JP2011215108A - 測定方法及び形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転ガイドRGの周囲を走査用回転部SRを相対回転させ、それと共にセンサS1が被測定対象OBの周囲を回転し外周の凹凸を検出するので、変位センサS1の出力が不図示のエンコーダの信号に同期して出力される。回転軸線Xの交差位置を変えずに被測定対象OBと検出部保持台BSとを走査方向に所定の角度だけ回転変位させる。回転ガイドRGの周囲を、走査用回転部SRを相対回転させるとそれと共にセンサS1が被測定対象OBの周囲を回転し、その出力を取得することで(4)ー(6)式が求められ被測定対象OBの形状だけを求める差分が得られる。
m1(θ)=f(θ)+ex(θ)(4)、m2(θ)=f(θ+φ)+ex(θ)(5)、m2(θ)−m1(θ)=f(θ+φ)−f(θ)(6)
【選択図】図3
Description
前記被測定対象と前記変位センサのうち一方を固定して、他方を回転させることにより、前記被測定対象の形状を走査しつつ測定する第1の測定ステップと、
回転中心と前記変位センサとの相対位置関係を維持したまま、前記被測定対象と前記変位センサとを、前記回転中心回りに所望の角度だけ走査方向にシフトするシフトステップと、
前記一方を固定して、前記他方を回転させることにより、前記被測定対象の形状を走査しつつ測定する第2の測定ステップと、
前記第1の測定ステップによる測定結果と、前記第2の測定ステップによる測定ステップの測定結果とに基づいて、運動誤差を排除するステップとを有することを特徴とする。
m1(θ)=f(θ) +ex(θ) (1)
m2(θ)=f(θ+φ) +ex(θ)cos(φ)+ey(θ)sin(φ) (2)
m2(θ)/ cos(φ)−m1(θ)= f(θ+φ)−f(θ)+ey(θ)tan(φ) (3)
となり、ey(θ)の影響が残ってしまう。すなわち、従来の2点法では回転軸の半径方向の振れの成分がセンサ出力に含まれるため、高い精度の測定が難しいといえる。
m1(θ)=f(θ)+ex(θ) (4)
m2(θ)=f(θ+φ)+ex(θ) (5)
m2(θ)−m1(θ)=f(θ+φ)−f(θ) (6)
MK 回転シフト位置表示マーク
OB 被測定対象
RG 回転ガイド
S1 変位センサ
SH センサホルダ
SR 走査用回転部
X 回転軸線
Claims (4)
- 変位センサを用いて被測定対象の形状を測定する測定方法において、
前記被測定対象と前記変位センサのうち一方を固定して、他方を回転させることにより、前記被測定対象の形状を走査しつつ測定する第1の測定ステップと、
回転中心と前記変位センサとの相対位置関係を維持したまま、前記被測定対象と前記変位センサとを、前記回転中心回りに所望の角度だけ走査方向にシフトするシフトステップと、
前記一方を固定して、前記他方を回転させることにより、前記被測定対象の形状を走査しつつ測定する第2の測定ステップと、
前記第1の測定ステップによる測定結果と、前記第2の測定ステップによる測定ステップの測定結果とに基づいて、運動誤差を排除するステップとを有することを特徴とする測定方法。 - 請求項1に記載の測定方法を用いた形状測定装置であって、
回転ガイドと、
前記変位センサの感度軸を走査円に対して垂直な方向に保ちながら前記回転ガイドの回りに回転するセンサホルダと、
前記回転ガイドと前記センサホルダを一体にして、走査円に沿う方向に回転シフトするシフト機構とを有することを特徴とする形状測定装置。 - 少なくとも前記センサホルダを移動させて、前記変位センサを回転走査円の軸線に直交する方向に相対移動することができ、その移動前後の姿勢変化を、傾斜姿勢検出装置で測定して、移動に伴う姿勢変化を補正することができることを特徴とする請求項2に記載の形状測定装置。
- 同心円に沿って変位を検出できるように複数の変位センサを配置して、一度の走査で複数の位置の形状を測定できることを特徴とする請求項2,3、4のいずれかに記載の形状測定装置。
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JP2002071336A (ja) * | 2000-08-30 | 2002-03-08 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 角度計と変位計の組み合わせによる回転体の円周形状と運動精度の分離測定方法及び測定装置 |
JP2007178296A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Hirosaki Univ | 回転体測定方法 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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