JP2011222791A - Method for manufacturing module substrate - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a module substrate that can surely connect terminal electrodes thereon maintaining coplanarity without short circuit.SOLUTION: There is provided a method for manufacturing a module substrate 1 having at least one surface mounted with a plurality of electronic components 12, 12, .... A plurality of terminal connection substrates 14, 14, ... are mounted on one surface of the module substrate 1, in which a plurality of terminal electrodes 142, 142, ... passing through two opposing surfaces of an insulator 141 are arranged and one end of the terminal electrodes 142, 142, ... protrudes from one surface of the insulator 141 by a predetermined length. The one end of the terminal electrodes 142, 142, ... is polished so that all portions of the plurality of terminal electrodes 142, 142, ... protruding from the one surface of the insulator 141 are set equal in height from the surface of the module substrate 1.

Description

本発明は、片面又は両面に複数の電子部品を実装した集合基板を分断して、集合基板から複数のモジュール基板を切り出すモジュール基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a module substrate by dividing a collective substrate on which a plurality of electronic components are mounted on one side or both sides and cutting out a plurality of module substrates from the collective substrate.

近年、電子機器の小型化、軽量化に伴い、電子機器に実装するモジュール基板自体も小型化、軽量化が求められている。そのため、リード端子、半田ボール、キャビティ構造等を用いて電子部品をモジュール基板の両面に実装することで小型化、軽量化が行われている。   In recent years, with the reduction in size and weight of electronic devices, the module substrate itself mounted on the electronic device is also required to be reduced in size and weight. For this reason, electronic components are mounted on both sides of the module substrate using lead terminals, solder balls, cavity structures, and the like, thereby reducing the size and weight.

特許文献1には、キャビティ構造等を形成することなく、安価に両面に実装することが可能な半導体装置の製造方法が開示されている。すなわち、連結板により一体化した複数の接続用電極を、電子部品を実装したモジュール基板に重ね合わせて固着し、連結板を研磨することにより除去して接続用電極を形成する。これにより、例えば半田等により複数の接続用電極をモジュール基板に固着したために連結板が傾いている場合であっても、連結板がなくなるまで研磨することによりモジュール基板のコプラナリティ(Coplanarity)を維持することができる。   Patent Document 1 discloses a method for manufacturing a semiconductor device that can be inexpensively mounted on both sides without forming a cavity structure or the like. That is, a plurality of connection electrodes integrated by a connecting plate are stacked and fixed on a module substrate on which electronic components are mounted, and the connecting plate is removed by polishing to form a connecting electrode. Accordingly, even when the connecting plate is inclined because a plurality of connection electrodes are fixed to the module substrate by solder or the like, for example, the coplanarity of the module substrate is maintained by polishing until the connecting plate is removed. be able to.

特許第3960479号公報Japanese Patent No. 3960479

しかし、特許文献1に開示してある半導体装置の製造方法では、連結板を研磨することにより除去する必要があることから、十分に連結板を研磨することができなかった場合、接続用電極の接続不良が発生するおそれがあるという問題点があった。   However, in the method of manufacturing a semiconductor device disclosed in Patent Document 1, since it is necessary to remove the connecting plate by polishing, if the connecting plate cannot be sufficiently polished, There was a problem that connection failure might occur.

また、連結板は比較的長さの長い接続用電極が露出しており、連結板をモジュール基板へ実装する前のテーピング工程等の取扱いにおいて接続用電極が変形するおそれがあった。このため、隣接する接続用電極同士が短絡するおそれもあった。   Further, the connection plate has a relatively long connection electrode exposed, and the connection electrode may be deformed in handling such as a taping process before the connection plate is mounted on the module substrate. For this reason, there is a possibility that adjacent connection electrodes may be short-circuited.

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、コプラナリティを維持しつつ、端子電極同士を短絡させることなく確実に接続することができるモジュール基板の製造方法を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of such a situation, and it aims at providing the manufacturing method of the module board which can connect reliably, without short-circuiting terminal electrodes, maintaining coplanarity.

上記目的を達成するために第1発明に係るモジュール基板の製造方法は、少なくとも片面に複数の電子部品を実装したモジュール基板の製造方法において、絶縁体の対向する二面を貫通した複数の端子電極を配置してあり、前記端子電極の一端側が前記絶縁体の一面から所定の長さ突出している端子接続基板を、前記モジュール基板の一面に複数実装する第1工程と、複数の前記端子電極の前記絶縁体の一面から突出している部分が前記モジュール基板の一面からの高さが同じになるよう前記端子電極の一端側を研削する第2工程とを含むことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a method for manufacturing a module substrate according to a first aspect of the present invention is a method for manufacturing a module substrate in which a plurality of electronic components are mounted on at least one surface, and a plurality of terminal electrodes penetrating two opposing surfaces of an insulator. A first step of mounting a plurality of terminal connection substrates on one surface of the module substrate, each terminal electrode projecting a predetermined length from one surface of the insulator, and a plurality of the terminal electrodes. And a second step of grinding one end of the terminal electrode so that a portion protruding from one surface of the insulator has the same height from the one surface of the module substrate.

また、第2発明に係るモジュール基板の製造方法は、第1発明において、前記所定の長さは、前記モジュール基板の一面からの設計上の高さから前記絶縁体の高さを減じた長さ以上であることを特徴とする。   In the module substrate manufacturing method according to the second invention, in the first invention, the predetermined length is a length obtained by subtracting a height of the insulator from a design height from one surface of the module substrate. It is the above.

また、第3発明に係るモジュール基板の製造方法は、第1又は第2発明において、前記端子接続基板は、複数の前記端子電極間にレジストを印刷してあることを特徴とする。   The module substrate manufacturing method according to a third aspect of the present invention is characterized in that, in the first or second aspect, the terminal connection substrate has a resist printed between the plurality of terminal electrodes.

また、第4発明に係るモジュール基板の製造方法は、第1乃至第3発明のいずれか1つにおいて、前記第1工程の後、前記第2工程の代わりに、前記モジュール基板に実装された複数の電子部品と前記端子接続基板とを樹脂封止し、封止した樹脂の上面と前記端子電極の一端側とを研磨する研磨工程を含むことを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a module substrate according to any one of the first to third aspects, wherein the plurality of modules are mounted on the module substrate after the first step, instead of the second step. The electronic component and the terminal connection substrate are sealed with a resin, and a polishing step of polishing an upper surface of the sealed resin and one end side of the terminal electrode is included.

また、第5発明に係るモジュール基板の製造方法は、第4発明において、前記研磨工程の後、導電性ペーストによりNC電極を形成する工程を含むことを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a module substrate according to the fourth aspect, further comprising a step of forming an NC electrode with a conductive paste after the polishing step.

また、第6発明に係るモジュール基板の製造方法は、第4又は第5発明において、前記研磨工程の後、封止した前記樹脂の上面に再度配線を施す工程を含むことを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a module substrate according to the fourth or fifth aspect, further comprising a step of rewiring the upper surface of the sealed resin after the polishing step.

また、第7発明に係るモジュール基板の製造方法は、第4乃至第6発明のいずれか1つにおいて、複数の前記電子部品を封止する樹脂は、前記端子接続基板の絶縁体と同じ組成であることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a module substrate according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the resin that seals the plurality of electronic components has the same composition as the insulator of the terminal connection substrate. It is characterized by being.

第1発明では、絶縁体の対向する二面を貫通した複数の端子電極を配置してあり、端子電極の一端側が絶縁体の一面から所定の長さ突出している端子接続基板を準備する。電子部品をモジュール基板の片面又は両面に実装するとともに、端子接続基板をモジュール基板の一面に複数実装する。複数の端子電極の絶縁体の一面から突出している部分がモジュール基板の一面からの高さが同じになるよう端子電極の一端側を研削する。端子電極を研削する場合、端子電極が絶縁体にて支持されているので安定して研削することができ、コプラナリティを維持することができる。また、端子電極が絶縁体にて支持されているので、端子電極が変形しにくく、隣接する端子電極同士が短絡するおそれが少ない。   In the first invention, a terminal connection substrate is prepared in which a plurality of terminal electrodes penetrating two opposing surfaces of an insulator are arranged, and one end side of the terminal electrode protrudes from a surface of the insulator by a predetermined length. Electronic components are mounted on one or both sides of the module substrate, and a plurality of terminal connection substrates are mounted on one surface of the module substrate. The one end side of the terminal electrode is ground so that the portions protruding from one surface of the insulator of the plurality of terminal electrodes have the same height from the one surface of the module substrate. When the terminal electrode is ground, since the terminal electrode is supported by the insulator, the terminal electrode can be stably ground and the coplanarity can be maintained. Moreover, since the terminal electrode is supported by the insulator, the terminal electrode is not easily deformed, and there is little possibility that adjacent terminal electrodes are short-circuited.

第2発明では、端子電極の一端側が絶縁体の一面から突出している所定の長さは、モジュール基板の一面からの設計上の高さから絶縁体の高さを減じた長さ以上であることにより、研削代を確保することができるとともに、コプラナリティを維持することが可能となる。   In the second invention, the predetermined length at which the one end side of the terminal electrode protrudes from one surface of the insulator is equal to or longer than the design height from one surface of the module substrate minus the height of the insulator. Thus, it is possible to secure a grinding allowance and maintain coplanarity.

第3発明では、端子接続基板は、複数の端子電極間にレジストを印刷してあることにより、研削により端子電極が変形しにくく、隣接する端子電極同士が短絡するおそれが少ない。また、端子接続基板の端子電極が突出している側の端子電極間の段差を埋めることができ、実装時の吸引性が高まる。   In the third invention, since the terminal connection substrate has a resist printed between the plurality of terminal electrodes, the terminal electrodes are not easily deformed by grinding, and there is little possibility that adjacent terminal electrodes are short-circuited. Further, the step between the terminal electrodes on the side where the terminal electrodes of the terminal connection substrate protrude can be filled, and the attraction during mounting is enhanced.

第4発明では、モジュール基板に実装された複数の電子部品と端子接続基板とを樹脂封止し、封止した樹脂の上面と端子電極の一端側とを同時に研磨することにより、コプラナリティを維持することが可能となる。また、樹脂封止することにより落下強度が向上し、モジュール基板全体として信頼性が向上する。   In the fourth invention, the plurality of electronic components mounted on the module substrate and the terminal connection substrate are resin-sealed, and the coplanarity is maintained by simultaneously polishing the upper surface of the sealed resin and one end side of the terminal electrode. It becomes possible. Moreover, the drop strength is improved by resin sealing, and the reliability of the entire module substrate is improved.

第5発明では、封止した樹脂の上面を研磨した後、導電性ペーストによりNC電極を形成することにより、モジュール基板の落下時の衝撃を分散させることができ、落下強度を向上させることが可能となる。   In the fifth invention, after the upper surface of the sealed resin is polished, the NC electrode is formed with a conductive paste, so that the impact when the module substrate is dropped can be dispersed and the drop strength can be improved. It becomes.

第6発明では、封止した樹脂の上面を研磨した後、樹脂の上面に再度配線を施すことにより、外部電極の位置を端子接続基板の端子電極の位置と異なる位置に配置することが可能となる。   In the sixth invention, after polishing the upper surface of the sealed resin, wiring is again performed on the upper surface of the resin, so that the position of the external electrode can be arranged at a position different from the position of the terminal electrode of the terminal connection board. Become.

第7発明では、複数の電子部品を封止する樹脂は、端子接続基板の絶縁体と同じ組成であることにより、互いの密着力が強く、モジュール基板全体として強度が向上する。   In the seventh invention, since the resin for sealing a plurality of electronic components has the same composition as the insulator of the terminal connection substrate, the mutual adhesion is strong and the strength of the entire module substrate is improved.

上記構成によれば、端子電極を研削する場合、端子電極が絶縁体にて支持されているので安定して研削することができ、コプラナリティを維持することができる。また、端子電極が絶縁体にて支持されているので、端子電極が変形しにくく、隣接する端子電極同士が短絡するおそれが少ない。   According to the above configuration, when the terminal electrode is ground, since the terminal electrode is supported by the insulator, it can be ground stably and coplanarity can be maintained. Moreover, since the terminal electrode is supported by the insulator, the terminal electrode is not easily deformed, and there is little possibility that adjacent terminal electrodes are short-circuited.

本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板の構成を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the structure of the terminal connection board arrange | positioned at the module board which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板の製造工程を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the manufacturing process of the terminal connection board arrange | positioned at the module board which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板の分断位置の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the division position of the terminal connection board arrange | positioned at the module board which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板のレジスト印刷時の構成を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the structure at the time of the resist printing of the terminal connection board | substrate arrange | positioned at the module board which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板の両面に厚い銅箔を用いる場合の構成を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the structure in the case of using a thick copper foil on both surfaces of the terminal connection board | substrate arrange | positioned at the module board which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板の厚い銅箔が絶縁体に一部埋没している場合の構成を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。Section in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the structure when the thick copper foil of the terminal-connection board | substrate arrange | positioned at the module board | substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention is embedded in the insulator. FIG. 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板の製造工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the manufacturing process of the module board which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るモジュール基板の研削工程を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the grinding process of the module substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るモジュール基板に配置する端子接続基板の製造工程を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the manufacturing process of the terminal connection board arrange | positioned at the module board which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るモジュール基板の製造工程を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the manufacturing process of the module board which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るモジュール基板のNC電極を形成する場合の工程を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line which shows the process in the case of forming NC electrode of the module board which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るモジュール基板に再配線を施す場合の、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrode located in a line in the case of giving rewiring to the module board which concerns on Embodiment 2 of this invention.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板の構成を示す、一列に並んだ端子電極を切断する面での断面図である。本発明の実施の形態1に係る端子接続基板14は、セラミック、ガラス、エポキシ樹脂等からなる絶縁体141と、絶縁体141の対向する二面を貫通して、一列に配置されている複数の端子電極142、142、・・・とで構成されている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view of a terminal connection substrate arranged on a module substrate according to Embodiment 1 of the present invention, taken along a plane cutting terminal electrodes arranged in a row. The terminal connection substrate 14 according to the first exemplary embodiment of the present invention includes an insulator 141 made of ceramic, glass, epoxy resin, or the like, and a plurality of rows arranged in a row through two opposing surfaces of the insulator 141. Terminal electrodes 142, 142,...

図2は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板14の製造工程を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。まず図2(a)に示すように、セラミック、ガラス、エポキシ樹脂等からなる絶縁基板31の所望の位置に、レーザ加工によりスルーホール32、32、・・・を形成する。そして、無電解銅メッキにより、形成したスルーホール32、32、・・・の壁面をメッキし、メッキされたスルーホール32、32、・・・内に樹脂を充填する。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the terminal electrodes 142, 142,... Arranged in a row, showing a manufacturing process of the terminal connection substrate 14 arranged on the module substrate according to the first embodiment of the present invention. is there. First, as shown in FIG. 2A, through holes 32, 32,... Are formed by laser processing at desired positions on an insulating substrate 31 made of ceramic, glass, epoxy resin, or the like. Then, the wall surfaces of the formed through holes 32, 32,... Are plated by electroless copper plating, and the plated through holes 32, 32,.

次に、図2(b)に示すように、スルーホール32、32、・・・の開口部を有する両面に所定の厚みを有する銅箔33、34を張り付ける。本実施の形態1では、銅箔34の厚みは38μm、銅箔33の厚みを250μmとする。なお、エポキシ樹脂等で絶縁基板31が形成されている場合、剛性の高い基板であっても良いし、可撓性を有する基板であっても良い。また、銅箔33、34は純銅に限定されるものではなく、リン青銅、黄銅等の銅合金であっても良い。純銅と比較して加工性が高いので、ダイサーでの分断時、上面研削時等にバリ、延び等が発生しにくい。   Next, as shown in FIG. 2 (b), copper foils 33, 34 having a predetermined thickness are attached to both surfaces having openings of through holes 32, 32,. In the first embodiment, the thickness of the copper foil 34 is 38 μm, and the thickness of the copper foil 33 is 250 μm. Note that in the case where the insulating substrate 31 is formed of an epoxy resin or the like, it may be a highly rigid substrate or a flexible substrate. Further, the copper foils 33 and 34 are not limited to pure copper, but may be copper alloys such as phosphor bronze and brass. Since it is more workable than pure copper, burrs, elongation, etc. are unlikely to occur when cutting with a dicer or grinding the top surface.

さらに、厚みが厚い銅箔33はメッキ加工により形成しても良い。例えば150μm前後の厚みを有する銅箔33を張り付け、その上にメッキ加工することにより200〜400μmの厚みにすれば足りる。銅箔33の厚みは100〜500μm、特に200〜400μmが好ましい。500μm以上の厚みとなった場合、上面の研削量が過大となり、相当の加工時間を要するためコスト低減が困難となる。   Further, the thick copper foil 33 may be formed by plating. For example, it is sufficient to apply a copper foil 33 having a thickness of about 150 μm and to perform plating on the copper foil 33 to a thickness of 200 to 400 μm. The thickness of the copper foil 33 is preferably 100 to 500 μm, particularly preferably 200 to 400 μm. When the thickness is 500 μm or more, the grinding amount on the upper surface becomes excessive, and a considerable processing time is required, so that it is difficult to reduce the cost.

銅箔33の厚みが200μm以上である場合、実装時の端子接続基板14の傾きによる端子接続基板14両端の高低差よりも大きいことから、上面を研削したときであっても端子電極142、142、・・・が消失することがない。また、銅箔33の厚みが400μm以下である場合、絶縁基板31から突出している高さが比較的低くなることから、端子電極142が変形しにくい。   When the thickness of the copper foil 33 is 200 μm or more, since the height difference between both ends of the terminal connection substrate 14 due to the inclination of the terminal connection substrate 14 at the time of mounting is larger, the terminal electrodes 142 and 142 even when the upper surface is ground. ... will not disappear. When the thickness of the copper foil 33 is 400 μm or less, the height protruding from the insulating substrate 31 is relatively low, so that the terminal electrode 142 is not easily deformed.

次に、図2(c)に示すように、張り付けた銅箔33、34の同じ位置にて、端子電極142、142、・・・を形成するようエッチング加工する。本実施の形態1では、断面形状が一辺0.3mmの矩形である柱状の端子電極142、142、・・・を形成し、0.6mm間隔で配置してある。   Next, as shown in FIG. 2 (c), etching is performed so as to form terminal electrodes 142, 142,... At the same positions of the attached copper foils 33,. In the first embodiment, columnar terminal electrodes 142, 142,... Whose cross-sectional shape is a rectangle having a side of 0.3 mm are formed and arranged at intervals of 0.6 mm.

そして、図2(d)に示すように、エッチング加工により形成された端子電極142、142、・・・の表面にメッキ膜35、35、・・・を成膜し、図2(e)に示すように、所定数の端子電極142、142、・・・を有するよう、分断位置36、36、・・・において絶縁基板31をダイサーにて分断することにより、図2(f)に示すような端子接続基板14を切り出す。切り出した端子接続基板14は、モジュール基板の所定の位置に実装される。なお、メッキ膜35、35、・・・は、Ni/Sn又はNi/Au等を湿式メッキ等で成膜する。また、防錆処理を施しても良い。端子電極142に用いられている銅の酸化の進行を抑制することができ、実装時の半田濡れ性を向上させることができるからである。   Then, as shown in FIG. 2D, plating films 35, 35,... Are formed on the surfaces of the terminal electrodes 142, 142,. As shown in FIG. 2F, the insulating substrate 31 is divided by a dicer at the dividing positions 36, 36,... So as to have a predetermined number of terminal electrodes 142, 142,. A suitable terminal connection board 14 is cut out. The cut out terminal connection board 14 is mounted at a predetermined position on the module board. The plating films 35, 35,... Are formed by wet plating or the like of Ni / Sn or Ni / Au. Moreover, you may give a rust prevention process. This is because the progress of oxidation of copper used for the terminal electrode 142 can be suppressed, and the solder wettability during mounting can be improved.

図3は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板14の分断位置の一例を示す斜視図である。図3(a)に示すように、絶縁基板31上にマトリクス状に端子電極142、142、・・・を配置しておき、所望の端子電極数、配列に応じて分断する。これにより、一列に端子電極142、142、・・・が配置されている端子接続基板14(図3(b))だけでなく、二列(図3(c))、三列(図3(d))等複数列に端子電極142、142、・・・が配置されている端子接続基板14、矩形の端子接続基板14(図3(e))等、任意の端子接続基板14を切り出すことが可能となる。   FIG. 3 is a perspective view showing an example of a dividing position of the terminal connection board 14 arranged on the module board according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 3A, terminal electrodes 142, 142,... Are arranged in a matrix on the insulating substrate 31, and divided according to the desired number and arrangement of terminal electrodes. As a result, not only the terminal connection substrate 14 (FIG. 3B) in which the terminal electrodes 142, 142,. d)) Cutting out an arbitrary terminal connection board 14 such as a terminal connection board 14 in which terminal electrodes 142, 142,... are arranged in a plurality of rows, a rectangular terminal connection board 14 (FIG. 3E), and the like. Is possible.

また、端子電極142、142間にレジストを印刷しても良い。図4は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板14のレジスト印刷時の構成を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。図4に示すように、絶縁体141の一方の面に並列に配置されている端子電極142、142、・・・の間を埋めるようにレジスト143、143、・・・を印刷する。このようにすることで、端子電極142、142間の段差が小さくなり、端子接続基板14の実装時の吸引性が高まる。レジスト143、143、・・・を印刷してあるので、上面を研削する場合にレジスト143、143、・・・も端子電極142、142、・・・とともに研削する。   A resist may be printed between the terminal electrodes 142 and 142. FIG. 4 shows a configuration at the time of resist printing of the terminal connection substrate 14 arranged on the module substrate according to the first embodiment of the present invention, on a surface for cutting the terminal electrodes 142, 142,. It is sectional drawing. As shown in FIG. 4, resists 143, 143,... Are printed so as to fill in the space between the terminal electrodes 142, 142,. By doing in this way, the level | step difference between the terminal electrodes 142 and 142 becomes small, and the attraction | suction at the time of mounting of the terminal connection board | substrate 14 increases. Since the resists 143, 143,... Are printed, the resists 143, 143,... Are also ground together with the terminal electrodes 142, 142,.

さらに、絶縁基板31に形成してあるスルーホール32、32、・・・の開口部を有する両面に厚い銅箔33、33を張り付けても良い。図5は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板14の両面に厚い銅箔33、33を用いる場合の構成を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。   Further, thick copper foils 33 and 33 may be attached to both surfaces having openings of through holes 32, 32,... Formed in the insulating substrate 31. FIG. 5 shows a configuration in the case where thick copper foils 33, 33 are used on both surfaces of the terminal connection substrate 14 arranged on the module substrate according to the first embodiment of the present invention, and the terminal electrodes 142, 142,. .. Is a cross-sectional view taken along the plane of cutting.

図5に示すように、端子接続基板14の両面に厚い銅箔33、33を用いてエッチング加工している。両面の銅箔33、33の厚みが同じであるので、エッチング条件をそれぞれの面で変更する必要がなく、従来は片面ずつ2回エッチング加工することが必要であったのに対して1回のエッチング加工で済む。したがって、製造コストを低減することができる。もちろん、銅箔33、33は純銅に限定されるものではなく、リン青銅、黄銅等の銅合金であっても良い。純銅と比較して加工性が高いので、ダイサーでの分断時、上面研磨時等にバリ、延び等が発生しにくい。   As shown in FIG. 5, the both sides of the terminal connection substrate 14 are etched using thick copper foils 33 and 33. Since the copper foils 33 and 33 on both sides have the same thickness, it is not necessary to change the etching conditions on each side. Etching is enough. Therefore, the manufacturing cost can be reduced. Of course, the copper foils 33 and 33 are not limited to pure copper, and may be copper alloys such as phosphor bronze and brass. Since the workability is higher than that of pure copper, burrs, stretches, etc. are unlikely to occur when cutting with a dicer or polishing the top surface.

また、端子電極142、142、・・・が絶縁体141に一部埋没していても良い。図6は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板に配置する端子接続基板14の端子電極142、142、・・・が絶縁体141に一部埋没している場合の構成を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。   Further, the terminal electrodes 142, 142,... May be partially embedded in the insulator 141. FIG. 6 is a row showing a configuration in which the terminal electrodes 142, 142,... Of the terminal connection substrate 14 arranged on the module substrate according to the first embodiment of the present invention are partially embedded in the insulator 141. It is sectional drawing in the surface which cut | disconnects the terminal electrodes 142, 142, ... located in a line.

図6に示すように、端子接続基板14の片面にある端子電極142、142、・・・を、絶縁体141に一部埋没させている。このようにすることで、端子電極142、142、・・・と絶縁体141との密着力が強くなり、モジュール基板の落下強度が向上する。   As shown in FIG. 6, the terminal electrodes 142, 142,... On one side of the terminal connection substrate 14 are partially embedded in the insulator 141. In this way, the adhesion between the terminal electrodes 142, 142,... And the insulator 141 is increased, and the drop strength of the module substrate is improved.

図7は、本発明の実施の形態1に係るモジュール基板の製造工程を示す斜視図である。まず、図7(a)に示すように、ベース基板10の表面電極のうち、所望の表面電極上に半田を印刷する。ベース基板10としては、LTCC(低温同時焼成セラミックス:Low Temperature Co−fired Ceramics)基板、有機基板等、特に限定されるものではない。   FIG. 7 is a perspective view showing a manufacturing process of the module substrate according to Embodiment 1 of the present invention. First, as shown in FIG. 7A, solder is printed on a desired surface electrode among the surface electrodes of the base substrate 10. The base substrate 10 is not particularly limited, such as an LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) substrate or an organic substrate.

LTCC基板を用いてベース基板10を作成する場合、まずPETフィルム上にセラミックスラリーをコーティングした後、乾燥させ、厚み10〜200μmのセラミックグリーンシートを作成する。作成したセラミックグリーンシートに金型、レーザ等により直径略0.1mmのビアホールをPETフィルム側から形成する。   When producing the base substrate 10 using an LTCC substrate, first, a ceramic slurry is coated on a PET film and then dried to produce a ceramic green sheet having a thickness of 10 to 200 μm. A via hole having a diameter of about 0.1 mm is formed on the prepared ceramic green sheet from the PET film side by a mold, a laser, or the like.

次に、銀又は銅を主成分とする金属粉、樹脂、有機溶剤を混練した電極ペーストをビアホール内に充填して乾燥させる。そして、セラミックグリーンシート上に同等の電極ペーストを所望のパターンにスクリーン印刷等し、乾燥させる。   Next, an electrode paste kneaded with a metal powder containing silver or copper as a main component, a resin, and an organic solvent is filled in the via hole and dried. Then, an equivalent electrode paste is screen printed in a desired pattern on the ceramic green sheet and dried.

この状態で複数のセラミックグリーンシートを積み重ね、圧力100〜1500kg/cm2 、温度40〜100℃にて圧着する。その後、電極ペーストが銀を主成分とする場合には空気中で略850℃、銅を主成分とする場合には窒素雰囲気中で略950℃にて焼成し、表裏両面の電極にNi/Sn又はNi/Au等を湿式メッキ等で成膜することで、ベース基板10を作成する。 In this state, a plurality of ceramic green sheets are stacked and pressure-bonded at a pressure of 100 to 1500 kg / cm 2 and a temperature of 40 to 100 ° C. After that, when the electrode paste is mainly composed of silver, it is fired at about 850 ° C. in air, and when copper is the main component, it is fired at about 950 ° C. in a nitrogen atmosphere. Alternatively, the base substrate 10 is formed by depositing Ni / Au or the like by wet plating or the like.

次に、図7(b)に示すように、半田が印刷されているベース基板10の表面電極上に電子部品12、12、・・・を実装するとともに、端子接続基板14、14、・・・も実装する。端子接続基板14、14、・・・は、ベース基板10の周縁部、及び電子部品12、12、・・・が配置されていない空隙部に配置して実装する。また、電子部品12、12、・・・は、ベース基板10の表面だけでなく、裏面にも配置することができることは言うまでもない。   Next, as shown in FIG. 7B, electronic components 12, 12,... Are mounted on the surface electrodes of the base substrate 10 on which the solder is printed, and the terminal connection substrates 14, 14,.・ I will also implement. The terminal connection substrates 14, 14,... Are arranged and mounted in the peripheral portion of the base substrate 10 and the gaps where the electronic components 12, 12,. Moreover, it cannot be overemphasized that the electronic components 12, 12, ... can be arrange | positioned not only on the surface of the base substrate 10 but on the back surface.

そして、図7(c)に示すように、ローラ型ブレード11等を用いて、モジュール基板1の一面からの設計上の高さとなるように端子接続基板14の端子電極142、142、・・・の一端側(上面)を研削する。図8は、本発明の実施の形態1に係る端子接続基板14の端子電極142、142、・・・の研削工程を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。   Then, as shown in FIG. 7C, the terminal electrodes 142, 142,... Of the terminal connection board 14 are formed so as to have a design height from one surface of the module board 1 by using a roller blade 11 or the like. One end side (upper surface) of is ground. FIG. 8 shows a surface for cutting the terminal electrodes 142, 142,... Arranged in a row, showing a grinding process of the terminal electrodes 142, 142,... Of the terminal connection substrate 14 according to the first embodiment of the present invention. FIG.

図8(a)に示すように、半田81、81、・・・の状態によっては、端子電極142、142、・・・を有する端子接続基板14が、ベース基板10に対して傾斜する。したがって、ローラ型ブレード11等により端子電極142、142、・・・の上面を研削する場合、端子接続基板14の傾きによる端子接続基板14両端の高低差を解消することができる高さを、端子電極142、142、・・・が有する必要がある。   As shown in FIG. 8A, depending on the state of the solders 81, 81,..., The terminal connection substrate 14 having the terminal electrodes 142, 142,. Therefore, when the upper surfaces of the terminal electrodes 142, 142,... Are ground by the roller type blade 11 or the like, the height that can eliminate the height difference between the both ends of the terminal connection board 14 due to the inclination of the terminal connection board 14 is It is necessary that the electrodes 142, 142,.

そこで、本実施の形態1では、端子電極142、142、・・・の一端側が絶縁体141の一面から、突出している長さが、モジュール基板1(ベース基板10)の一面からの設計上の高さHから絶縁体141の高さを減じた長さ以上となるように、端子接続基板14を製造する。設計上の高さHは、電子部品12、12、・・・のうち高さが最も高い電子部品の高さ以上の高さとなる。これにより、ローラ型ブレード11等による研削代を確保することができるとともに、コプラナリティを維持することができる。また、端子電極142、142、・・・が絶縁体141にて支持されているので、端子電極142、142、・・・が変形しにくく、隣接する端子電極142、142同士が短絡するおそれが少ない。   Therefore, in the first embodiment, one end side of each of the terminal electrodes 142, 142,... Is designed from the one surface of the insulator 141, and the length protruding from the one surface of the module substrate 1 (base substrate 10) is designed. The terminal connection substrate 14 is manufactured so as to be equal to or longer than the length obtained by subtracting the height of the insulator 141 from the height H. The design height H is higher than the height of the electronic component having the highest height among the electronic components 12, 12,. Thereby, the grinding allowance by the roller type blade 11 etc. can be secured, and the coplanarity can be maintained. Further, since the terminal electrodes 142, 142,... Are supported by the insulator 141, the terminal electrodes 142, 142,... Are not easily deformed, and the adjacent terminal electrodes 142, 142 may be short-circuited. Few.

ローラ型ブレード11等による研削後は、端子接続基板14の絶縁体141は傾斜した状態のままであっても、図8(b)に示すように、端子電極142、142、・・・のモジュール基板1の一面からの高さは、モジュール基板1の設計上の高さHに揃えることができる。すなわち、端子電極142、142、・・・は所定の高さを有しているので、ローラ型ブレード11等により上面を研削した場合であっても消失することがない。   After grinding with the roller type blade 11 or the like, the module of the terminal electrodes 142, 142,... As shown in FIG. The height from one surface of the substrate 1 can be aligned with the design height H of the module substrate 1. That is, since the terminal electrodes 142, 142,... Have a predetermined height, they do not disappear even when the upper surface is ground by the roller blade 11 or the like.

ローラ型ブレード11等による研削後は、端子電極142、142、・・・の上面には銅が露出している。そこで、図7(d)に示すように、端子電極142、142、・・・の先端にNi/Auメッキを施すことにより、モジュール基板1が完成する。   After grinding with the roller blade 11 or the like, copper is exposed on the upper surfaces of the terminal electrodes 142, 142,. 7 (d), the module substrate 1 is completed by applying Ni / Au plating to the tips of the terminal electrodes 142, 142,...

以上のように本実施の形態1によれば、端子電極142、142、・・・の一端側が絶縁体141の一面から、モジュール基板1(ベース基板10)の一面からの設計上の高さHから絶縁体141の高さを減じた長さ以上の長さ突出するよう端子接続基板14を製造することにより、研削代を確保することができるとともに、コプラナリティを維持することができる。したがって、実装した電子部品12、12、・・・の高さギリギリまで端子電極142、142、・・・の一端側を研削することができ、製品としてのモジュール基板1自体を小型化することが可能となる。   As described above, according to the first embodiment, one end side of the terminal electrodes 142, 142,... Is designed from the one surface of the insulator 141 to the design height H from one surface of the module substrate 1 (base substrate 10). By manufacturing the terminal connection substrate 14 so as to project a length equal to or longer than the length obtained by reducing the height of the insulator 141, the grinding allowance can be secured and the coplanarity can be maintained. Therefore, one end side of the terminal electrodes 142, 142,... Can be ground to the height of the mounted electronic components 12, 12,..., And the module substrate 1 itself as a product can be downsized. It becomes possible.

また、端子電極142、142、・・・が絶縁体141にて支持されているので、端子電極142、142、・・・が変形しにくく、隣接する端子電極142、142同士が短絡するおそれが少なくなる。   Further, since the terminal electrodes 142, 142,... Are supported by the insulator 141, the terminal electrodes 142, 142,... Are not easily deformed, and the adjacent terminal electrodes 142, 142 may be short-circuited. Less.

さらに、半田が端子電極142、142、・・・の側面まで濡れ上がり接触面積が増加することから、マザー基板との接合力を高めることが可能となる。端子接続基板14の絶縁体141は、半田の過度な濡れ上がりを防止する効果も奏する。   Further, since the solder wets up to the side surfaces of the terminal electrodes 142, 142,... And the contact area increases, it is possible to increase the bonding force with the mother board. The insulator 141 of the terminal connection substrate 14 also has an effect of preventing excessive solder wetting.

(実施の形態2)
本発明の実施の形態2に係るモジュール基板1に配置する端子接続基板14の構成は実施の形態1と同様である。実施の形態1との違いは、絶縁基板31としてセラミック基板31aを用いる点である。その他は、同一の符号を付することにより詳細な説明は省略する。また、電子部品12、12、・・・を実装した後、樹脂封止し、上面を研磨する点でも実施の形態1と相違する。
(Embodiment 2)
The configuration of the terminal connection board 14 arranged on the module board 1 according to the second embodiment of the present invention is the same as that of the first embodiment. The difference from the first embodiment is that a ceramic substrate 31 a is used as the insulating substrate 31. The other parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. Moreover, after mounting the electronic components 12, 12,..., The resin sealing is performed, and the upper surface is polished.

図9は、本発明の実施の形態2に係るモジュール基板1に配置する端子接続基板14の製造工程を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。まずPETフィルム上にセラミックスラリーをコーティングし、乾燥させた後に、厚み10〜200μmのセラミックグリーンシート91を作成する。また、PETフィルム上にアクリル系の樹脂をコーティングし、乾燥させた後に、厚み10〜200μmの樹脂シート92を作成する。   FIG. 9 is a cross-sectional view taken along a plane cutting the terminal electrodes 142, 142,... Arranged in a row, showing a manufacturing process of the terminal connection substrate 14 arranged on the module substrate 1 according to the second embodiment of the present invention. It is. First, a ceramic slurry is coated on a PET film and dried, and then a ceramic green sheet 91 having a thickness of 10 to 200 μm is formed. Moreover, after coating acrylic resin on PET film and making it dry, the resin sheet 92 of thickness 10-200 micrometers is created.

コーティングする樹脂材料としてはアクリル系の樹脂に限定されるものではなく、スチレンアクリル系、ポリオレフィン系、ポリエステル系、ポリプロピレン系、ブチラール系等の、燃焼した場合に消失する樹脂、又は高温になった場合にモノマーに分解される樹脂等から少なくとも1種の樹脂材料を選択すれば良い。すなわち、これらの樹脂材料は単体で用いても良いし、混合して用いても良い。   The resin material to be coated is not limited to acrylic resin, but styrene acrylic, polyolefin, polyester, polypropylene, butyral, etc., resin that disappears when burned, or when it becomes hot It is sufficient to select at least one resin material from a resin that is decomposed into monomers. That is, these resin materials may be used alone or in combination.

次に、作成したセラミックグリーンシート91及び樹脂シート92に金型による打ち抜き加工、レーザ加工等により、ビアホール93、94をPETフィルム側から貫通させる。樹脂シート92側のビアホール93、93、・・・は、焼成後に突起部として端子電極142、142、・・・を形成する。したがって、直径0.2〜0.4mmとなるよう加工する。   Next, the via holes 93 and 94 are penetrated from the PET film side by punching with a mold, laser processing or the like in the produced ceramic green sheet 91 and the resin sheet 92. The via holes 93, 93,... On the resin sheet 92 side form terminal electrodes 142, 142,. Therefore, it is processed to have a diameter of 0.2 to 0.4 mm.

一方、セラミックグリーンシート91側のビアホール94、94、・・・は、電気的に接続することさえできれば足りるので、直径0.1mmで十分である。もちろん、樹脂シート92側のビアホール93、93、・・・と同様に、直径0.2〜0.4mmとなるよう加工しても良い。   On the other hand, the via holes 94, 94,... On the ceramic green sheet 91 side need only be electrically connected, so that a diameter of 0.1 mm is sufficient. Of course, it may be processed so as to have a diameter of 0.2 to 0.4 mm, similarly to the via holes 93, 93,.

そして、加工したビアホール93、93、・・・、94、94、・・・に、銀又は銅を主成分とする金属粉、樹脂、有機溶剤を混練した電極ペースト95を充填して乾燥させる。その後、セラミックグリーンシート91上にスクリーン印刷等で同等の電極ペーストを所望の電極パターンに印刷し、乾燥させる。   Then, the processed via holes 93, 93,..., 94, 94,... Are filled with electrode paste 95 kneaded with metal powder, resin, and organic solvent mainly composed of silver or copper and dried. Thereafter, an equivalent electrode paste is printed on the ceramic green sheet 91 by screen printing or the like in a desired electrode pattern and dried.

電極ペースト95を充填したビアホール93、93、・・・とビアホール94、94、・・・との位置が重なるようにセラミックグリーンシート91と樹脂シート92とを、セラミックグリーンシート91が下方になるように積み重ね、圧力100〜1500kg/cm2 、温度40〜100℃にて圧着する。図9(a)は、セラミックグリーンシート91と樹脂シート92とを圧着した状態を示す断面図である。 The via holes 93, 93,... Filled with the electrode paste 95 and the via holes 94, 94,... Are overlapped with each other so that the ceramic green sheet 91 and the resin sheet 92 are positioned downward. And pressure-bonded at a pressure of 100 to 1500 kg / cm 2 and a temperature of 40 to 100 ° C. FIG. 9A is a cross-sectional view showing a state in which the ceramic green sheet 91 and the resin sheet 92 are pressure-bonded.

その後、電極ペースト95が銀を主成分とする場合には空気中で略850℃、銅を主成分とする場合には窒素雰囲気中で略950℃にて焼成することにより、樹脂シート92は消失する。したがって、ビアホール93、93、・・・内に充填してある電極ペースト95、95、・・・が端子電極142、142、・・・となる。図9(b)は、焼成により端子電極142、142、・・・を形成した状態を示す断面図である。   Thereafter, when the electrode paste 95 contains silver as a main component, the resin sheet 92 disappears by baking at about 850 ° C. in air and when the electrode paste 95 contains copper as a main component at about 950 ° C. in a nitrogen atmosphere. To do. Therefore, the electrode pastes 95, 95,... Filled in the via holes 93, 93,. FIG. 9B is a cross-sectional view showing a state in which the terminal electrodes 142, 142,... Are formed by firing.

そして、図9(c)に示すように、表裏両面の端子電極142、142、・・・にNi/Sn又はNi/Au等を湿式メッキ等で成膜し、ダイサー(図示せず)を用いて所望の位置36、36、・・・にて分断することにより、所望の端子電極数を有する端子接続基板14を、図9(d)に示すように切り出す。   Then, as shown in FIG. 9C, Ni / Sn or Ni / Au or the like is formed on the terminal electrodes 142, 142,... On both the front and back surfaces by wet plating or the like, and a dicer (not shown) is used. The terminal connection board 14 having a desired number of terminal electrodes is cut out as shown in FIG.

実施の形態1と同様に、樹脂シート92の厚みは100〜500μm、特に200〜400μmが好ましい。500μm以上の厚みとなった場合、樹脂封止後の研磨量が過大となり、相当の加工時間を要するのでコスト低減が困難となる。   Similar to the first embodiment, the resin sheet 92 preferably has a thickness of 100 to 500 μm, particularly 200 to 400 μm. When the thickness is 500 μm or more, the amount of polishing after resin sealing becomes excessive, and a considerable processing time is required, which makes it difficult to reduce the cost.

樹脂シート92の厚みが200μm以上である場合、実装時の端子接続基板14の傾きによる端子接続基板14両端の高低差よりも大きいことから、樹脂封止した後の封止した樹脂の上面を研磨したときであっても端子電極142、142、・・・が消失することがない。また、樹脂シート92の厚みが400μm以下である場合、絶縁体141(セラミックシート91)から突出している高さが比較的低くなることから、端子電極142が変形しにくい。   When the thickness of the resin sheet 92 is 200 μm or more, it is larger than the height difference between both ends of the terminal connection substrate 14 due to the inclination of the terminal connection substrate 14 at the time of mounting. The terminal electrodes 142, 142,. Further, when the thickness of the resin sheet 92 is 400 μm or less, the height protruding from the insulator 141 (ceramic sheet 91) is relatively low, so that the terminal electrode 142 is not easily deformed.

図10は、本発明の実施の形態2に係るモジュール基板1の製造工程を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。まず、図10(a)に示すように、半田が印刷されているベース基板10の表面電極上に電子部品12、12、・・・を実装するとともに、端子接続基板14、14、・・・も実装する。また、電子部品12、12、・・・は、ベース基板10の表面だけでなく、裏面にも配置することができる。本実施の形態2では、表裏両面に実装している。端子接続基板14、14、・・・は、半田81、81、・・・の盛り具合によって傾斜して実装される。   FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line of the terminal electrodes 142, 142,... Arranged in a row, showing the manufacturing process of the module substrate 1 according to Embodiment 2 of the present invention. First, as shown in FIG. 10A, the electronic components 12, 12,... Are mounted on the surface electrodes of the base substrate 10 on which the solder is printed, and the terminal connection substrates 14, 14,. Also implement. Further, the electronic components 12, 12,... Can be arranged not only on the front surface of the base substrate 10, but also on the back surface. In the second embodiment, it is mounted on both the front and back sides. The terminal connection substrates 14, 14,... Are inclined and mounted depending on the degree of solder 81, 81,.

そして、図10(b)に示すように、表裏両面に樹脂シート100、100をラミネートする。樹脂シート100は、PETフィルム上に複合樹脂を成型して半硬化させたものを用いる。複合樹脂は、エポキシ、フェノール、シアネート等の熱硬化性樹脂と、Al2 3 、SiO2 、TiO2 等の無機フィラーとを混合させた複合材料である。樹脂シート100、100をラミネートする場合、所望の厚みを有するスペーサを、切り出すモジュール基板1の周囲に配置することにより、ラミネートされた樹脂層の厚みを確保することができる。この状態のベース基板10をオーブンに入れて、樹脂シート100、100を完全に硬化させる。 And as shown in FIG.10 (b), the resin sheets 100 and 100 are laminated on both front and back. As the resin sheet 100, one obtained by molding a composite resin on a PET film and semi-curing it is used. The composite resin is a composite material in which a thermosetting resin such as epoxy, phenol, or cyanate is mixed with an inorganic filler such as Al 2 O 3 , SiO 2 , or TiO 2 . When the resin sheets 100 and 100 are laminated, the thickness of the laminated resin layer can be ensured by arranging a spacer having a desired thickness around the module substrate 1 to be cut out. The base substrate 10 in this state is put in an oven, and the resin sheets 100 and 100 are completely cured.

本実施の形態2では、上述したように表裏両面に樹脂シート100、100を一括してラミネートして硬化しているが、表側、裏側を別個にラミネートして硬化しても良い。   In the second embodiment, as described above, the resin sheets 100 and 100 are collectively laminated and cured on both the front and back surfaces, but the front and back sides may be separately laminated and cured.

次に、図10(c)に示すように、樹脂シート100、100により樹脂封止されたベース基板10の上面を、ローラ型ブレード11等で研磨する。端子接続基板14、14、・・・の端子電極142、142、・・・の高さに、半田81、81、・・・の盛り具合により高低差がある場合であっても、上面を研磨することによりコプラナリティを維持することができる。   Next, as illustrated in FIG. 10C, the upper surface of the base substrate 10 that is resin-sealed with the resin sheets 100 and 100 is polished with a roller-type blade 11 or the like. The upper surfaces of the terminal connection substrates 14, 14,... Are polished even when the heights of the terminal electrodes 142, 142,. By doing so, coplanarity can be maintained.

そして、図10(d)に示すように、突出した端子電極142、142、・・・の上面にNi/Auメッキ101、101、・・・を施す。もちろん、Ni/Auメッキ101、101、・・・を施す前に導電性ペーストを用いてNC電極を形成しても良い。NC電極を形成することにより、マザー基板と接続する端子数が増加し、モジュール基板1の落下時に衝撃が分散されやすくなるので、モジュール基板1の落下強度が向上する。   10 (d), Ni / Au plating 101, 101,... Is applied to the upper surfaces of the protruding terminal electrodes 142, 142,. Of course, the NC electrode may be formed using a conductive paste before the Ni / Au plating 101, 101,... By forming the NC electrode, the number of terminals connected to the mother board is increased, and the impact is easily dispersed when the module board 1 is dropped, so that the drop strength of the module board 1 is improved.

図11は、本発明の実施の形態2に係るモジュール基板1のNC電極を形成する場合の工程を示す、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。図11に示すように、突出した端子電極142、142、・・・の上面にNi/Auメッキを施す前に、NC電極111、111、・・・を封止した樹脂の上面に印刷する。そして、図11に示すように、突出した端子電極142、142、・・・の上面、及び印刷したNC電極111、111、・・・の上面にNi/Auメッキ112、112、・・・を施す。これにより、マザー基板と接続する端子数を増やすことができるので、モジュール基板1の落下時の衝撃に対する強度が向上する。   FIG. 11 is a cross-sectional view taken along a plane that cuts terminal electrodes 142, 142,... Arranged in a row, showing a process for forming NC electrodes of module substrate 1 according to Embodiment 2 of the present invention. is there. As shown in FIG. 11, before performing Ni / Au plating on the upper surfaces of the protruding terminal electrodes 142, 142,..., The NC electrodes 111, 111,. As shown in FIG. 11, Ni / Au plating 112, 112,... Is formed on the upper surfaces of the protruding terminal electrodes 142, 142,. Apply. Thereby, since the number of terminals connected to the mother board can be increased, the strength against impact when the module board 1 is dropped is improved.

また、Ni/Auメッキを施す前に再配線を施しても良い。端子接続基板14を配置した位置に応じて端子電極142、142、・・・を設けても良いが、この場合、モジュール基板1の周縁部及び電子部品12、12、・・・が配置されていない空隙部に端子電極142、142、・・・が集中する。そこで、端子電極142の位置をモジュール基板1の周縁部及び電子部品12、12、・・・が配置されていない空隙部から所望の位置へ配置するよう再配線する。   Further, rewiring may be performed before applying Ni / Au plating. The terminal electrodes 142, 142,... May be provided according to the position where the terminal connection substrate 14 is disposed. In this case, the peripheral edge of the module substrate 1 and the electronic components 12, 12,. The terminal electrodes 142, 142,. Therefore, rewiring is performed so that the terminal electrode 142 is disposed at a desired position from the peripheral portion of the module substrate 1 and the gap portion where the electronic components 12, 12,.

再配線は、封止した樹脂の上面にスクリーン印刷、インクジェット等により形成される。また、シード用配線パターンを形成した後、無電解メッキすることで形成しても良い。再配線した端子電極142、142、・・・の周辺にソルダレジストを印刷し、外部接続用のバンプを形成しても良い。   The rewiring is formed on the upper surface of the sealed resin by screen printing, inkjet, or the like. Alternatively, the seed wiring pattern may be formed and then formed by electroless plating. A solder resist may be printed around the re-wired terminal electrodes 142, 142,... To form bumps for external connection.

図12は、本発明の実施の形態2に係るモジュール基板1に再配線を施す場合の、一列に並んだ端子電極142、142、・・・を切断する面での断面図である。図12に示すように、ソルダレジスト121を再配線パターンの周辺に印刷し、バンプ122、122、・・・を再配線パターンに応じて形成してある。これにより、外部電極の位置を端子電極142、142、・・・の位置に限定されることがなく、設計上の自由度が向上する。   FIG. 12 is a cross-sectional view taken along a plane for cutting terminal electrodes 142, 142,... Arranged in a row when rewiring is performed on module substrate 1 according to Embodiment 2 of the present invention. As shown in FIG. 12, a solder resist 121 is printed around the rewiring pattern, and bumps 122, 122,... Are formed according to the rewiring pattern. As a result, the position of the external electrode is not limited to the position of the terminal electrodes 142, 142,.

以上のように本実施の形態2によれば、端子電極142、142、・・・の一端側が絶縁体141の一面から、モジュール基板1(ベース基板10)の一面からの設計上の高さHから絶縁体141の高さを減じた長さ以上の長さ突出するよう端子接続基板14を製造することにより、研削代を確保することができるとともに、コプラナリティを維持することができる。したがって、実装した電子部品12、12、・・・の高さギリギリまで樹脂封止した樹脂の上面を研磨することができ、製品としてのモジュール基板1自体を小型化することが可能となる。   As described above, according to the second embodiment, one end side of the terminal electrodes 142, 142,... Is designed from the one surface of the insulator 141 to the design height H from one surface of the module substrate 1 (base substrate 10). By manufacturing the terminal connection substrate 14 so as to project a length equal to or longer than the length obtained by reducing the height of the insulator 141, the grinding allowance can be secured and the coplanarity can be maintained. Therefore, the upper surface of the resin-sealed resin can be polished to the height of the mounted electronic components 12, 12,..., And the module substrate 1 itself as a product can be downsized.

また、端子電極142、142、・・・が樹脂シート100にて支持されているので、端子電極142、142、・・・が変形しにくく、隣接する端子電極142、142同士が短絡するおそれが少ない。   Further, since the terminal electrodes 142, 142,... Are supported by the resin sheet 100, the terminal electrodes 142, 142,... Are not easily deformed, and the adjacent terminal electrodes 142, 142 may be short-circuited. Few.

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変形、置換等が可能であることは言うまでもない。例えば端子接続基板14の絶縁体141と、実装された電子部品12、12、・・・を樹脂封止する樹脂シート100とが、同一の組成を有しても良い。この場合、実装された電子部品12、12、・・・を樹脂封止する樹脂シート100との密着度が増し、モジュール基板1全体としての強度が向上する。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications and substitutions are possible within the scope of the gist of the present invention. For example, the insulator 141 of the terminal connection substrate 14 and the resin sheet 100 for resin-sealing the mounted electronic components 12, 12,... May have the same composition. In this case, the degree of adhesion with the resin sheet 100 for resin-sealing the mounted electronic components 12, 12,... Increases, and the strength of the module substrate 1 as a whole is improved.

1 モジュール基板
10 ベース基板
12 電子部品
14 端子接続基板
141 絶縁体
142 端子電極
100 樹脂シート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Module substrate 10 Base substrate 12 Electronic component 14 Terminal connection substrate 141 Insulator 142 Terminal electrode 100 Resin sheet

Claims (7)

少なくとも片面に複数の電子部品を実装したモジュール基板の製造方法において、
絶縁体の対向する二面を貫通した複数の端子電極を配置してあり、前記端子電極の一端側が前記絶縁体の一面から所定の長さ突出している端子接続基板を、前記モジュール基板の一面に複数実装する第1工程と、
複数の前記端子電極の前記絶縁体の一面から突出している部分が前記モジュール基板の一面からの高さが同じになるよう前記端子電極の一端側を研削する第2工程と
を含むことを特徴とするモジュール基板の製造方法。
In a method for manufacturing a module substrate in which a plurality of electronic components are mounted on at least one side,
A plurality of terminal electrodes penetrating through two opposing surfaces of the insulator are arranged, and a terminal connection board in which one end side of the terminal electrode protrudes from the one surface of the insulator by a predetermined length is provided on one surface of the module substrate. A first step of mounting a plurality,
And a second step of grinding one end side of the terminal electrode so that the portions protruding from one surface of the insulator of the plurality of terminal electrodes have the same height from the one surface of the module substrate. A method for manufacturing a module substrate.
前記所定の長さは、前記モジュール基板の一面からの設計上の高さから前記絶縁体の高さを減じた長さ以上であることを特徴とする請求項1に記載のモジュール基板の製造方法。   2. The method of manufacturing a module substrate according to claim 1, wherein the predetermined length is equal to or more than a length obtained by subtracting a height of the insulator from a design height from one surface of the module substrate. . 前記端子接続基板は、複数の前記端子電極間にレジストを印刷してあることを特徴とする請求項1又は2に記載のモジュール基板の製造方法。   The method for manufacturing a module substrate according to claim 1, wherein a resist is printed between the terminal electrodes on the terminal connection substrate. 前記第1工程の後、前記第2工程の代わりに、前記モジュール基板に実装された複数の電子部品と前記端子接続基板とを樹脂封止し、封止した樹脂の上面と前記端子電極の一端側とを研磨する研磨工程を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のモジュール基板の製造方法。   After the first step, instead of the second step, a plurality of electronic components mounted on the module substrate and the terminal connection substrate are resin-sealed, and the top surface of the sealed resin and one end of the terminal electrode The method for manufacturing a module substrate according to claim 1, further comprising a polishing step of polishing the side. 前記研磨工程の後、導電性ペーストによりNC電極を形成する工程を含むことを特徴とする請求項4に記載のモジュール基板の製造方法。   5. The method for manufacturing a module substrate according to claim 4, further comprising a step of forming an NC electrode with a conductive paste after the polishing step. 前記研磨工程の後、封止した前記樹脂の上面に再度配線を施す工程を含むことを特徴とする請求項4又は5に記載のモジュール基板の製造方法。   6. The method of manufacturing a module substrate according to claim 4, further comprising a step of performing wiring again on the upper surface of the sealed resin after the polishing step. 複数の前記電子部品を封止する樹脂は、前記端子接続基板の絶縁体と同じ組成であることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか一項に記載のモジュール基板の製造方法。   The method for manufacturing a module substrate according to claim 4, wherein the resin that seals the plurality of electronic components has the same composition as the insulator of the terminal connection substrate.
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