JP2011228442A - 窒化物系半導体ウエハ及び窒化物系半導体デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁性基板上に、抵抗率が10MΩcm以上100MΩcm以下、膜厚が0.1μm以上1.5μm以下である半絶縁性窒化物系半導体層を有する。
【選択図】図1
Description
ていた100MΩcm以下の抵抗率であっても、100MΩcmを超える高い抵抗率と等価な効果を得ることができることがわかった。このように、抵抗率のみならず膜厚を規定することで、絶縁特性の良好な半絶縁性窒化物系半導体層を有する窒化物系半導体ウエハ及び窒化物系半導体デバイスを安定的に供給することが可能となる。
窒化物系半導体ウエハ10は、複数のエピタキシャル層からなる積層構造を有している。窒化物系半導体ウエハ10は、基板1と、基板1の表面に形成されたバッファ層2と、バッファ層2の上に形成された高抵抗の半絶縁性窒化物系半導体層3と、半絶縁性窒化物系半導体層3の上に形成されたチャンネル層4と、チャンネル層4の上に形成された電子供給層5とを有する。
本実施の形態では、半絶縁性窒化物系半導体層3の抵抗率を規定するとともに、その膜厚を規定することによって、安定した半絶縁性を有する窒化物系半導体層3を実現している。なお、半絶縁性窒化物系半導体層の「半絶縁性」という用語は、一般的に絶対的な抵抗率範囲を示すものではない。多くの場合、デバイスにおける他の部分との相対的な抵抗率の違いを表す意味で用いられることが多く、「高抵抗」と言う場合もまた同様である。本実施の形態では、室温でおよそ10kΩcm以上の抵抗率を有するものを「半絶縁性」と称するものとして扱う。
じ理由で1.5μmが上限となる(実施例B)。
本発明の実施の形態によれば、以下に挙げる一つ又はそれ以上の効果を有する。
リーク電流の低減に重要となる抵抗率許容範囲を、膜厚の面から規定するようにしたので、成膜装置の状態の変化などによらず、低ドレインリーク電流の優れた高い絶縁性の窒化物系半導体層を有する窒化物系半導体ウエハまたは窒化物系半導体デバイスが安定して製造可能になる。
3種類の絶縁性基板について次のようにデバイスを作製した。6インチ径半絶縁性SiC基板c面上、または2インチ径半絶縁性GaN基板c面上、あるいは6インチサファイア基板c面上に、核発生層およびAlN層からなるバッファ層を約0.1μm〜0.3μm成長した。このバッファ層の成長法は、まず基板上に密度の高い結晶核(核発生層)を形成し、つぎにこれを成長の核としてAlN層を成長させた。
構造を作製して抵抗率を二端子法により測定した。また、リーク電流は、図2のデバイスを用いてFET特性を測定し、高抵抗層の膜厚に対するドレインリーク電流の量として計測した。
着目して、抵抗率と膜厚とに加えてリーク電流の影響を、表2に重ねてまとめた結果を表3に示す。各欄リーク電流範囲は、基板種類を一括にしてまとめたものである。枠で囲った部分が高歩留まり率で低リーク電流の範囲である。ここでは、最適なリーク電流の上限を0.76μA/mmとした。
導電性基板としての6インチp型Si基板(111)面上にアンモニアガスと有機金属原料を用いた有機金属気相成長法を用いて核発生層とAlGaN層を成長し、その後、1050℃で本実施例のGaN高抵抗層(半絶縁性窒化物系半導体層)を種々の厚さで成長した。それ以降の試料作成手順は実施例Bに示したものと同一である。結果を表4にまとめる。実施例10〜18及び比較例9〜16は、それぞれ表4に示されるとおり、所定の抵抗率と厚さの高抵抗GaN層を有するエピウエハを各10枚成長したのちに、その各々についてデバイスを製作して評価した結果である。
化し、利得その他のトランジスタ特性が不良となってしまったために歩留まりの著しい低下を招いている。従って、0.5μmが膜厚の下限と考えられる。
6インチサファイア基板c面上にアンモニアガスと有機金属原料を用いた有機金属気相成長法を用いて核発生層とAlN層を成長し、その後、1,050℃〜1,100℃でGaN、AlGaN、InAlN、AlGaInNのいずれかの高抵抗層(半絶縁性窒化物系半導体層)を成長した。それ以降の試料作成手順は実施例Aに示したものと同一で図3に示す積層構造の窒化物系半導体ウエハを作製し、さらに図2と同様なHEMTデバイスを作製した。なお、図3には、高抵抗層を半絶縁性AlGaInN層13とした場合を示している。
3 半絶縁性Gan層(高抵抗層/半絶縁性窒化物系半導体層)
10、11 窒化物系半導体ウエハ
13 窒化物系半導体デバイス
Claims (8)
- 絶縁性基板上に、抵抗率が10MΩcm以上100MΩcm以下、膜厚が0.1μm以上1.5μm以下である半絶縁性窒化物系半導体層を有する窒化物系半導体ウエハ。
- 導電性基板上に、抵抗率が10MΩcm以上100MΩcm以下、膜厚が0.5μm以上1.5μm以下である半絶縁性窒化物系半導体層を有する窒化物系半導体ウエハ。
- 前記半導体層の膜厚がより好ましくは1μmよりも小さい請求項1または2に記載の窒化物系半導体ウエハ。
- 前記半導体層がガリウム窒化物またはアルミニウム窒化物、あるいはガリウムとアルミニウムの窒化物混晶であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物系半導体ウエハ。
- 前記半導体層がガリウムとインジウムの窒化物混晶、またはアルミニウムとインジウムの窒化物混晶、あるいはガリウムとアルミニウムとインジウムの窒化物混晶であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物系半導体ウエハ。
- 前記絶縁性基板が炭化珪素、窒化ガリウム、サファイアのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の窒化物系半導体ウエハ。
- 前記導電性基板がシリコンである請求項2に記載の窒化物系半導体ウエハ。
- 請求項1から7のいずれかに記載の窒化物系半導体ウエハ上に、さらに窒化物系半導体層を備えた窒化物系半導体デバイス。
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