JP5347452B2 - Surface inspection machine - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter surface inspection machine provided in a conveyance system between an application device 12 and an exposure device 13, capable of total inspection by shortening a time required for inspection. <P>SOLUTION: A conveyance roller 33 provided in the color filter surface inspection machine is used for reception of a glass substrate 1 from a conveyance route using a conveyance roller 53 into the color filter surface inspection machine 40, and for transfer of the glass substrate from the color filter surface inspection machine onto the conveyance route. The conveyance roller is provided in a roller unit 30, and is evacuated out of the conveyance route during inspection. A plurality of imaging cameras 44 are provided, to thereby image an effective area 1a on the glass substrate to be divided simultaneously. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、カラーフィルタを製造する製造ラインでの表面検査機に関するものであり、特に、塗布装置における突発的な変動による欠陥であっても常時検出できるように、全数検査を可能なものとし、塗布装置〜露光装置間の搬送系に設けるカラーフィルタ表面検査機に関する。   The present invention relates to a surface inspection machine in a production line for producing a color filter, and in particular, 100% inspection is possible so that even a defect due to sudden fluctuation in a coating apparatus can be always detected, The present invention relates to a color filter surface inspection machine provided in a transport system between a coating apparatus and an exposure apparatus.

液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜、フォトスペーサー、配向制御用突起などを順次に位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。   As a method of manufacturing a color filter used in a liquid crystal display device, first, a black matrix is formed on a glass substrate, and then a colored pixel is aligned with the black matrix pattern on the glass substrate on which the black matrix is formed. In addition, a method of forming a transparent conductive film, a photospacer, an alignment control protrusion, and the like in sequence is widely used.

ブラックマトリックスは所定の部位を開口部とした遮光性の層で、開口部にてカラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。このブラックマトリックスの形成は、例えば、黒色フォトレジストを用いたフォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。   The black matrix is a light-shielding layer with a predetermined part as an opening, determines the position of the colored pixels of the color filter at the opening, makes the size uniform, and when used in a display device, It has a function of blocking unwanted light and making the image of the display device a uniform image with no unevenness and an improved contrast. For example, the black matrix is formed by a photolithography method using a black photoresist.

また、ブラックマトリックスの開口部に形成される着色画素は、例えば、赤色、緑色、青色の所定の波長域の光を通過させるフィルタ機能を有するものであり、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜の形成は、着色画素及びブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
In addition, the colored pixels formed in the openings of the black matrix have, for example, a filter function that allows light in a predetermined wavelength range of red, green, and blue to pass through. On the glass substrate on which the black matrix is formed In addition, for example, a method of forming a negative photoresist coating film in which a pigment such as a pigment is dispersed and forming colored pixels by exposing and developing the coating film is employed.
The transparent conductive film is formed on a glass substrate on which colored pixels and a black matrix are formed by, for example, forming a transparent conductive film by sputtering using ITO (Indium Tin Oxide).

また、フォトスペーサー、及び配向制御用突起などの形成は、上記ブラックマトリックス、或いは着色画素の形成と同様にフォトリソグラフィ法によって形成するといった方法がとられている。   In addition, the photo spacer, the alignment control protrusion, and the like are formed by a photolithography method in the same manner as the black matrix or the colored pixel.

これらブラックマトリックスや着色画素をフォトリソグラフィ法によりパターンとして形成する際には、例えば、ガラス基板に対して洗浄装置(11)による洗浄処理を施し、続いて塗布装置(12)によるフォトレジストの塗布、露光装置(13)によるパターン露光、現像装置(14)による現像処理、加熱装置(15)によるポストベーク処理が順次に施され、ガラス基板に所定のパターンを形成する。   When these black matrix and colored pixels are formed as a pattern by a photolithography method, for example, a glass substrate is subjected to a cleaning process by a cleaning device (11), and then a photoresist is applied by a coating device (12). Pattern exposure by the exposure device (13), development processing by the development device (14), and post-baking processing by the heating device (15) are sequentially performed to form a predetermined pattern on the glass substrate.

図1は、ガラス基板に所定のパターンを形成する製造ラインの配列の一例を示す平面図である。図1に示すように、製造ライン(10)を構成する各装置は連結されており、白太矢印で示すように、図1中、左方の洗浄装置(11)に搬入されたガラス基板には洗浄処理〜ポストベーク処理が順次に施され、ガラス基板上に所定のパターンが形成される。   FIG. 1 is a plan view showing an example of an array of production lines for forming a predetermined pattern on a glass substrate. As shown in FIG. 1, each apparatus which comprises a production line (10) is connected, and as shown by the white thick arrow, in FIG. 1, the glass substrate carried into the washing | cleaning apparatus (11) on the left in FIG. Are sequentially subjected to a cleaning process and a post-bake process to form a predetermined pattern on the glass substrate.

このカラーフィルタの製造工程で発生する外観上の欠陥は、その大きさ(範囲)によって、広域欠陥と狭域(点)欠陥とに2分される。広域欠陥は色ムラで代表され、色ムラはカラーフィルタ上の広い範囲に及ぶ色濃度の不良である。この色ムラは、主に塗布工程に
おけるフォトレジストの塗膜の膜厚ムラによって発生する。また、狭域(点)欠陥は、パターン欠け、パターン残り、異物付着などであるが、塗布工程においては主に異物付着が挙げられる。
The appearance defects generated in the manufacturing process of the color filter are divided into a wide area defect and a narrow area (point) defect depending on the size (range). Wide area defects are represented by color unevenness, which is a color density defect over a wide range on a color filter. This color unevenness mainly occurs due to film thickness unevenness of the photoresist coating film in the coating process. In addition, the narrow area (point) defect is a chipped pattern, a pattern remaining, a foreign matter adhesion, etc., but in the coating process, the foreign matter adhesion is mainly mentioned.

図2は、図1に示す塗布装置(12)と露光装置(13)との間で行われる塗膜の外観検査の一例を示す平面図である。図2に示すように、塗布装置(12)と露光装置(13)との間には、例えば、コロ・コンベアのような搬送装置(C1)が設けられている。搬送装置(C1)の前部(C1a)と後部(C1b)との間には、ガラス基板を移載する移載ロボット(R1)が設けられている。
また、製造ライン(10)の側部には、移載ロボット(R1)に隣接して塗膜の外観検査を行うカラーフィルタ表面検査機(20)が設けられている。
FIG. 2 is a plan view showing an example of an appearance inspection of a coating film performed between the coating apparatus (12) and the exposure apparatus (13) shown in FIG. As shown in FIG. 2, a transfer device (C1) such as a roller conveyor is provided between the coating device (12) and the exposure device (13). A transfer robot (R1) for transferring the glass substrate is provided between the front part (C1a) and the rear part (C1b) of the transfer device (C1).
Moreover, the color filter surface inspection machine (20) which performs the external appearance inspection of a coating film is provided in the side part of the manufacturing line (10) adjacent to the transfer robot (R1).

このカラーフィルタ表面検査機(20)は、主に塗膜の膜厚ムラ、及び異物付着を検査する表面検査機である。ガラス基板の大きさが、730×920mm、1100×1300mmと大型になると、1枚のガラス基板を検査するのに要する所要時間は、製造ラインを構成する装置の各々が処理をするのに要する所要時間よりも長くなるので、動線1(D1)で示すように、移載ロボット(R1)は、例えば、数枚に1枚の割合でガラス基板を抜き取りカラーフィルタ表面検査機(20)へと移載する。カラーフィルタ表面検査機(20)での検査後に、移載ロボット(R1)は、動線3(D3)で示すように、このガラス基板を搬送装置(C1)の後部(C1b)へと移載し、後部(C1b)は露光装置(13)へ搬送する。   This color filter surface inspection machine (20) is a surface inspection machine that mainly inspects film thickness unevenness and adhesion of foreign matter. When the size of the glass substrate is as large as 730 × 920 mm and 1100 × 1300 mm, the time required to inspect one glass substrate is the time required for each of the devices constituting the production line to process. Since it becomes longer than the time, as indicated by the flow line 1 (D1), the transfer robot (R1), for example, pulls out the glass substrate at a rate of one out of several sheets to the color filter surface inspection machine (20). Transfer. After the inspection by the color filter surface inspection machine (20), the transfer robot (R1) transfers this glass substrate to the rear part (C1b) of the transfer device (C1) as indicated by the flow line 3 (D3). Then, the rear part (C1b) is conveyed to the exposure apparatus (13).

また、動線0(D0)で示すように、移載ロボット(R1)は、抜き取らなかったガラス基板を搬送装置(C1)の前部(C1a)から後部(C1b)へと移載し、後部(C1b)は露光装置(13)へ搬送する。
カラーフィルタ表面検査機(20)にて、不良と判定されたガラス基板には、例えば、露光装置(13)以降の処理は施されず、製造ライン(10)からの搬出後にラインから取り除かれる。
Further, as indicated by the flow line 0 (D0), the transfer robot (R1) transfers the glass substrate that has not been removed from the front part (C1a) to the rear part (C1b) of the transfer device (C1), and the rear part. (C1b) is conveyed to the exposure apparatus (13).
The glass substrate determined to be defective by the color filter surface inspection machine (20) is not subjected to, for example, the processing after the exposure apparatus (13), and is removed from the line after unloading from the production line (10).

図3は、図2に示すカラーフィルタ表面検査機(20)の一例を示す平面図、図4は、図3におけるA−A線での断面図、図5は、図3におけるB−B線での断面図である。
カラーフィルタの検査には、透過光による透過検査と反射光による反射検査の2種の検査がある。膜厚ムラ及び異物付着は、透過検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易であるので、図3は透過検査による表面検査機が用いられた例である。図3は、説明上、図2に示すXY軸を90°回転させたものとしている。
3 is a plan view showing an example of the color filter surface inspection machine (20) shown in FIG. 2, FIG. 4 is a sectional view taken along line AA in FIG. 3, and FIG. 5 is taken along line BB in FIG. FIG.
There are two types of inspection of color filters, transmission inspection using transmitted light and reflection inspection using reflected light. For film thickness unevenness and foreign matter adhesion, it is easier and more accurate to detect a defect and identify whether it is good or bad by transmission inspection. FIG. 3 shows an example in which a surface inspection machine using transmission inspection is used. In FIG. 3, for the sake of explanation, it is assumed that the XY axes shown in FIG. 2 are rotated by 90 °.

図3〜図5に示すように、カラーフィルタ表面検査機(20)は、フレーム(21)、基板受爪(22)、エアシリンダ(23)、撮像カメラ(24)、光源(25)で構成されている。
その上面に塗膜が設けられたガラス基板(1)は、基板受爪(22)を介してフレーム(21)上に保持されており、光源(25)は、検査光をガラス基板(1)の下面より上方に照射する。ガラス基板(1)を透過した透過光を撮像カメラ(24)で受光させ、その信号を画像処理装置(図示せず)へと伝送し、画像処理装置では、その信号を処理し欠陥(主に膜厚ムラ、異物付着)を識別し良否を判定する。
As shown in FIGS. 3 to 5, the color filter surface inspection machine (20) includes a frame (21), a substrate catch (22), an air cylinder (23), an imaging camera (24), and a light source (25). Has been.
The glass substrate (1) provided with the coating film on the upper surface is held on the frame (21) via the substrate catching nail (22), and the light source (25) transmits the inspection light to the glass substrate (1). Irradiate above the lower surface of The transmitted light that has passed through the glass substrate (1) is received by the imaging camera (24), and the signal is transmitted to an image processing device (not shown). The image processing device processes the signal to detect defects (mainly The film thickness unevenness and the adhesion of foreign matter are identified and the quality is judged.

ガラス基板(1)を保持するフレーム(21)は、幅(W1)を有する矩形枠状のものであり、ガラス基板(1)の周縁部を基板受爪(22)を介して、その上面で保持する。フレーム(21)は、カラーフィルタ表面検査機(20)内で固定されており、可動のものではない。   The frame (21) for holding the glass substrate (1) is a rectangular frame having a width (W1), and the peripheral portion of the glass substrate (1) is placed on the upper surface of the glass substrate (1) via the substrate catching nail (22). Hold. The frame (21) is fixed in the color filter surface inspection machine (20) and is not movable.

エアシリンダ(23)は、フレーム(21)の上面に設けられており、基板受爪(22)を介しガラス基板(1)を昇降させる昇降機構である。このガラス基板(1)の昇降は、後述するロボットのフォークがフレーム(21)とガラス基板(1)との間に進入、或いは、間から退却する際に、進入/退却できる十分な間隔を設けるために行われるものである。
図3では、エアシリンダ(23)はフレーム(21)の四縁部に各々3基が設けられている。
The air cylinder (23) is provided on the upper surface of the frame (21), and is an elevating mechanism that elevates and lowers the glass substrate (1) through the substrate receiving claws (22). The raising and lowering of the glass substrate (1) is provided with a sufficient interval for entering / retreating when a robot fork described later enters or retreats between the frame (21) and the glass substrate (1). Is to be done.
In FIG. 3, three air cylinders (23) are provided at each of the four edges of the frame (21).

基板受爪(22)は断面形状がZ型であり、その上部下面がエアシリンダ(23)に接続され、下部上面でガラス基板(1)の周縁部を受け、保持するようになってる。基板受爪(22)はエアシリンダ(23)の各々に対応して設けられており、エアシリンダ(23)の昇降に伴い昇降する。基板受爪(22)がガラス基板(1)の周縁部を保持している際には、エアシリンダ(23)の昇降に伴いガラス基板(1)を保持した状態でフレーム(21)上方を昇降する。   The substrate catching claw (22) is Z-shaped in cross section, and its upper lower surface is connected to the air cylinder (23), and receives and holds the peripheral edge of the glass substrate (1) on the lower upper surface. The substrate catching claw (22) is provided corresponding to each of the air cylinders (23) and moves up and down as the air cylinder (23) moves up and down. When the substrate catching claw (22) is holding the peripheral edge of the glass substrate (1), the frame (21) is moved up and down while holding the glass substrate (1) as the air cylinder (23) is moved up and down. To do.

撮像カメラ(24)はフレーム(21)の上方に設けられており、撮像素子として、例えば、CCDエリアセンサーを使用した、カラーフィルタの欠陥検査用の撮像カメラである。図4及び図5に示すガラス基板(1)の上面が撮像カメラ(24)の焦点面であり、この間の距離(H1)は一定である。
撮像カメラ(24)は図4及び図5に示すフレーム(21)上方の位置(Y1 、X1 )から、2軸(Y軸、X軸)方向へ、水平にステップ移動をすることが出来るようになっている。
The imaging camera (24) is provided above the frame (21), and is an imaging camera for color filter defect inspection using, for example, a CCD area sensor as an imaging device. The upper surface of the glass substrate (1) shown in FIGS. 4 and 5 is the focal plane of the imaging camera (24), and the distance (H1) between them is constant.
The imaging camera (24) can move stepwise horizontally from the position (Y 1 , X 1 ) above the frame (21) shown in FIGS. 4 and 5 in the direction of two axes (Y axis, X axis). It is like that.

光源(25)は透過検査用の光源である。フレーム(21)の下方に設けられており、平面形状は1軸(X軸)方向を長辺とする矩形である。図4及び図5に示すように、光源(25)の長辺の寸法(a)は、ガラス基板(1)の短辺の寸法(c)より大きく、ガラス基板(1)の短辺方向を十分に照射することが可能である。光源(25)の短辺の寸法(b)は、ガラス基板(1)の長辺の寸法(d)の略半分である。従って、光源(25)は、図4中、ガラス基板(1)の長辺の右方の略半分を照射する歳には、図4に示す位置(Y1 )から、1軸(Y軸)方向へ、水平にステップ移動をすることが出来るようになっている。 The light source (25) is a light source for transmission inspection. It is provided below the frame (21), and the planar shape is a rectangle having a long side in the direction of one axis (X axis). As shown in FIGS. 4 and 5, the long side dimension (a) of the light source (25) is larger than the short side dimension (c) of the glass substrate (1), and the short side direction of the glass substrate (1) is It is possible to sufficiently irradiate. The short side dimension (b) of the light source (25) is approximately half the long side dimension (d) of the glass substrate (1). Accordingly, when the light source (25) irradiates the right half of the long side of the glass substrate (1) in FIG. 4, from the position (Y 1 ) shown in FIG. Step movement can be performed horizontally in the direction.

尚、カラーフィルタ表面検査機(20)の周囲には、側壁が設けられているが、図3中、右側部の側壁には、ロボットのフォーク(R1−f)が進入/退却するための開口部が設けられている。その開口部には、検査に際し撮像カメラ(24)がガラス基板(1)を撮像する場合、その開口部からの外光を遮光するために開閉自在なシャッタが設けられているが、図3〜図5においてはシャッタを省略してある。   Although a side wall is provided around the color filter surface inspection machine (20), an opening for the robot fork (R1-f) to enter / retreat is provided on the right side wall in FIG. Is provided. When the imaging camera (24) images the glass substrate (1) at the time of inspection, the opening is provided with a shutter that can be opened and closed in order to shield external light from the opening. In FIG. 5, the shutter is omitted.

図6は、ガラス基板(1)の領域を分割して検査する方法を説明する平面図である。図6に示すように、ガラス基板(1)の大きさが、(730×920mm)〜(1100×1300mm)と大型になると、撮像素子の分解能からしてガラス基板(1)の全体を1基の撮像カメラ(24)で一括して撮像し、検査することができず、分割して検査を行うことになる。図6は、ガラス基板(1)の有効エリアを4分割して、4検査エリアとし、4検査エリアを個々に検査する方法の例である。   FIG. 6 is a plan view for explaining a method for inspecting the glass substrate (1) by dividing the region. As shown in FIG. 6, when the size of the glass substrate (1) is large (730 × 920 mm) to (1100 × 1300 mm), one entire glass substrate (1) is taken from the resolution of the image sensor. The image pickup camera (24) cannot pick up images and inspect them at all, but divides them for inspection. FIG. 6 shows an example of a method in which the effective area of the glass substrate (1) is divided into four to form four inspection areas, and the four inspection areas are individually inspected.

図6中、符号(1)は、大きさが、(730×920mm)〜(1100×1300mm)程度のガラス基板を表している。符号(1a)は、カラーフィルタを構成する各種パターンが形成されるガラス基板上の有効エリアを表している。また、符号(1b)は、この有効エリア(1a)を4分割した検査エリアの境界を表している。   In FIG. 6, reference numeral (1) represents a glass substrate having a size of about (730 × 920 mm) to (1100 × 1300 mm). Reference numeral (1a) represents an effective area on the glass substrate on which various patterns constituting the color filter are formed. Reference numeral (1b) represents the boundary of the inspection area obtained by dividing the effective area (1a) into four.

有効エリア(1a)は、第一検査エリア(1Ar)、第二検査エリア(2Ar)、第三検査エリア(3Ar)、第四検査エリア(4Ar)に分割されている。第一検査エリア(1Ar)の中心は第一検査点(K1)(Y1 、X1 )であり、撮像カメラ(24)はこの点の上方から第一検査エリア(1Ar)を撮像する。 The effective area (1a) is divided into a first inspection area (1Ar), a second inspection area (2Ar), a third inspection area (3Ar), and a fourth inspection area (4Ar). The center of the first inspection area (1Ar) is the first inspection point (K1) (Y 1 , X 1 ), and the imaging camera (24) images the first inspection area (1Ar) from above this point.

また、第二検査エリア(2Ar)〜第四検査エリア(4Ar)の中心は、各々第二検査点(K2)(Y2 、X1 )〜第四検査点(K4)(Y1 、X2 )である。先ず、撮像カメラ(24)を第一検査点(K1)(Y1 、X1 )の上方に移動させ、第一検査エリア(1Ar)の検査を行う。次に、撮像カメラ(24)を第二検査点(K2)(Y2 、X1 )の上方に移動させ、第二検査エリア(2Ar)の検査を行う。同様にして、第三検査エリア(3Ar)、第四検査エリア(4Ar)の検査を行う。 The center of the second inspection area (2aR) ~ fourth test area (4aR), each second inspection point (K2) (Y 2, X 1) ~ fourth test point (K4) (Y 1, X 2 ). First, an imaging camera (24) is moved above the first inspection point (K1) (Y 1, X 1), to inspect the first inspection area (1AR). Then, the imaging camera (24) is moved above the second inspection point (K2) (Y 2, X 1), inspect the second inspection area (2aR). Similarly, the third inspection area (3Ar) and the fourth inspection area (4Ar) are inspected.

図6中、符号(1c)は、撮像カメラ(24)が第一検査エリア(1Ar)を撮像する際のガラス基板(1)上の領域である。第一検査エリア(1Ar)の領域よりやや大きいが、第二検査エリア(2Ar)以降も同様に撮像し、前述した画像処理装置により、各検査エリア間での欠落、及び重複のない検査をおこなうようにしている。
尚、図3〜図5に示す撮像カメラ(24)に位置は、図6に示す第一検査点(K1)(Y1 、X1 )の上方である。
In FIG. 6, a code | symbol (1c) is an area | region on the glass substrate (1) when an imaging camera (24) images the 1st inspection area (1Ar). Although slightly larger than the area of the first inspection area (1Ar), the second inspection area (2Ar) and the subsequent images are similarly picked up, and the above-described image processing apparatus performs inspections with no omission and no overlap between the inspection areas. I am doing so.
The position in the image pickup camera (24) shown in FIGS. 3 to 5 are above the first inspection point shown in FIG. 6 (K1) (Y 1, X 1).

図7〜図10は、図3に示すカラーフィルタ表面検査機(20)を用い、ガラス基板(1)上の有効エリア(1a)を4分割した第一検査エリア(1Ar)〜第四検査エリア(4Ar)を検査する動作を示す説明図である。
図7は、ガラス基板(1)を載せたロボットのフォーク(R1−f)がカラーフィルタ表面検査機に進入し、ガラス基板(1)を基板受爪(22)に移載する動作。図8は、基板受爪(22)を介してフレーム(21)上に保持されたガラス基板(1)の第一検査エリア(1Ar)を検査する動作。図9は、基板受爪(22)を介してフレーム(21)上に保持されたガラス基板(1)の第二検査エリア(2Ar)を検査する動作。図10は、第三検査エリア(3Ar)及び第四検査エリア(4Ar)の検査が終了し、ロボットのフォーク(R1−f)によって、ガラス基板(1)がカラーフィルタ表面検査機から搬出される動作を示している。
7 to 10 show a first inspection area (1Ar) to a fourth inspection area obtained by dividing the effective area (1a) on the glass substrate (1) into four by using the color filter surface inspection machine (20) shown in FIG. It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects (4Ar).
FIG. 7 shows an operation in which the fork (R1-f) of the robot on which the glass substrate (1) is placed enters the color filter surface inspection machine, and the glass substrate (1) is transferred to the substrate receiving claw (22). FIG. 8 shows an operation of inspecting the first inspection area (1Ar) of the glass substrate (1) held on the frame (21) through the substrate catching nail (22). FIG. 9 shows an operation of inspecting the second inspection area (2Ar) of the glass substrate (1) held on the frame (21) through the substrate catching nail (22). In FIG. 10, the inspection of the third inspection area (3Ar) and the fourth inspection area (4Ar) is completed, and the glass substrate (1) is carried out of the color filter surface inspection machine by the fork (R1-f) of the robot. The operation is shown.

図7に示すように、撮像カメラ(24)は、その待機位置(Y0 )に、光源(25)はその待機位置に移動している。先ず、エアシリンダ(23)が作動し基板受爪(22)を上昇させ、基板受爪(22)の下面とフレーム(21)の上面との間に、ロボットのフォーク(R1−f)がカラーフィルタ表面検査機内から退却できる間隔(S1)を設ける。 As shown in FIG. 7, the imaging camera (24) has moved to its standby position (Y 0 ), and the light source (25) has moved to its standby position. First, the air cylinder (23) is actuated to raise the substrate catch (22), and the robot fork (R1-f) is colored between the lower surface of the substrate catch (22) and the upper surface of the frame (21). An interval (S1) at which the filter surface inspection machine can be retracted is provided.

次に、ガラス基板(1)を、その上面に載せたロボットのフォーク(R1−f)が、図7中、右方よりカラーフィルタ表面検査機内に進入する。フォーク(R1−f)は、エアシリンダ(23)によって上昇された基板受爪(22)の上方の空間に水平に進入する。このフォーク(R1−f)は、図3中、カラーフィルタ表面検査機(20)の右方に示すフォーク(R1−f)であり、動線2(D2)で示すように、カラーフィルタ表面検査機(20)の右方よりカラーフィルタ表面検査機内に進入する。   Next, the robot fork (R1-f) with the glass substrate (1) placed on the upper surface thereof enters the color filter surface inspection machine from the right side in FIG. The fork (R1-f) horizontally enters the space above the substrate catch (22) raised by the air cylinder (23). This fork (R1-f) is the fork (R1-f) shown on the right side of the color filter surface inspection machine (20) in FIG. 3, and as shown by the flow line 2 (D2), the color filter surface inspection. Enter the color filter surface inspection machine from the right side of the machine (20).

図7に示す動線2(D2)は、ガラス基板(1)を載せたフォーク(R1−f)が進入し、ガラス基板(1)の先端が図7中、左右の基板受爪(22)間の上方に達した時点で停止し、フォーク(R1−f)は水平を保ちつつ垂直に降下しながらガラス基板(1)を基板受爪(22)に移載し、更に降下して、基板受爪(22)の下面とフレーム(21)の上面との間の間隔(S1)からカラーフィルタ表面検査機外へと退却する動線を表したものである。
図3に示すように、平面視、基板受爪(22)は、フォーク(R1−f)の退却/進入に際し、干渉しない位置に設けられているので、フォーク(R1−f)の上記降下及び退却は支障なく行われる。
In the flow line 2 (D2) shown in FIG. 7, the fork (R1-f) on which the glass substrate (1) is placed enters, and the tip of the glass substrate (1) is the left and right substrate catches (22) in FIG. The fork (R1-f) is lowered vertically while moving the glass substrate (1) onto the substrate catching nail (22), and further lowered to the substrate. The flow line which retreats out of the space | interval (S1) between the lower surface of a receiving nail | claw (22) and the upper surface of a frame (21) out of a color filter surface inspection machine is represented.
As shown in FIG. 3, in plan view, the substrate catching claw (22) is provided at a position where it does not interfere when the fork (R1-f) retreats / enters. The retreat is done without any problem.

図8に示すように、フォーク(R1−f)の退却後に、エアシリンダ(23)は基板受爪(22)を降下させ、ガラス基板(1)を基板受爪(22)を介してフレーム(21)上に保持させ、また、撮像カメラ(24)は、第一検査エリア(1Ar)を検査するために第一検査点(K1)(Y1 、X1 )の上方に移動し、光源(25)は、第一検査点(K1)(Y1 、X1 )の下方に移動する。この状態で第一検査エリア(1Ar)の検査が行われる。 As shown in FIG. 8, after the fork (R1-f) retreats, the air cylinder (23) lowers the substrate catching claw (22), and the glass substrate (1) is moved to the frame (22) via the substrate catching claw (22). 21) and the imaging camera (24) moves above the first inspection point (K1) (Y 1 , X 1 ) to inspect the first inspection area (1Ar), and the light source ( 25) moves below the first inspection point (K1) (Y 1 , X 1 ). In this state, the first inspection area (1Ar) is inspected.

図9は、第一検査エリア(1Ar)の検査後に、撮像カメラ(24)及び光源(25)は、第二検査エリア(2Ar)を検査するために第二検査点(K2)(Y2 、X1 )の上方及び下方に、図6に示すステップ移動(Py)を行った状態を示したものである。この状態で第二検査エリア(2Ar)の検査が行われる。
続く第三検査エリア(3Ar)、第四検査エリア(4Ar)の検査は、図6に示す、第三検査点(K3)(Y2 、X2 )、第四検査点(K4)(Y1 、X2 )で行われる。
FIG. 9 shows that after the inspection of the first inspection area (1Ar), the imaging camera (24) and the light source (25) are connected to the second inspection point (K2) (Y 2 , FIG. 7 shows a state where the step movement (Py) shown in FIG. 6 is performed above and below X 1 ). In this state, the second inspection area (2Ar) is inspected.
Continued third inspection area (3aR), examination of the fourth test area (4aR) is shown in FIG. 6, the third test point (K3) (Y 2, X 2), the fourth test point (K4) (Y 1 , X 2 ).

図10は、第一検査エリア(1Ar)〜第四検査エリア(4Ar)の検査が終了し、ガラス基板(1)がカラーフィルタ表面検査機から搬出される動作を表したものである。撮像カメラ(24)は、その待機位置(Y0 )に水平移動し、光源(25)はその待機位置に水平移動する。また、エアシリンダ(23)が作動し基板受爪(22)を上昇させ、基板受爪(22)の下面とフレーム(21)の上面との間に、ロボットのフォーク(R1−f)がカラーフィルタ表面検査機内へ進入できる間隔(S1)を設ける。 FIG. 10 shows an operation in which the inspection of the first inspection area (1Ar) to the fourth inspection area (4Ar) is completed and the glass substrate (1) is carried out from the color filter surface inspection machine. The imaging camera (24) horizontally moves to the standby position (Y 0 ), and the light source (25) horizontally moves to the standby position. Further, the air cylinder (23) is operated to raise the substrate catching claw (22), and the robot fork (R1-f) is colored between the lower surface of the substrate catching claw (22) and the upper surface of the frame (21). An interval (S1) that allows entry into the filter surface inspection machine is provided.

次に、ガラス基板を載せていないフォーク(R1−f)が、図10中、右方よりカラーフィルタ表面検査機内に進入する。フォーク(R1−f)は、基板受爪(22)の下面とフレーム(21)の上面との間の間隔(S1)を水平に進入し、所定の位置に達した時点で停止する。水平を保ちつつ垂直に上昇しながら基板受爪(22)に保持されたガラス基板(1)を下面で支えて上方へ持ち上げガラス基板(1)をフォーク(R1−f)に載せる。
フォーク(R1−f)は、更に上昇してから、基板受爪(22)の上方の空間を水平に退却する。動線4(D4)は、この間のフォーク(R1−f)の動線を表したものである。
Next, the fork (R1-f) on which the glass substrate is not placed enters the color filter surface inspection machine from the right side in FIG. The fork (R1-f) enters the space (S1) between the lower surface of the substrate receiving claw (22) and the upper surface of the frame (21) horizontally and stops when it reaches a predetermined position. The glass substrate (1) held by the substrate receiving claws (22) is supported by the lower surface while being lifted vertically while maintaining the horizontal state, and is lifted upward to place the glass substrate (1) on the fork (R1-f).
After the fork (R1-f) further rises, the fork (R1-f) retreats horizontally in the space above the substrate catching claw (22). The flow line 4 (D4) represents the flow line of the fork (R1-f) during this period.

上述した例は、ガラス基板(1)の有効エリアを4分割して4検査エリアとし、4検査エリアを個々に検査する方法の例である。実際の作業では、大型のガラス基板にカラーフィルタを多面付けして製造する際には、面付数、形成するパターンの精細度によって分割できる数は制約され、有効エリアの分割は、4検査エリア〜12検査エリアとなる。   The above-described example is an example of a method in which the effective area of the glass substrate (1) is divided into four to form four inspection areas, and the four inspection areas are individually inspected. In actual work, when manufacturing a large glass substrate with multiple color filters, the number of areas that can be divided is limited by the number of impositions and the definition of the pattern to be formed. ~ 12 inspection area.

従って、1枚のガラス基板を検査するのに要する所要時間は、例えば、90〜120秒程度のものとなる。これは、1枚のガラス基板を処理するのに要する製造ラインの所要時間は、例えば、20秒程度のものであるので、(90秒/20秒)〜(120秒/20秒)、すなわち、4.5〜6.0枚当たり1枚の抜き取りによる表面検査となる。   Therefore, the time required for inspecting one glass substrate is, for example, about 90 to 120 seconds. This is because the time required for the production line required to process one glass substrate is, for example, about 20 seconds, so (90 seconds / 20 seconds) to (120 seconds / 20 seconds), that is, Surface inspection is performed by extracting one sheet from 4.5 to 6.0 sheets.

例えば、4枚当たり1枚の抜取りによる表面検査であっても、塗布装置における経時的な膜厚ムラ及び異物付着の変動であれば、塗布装置の異常を検知することができ、その対応を施すことは容易である。しかし、実際の作業において、塗布装置における突発的な変動の際には、抜き取ったガラス基板間の、すなわち、抜き取らなかったガラス基板は不良品のまま流出してしまうといった問題を抱えている。
特開平8−94493号公報 特開2006−234217号公報
For example, even if the surface inspection is performed by sampling one out of four sheets, an abnormality in the coating apparatus can be detected as long as film thickness unevenness and foreign matter adhesion change over time. It is easy. However, in an actual operation, in the case of a sudden change in the coating apparatus, there is a problem that the glass substrates that have been extracted, that is, the glass substrates that have not been extracted flow out as defective products.
JP-A-8-94493 JP 2006-234217 A

本発明は、上記問題を解決するためにされたものあり、カラーフィルタを製造する製造ラインの、塗布装置〜露光装置間の表面検査機において、塗布装置における突発的な変動による欠陥であっても常時検出できるように、検査に要する所要時間を短縮して全数検査を可能なものとし、塗布装置〜露光装置間の搬送系に設けることのできるカラーフィルタ表面検査機を提供することを課題とするものである。
これにより、塗布装置に起因する膜厚ムラ及び異物付着の検査をガラス基板の全数に適用することができ、突発的な変動による膜厚ムラ及び異物付着の流出を防止することができるものとなる。また、製造ラインの側部に設けられていた表面検査機を製造ラインの搬送系に設けることにより、クリーンルームの面積が低減され、初期投資、及び維持費用が削減される。
The present invention has been made to solve the above problems, and in a surface inspection machine between a coating apparatus and an exposure apparatus in a production line for manufacturing a color filter, even if a defect is caused by a sudden change in the coating apparatus. An object of the present invention is to provide a color filter surface inspection machine that can reduce the time required for inspection so that all inspections can be performed so that it can always be detected, and can be provided in a transport system between a coating apparatus and an exposure apparatus. Is.
As a result, the inspection of film thickness unevenness and foreign matter adhesion caused by the coating apparatus can be applied to the total number of glass substrates, and film thickness unevenness and foreign matter adhesion outflow due to sudden fluctuations can be prevented. . Further, by providing the surface inspection machine provided on the side of the production line in the transport system of the production line, the area of the clean room is reduced, and the initial investment and maintenance costs are reduced.

本発明は、造ラインの搬送路に設けられたガラス基板上の塗膜の欠陥を検出する表面検査機において
ラス基板の受け渡しに、表面検査機内に設けられた送コロと、
前記搬送コロを備え、搬送路と直交する左側及び右側方向の搬送路外にそれぞれ退避する左コロユニットと右コロユニットからなるコロユニットと、
前記ガラス基板を保持する矩形枠状のフレームと、
前記フレームを昇降する昇降機構と、
前記ガラス基板の下方から検査光を照射する光源と、
前記ガラス基板を上方から撮像する撮像カメラと、
を備え、
1)前記ガラス基板が、前記搬送路の所定の位置に搬送されると、
2)前記昇降機構の作動により、前記フレームは、その待機位置から垂直に上昇し、上昇しながら搬送コロ上のガラス基板の周縁部の下面を支えて上方に持ち上げ、ガラス基板の上面が撮像カメラの焦点面に達するまで上昇し、
3)前記搬送路の左コロユニットと右コロユニットが搬送路外に退避し、
4)前記光源により、照射した光でガラス基板の有効エリアについて撮像カメラを用いて撮像することを特徴とする表面検査機である。
In the present invention, it detect defects of the coating film on the glass substrate provided on the conveying path of the manufacturing line front surface inspection machine,
To pass glass substrate, and the conveyance rollers provided on the front surface inspection machine,
A roller unit comprising the left roller unit and the right roller unit, each of which includes the transfer roller and retracts outside the transfer path in the left and right directions orthogonal to the transfer path,
A rectangular frame-like frame for holding the glass substrate;
An elevating mechanism for elevating the frame;
A light source that emits inspection light from below the glass substrate;
An imaging camera for imaging the glass substrate from above;
With
1) When the glass substrate is transported to a predetermined position in the transport path,
2) By the operation of the elevating mechanism, the frame ascends vertically from its standby position and lifts upward while supporting the lower surface of the peripheral edge of the glass substrate on the conveying roller, and the upper surface of the glass substrate is the imaging camera Rising until reaching the focal plane of
3) The left roller unit and right roller unit of the transfer path are retracted out of the transfer path,
By 4) the light source, a front surface inspecting machine characterized that you captured using the imaging camera for effective area of the glass substrate with light irradiation.

本発明は、搬送コロを用いた搬送路からカラーフィルタ表面検査機へのガラス基板の受け入れ、及びカラーフィルタ表面検査機から搬送路へのガラス基板の受け渡しに、カラーフィルタ表面検査機内に設けられた搬送コロを用い、また、複数基の撮像カメラでガラス基板の有効エリアを分割して同時に撮像するので、検査に要する所要時間が短縮され全数検査を可能とし、塗布装置〜露光装置間の搬送系に設けることのできるカラーフィルタ表面検査機となる。
これにより、塗布装置に起因する膜厚ムラ及び異物付着の検査をガラス基板の全数に適用することができ、突発的な変動による膜厚ムラ及び異物付着の流出を防止することができるものとなる。また、製造ラインの側部に設けられていた表面検査機を製造ラインの搬送
系に設けることにより、クリーンルームの面積が低減され、初期投資、及び維持費用が削減される。
The present invention is provided in a color filter surface inspection machine for receiving a glass substrate from a conveyance path using a conveyance roller to a color filter surface inspection machine and delivering a glass substrate from the color filter surface inspection machine to the conveyance path. Using a transfer roller, and dividing the effective area of the glass substrate with multiple imaging cameras and simultaneously capturing images, the time required for inspection is shortened and 100% inspection is possible, and the transfer system between the coating device and the exposure device It becomes a color filter surface inspection machine which can be provided in the.
As a result, the inspection of film thickness unevenness and foreign matter adhesion caused by the coating apparatus can be applied to the total number of glass substrates, and film thickness unevenness and foreign matter adhesion outflow due to sudden fluctuations can be prevented. . Further, by providing the surface inspection machine provided on the side of the production line in the transport system of the production line, the area of the clean room is reduced, and the initial investment and maintenance costs are reduced.

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

図11は、本発明によるカラーフィルタ表面検査機を配列したカラーフィルタ製造ラインの一例における塗布装置と露光装置との間を示す平面図である。図11に示す搬送路は、搬送コロを用いたものであり、塗布装置(12)と露光装置(13)との間に搬送コロを用いた搬送装置(C11)が設けられている。搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)との間に本発明によるカラーフィルタ表面検査機が配列されている。   FIG. 11 is a plan view showing a space between a coating apparatus and an exposure apparatus in an example of a color filter production line in which color filter surface inspection machines according to the present invention are arranged. The conveyance path shown in FIG. 11 uses a conveyance roller, and a conveyance device (C11) using the conveyance roller is provided between the coating device (12) and the exposure device (13). A color filter surface inspection machine according to the present invention is arranged between the front part (C11a) and the rear part (C11b) of the transport device (C11).

動線11(D11)で示すように、本発明によるカラーフィルタ表面検査機(40)は、搬送コロを用いた搬送装置(C11)の前部(C11a)から、カラーフィルタ表面検査機内に設けられた搬送コロを用いてガラス基板の受け入れ、ガラス基板の検査を行い、カラーフィルタ表面検査機内に設けられた搬送コロを用いてガラス基板を後部(C11b)へと受け渡す。
本発明によるカラーフィルタ表面検査機(40)では、ガラス基板の抜き取り検査ではなく、搬送されてくるガラス基板の全数を受け入れ、全数を検査し、後部(C11b)へと受け渡すようになっている。
As indicated by the flow line 11 (D11), the color filter surface inspection machine (40) according to the present invention is provided in the color filter surface inspection machine from the front portion (C11a) of the transfer device (C11) using the transfer roller. The glass substrate is received using the transport roller, the glass substrate is inspected, and the glass substrate is transferred to the rear part (C11b) using the transport roller provided in the color filter surface inspection machine.
In the color filter surface inspection machine (40) according to the present invention, not the sampling inspection of the glass substrate but the total number of the glass substrates being conveyed is received, the total number is inspected and transferred to the rear part (C11b). .

図12は、図11に示す、本発明によるカラーフィルタ表面検査機(40)の一例を示す平面図、図13は、図12におけるA−A線での断面図、図14は、図12におけるB−B線での断面図である。このカラーフィルタ表面検査機(40)は、透過検査による表面検査機である。   12 is a plan view showing an example of the color filter surface inspection machine (40) according to the present invention shown in FIG. 11, FIG. 13 is a sectional view taken along line AA in FIG. 12, and FIG. 14 is in FIG. It is sectional drawing in the BB line. This color filter surface inspection machine (40) is a surface inspection machine by transmission inspection.

図12〜図14に示すように、カラーフィルタ表面検査機(40)は、フレーム(41)、撮像カメラ(44)、光源(45)、及びコロユニット(30)で構成されている。コロユニット(30)は、搬送路(白太矢印)と直交する左側の位置に設けられた左コロユニット(30L)と、右側の位置に設けられた右コロユニット(30R)とで構成されており、搬送コロ(33)は、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の各々に備えられている。   As shown in FIGS. 12-14, the color filter surface inspection machine (40) is comprised by the flame | frame (41), the imaging camera (44), the light source (45), and the roller unit (30). The roller unit (30) includes a left roller unit (30L) provided at a left position orthogonal to the conveyance path (white arrow) and a right roller unit (30R) provided at a right position. The conveyance roller (33) is provided in each of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R).

図12〜図14は、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の各々が、搬送路(白太矢印)と直交する左方向及び右方向に退避し、ガラス基板(1)の有効エリア(1a)の下方に空間(60)が設けられた状態である。コロユニット(30)の下方に設けられた光源(45)からの検査光は、この空間(60)を経てコロユニット(30)の上方のガラス基板(1)を下方から照射する。
また、カラーフィルタ表面検査機(40)には、4基の撮像カメラ((44−1)〜(44−4))と1基の光源(45)が設けられている。
12 to 14 show that the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) are retracted in the left direction and the right direction orthogonal to the conveyance path (white thick arrow), and the glass substrate (1) is effective. In this state, a space (60) is provided below the area (1a). Inspection light from the light source (45) provided below the roller unit (30) irradiates the glass substrate (1) above the roller unit (30) from below through this space (60).
The color filter surface inspection machine (40) is provided with four imaging cameras ((44-1) to (44-4)) and one light source (45).

その上面に塗膜が設けられたガラス基板(1)は、フレーム(41)上に保持されており、光源(45)は、射出された検査光をガラス基板(1)の下面に下方から照射する。ガラス基板(1)を透過した透過光を4基の撮像カメラ((44−1)〜(44−4))で同時に受光させ、その信号を画像処理装置(図示せず)へと伝送し、画像処理装置では、その信号を処理し欠陥(主に膜厚ムラ、異物付着)を識別し良否を判定する。   The glass substrate (1) provided with the coating film on the upper surface is held on the frame (41), and the light source (45) irradiates the lower surface of the glass substrate (1) with the emitted inspection light from below. To do. The transmitted light that has passed through the glass substrate (1) is simultaneously received by four imaging cameras ((44-1) to (44-4)), and the signal is transmitted to an image processing device (not shown). In the image processing apparatus, the signal is processed to identify defects (mainly film thickness unevenness, foreign matter adhesion) and determine whether or not the product is good.

ガラス基板(1)を保持するフレーム(41)は、幅(W2)を有する矩形枠状のものであり、ガラス基板(1)の周縁部を、その上面で保持する。フレーム(41)は、昇降機構(図示せず)によってカラーフィルタ表面検査機(40)内で昇降するようになって
いる。図13及び図14では、ガラス基板(1)の上面が、撮像カメラの焦点面となっている。ガラス基板(1)と撮像カメラとの距離を符号(H11)で表している。
The frame (41) for holding the glass substrate (1) has a rectangular frame shape having a width (W2), and holds the peripheral edge of the glass substrate (1) on its upper surface. The frame (41) is moved up and down in the color filter surface inspection machine (40) by a lifting mechanism (not shown). In FIGS. 13 and 14, the upper surface of the glass substrate (1) is the focal plane of the imaging camera. The distance between the glass substrate (1) and the imaging camera is represented by reference numeral (H11).

撮像カメラとしては、フレーム(41)の上方に4基の撮像カメラ((44−1)〜(44−4))が設けられており、撮像素子として、例えば、CCDエリアセンサーを使用した、カラーフィルタの欠陥検査用の撮像カメラである。4基の撮像カメラはカラーフィルタ表面検査機(40)内で固定されている。   As the imaging camera, four imaging cameras ((44-1) to (44-4)) are provided above the frame (41), and a color image using a CCD area sensor, for example, is used as the imaging device. It is an imaging camera for defect inspection of a filter. The four imaging cameras are fixed in the color filter surface inspection machine (40).

光源(45)は透過検査用の光源である。フレーム(41)の下方に設けられており、平面形状は矩形で、その寸法はガラス基板(1)の全面を照射するのに十分な大きさである。この光源(45)は、カラーフィルタ表面検査機(40)内で固定されている。
尚、図12〜図14においては、前記図3〜図5と同様に、外光を遮光するための開閉自在なシャッタは省略してある。
The light source (45) is a light source for transmission inspection. It is provided below the frame (41), the planar shape is rectangular, and its size is large enough to irradiate the entire surface of the glass substrate (1). The light source (45) is fixed in the color filter surface inspection machine (40).
In FIGS. 12 to 14, as with FIGS. 3 to 5, an openable / closable shutter for shielding external light is omitted.

図15は、ガラス基板(1)の領域を分割して検査する方法を説明する平面図である。図15は、ガラス基板(1)の大きさが、(730×920mm)〜(1100×1300mm)と大型になると、撮像素子の分解能からしてガラス基板(1)の全体を1基の撮像カメラで一括して検査することができず、分割して検査を行うことになる。図15は、ガラス基板(1)の有効エリアを4分割して、4検査エリアとし、4検査エリアを4基の撮像カメラで同時に検査する方法の例である。   FIG. 15 is a plan view for explaining a method for inspecting the glass substrate (1) by dividing the region. FIG. 15 shows that when the size of the glass substrate (1) becomes large (730 × 920 mm) to (1100 × 1300 mm), the entire glass substrate (1) is taken as one imaging camera in view of the resolution of the imaging device. In this case, the inspection cannot be performed at once, and the inspection is divided. FIG. 15 shows an example of a method in which the effective area of the glass substrate (1) is divided into four to form four inspection areas, and the four inspection areas are simultaneously inspected by four imaging cameras.

図15中、符号(1)は、大きさが、(730×920mm)〜(1100×1300mm)程度のガラス基板を表している。符号(1a)は、カラーフィルタを構成する各種パターンが形成されるガラス基板上の有効エリアを表している。また、符号(1b)は、この有効エリア(1a)を4分割した検査エリアの境界を表している。   In FIG. 15, reference numeral (1) represents a glass substrate having a size of about (730 × 920 mm) to (1100 × 1300 mm). Reference numeral (1a) represents an effective area on the glass substrate on which various patterns constituting the color filter are formed. Reference numeral (1b) represents the boundary of the inspection area obtained by dividing the effective area (1a) into four.

有効エリア(1a)は、第一検査エリア(1Ar)、第二検査エリア(2Ar)、第三検査エリア(3Ar)、第四検査エリア(4Ar)に分割されている。
第一検査エリア(1Ar)〜第四検査エリア(4Ar)の中心は、各々第一検査点(K11)(X1 、Y1 )〜第四検査点(K14)(X1 、Y2 )である。
これら第一検査点(K11)〜第四検査点(K14)は、前記図6に示す、第一検査点(K1)〜第四検査点(K4)に相当する検査点である。
4基の撮像カメラは、第一検査点(K11)〜第四検査点(K14)の上方に各々設けられている。従って、撮像カメラは、検査点間をステップ移動することなく、ガラス基板(1)の有効エリアの全面を同時に撮像することができる。
The effective area (1a) is divided into a first inspection area (1Ar), a second inspection area (2Ar), a third inspection area (3Ar), and a fourth inspection area (4Ar).
The center of the first inspection area (1AR) ~ fourth test area (4aR) is in each first inspection point (K11) (X 1, Y 1) ~ fourth test point (K14) (X 1, Y 2) is there.
The first inspection point (K11) to the fourth inspection point (K14) are inspection points corresponding to the first inspection point (K1) to the fourth inspection point (K4) shown in FIG.
The four imaging cameras are respectively provided above the first inspection point (K11) to the fourth inspection point (K14). Therefore, the imaging camera can simultaneously image the entire effective area of the glass substrate (1) without step-moving between inspection points.

図16は、本発明におけるコロユニット(30)の一例を説明する平面図である。図16は、ガラス基板(1)をカラーフィルタ表面検査機(40)に受け入れる際のコロユニット(30)の状態を表したものである。図17は、図16のA−A線での断面図である。また、図18は、図16のB−B線での断面図である。   FIG. 16 is a plan view for explaining an example of the roller unit (30) in the present invention. FIG. 16 shows the state of the roller unit (30) when the glass substrate (1) is received by the color filter surface inspection machine (40). 17 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.

図16〜図18に示すように、コロユニット(30)は、搬送路と直角な左方の左コロユニット(30L)と右方の右コロユニット(30R)とで構成されている。左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)は、各々コロ(32)とコロ軸(31)からなる搬送コロ(33)と、ギヤボックス(34)で構成されている。ギヤボックス(34)は、回転駆動部(図示せず)からの駆動を伝動する伝動軸、歯車機構などの伝動部が収納されたものである。   As shown in FIGS. 16 to 18, the roller unit (30) includes a left left roller unit (30L) and a right right roller unit (30R) perpendicular to the conveyance path. The left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) each include a conveyance roller (33) including a roller (32) and a roller shaft (31), and a gear box (34). The gear box (34) accommodates transmission parts such as a transmission shaft and a gear mechanism for transmitting driving from a rotary drive part (not shown).

左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)は、搬送路の中心線(X0 −X
0 )に対し対称の構造をしている。また、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の搬送コロ(33)は、搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)の搬送路の延長上にある。また、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の搬送コロ(33)の上部は、搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)の搬送コロ(53)の上部と同一面上にある。この同一面がガラス基板(1)のパスライン(PL)である。
The left roller unit (30L) and right roller unit (30R) are connected to the center line (X 0 -X
0 )). Moreover, the conveyance roller (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) is on the extension of the conveyance path of the front part (C11a) and the rear part (C11b) of the conveyance device (C11). Moreover, the upper part of the conveyance roller (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) is the upper part of the conveyance roller (53) of the front part (C11a) and the rear part (C11b) of the conveyance device (C11). On the same plane. This same surface is the pass line (PL) of the glass substrate (1).

左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)は、常時、同期した回転/停止を行うようになっている。左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の搬送コロ(33)は、搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)の搬送コロ(53)と等速回転を行い、パスライン(PL)上のガラス基板(1)を搬送装置(C11)の前部(C11a)からコロユニット(30)へと受け渡し、点線で示すように搬送コロ(33)上の所定の位置でガラス基板(1)を停止させる。   The left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) always perform synchronized rotation / stop. The conveyance rollers (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) rotate at the same speed as the conveyance rollers (53) of the front part (C11a) and the rear part (C11b) of the conveyance device (C11), The glass substrate (1) on the pass line (PL) is transferred from the front part (C11a) of the transfer device (C11) to the roller unit (30), and at a predetermined position on the transfer roller (33) as indicated by a dotted line. The glass substrate (1) is stopped.

図19は、ガラス基板(1)を検査する際のコロユニット(30)の状態を表したものである。図20は、図19のA−A線での断面図である。また、図21は、図19のB−B線での断面図である。
図19〜図21に示すように、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)は、矢印で示すように、ユニット移動機構(図示せず)によって、各々搬送路と直角な左方及び右方に退避し、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の各搬送コロ(33)を、搬送路外、少なくともガラス基板の有効エリア(1a)外に位置するようにする。
FIG. 19 shows the state of the roller unit (30) when inspecting the glass substrate (1). 20 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 21 is a sectional view taken along line BB in FIG.
As shown in FIGS. 19 to 21, the left roller unit (30 </ b> L) and the right roller unit (30 </ b> R) are moved to the left and right at right angles to the conveyance path by a unit moving mechanism (not shown) as indicated by arrows. Retreating to the right, each conveyance roller (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) is positioned outside the conveyance path and at least outside the effective area (1a) of the glass substrate.

これにより、ガラス基板の有効エリア(1a)内の、ガラス基板(1)の下面から光源(45)の上面までの間に空間(60)が設けられる。光源(45)からの検査光は、障害なく、この空間を経てガラス基板(1)の下方からガラス基板(1)を照射することが可能となる。   Thereby, a space (60) is provided between the lower surface of the glass substrate (1) and the upper surface of the light source (45) in the effective area (1a) of the glass substrate. The inspection light from the light source (45) can irradiate the glass substrate (1) from below the glass substrate (1) through this space without any obstacles.

図22〜図25は、図12に示すカラーフィルタ表面検査機(40)を用い、ガラス基板(1)上の有効エリア(1a)を4分割した第一検査エリア(1Ar)〜第四検査エリア(4Ar)を検査する動作を示す説明図である。
図22は、コロユニット(30)に備えられた搬送コロ(33)が、ガラス基板(1)を搬送装置(C11)の前部(C11a)の搬送コロ(53)から受け入れ、搬送コロ(33)上の所定の位置で停止させた状態を表したものである。
22 to 25 show a first inspection area (1Ar) to a fourth inspection area obtained by dividing the effective area (1a) on the glass substrate (1) into four parts using the color filter surface inspection machine (40) shown in FIG. It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects (4Ar).
In FIG. 22, the conveyance roller (33) provided in the roller unit (30) receives the glass substrate (1) from the conveyance roller (53) at the front portion (C11a) of the conveyance device (C11), and the conveyance roller (33). ) Represents a state stopped at a predetermined position above.

左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の各搬送コロ(33)は、図17に示すように、搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)の搬送路の延長上にある。左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の搬送コロ(33)の上部は、搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)の搬送コロ(53)の上部と同一面(パスライン(PL))上にある。また、フレーム(41)は、パスライン(PL)より下方の待機位置(Z0 )にある。
ガラス基板(1)は、矢印で示すように、図22中、パスライン(PL)上を左方から右方へと搬送され、搬送コロ(53)上から搬送コロ(33)上に移載される。
As shown in FIG. 17, each of the transport rollers (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) is an extension of the transport path of the front part (C11a) and the rear part (C11b) of the transport device (C11). It is above. The upper part of the conveying roller (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) is flush with the upper part of the conveying roller (53) of the front part (C11a) and rear part (C11b) of the conveying device (C11). (Pass line (PL)). The frame (41) is at a standby position (Z 0 ) below the pass line (PL).
As shown by the arrow, the glass substrate (1) is conveyed from the left to the right on the pass line (PL) in FIG. 22, and transferred from the conveyance roller (53) onto the conveyance roller (33). Is done.

次に、図23に示すように、図示せぬ昇降機構の作動により、フレーム(41)は、その待機位置(Z0 )から垂直に上昇し、上昇しながら搬送コロ(33)上のガラス基板(1)の周縁部の下面を支えて上方に持ち上げ、ガラス基板(1)の上面が撮像カメラの焦点面(Z1 )に達するで上昇する。 Next, as shown in FIG. 23, the frame (41) rises vertically from its standby position (Z 0 ) by the operation of a lifting mechanism (not shown), and the glass substrate on the conveying roller (33) while rising. The lower surface of the peripheral edge of (1) is supported and lifted upward, and the glass substrate (1) rises when the upper surface reaches the focal plane (Z 1 ) of the imaging camera.

次に、図24に示すように、ガラス基板(1)の有効エリアを4分割した第一検査エリ
ア(1Ar)〜第四検査エリア(4Ar)の撮像を行う。
この撮像に先立ち、図19中、矢印で示すように、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)は、ユニット移動機構(図示せず)によって、各々搬送路と直角な左方及び右方に退避し、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の各搬送コロ(33)を、搬送路外、少なくともガラス基板の有効エリア(1a)外に位置するようにする。
Next, as shown in FIG. 24, imaging of the first inspection area (1Ar) to the fourth inspection area (4Ar) in which the effective area of the glass substrate (1) is divided into four is performed.
Prior to this imaging, as shown by the arrows in FIG. 19, the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) are left and right at right angles to the conveyance path by means of a unit moving mechanism (not shown). The transport rollers (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) are positioned outside the transport path and at least outside the effective area (1a) of the glass substrate.

これにより、ガラス基板の有効エリア(1a)内の、ガラス基板(1)の下面から光源(45)の上面までの間に撮像のための空間(60)を設ける。光源(45)からの検査光は、障害なく、この空間(60)を経てガラス基板(1)の下方からガラス基板(1)を照射することが可能となる。
図24は、撮像のための空間(60)が設けられた状態を示したものである。この状態で、4基の撮像カメラを用い第一検査エリア(1Ar)〜第四検査エリア(4Ar)を同時に撮像する。
Thereby, a space (60) for imaging is provided between the lower surface of the glass substrate (1) and the upper surface of the light source (45) in the effective area (1a) of the glass substrate. The inspection light from the light source (45) can irradiate the glass substrate (1) from below the glass substrate (1) through this space (60) without any obstacles.
FIG. 24 shows a state where a space (60) for imaging is provided. In this state, four imaging cameras are used to simultaneously image the first inspection area (1Ar) to the fourth inspection area (4Ar).

次に、図25に示すように、ユニット移動機構(図示せず)を作動させ搬送路外に退避していた左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)を元の位置に戻す。すなわち、図17に示すように、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の搬送コロ(33)を搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)の搬送路の延長上にし、左コロユニット(30L)と右コロユニット(30R)の搬送コロ(33)の上部を、搬送装置(C11)の前部(C11a)と後部(C11b)の搬送コロ(53)の上部と同一面上にする。   Next, as shown in FIG. 25, a unit moving mechanism (not shown) is operated to return the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) that have been retracted outside the conveyance path to their original positions. That is, as shown in FIG. 17, the conveyance roller (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) is extended to the conveyance path of the front part (C11a) and the rear part (C11b) of the conveyance device (C11). The upper part of the transport roller (33) of the left roller unit (30L) and the right roller unit (30R) is the upper part of the transport roller (53) of the front part (C11a) and rear part (C11b) of the transport device (C11). On the same plane.

続いて、図25中、矢印(e)で示すように、フレーム(41)は、垂直に降下しながらフレーム(41)上のガラス基板(1)を搬送コロ(33)上に移載し、パスラインより下方の待機位置(Z0 )に戻る。
ガラス基板(1)は搬送コロ(33)及び搬送コロ(53)の作動により、図25中、矢印(f)で示すように、搬送コロ(33)上から搬送コロ(53)上へと受け渡される。
Subsequently, as shown by an arrow (e) in FIG. 25, the frame (41) moves the glass substrate (1) on the frame (41) onto the transfer roller (33) while vertically descending, Return to the standby position (Z 0 ) below the pass line.
The glass substrate (1) is received from the conveyance roller (33) onto the conveyance roller (53) by the operation of the conveyance roller (33) and the conveyance roller (53) as shown by an arrow (f) in FIG. Passed.

上記のように、本発明によるカラーフィルタ表面検査機では、搬送コロを用いた搬送路からカラーフィルタ表面検査機へのガラス基板の受け入れ、及びカラーフィルタ表面検査機から搬送路へのガラス基板の受け渡しに、カラーフィルタ表面検査機内に設けられた搬送コロを用いるので、前記図3に示すカラーフィルタ表面検査機における、ロボットのフォークの進入/退却に比較して、その所要時間は短縮したものとなる。   As described above, in the color filter surface inspection machine according to the present invention, the glass substrate is received from the conveyance path using the conveyance roller to the color filter surface inspection machine, and the glass substrate is transferred from the color filter surface inspection machine to the conveyance path. In addition, since the transfer roller provided in the color filter surface inspection machine is used, the time required for the color filter surface inspection machine shown in FIG. .

また、本発明によるカラーフィルタ表面検査機では、4基の撮像カメラを備えているので、1基の撮像カメラをステップ移動させることなく、4検査エリアを同時に撮像することができ、その所要時間は短縮したものとなる。
また、4基の撮像カメラは定位置に設けられており、1基の撮像カメラの際における待機位置への移動に要する時間は不要となる。
In addition, since the color filter surface inspection machine according to the present invention includes four imaging cameras, four inspection areas can be simultaneously imaged without stepping one imaging camera, and the required time is as follows. It will be shortened.
In addition, the four imaging cameras are provided at fixed positions, and the time required to move to the standby position when one imaging camera is used is unnecessary.

従って、本発明によるカラーフィルタ表面検査機が1枚のガラス基板を検査するのに要する所要時間は、具体的には、略20秒程度のものとなる。これは、1枚のガラス基板を処理するのに要する製造ラインの所要時間の、例えば、20秒程度に相当するものであり、本発明によるカラーフィルタ表面検査機を塗布装置〜露光装置間の搬送系に設けての全数検査を可能なものとする。   Therefore, the time required for the color filter surface inspection machine according to the present invention to inspect one glass substrate is specifically about 20 seconds. This corresponds to, for example, about 20 seconds of the time required for the production line required to process one glass substrate, and the color filter surface inspection machine according to the present invention is transported between the coating apparatus and the exposure apparatus. 100% inspection can be performed in the system.

ガラス基板に所定のパターンを形成する製造ラインの一例の配列を示す平面図である。It is a top view which shows the arrangement | sequence of an example of the manufacturing line which forms a predetermined pattern in a glass substrate. 塗布装置と露光装置との間で行われる塗膜の外観検査の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the external appearance inspection of the coating film performed between a coating device and an exposure apparatus. 図2に示すカラーフィルタ表面検査機の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the color filter surface inspection machine shown in FIG. 図3におけるA−A線での断面図である。It is sectional drawing in the AA in FIG. 図3におけるB−B線での断面図である。It is sectional drawing in the BB line in FIG. ガラス基板の領域を分割して検査する方法を説明する平面図であるIt is a top view explaining the method of dividing | segmenting and inspecting the area | region of a glass substrate 第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects a 1st inspection area-a 4th inspection area. 第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects a 1st inspection area-a 4th inspection area. 第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects a 1st inspection area-a 4th inspection area. 第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects a 1st inspection area-a 4th inspection area. 本発明によるカラーフィルタ表面検査機を配列したカラーフィルタ製造ラインの一例における塗布装置と露光装置との間を示す平面図である。It is a top view which shows between the coating device and exposure apparatus in an example of the color filter manufacturing line which arranged the color filter surface inspection machine by this invention. 本発明によるカラーフィルタ表面検査機の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the color filter surface inspection machine by this invention. 図12におけるA−A線での断面図である。It is sectional drawing in the AA in FIG. 図12におけるB−B線での断面図である。It is sectional drawing in the BB line in FIG. ガラス基板の領域を分割して検査する方法を説明する平面図である。It is a top view explaining the method to divide | segment and test | inspect the area | region of a glass substrate. 本発明におけるコロユニットの一例を説明する平面図である。It is a top view explaining an example of a roller unit in the present invention. 図16のA−A線での断面図である。It is sectional drawing in the AA of FIG. 図16のB−B線での断面図である。It is sectional drawing in the BB line of FIG. ガラス基板を検査する際のコロユニットの状態を表したものである。It shows the state of the roller unit when inspecting the glass substrate. 図19のA−A線での断面図である。It is sectional drawing in the AA of FIG. 図19のB−B線での断面図である。It is sectional drawing in the BB line of FIG. ガラス基板上の有効エリアを4分割した第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects the 1st inspection area-the 4th inspection area which divided the effective area on a glass substrate into 4 parts. ガラス基板上の有効エリアを4分割した第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects the 1st inspection area-the 4th inspection area which divided the effective area on a glass substrate into 4 parts. ガラス基板上の有効エリアを4分割した第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects the 1st inspection area-the 4th inspection area which divided the effective area on a glass substrate into 4 parts. ガラス基板上の有効エリアを4分割した第一検査エリア〜第四検査エリアを検査する動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation | movement which test | inspects the 1st inspection area-the 4th inspection area which divided the effective area on a glass substrate into 4 parts.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・ガラス基板
1a・・・ガラス基板の有効エリア
1Ar〜4Ar・・・第一検査エリア〜第四検査エリア
10・・・カラーフィルタ製造ラインの一例
11・・・洗浄装置
12・・・塗布装置
13・・・露光装置
14・・・現像装置
15・・・加熱装置
20・・・カラーフィルタ表面検査機
21、41・・・フレーム
24、44・・・撮像カメラ
25、45・・・光源
30・・・コロユニット
30L・・・左コロユニット
30R・・・右コロユニット
33・・・搬送コロ
34・・・ギヤボックス
40・・・本発明によるカラーフィルタ表面検査機
53・・・搬送装置の搬送コロ
C1、C11・・・搬送装置
C1a、C11a・・・搬送装置の前部
C1b、C11b・・・搬送装置の前部
K1〜K4・・・第一検査点〜第四検査点
K11〜K14・・・本発明における第一検査点〜第四検査点
R1・・・移載ロボット
R1−f・・・移載ロボットのフォーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass substrate 1a ... Effective area 1Ar-4Ar of glass substrate ... 1st inspection area-4th inspection area 10 ... Example of color filter production line 11 ... Cleaning apparatus 12 ... Coating device 13 ... Exposure device 14 ... Developing device 15 ... Heating device 20 ... Color filter surface inspection machine 21, 41 ... Frames 24, 44 ... Imaging cameras 25, 45 ... Light source 30 ... Roller unit 30L ... Left roller unit 30R ... Right roller unit 33 ... Conveyor roller 34 ... Gear box 40 ... Color filter surface inspection machine 53 according to the present invention ... Conveyor Transport rollers C1, C11 of the apparatus: Transport devices C1a, C11a: Front portions C1b, C11b of the transport device: Front portions K1 to K4 of the transport device: First inspection point to fourth inspection point K11 ~ 14 ... of the first inspection point to fourth test point R1 ... transfer robot R1-f ... transfer robot in the present invention Fork

Claims (1)

造ラインの搬送路に設けられたガラス基板上の塗膜の欠陥を検出する表面検査機において
ラス基板の受け渡しに、表面検査機内に設けられた送コロと、
前記搬送コロを備え、搬送路と直交する左側及び右側方向の搬送路外にそれぞれ退避する左コロユニットと右コロユニットからなるコロユニットと、
前記ガラス基板を保持する矩形枠状のフレームと、
前記フレームを昇降する昇降機構と、
前記ガラス基板の下方から検査光を照射する光源と、
前記ガラス基板を上方から撮像する撮像カメラと、
を備え、
1)前記ガラス基板が、前記搬送路の所定の位置に搬送されると、
2)前記昇降機構の作動により、前記フレームは、その待機位置から垂直に上昇し、上昇しながら搬送コロ上のガラス基板の周縁部の下面を支えて上方に持ち上げ、ガラス基板の上面が撮像カメラの焦点面に達するまで上昇し、
3)前記搬送路の左コロユニットと右コロユニットが搬送路外に退避し、
4)前記光源により、照射した光でガラス基板の有効エリアについて撮像カメラを用いて撮像することを特徴とする表面検査機。
In the front surface inspection apparatus that detect defects in the coating on the glass substrate provided on the conveying path of the manufacturing line,
To pass glass substrate, and the conveyance rollers provided on the front surface inspection machine,
A roller unit comprising the left roller unit and the right roller unit, each of which includes the transfer roller and retracts outside the transfer path in the left and right directions orthogonal to the transfer path,
A rectangular frame-like frame for holding the glass substrate;
An elevating mechanism for elevating the frame;
A light source that emits inspection light from below the glass substrate;
An imaging camera for imaging the glass substrate from above;
With
1) When the glass substrate is transported to a predetermined position in the transport path,
2) By the operation of the elevating mechanism, the frame ascends vertically from its standby position and lifts upward while supporting the lower surface of the peripheral edge of the glass substrate on the conveying roller, and the upper surface of the glass substrate is the imaging camera Rising until reaching the focal plane of
3) The left roller unit and right roller unit of the transfer path are retracted out of the transfer path,
4) by the light source, the front surface inspection machine characterized that you captured using the imaging camera for effective area of the glass substrate with light irradiation.
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