与载物板(1)之间,三个橡胶压头(6)通过三点定位将碳化硅薄片进行紧固。
本实用新型采用一半有载物板,一半无载物板的结构设计,这样可以通过实验研究碳化硅片下有无载物板两种情况下的实验效果。另外,在压板上的另一端上设置有橡胶压头,与碳化硅薄片直接接触,这样在装夹碳化硅片时,避免了工件在激光切割过程中的装夹变形,表面也不受损伤。其具有结构简单、安装方便等特点,价格便宜,装卸工件方便等优点。
附图说明
图1本实用新型夹具的示意图。
图2本实用新型夹具的主视图。
图3本实用新型夹具的载物板的主视图。
图4本实用新型夹具的载物板的示意图。
图中:1、载物板,2、M6螺栓,3、压板,4、M3螺栓,5、弹簧,6、橡胶压头,7、半圆通孔,8、通孔,9、螺纹孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例作详细描述。
如图1-4所示,一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具,该夹具包括载物板(1)、M6螺栓(2)、压板(3)、M3螺栓(4)、弹簧(5)、橡胶压头(6)、半圆通孔(7)、通孔(8)、螺纹孔(9);载物板(1)为矩形结构,载物板(1)的四个角部上分别设有四个通孔(8),载物板(1)上设有三个螺纹孔(9),三个螺纹孔(9)在载物板(1)的平面间夹角为60°;载物板(1)上设有一个半圆通孔(7);四个M6螺栓(2)分别通过四个通孔(8)将夹具固定在光学试验平台上;压板(3)的一端通过M3螺栓(4)安装在载物板(1)上的螺纹孔(9)中,压板(3)的另一端设有橡胶压头(6);压板(3)与M3螺栓(4)之间设有弹簧(5);压板(3)的端部设有与M3螺栓(4)配合的圆形通孔。
压板(3)绕螺纹孔(9)旋转,压板(3)为弹性构件,压板(3)沿载物板(1)的竖直方向进行的弹性变形范围为0°-30°。
碳化硅薄片放置在载物板(1)上,且碳化硅片完全或部分覆盖半圆通孔(7);碳化硅片紧固在橡胶压头(6)与载物板(1)之间,三个橡胶压头(6)通过三点定位将碳薄化硅片进行紧固。
实施例
用M3螺栓(4)先穿过弹簧(5),再穿过压板(3)上的圆形通孔,最后和载物板(1)通过螺纹孔(9)连接。压板(3)设在弹簧(5)和载物板(1)之间,压板(3)的另一端固定有橡胶压头(6),橡胶压头(6)直接与碳化硅薄片直接接触。在M3螺栓(4)上的弹簧(5)作用下,可以使压板(3)上下活动,有一个俯仰角,同时压板(3)也可以自由旋转。这样就可以达到压紧碳化硅片的效果。
上述夹具的大小尺寸如下:
载物板(1)的宽度和长度都是150.6mm,厚度是5mm。载物板(1)上的四个能通过M6螺栓的通孔(8)的直径为Φ=6.6mm,在四角对称分布,两孔之间的距离为125mm。载物板(1)上的三个M3螺纹孔相互之间的夹角为60°,三个等角度分布。中心的半圆通孔(7)的半径R=40mm。

Claims (3)

1.一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具,其特征在于:该夹具包括载物板(1)、M6螺栓(2)、压板(3)、M3螺栓(4)、弹簧(5)、橡胶压头(6)、半圆通孔(7)、通孔(8)、螺纹孔(9);载物板(1)为矩形结构,载物板(1)的四个角部上分别设有四个通孔(8),载物板(1)上设有三个螺纹孔(9),三个螺纹孔(9)在载物板(1)的平面间夹角为60°;载物板(1)上设有一个半圆通孔(7);四个M6螺栓(2)分别通过四个通孔(8)将夹具固定在光学试验平台上;压板(3)的一端通过M3螺栓(4)安装在载物板(1)上的螺纹孔(9)中,压板(3)的另一端设有橡胶压头(6);压板(3)与M3螺栓(4)之间设有弹簧(5);压板(3)的端部设有与M3螺栓(4)配合的圆形通孔。
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具,其特征在于:压板(3)绕螺纹孔(9)旋转,压板(3)为弹性构件,压板(3)沿载物板(1)竖直方向进行的弹性变形范围为0°-30°。
3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅薄片的激光切割夹具,其特征在于:碳化硅薄片放置在载物板(1)上且碳化硅片完全或部分覆盖半圆通孔(7);碳化硅薄片紧固在橡胶压头(6)与载物板(1)之间,三个橡胶压头(6)通过三点定位将碳化硅片进行紧固。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108890127A (zh) * 2018-06-19 2018-11-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种用于汽车安全气囊发生器的焊接设备
CN110744169A (zh) * 2019-11-05 2020-02-04 湖南城市学院 一种变压器壳体生产用火焰切割机

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