JP2011222404A - プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置ならびにプラズマ処理された処理対象物 - Google Patents
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Abstract
【課題】 少なくとも一部に通気性を有する処理対象物の当該通気性部分の内部にまでプラズマ処理を施すことができるとともに、コストを削減することができ、さらには、あらゆる処理対象物に対して様々なプラズマ処理を簡便に行うことが可能なプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置ならびにプラズマ処理された処理対象物を提供すること。
【解決手段】 少なくともその一部が通気性を有する処理対象物1の内部にプラズマを透過させることにより所定のプラズマ処理を施すためのプラズマ処理装置2であって、プラズマを生成するプラズマ生成手段3と、前記プラズマを前記処理対象物1の内部に透過させるプラズマ透過手段とを備えることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
2 プラズマ処理装置
3 プラズマ生成部
4 処理室
9 導入口
10 排出口
Claims (14)
- 少なくともその一部が通気性を有する処理対象物の内部にプラズマを透過させることにより所定のプラズマ処理を施すことを特徴とするプラズマ処理方法。
- 前記プラズマはダメージフリープラズマであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理方法。
- 請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理方法により所定のプラズマ処理が施されたことを特徴とする処理対象物。
- 少なくともその一部が通気性を有する処理対象物の内部にプラズマを透過させることにより所定のプラズマ処理を施すためのプラズマ処理装置であって、
プラズマを生成するプラズマ生成手段と、前記プラズマを前記処理対象物の内部に透過させるプラズマ透過手段とを備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ透過手段は、上下流間の圧力差によって前記プラズマを前記処理対象物の内部に透過させるように形成されていることを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理対象物を収容可能とされるとともに前記プラズマ生成手段により生成されたプラズマにより前記処理対象物にプラズマ処理を施す処理室と、前記プラズマ生成手段により生成されたプラズマを上下流間の圧力差によって処理室内に導入する導入手段および前記処理室内の気体を上下流間の圧力差によって排出する排出手段の少なくとも一方を備え、
前記プラズマ透過手段は前記導入手段および前記排出手段の少なくとも1つからなることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理室の外周壁には、前記導入手段によりプラズマを導入するための導入口および前記排出手段により処理室内の気体を排出するための排出口の少なくとも1つが形成されていることを特徴とする請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記導入口はスリット状であり、前記処理対象物を前記導入口の長手方向と直交する方向に移動させつつ、プラズマ処理を施すことが可能とされていることを特徴とする請求項7に記載のプラズマ処理装置。
- 前記導入口および前記排出口は、前記処理室の外周壁において前記処理対象物の互いに対向する少なくとも一対の外周面の近傍の位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項7または請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理対象物を収容可能とされた処理室と、前記処理室内において前記処理対象物を介して対向配置された少なくとも一対の電極、および前記少なくとも一対の電極間に電圧を印加する電源からなり、処理室内にプラズマを発生可能とされたプラズマ生成手段と、前記処理室内にプラズマ生成用ガスを上下流間の圧力差によって供給する供給手段単独若しくは前記供給手段および前記処理室内の気体を上下流間の圧力差によって排出する排出手段の組合せの少なくとも一方を備え、
前記プラズマ透過手段は、前記供給手段単独若しくは前記供給手段および前記排出手段の組合せからなることを特徴とする請求項5に記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理室の外周壁には、前記供給手段によりプラズマ生成用ガスを供給するため供給口および前記排出手段により処理室内の気体を排出するための排出口の少なくとも1つが形成されていることを特徴とする請求項10に記載のプラズマ処理装置。
- 前記供給口および前記排出口は、前記処理室の外周壁において前記処理対象物の互いに対向する少なくとも一対の外周面の近傍の位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項11に記載のプラズマ処理装置。
- 前記排出手段により排出された気体に含まれるプラズマ生成用ガスを前記プラズマ生成手段へ返還する返還手段を備えることを特徴とする請求項6乃至請求項12のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマはダメージフリープラズマであることを特徴とする請求項4乃至請求項13のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
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2010
- 2010-04-13 JP JP2010092227A patent/JP2011222404A/ja active Pending
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