JP2011200814A - イオン交換装置の交換方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超純水製造装置に設けられたイオン交換装置を交換するイオン交換装置の交換方法において、イオン交換装置付近をビニールシート好ましくは透明ビニールシートなどの囲繞材で囲んで閉スペースとし、この閉スペース内にクリーンエア等の清浄気体を供給してイオン交換装置の交換作業を行う。
【選択図】図1
Description
非再生型混床式イオン交換装置として栗田工業製KR−FM1(イオン交換樹脂約80L)を8本備えた超純水製造装置において、8本のイオン交換装置を本発明方法に従って交換した。なお、交換する新たなイオン交換装置についてはすべて精製工場にて処理水中の金属濃度0.1ppt以下を確認したものを用いた。
ビニールシートで閉スペースを形成しなかったこと以外は実施例1と同様にしてイオン交換装置を交換した。通水再開後、8時間経過したときのイオン交換装置流出水の水質を表1に示す。
空気中の微粒子数が異なる様々な環境にて超純水を広口容器(1L)にふたをせずに一定期間放置(12時間)した際の水中の金属濃度と、環境空気中の埃を微粒子数として計測した。表2の通り、空気中の微粒子数と超純水の汚染レベルとは強く関係することが認められた。また、空気中の埃成分が有機物等ではなく金属の汚染とも関連することも認められた。
2 一次純水製造装置
3 二次純水製造装置(サブシステム)
Claims (4)
- 超純水製造装置に設けられたイオン交換装置を交換するイオン交換装置の交換方法において、イオン交換装置付近を囲繞材で囲んで閉スペースとし、この閉スペース内に清浄気体を供給してイオン交換装置の交換作業を行うことを特徴とするイオン交換装置の交換方法。
- 請求項1において、囲繞材の少なくとも一部がシートであることを特徴とするイオン交換装置の交換方法。
- 請求項1又は2において、囲繞材の少なくとも一部が透明であることを特徴とするイオン交換装置の交換方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、新たに設置されるイオン交換装置が、出荷前の通水検査により処理水質金属濃度0.1ppt以下となることを確認したものであることを特徴とするイオン交換装置の交換方法。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPH08117759A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-14 | Seiden Kogyo:Kk | 浄水装置 |
JP2007083132A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Dow Global Technologies Inc | 陰イオン交換樹脂からの有機物溶出低減方法 |
JP2011011120A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Kurita Water Ind Ltd | イオン交換装置の製作方法 |
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- 2010-03-26 JP JP2010071678A patent/JP5598048B2/ja active Active
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