JP2011224512A - Automatic cleaning apparatus for conveying roller - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カラーフィルタ製造ラインにおける搬送用ローラの自動洗浄装置に関する。 The present invention relates to an automatic cleaning device for a conveyance roller in a color filter production line.
図１は、カラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、赤Ｒの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、緑Ｇの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、青Ｂの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a color filter. The color filter 1 has a black matrix (hereinafter referred to as BM) 3, a red R colored pixel (hereinafter referred to as R pixel) 4-1, a green G colored pixel (hereinafter referred to as G pixel) 4-2, blue on a glass substrate 2. B colored pixels (hereinafter referred to as B pixels) 4-3, a transparent electrode 5, a photo spacer (hereinafter referred to as PS) 6, and a vertical alignment (hereinafter referred to as VA) 7 were sequentially formed. Is.
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィ法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィ法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。 As a manufacturing method of the color filter having the above structure, a photolithography method, a printing method, and an ink jet method are known. FIG. 2 is a flowchart showing steps of a commonly used photolithography method. The color filter includes a step of forming BM on a glass substrate (C1), a step of cleaning the glass substrate (C2), a step of applying and pre-drying a colored photoresist (C3), and a colored photoresist. A pre-baking step (C4) for drying and curing, a step (C5) for exposing, a step (C6) for developing, a step (C7) for curing a colored photoresist, and a step (C8) for depositing a transparent electrode. , PS and VA are formed and processed in this order (C9).
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順にパターンが形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板（以下、基板）を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）では赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。 For example, when the pattern is formed in the order of R pixel, G pixel, and B pixel, the step of cleaning the color photoresist glass substrate (hereinafter referred to as substrate) (C2) to the step of curing the colored photoresist are performed. In (C7), the color resist is changed in the order of red R, green G, and blue B, and the process is repeated three times to form R pixels, G pixels, and B pixels.
図３にカラーフィルタ製造ラインの一例を示す。図３に示される製造ライン１１はある特定の１色の着色パターンを形成するためのもので、ストッカ装置１２と、ストッカ装置からラインに投入する投入装置１３と、洗浄装置１４と、塗布装置１５と、露光装置１６と、現像装置１７と、ベーク装置１８と、基板をストッカ装置に搬出する搬出装置１９とを備えている。また、塗布装置１５の後には着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する欠陥検査装置２７が設けられ、現像装置１７の後には異物やパターンの欠けを検査する欠陥検査装置２８が設けられている。上記各工程の処理を行う装置（以下、処理装置）や検査装置は搬送装置（１）２１から搬送装置（６）２６によって接続されている。更に、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の３色の画素が形成された後に、搬送装置（６）２６の外に設けられた検査装置２９や修正装置３０によって検査や修正が行われ、その後搬出装置１９を経てストッカ装置に搬出される。尚、搬入装置１３からストッカ装置１２へ空のカセットが回収され、また、ストッカ装置１２は、空のカセットを搬出装置１９に供給する。 FIG. 3 shows an example of a color filter production line. A production line 11 shown in FIG. 3 is for forming a coloring pattern of one specific color, and includes a stocker device 12, a loading device 13 for feeding from the stocker device to the line, a cleaning device 14, and a coating device 15. An exposure device 16, a developing device 17, a baking device 18, and a carry-out device 19 that carries the substrate out to the stocker device. Further, a defect inspection device 27 for inspecting the film thickness and coating unevenness of the colored photoresist is provided after the coating device 15, and a defect inspection device 28 for inspecting foreign matters and pattern chips is provided after the developing device 17. Yes. An apparatus (hereinafter referred to as a processing apparatus) and an inspection apparatus that perform the processes of the above steps are connected to each other by a transfer apparatus (1) 21 to a transfer apparatus (6) 26. Furthermore, after the three color pixels of R pixel, G pixel, and B pixel are formed, inspection and correction are performed by the inspection device 29 and the correction device 30 provided outside the transport device (6) 26, and then carried out. It is carried out to the stocker device via the device 19. The empty cassette is collected from the carry-in device 13 to the stocker device 12, and the stocker device 12 supplies the empty cassette to the carry-out device 19.
上記カラーフィルタ製造ラインの搬送装置（１）２１〜搬送装置（６）２６や、検査装置２７〜２９では、一般的に搬送用ローラを用いた搬送方法によって基板は搬送される。 In the transfer device (1) 21 to the transfer device (6) 26 and the inspection devices 27 to 29 in the color filter production line, the substrate is generally transferred by a transfer method using a transfer roller.
上記基板の搬送を行うローラが、処理装置から発生した異物や基板に付着していた異物がローラに付着し、付着した異物が基板の汚れやキズなどの不良発生の原因となる。この不良が発生した場合には、不良の発見、不良発生場所の特定、異物の除去を行う必要があるために、一時的な機械停止による生産停止ロスやローラの清掃を行うための人的ロスが発生する。 The roller for carrying the substrate adheres to the roller with the foreign matter generated from the processing apparatus or the foreign matter attached to the substrate, and the attached foreign matter may cause defects such as dirt or scratches on the substrate. When this defect occurs, it is necessary to find the defect, identify the location where the defect occurred, and remove foreign matter. Therefore, a production stop loss due to a temporary machine stop or a human loss due to roller cleaning is required. Will occur.
搬送ローラが異物の付着により汚染された場合、装置の停止、異物の除去作業、異物除去後の確認作業などを実施する必要があり、装置の稼働率低下を招く。 When the transport roller is contaminated by the adhesion of foreign matter, it is necessary to stop the device, remove foreign matter, check after removing foreign matter, and the like, leading to a reduction in the operating rate of the device.
そこで本発明は、基板の搬送を行うローラを洗浄する洗浄装置を提供することを課題とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a cleaning device that cleans a roller that transports a substrate.
本発明の請求項１に係る発明は、カラーフィルタ基板の製造ラインに用いられる基板の搬送用ローラを洗浄する装置であって、
搬送用ローラを洗浄する洗浄手段と、
洗浄手段に洗浄液を送液する送液手段と、
洗浄液を貯蔵する洗浄液貯蔵手段と、
洗浄手段を上下移動する上下移動手段と、
装置の動作を制御する制御手段と、を備え、かつ、
搬送用ローラ上に基板の無いことを確認した後、洗浄手段を搬送用ローラに接触させ、搬送用ローラを回転させながら洗浄することを特徴とする搬送ローラ自動洗浄装置である。
The invention according to claim 1 of the present invention is an apparatus for cleaning a substrate transport roller used in a color filter substrate production line,
Cleaning means for cleaning the transfer roller;
A liquid feeding means for feeding a cleaning liquid to the cleaning means;
Cleaning liquid storage means for storing the cleaning liquid;
A vertical movement means for moving the cleaning means up and down;
Control means for controlling the operation of the apparatus, and
After confirming that there is no substrate on the transfer roller, the cleaning roller is brought into contact with the transfer roller, and cleaning is performed while rotating the transfer roller.
本発明の請求項２に係る発明は、洗浄手段はウエスに洗浄液をしみこませた洗浄ヘッドを有し、該洗浄ヘッドは各搬送用ローラ間隔と等間隔に設けられたことを特徴とする請求項１記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。 The invention according to claim 2 of the present invention is characterized in that the cleaning means has a cleaning head in which a cleaning liquid is impregnated in the waste, and the cleaning head is provided at equal intervals to the intervals of the respective transport rollers. 1 is a conveying roller automatic cleaning device according to the first aspect.
本発明の請求項３に係る発明は、カラーフィルタ基板の製造ラインに備えられた欠陥検査装置に設けられた搬送用ローラの洗浄を行うことを特徴とする請求項１または２記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。 The invention according to claim 3 of the present invention cleans the transport roller provided in the defect inspection apparatus provided in the color filter substrate production line. It is a cleaning device.
本発明の請求項４に係る発明は、カラーフィルタ基板の製造ラインに備えられた各処理装置間に設けられた搬送用ローラの洗浄を行うことを特徴とする請求項１または２記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。 The invention according to claim 4 of the present invention is characterized in that the transport roller provided between the processing devices provided in the color filter substrate production line is cleaned. Automatic cleaning device.
本発明の請求項５に係る発明は、ガントリーに備えられたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。 The invention according to claim 5 of the present invention is the automatic conveying roller cleaning device according to any one of claims 1 to 4, which is provided in a gantry.
本発明による搬送ローラの自動洗浄装置によれば、従来、自動検査装置によって異物やキズの不良を検出した場合に、搬送ローラに付着した異物を取除くために、製造ラインを一時停止したり、搬送ローラの清掃のために多大な労力を必要としていたが、製造ラインを一時停止することなく、また搬送ローラの清掃のために多大な労力省くことが出来、その結果、カラーフィルタ基板の生産効率の向上や、品質維持することが出来る。 According to the automatic cleaning apparatus for the transport roller according to the present invention, when a foreign object or a defect in a scratch is detected by an automatic inspection device, the production line is temporarily stopped in order to remove the foreign object attached to the transport roller, Although a great amount of labor was required for cleaning the transport rollers, it was possible to save a great deal of labor for cleaning the transport rollers without pausing the production line, resulting in the production efficiency of the color filter substrate. Improvement and quality maintenance.
以下、図面を用いて本発明を実施する形態を詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図４は、本発明に係る搬送ローラの自動洗浄装置の概略構成を示したものである。図４の搬送ローラの自動洗浄装置３１は洗浄手段である洗浄ヘッドユニット３２と、洗浄ヘッドユニット３２に洗浄液を送液する送液手段である供給配管３３−１と３３−２と、洗浄液を貯蔵する洗浄液貯蔵手段である洗浄液貯蔵タンク３４と、洗浄ヘッドユニット３２を矢印３５の方向に上下移動する上下移動手段であるヘッド上下移動機構３６と、洗浄装置全体の動作を制御する制御手段である制御部３７と、を備えている。ヘッド上下移動機構３６は、例えばボールねじを用いてもよく、エアシリンダーを用いても達成できる。洗浄ヘッドユニット３２は、図４では９個の洗浄ヘッド３２−１〜３２−９を有しており、各洗浄ヘッドには、洗浄ウエス３８−１〜３８−９が備えられており、更に、洗浄ウエス３８−１〜３８−９には供給配管３３−２を介して洗浄液が供給される。洗浄ウエス３８−１〜３８−９への洗浄液の供給は、ポンプまたは配管ポンプの経路の途中に設けた電磁バルブの開閉を制御して滴下させることによって達成できる。供給配管３３−１はフレキシブルな配管であり、洗浄ヘッドユニット３２の上下移動に対応して伸縮または曲折する。洗浄液は、例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を用いることが出来る。洗浄ヘッドユニット３２の各洗浄ヘッド３２−１〜３２−９の間隔Ｐ１は、搬送ローラ４０の各ローラ４０−１〜４０−９の間隔Ｐ２と同じ間隔で設けられている。 FIG. 4 shows a schematic configuration of an automatic cleaning apparatus for a transport roller according to the present invention. 4 is a cleaning head unit 32 that is a cleaning means, supply pipes 33-1 and 33-2 that are liquid supply means for supplying the cleaning liquid to the cleaning head unit 32, and stores the cleaning liquid. A cleaning liquid storage tank 34 that is a cleaning liquid storage means, a head vertical movement mechanism 36 that is a vertical movement means for moving the cleaning head unit 32 up and down in the direction of an arrow 35, and a control that is a control means for controlling the operation of the entire cleaning apparatus. Part 37. The head vertical movement mechanism 36 may use, for example, a ball screw or an air cylinder. The cleaning head unit 32 includes nine cleaning heads 32-1 to 32-9 in FIG. 4, and each cleaning head is provided with cleaning wastes 38-1 to 38-9. The cleaning liquid is supplied to the cleaning wastes 38-1 to 38-9 via the supply pipe 33-2. The supply of the cleaning liquid to the cleaning wastes 38-1 to 38-9 can be achieved by controlling the opening and closing of an electromagnetic valve provided in the middle of the path of the pump or the piping pump and dropping it. The supply pipe 33-1 is a flexible pipe and expands and contracts or bends in response to the vertical movement of the cleaning head unit 32. For example, IPA (isopropyl alcohol) can be used as the cleaning liquid. The interval P1 between the cleaning heads 32-1 to 32-9 of the cleaning head unit 32 is provided at the same interval as the interval P2 between the rollers 40-1 to 40-9 of the transport roller 40.
図５は本発明に係る自動洗浄装置が適用されるカラーフィルタ製造ラインの概略図である。製造ライン１１１は、ストッカ装置１１２と、ストッカ装置からラインに投入する投入装置１１３と、洗浄装置１１４と、塗布装置１１５と、露光装置１１６と、現像装置１１７と、ベーク装置１１８と、カラーフィルタ基板（以下、基板）をストッカ装置に搬出する搬出装置１１９とを備えている。また、塗布装置１１５や現像装置１１７の後には着色フォトレジストの塗布ムラや異物やパターンの欠けを検査する検査装置１２８が設けられている。上記各工程の処理を行う装置や検査装置は搬送装置（１ａ）１２１から搬送装置（６ａ）１２６によって接続されている。更に、搬送装置（６ａ）１２６の外に設けられた検査装置１２９や修正装置１３０によって検査や修正が行われ、その後搬出装置１１９を経てストッカ装置に搬出される。上記カラーフィルタ製造ラインの搬送装置（１ａ）１２１〜搬送装置（６ａ）１２６や、検査装置１２７〜１２９では、搬送用ローラを用いた搬送方法によって基板は搬送され、本発明に係る自動洗浄装置は、前記搬送装置（１ａ）１２１〜搬送装置（６ａ）１２６や検査装置１２７〜１２９の搬送用ローラの洗浄に用いられる。 FIG. 5 is a schematic view of a color filter production line to which the automatic cleaning apparatus according to the present invention is applied. The production line 111 includes a stocker device 112, a loading device 113 that feeds into the line from the stocker device, a cleaning device 114, a coating device 115, an exposure device 116, a developing device 117, a baking device 118, and a color filter substrate. And an unloading device 119 for unloading (hereinafter referred to as a substrate) to the stocker device. Further, after the coating device 115 and the developing device 117, an inspection device 128 for inspecting the coating unevenness of the colored photoresist, foreign matter, and chipping of the pattern is provided. The apparatus and the inspection apparatus that perform the processes of the above steps are connected from the transfer apparatus (1a) 121 to the transfer apparatus (6a) 126. Further, inspection and correction are performed by the inspection device 129 and the correction device 130 provided outside the transport device (6a) 126, and then the unloader 119 is carried out to the stocker device. In the transfer device (1a) 121 to the transfer device (6a) 126 and the inspection devices 127 to 129 of the color filter production line, the substrate is transferred by a transfer method using a transfer roller, and the automatic cleaning device according to the present invention is , Used for cleaning the transport rollers of the transport device (1a) 121 to the transport device (6a) 126 and the inspection devices 127 to 129.
次に、本発明に係る自動洗浄装置が設けられる欠陥検査装置が備えられる搬送ローラを洗浄する場合と、工程内の処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合について説明する。 Next, the case where the conveyance roller provided with the defect inspection apparatus provided with the automatic cleaning apparatus according to the present invention is cleaned and the case where the conveyance roller of the conveyance apparatus between the processing apparatuses in the process is cleaned will be described.
図６は、欠陥検査装置に備えられた搬送ローラを洗浄する場合を示す図で、基板を検査する場合に欠陥検査装置を搭載する従来から用いられているガントリー（橋桁の両端に一定の間隔を置いて２本の走行脚を設け、車輪によりレール上を走行する構造を有する門型のクレーンを指す）を示す図である。図６（ａ）は側面から見た図で、図６（ｂ）は図６（ａ）の１００で示される方向から見た図である。近年のディスプレイの大型化に伴って、大型液晶ディスプレイ用カラーフィルタの検査は、基板４１を搬送用ローラ４０の上に載置し、撮像カメラ４２を有する欠陥検査装置を搭載したガントリー４３を矢印４４で示される方向に移動させて行っている。検査が終了すると基板４１は矢印４５で示す方向に搬送される。 FIG. 6 is a diagram showing a case where the transport roller provided in the defect inspection apparatus is cleaned. In the case of inspecting a substrate, a gantry conventionally used for mounting a defect inspection apparatus (with a certain interval between both ends of the bridge girder). It is a diagram showing a portal crane having a structure in which two traveling legs are provided and traveling on rails by wheels. 6A is a view from the side, and FIG. 6B is a view from the direction indicated by 100 in FIG. 6A. With the recent increase in the size of the display, the color filter for large liquid crystal display is inspected by placing the substrate 41 on the transfer roller 40 and pointing the gantry 43 equipped with a defect inspection apparatus having an imaging camera 42 with an arrow 44. It is moved in the direction indicated by. When the inspection is completed, the substrate 41 is transported in the direction indicated by the arrow 45.
図７は上記欠陥検査装置に備えられた搬送ローラを洗浄する場合を示す図で、欠陥検査装置が搭載されたガントリーに自動洗浄装置を設けた場合を示す図である。図７（ａ）は側面から見た図で、図７（ｂ）は図７（ａ）の１０１で示される方向から見た図である。自動洗浄装置３１はガントリー４３に取り付けられる。ガントリー４３は基板４１の検査のために例えば矢印４４が示す１０３の方向に移動し、撮像カメラ４２が備えられた欠陥検査装置によって基板４１は検査される。基板４１の検査が終了するとガントリー４３は矢印４４が示す１０４の方向に移動して検査前と同じ位置に戻る。一方、基板４１は搬送ローラ４０によって矢印４５で示す方向に搬送される。基板４１を検査する際は、洗浄ヘッド３２−１〜３２−９は基板４１に接触しないように、また、撮像カメラ４２の視野に入らないようにヘッド上下移動機構３６によって上方に位置される。 FIG. 7 is a view showing a case where the transport roller provided in the defect inspection apparatus is cleaned, and is a view showing a case where an automatic cleaning device is provided in a gantry on which the defect inspection apparatus is mounted. 7A is a view from the side, and FIG. 7B is a view from the direction indicated by 101 in FIG. 7A. The automatic cleaning device 31 is attached to the gantry 43. The gantry 43 moves, for example, in the direction 103 indicated by the arrow 44 in order to inspect the substrate 41, and the substrate 41 is inspected by a defect inspection apparatus provided with the imaging camera. When the inspection of the substrate 41 is completed, the gantry 43 moves in the direction indicated by the arrow 44 and returns to the same position as before the inspection. On the other hand, the substrate 41 is transported in the direction indicated by the arrow 45 by the transport roller 40. When inspecting the substrate 41, the cleaning heads 32-1 to 32-9 are positioned above by the head vertical movement mechanism 36 so as not to contact the substrate 41 and so as not to enter the field of view of the imaging camera 42.
自動洗浄装置３１が、搬送ローラ４０を洗浄する場合は、欠陥検査装置に備えられた搬送ローラ上の基板の有無を確認し、基板が無い場合に洗浄が行われる。基板の存在は、図８に示すように、一般的に行われているネットワークを介して行うことが出来る。図８はカラーフィルタ製造に用いられる工程内の処理装置及び欠陥検査装置のネットワーク構成を示すもので、処理装置５０〜５１と、欠陥検査装置５２〜５３及び制御ユニット５４がＥｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）５５、またはＣＣ Ｌｉｎｋ、または光ケーブル等により接続されており、その構成要素間は相互に通信可能となっている。処理装置５０〜５１や欠陥検査装置５２〜５３の搬入口及び搬出口には基板毎に設けられた基板ＩＤコードを読取るＩＤコード読取装置によって読取られ、読取られたＩＤコードデータは制御ユニット内に備えられた記憶装置に記憶され、該記憶されたデータによって基板の存在位置を知ることが出来る。 When the automatic cleaning device 31 cleans the transport roller 40, the presence or absence of the substrate on the transport roller provided in the defect inspection device is confirmed, and cleaning is performed when there is no substrate. As shown in FIG. 8, the presence of the substrate can be performed via a commonly performed network. FIG. 8 shows a network configuration of a processing apparatus and a defect inspection apparatus in a process used for manufacturing a color filter. The processing apparatuses 50 to 51, the defect inspection apparatuses 52 to 53, and the control unit 54 are Ethernet (registered trademark) 55. Or a CC link, an optical cable, or the like, and the components can communicate with each other. The processing apparatus 50 to 51 and the defect inspection apparatuses 52 to 53 are read by an ID code reading device that reads a substrate ID code provided for each substrate at the loading and unloading ports, and the read ID code data is stored in the control unit. It is stored in the storage device provided, and the location of the substrate can be known from the stored data.
上記基板の存在位置を確認することによって、基板が自動検査を行う搬送ローラ上に存在しないことを確認した後、ガントリー４３に備えられた自動洗浄装置は、図９に示すよう洗浄ヘッド３２−１〜３２−９がヘッド上下移動機構３６によって矢印４６の方向に下げられ、搬送ローラ４０−１〜４０−９に接する位置で停止する。この時既に洗浄ウエス３８−１〜３８−９には洗浄液が供給配管３３−１及び３３−２を介して供給されている。搬送ローラ４０−１〜４０−９の洗浄は、洗浄液が供給された洗浄ウエス３８−１〜３８−９を搬送ローラ４０−１〜４０−９に接したまま、搬送ローラ４０−１〜４０−９を回転させながら行われる。 After confirming that the substrate does not exist on the conveyance roller that performs automatic inspection by confirming the presence position of the substrate, the automatic cleaning device provided in the gantry 43 has a cleaning head 32-1 as shown in FIG. 32-9 are lowered in the direction of arrow 46 by the head up-and-down moving mechanism 36, and stopped at a position in contact with the transport rollers 40-1 to 40-9. At this time, the cleaning liquid is already supplied to the cleaning wastes 38-1 to 38-9 via the supply pipes 33-1 and 33-2. The transport rollers 40-1 to 40-9 are cleaned while the cleaning wastes 38-1 to 38-9 supplied with the cleaning liquid are in contact with the transport rollers 40-1 to 40-9. This is done while rotating 9.
次に本発明による自動洗浄装置によってカラーフィルタ製造ラインの処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合について説明する。 Next, the case where the conveyance roller of the conveyance apparatus between the processing apparatuses of the color filter production line is washed by the automatic washing apparatus according to the present invention will be described.
図１０は処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合の自動洗浄装置を示す図で、図１０（ａ）は側面から見た図で、図１０（ｂ）は図１０（ａ）の１０５で示される方向から見た図である。自動洗浄装置３１はガントリー４７に取り付けられる。 FIG. 10 is a diagram showing an automatic cleaning device for cleaning the transport roller of the transport device between the processing devices, FIG. 10 (a) is a side view, and FIG. 10 (b) is a diagram of FIG. 10 (a). FIG. 5 is a view seen from the direction indicated by 105. The automatic cleaning device 31 is attached to the gantry 47.
図１１に示すようにガントリー４７が矢印４９で示す方向に移動して、自動洗浄装置３１が搬送ローラ４８の各ローラ４８−１〜４８−９を洗浄する。搬送ローラ４８の各ローラ４８−１〜４８−９を洗浄する場合は、搬送ローラ上の基板４１の有無を確認し、基板が無い場合に洗浄が行われる。基板の有無は、上記図８に示すネットワークを介して確認することが出来る。 As shown in FIG. 11, the gantry 47 moves in the direction indicated by the arrow 49, and the automatic cleaning device 31 cleans the rollers 48-1 to 48-9 of the transport roller 48. When cleaning the rollers 48-1 to 48-9 of the transport roller 48, the presence or absence of the substrate 41 on the transport roller is confirmed, and cleaning is performed when there is no substrate. The presence or absence of the substrate can be confirmed through the network shown in FIG.
本発明に係る自動洗浄装置の実施形態では、搬送装置（１１）１２１〜搬送装置（１６）１２６や検査装置１２７〜１２９の搬送用ローラを洗浄する場合を例示したが、適用範囲及び洗浄の頻度は適宜選択すれば良い。 In the embodiment of the automatic cleaning device according to the present invention, the case of cleaning the transfer rollers of the transfer device (11) 121 to the transfer device (16) 126 and the inspection devices 127 to 129 has been exemplified. May be appropriately selected.
以上のように、従来、欠陥検査装置で異物やキズの不良を検出した場合に、不良発生場所の特定や異物の除去を行っていたために、製造ラインの一時停止や搬送ローラの清掃のために多大な労力を必要としていたが、本発明による搬送ローラの自動洗浄装置で適宜搬送ローラを洗浄することによって、前記製造ラインの一時停止をすることなく、また搬送ローラの清掃のために多大な労力省くことが出来、その結果、基板の品質を維持することが出来る。 As described above, when a defect inspection device detects a defect of foreign matter or scratches, the location of the defect has been identified and the foreign matter has been removed. Although a great amount of labor was required, a large amount of labor was required for cleaning the transport rollers without temporarily stopping the production line by appropriately cleaning the transport rollers with the automatic cleaning apparatus for transport rollers according to the present invention. As a result, the quality of the substrate can be maintained.
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・赤Ｒの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・緑Ｇの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・青Ｂの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１１・・・製造ライン
１２・・・ストッカ装置
１３・・・投入装置
１４・・・洗浄装置
１５・・・塗布装置
１５−１、１５−２・・・塗布装置
１６・・・露光装置
１６−１、１６−２・・・露光装置
１７・・・現像装置
１８・・・ベーク装置
１９・・・搬出装置
２１〜２６・・・搬送装置（１）〜搬送装置（６）
２７、２８・・・検査装置
２９・・・搬送装置（６）の外に設けられた検査装置
３０・・・搬送装置（６）の外に設けられた修正装置
３１・・・自動洗浄装置
３２・・・洗浄ヘッドユニット
３２−１〜３２−９・・・洗浄ヘッド
３３−１、３３−２・・・供給配管
３４・・・洗浄液貯蔵タンク
３５・・・洗浄ヘッドユニットを移動する方向を示す矢印
３６・・・ヘッド上下移動機構
３７・・・制御部
３８−１〜３８−９・・・洗浄ウエス
４０・・・搬送用ローラ
４０−１〜４０−９・・・搬送ローラ
４１・・・基板
４２・・・撮像カメラ
４３・・・ガントリー
４４・・・ガントリーの移動方向
４５・・・基板の搬送方向を示す矢印
４６・・・洗浄ヘッドユニットが移動する方向を示す矢印
４７・・・ガントリー
４９・・・ガントリーの移動方向を示す矢印
４８・・・搬送ローラ
４８−１〜４８−９・・・搬送ローラの各ローラ
５０〜５１・・・処理装置
５２〜５３・・・欠陥検査装置
５４・・・制御ユニット５４
５５・・・Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）
１１１・・・製造ライン
１１２・・・ストッカ装置
１１３・・・投入装置
１１４・・・洗浄装置
１１５・・・塗布装置
１１６・・・露光装置
１１７・・・現像装置
１１８・・・ベーク装置
１１９・・・搬出装置
１２８・・・検査装置
１２１・・・搬送装置（１ａ）
１２６・・・搬送装置（６ａ）
１２９・・・検査装置
１３０・・・修正装置
１００・・・図を見る方向
１０１・・・図を見る方向
１０４・・・ガントリーの移動方向
１０５・・・図を見る方向
Ｐ１・・・洗浄ヘッドユニットの各洗浄ヘッドの間隔
Ｐ２・・・搬送ローラの各ローラ間隔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color filter 2 ... Glass substrate 3 ... Black matrix (BM)
4-1 Red R colored pixel (R pixel)
4-2 ... Green G coloring pixel (G pixel)
4-3 Colored pixel of blue B (B pixel)
5 ... Transparent electrode 6 ... Photospacer (PS)
7 ... Vertical alignment (VA)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Production line 12 ... Stocker apparatus 13 ... Loading apparatus 14 ... Cleaning apparatus 15 ... Coating apparatus 15-1, 15-2 ... Coating apparatus 16 ... Exposure apparatus 16- DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 16-2 ... Exposure apparatus 17 ... Development apparatus 18 ... Bake apparatus 19 ... Unloading apparatus 21-26 ... Conveyance apparatus (1) -Conveyance apparatus (6)
27, 28 ... Inspection device 29 ... Inspection device 30 provided outside the transfer device (6) ... Correction device 31 provided outside the transfer device (6) ... Automatic cleaning device 32 ... Cleaning head units 32-1 to 32-9 ... Cleaning heads 33-1 and 33-2 ... Supply pipe 34 ... Cleaning liquid storage tank 35 ... Indicates the direction in which the cleaning head unit is moved. Arrow 36... Head vertical movement mechanism 37... Control unit 38-1 to 38-9 .. Cleaning waste 40 .. Transport roller 40-1 to 40-9. Substrate 42 ... Imaging camera 43 ... Gantry 44 ... Gantry movement direction 45 ... Arrow 46 indicating the substrate transport direction ... Arrow 47 indicating the direction in which the cleaning head unit moves 47 ... Gantry 49 ... How to move the gantry Each roller of the arrow 48 ... conveying roller 48-1～48-9 ... conveying roller shown a 50-51 ... processor 52-53 ... defect inspection device 54 ... control unit 54
55 ... Ethernet (registered trademark)
111 ... Production line 112 ... Stocker device 113 ... Loading device 114 ... Cleaning device 115 ... Coating device 116 ... Exposure device 117 ... Developing device 118 ... Baking device 119 ..Unloading device 128 ... Inspection device 121 ... Conveying device (1a)
126 ... Conveying device (6a)
129 ... Inspection device 130 ... Correction device 100 ... Direction of viewing 101 ... Direction of viewing 104 ... Direction of movement of gantry 105 ... Direction of viewing P1 ... Cleaning head Interval P2 between the cleaning heads of the unit.
Claims (5)
搬送用ローラを洗浄する洗浄手段と、
洗浄手段に洗浄液を送液する送液手段と、
洗浄液を貯蔵する洗浄液貯蔵手段と、
洗浄手段を上下移動する上下移動手段と、
装置の動作を制御する制御手段と、を備え、かつ、
搬送用ローラ上に基板の無いことを確認した後、洗浄手段を搬送用ローラに接触させ、搬送用ローラを回転させながら洗浄することを特徴とする搬送ローラ自動洗浄装置。 An apparatus for cleaning a substrate transfer roller used in a color filter substrate production line,
Cleaning means for cleaning the transfer roller;
A liquid feeding means for feeding a cleaning liquid to the cleaning means;
Cleaning liquid storage means for storing the cleaning liquid;
A vertical movement means for moving the cleaning means up and down;
Control means for controlling the operation of the apparatus, and
An automatic transport roller cleaning apparatus, wherein after confirming that there is no substrate on the transport roller, the cleaning means is brought into contact with the transport roller and cleaning is performed while rotating the transport roller.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010099014A JP2011224512A (en) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | Automatic cleaning apparatus for conveying roller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010099014A JP2011224512A (en) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | Automatic cleaning apparatus for conveying roller |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011224512A true JP2011224512A (en) | 2011-11-10 |
Family
ID=45040564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2010099014A Pending JP2011224512A (en) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | Automatic cleaning apparatus for conveying roller |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2011224512A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105668192A (en) * | 2016-01-12 | 2016-06-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | Substrate conveying system |
| CN105944987A (en) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | Roller cleaning device |
| WO2020098029A1 (en) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | 惠科股份有限公司 | Cleaner and glass transfer machine |
-
2010
- 2010-04-22 JP JP2010099014A patent/JP2011224512A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105668192A (en) * | 2016-01-12 | 2016-06-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | Substrate conveying system |
| CN105944987A (en) * | 2016-06-29 | 2016-09-21 | 昆山国显光电有限公司 | Roller cleaning device |
| WO2020098029A1 (en) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | 惠科股份有限公司 | Cleaner and glass transfer machine |
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