JP2011216773A - 固体レーザ診断装置、及び固体レーザ診断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の固体レーザ励起モジュールを光学的に連結して構成された固体レーザの発振光軸上に、固体レーザ媒質端部から放射される蛍光を取り込む開口と蛍光量をモニタするパワーセンサヘッドを搭載した固体レーザ診断装置を、固体レーザ発振器構成を変化させることなく、固体レーザ励起モジュール側面に取り付けられるようにした。
【選択図】 図6
Description
図1、図2は、本発明の実施の形態1による構成を模式的に示した図であり、本願発明である固体レーザ診断装置19を、固体レーザ励起モジュール18に装着した状態を表したものである。図1、図2において、固体レーザ励起モジュール18の内部には、レーザ媒質であるNd:YAGロッド1に対して側面に複数の半導体レーザ(以下LDと略す)3a〜3nを配し、各LDから放射される励起光2は直接、またはレンズや導光板など光学部品を介してNd:YAGロッド1に入射する。Nd:YAGロッド及びLD3a〜3nは励起モジュール筐体9に組み込まれており、該励起モジュール筐体9の発振レーザ光軸(ロッドの中心軸にほぼ同じ)方向両端には、発振レーザ光を通す開口が設けてある。上記の励起モジュール内部には、レーザ媒質やLDの冷却機構及び、LDへの配線等が含まれるが、模式図では割愛する。該励起モジュール筐体9の片側の開口部には、固体レーザ診断装置19が固定されている。固体レーザ診断装置は、Nd:YAGロッドから放射される光4を取り込む開口5と、蛍光の光量をモニタするパワーセンサヘッド7と、それら構成部材を内蔵する診断装置筐体8から構成される。なお、図1では、取り込んだ光からNd:YAGの蛍光を分離透過するフィルタ6は装着されていないが、図2ではフィルタ6が、上記開口5とパワーセンサヘッド7の間に装着され、LDからの出射光の波長を遮断している。なお、上記入射光を空間的に制限する開口と、ワーセンサヘッド、およびフィルタ(存在する場合)は、固体レーザ発振光軸上に診断時のみ固定できるようモジュール化されている。
ここで、n0はロッド光軸垂直断面中央の屈折率、rはロッド半径を表す。
図12は本発明の実施の形態2の構成を模式的に示したものである。固体レーザ発振器を構成する3台の固体レーザ励起モジュール18a〜18cに対し、同時に各1台ずつの固体レーザ診断装置19a〜19cを装着している。診断装置19a〜19cはあらかじめ校正されており、複数台の診断装置を同時に用いても各励起モジュール間の相対的な励起状態の高精度な比較が可能となる。
図7は、本発明の実施の形態3の構成を模式的に示したものである。固体レーザ励起モジュール18に対し、両側の開口に固体レーザ診断装置19を同時に取り付けたものである。光軸方向に多数のLDを並べて励起するNd:YAGロッドにおいては、励起モジュールの左右の開口から放出される蛍光量に若干の差が表れる。例えば長さ150mmのNd:YAGロッドを搭載する励起モジュールにおいては、同一励起モジュールの左右で±3%以下の測定値差が存在する。左右の測定値を平均化することにより、上記ばらつきを半減することができ、その結果図10のデータを元に実施する電流調整の精度が約2倍に向上する。図7では同時に同一励起モジュール両側の診断を実施する例を示したが、1つの診断装置で左右2回に分けて実施してもよい。
図8に、本発明の実施の形態4の固体レーザ診断装置の模式図を示す。固体レーザ診断装置19に対し、固体レーザ励起モジュール側からの光4が開口16に入射する。本実施の形態で示す開口16は光沢金メッキが施してあり、入射光4に対して高い反射率を確保する。この結果、入射した蛍光の大部分はパワーセンサヘッド7に達する。
図9に、本発明の実施の形態5の固体レーザ診断装置の模式図を示す。固体レーザ診断装置19に対し、固体レーザ励起モジュール側からの光4が開口17に入射する。本実施の形態で示す開口17は黒色ニッケルメッキ(フォスブラック等)が施してあり、入射光に対して高い吸収率を持ち、変質しにくい内面を有する。
Claims (7)
- ロッド形状の固体レーザ媒質と、当該固体レーザ媒質を側面から励起する半導体レーザとを具備した固体レーザ励起モジュールに、当該固体レーザ励起モジュールの前記固体レーザ媒質の中心軸方向の端部に、当該端部から出射する蛍光を取り込む開口と、前記固体レーザ媒質の中心軸と同軸上に取り付けた前記蛍光の蛍光量を計測できるパワーセンサヘッドとを設けたことを特徴とする固体レーザ診断装置。
- 前記開口と前記パワーセンサヘッドとの間に、半導体レーザからの出射光の波長を遮断するフィルタを設置したことを特徴とする請求項1に記載の固体レーザ診断装置。
- 開口の内面に、所定の金属からなる光沢メッキを施したことを特徴とする請求項1または2に記載の固体レーザ診断装置。
- 開口の内面に、黒色メッキを施したことを特徴とする請求項1または2に記載の固体レーザ診断装置。
- ロッド形状の固体レーザ媒質と、当該固体レーザ媒質を側面から励起する半導体レーザとを具備した複数の固体レーザ励起モジュールを光学的に連結して構成された固体レーザ発振器において、
前記複数の固体レーザ励起モジュールのうち、少なくとも1つの固体レーザ励起モジュールの固体レーザ媒質の端部に、固体レーザ励起モジュールおよび光学部品の位置を移動することなく、固体レーザ診断装置を装着し、
該固体レーザ診断装置が装着された固体レーザ励起モジュール内の半導体レーザを点灯させて、該固体レーザ励起モジュールの固体レーザ媒質の端部から発せられる蛍光の蛍光量を、前記固体レーザ診断装置を用いて測定することにより、前記固体レーザ励起モジュールの特性を診断することを特徴とする固体レーザ診断方法。 - 固体レーザ励起モジュールの、固体レーザ診断装置を取り付けた側とは逆側に遮光板を設置して、前記固体レーザ媒質の端部から発せられる蛍光の蛍光量を測定することを特徴とする請求項5に記載の固体レーザ診断方法。
- 固体レーザ励起モジュールの両側に前記固体レーザ診断装置を設置して、前記固体レーザ媒質の端部から発せられる蛍光の蛍光量を測定することを特徴とする請求項5に記載の固体レーザ診断方法。
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JP2007088338A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ装置 |
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