JP2011197008A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 水素純度を計測するためのシステム（５０）であって、
   光ファイバケーブル（５６）を通して光学信号を提供するための光源（５２）と、
   複数の水素化不可能材料層と交互配置された複数の水素化可能材料層を備える水素に反応する多層ナノ構造薄膜（１２２）を備えている光学信号を受け取るための水素純度センサ（６０）と、
   水素純度センサからの反射光学信号を受け取るための光検出器（６２）と、
   反射光学信号を解析するために光検出器（６２）に結合させた処理回路（６８）と、
   を備えるシステム（５０）。
2. 前記水素化可能材料は高屈折率材料を含み、
   前記水素化不可能材料は低屈折率材料を含む、
   請求項１に記載のシステム。
3. 前記水素化可能材料はパラジウムまたはパラジウム合金を含む、請求項１または２に記載のシステム。
4. 前記水素化不可能材料は金、銀、ニッケル、銅あるいはこれらの組み合わせを含む、請求項１から３のいずれかに記載のシステム。
5. 前記多層ナノ構造薄膜の厚さは１０〜１００ナノメートルの範囲にあり、
   該多層ナノ構造薄膜は５００〜８００ｎｍレンジの光源波長において反射及び吸収に関する最大感度を有する、
   請求項１から４のいずれかに記載のシステム。
6. ファイバコア（２０２）と、
   ファイバコア（２０２）の周りに位置決めされた屈折率周期変調性のグレーティング構造（２０６）と、
   屈折率周期変調性のグレーティング構造（２０６）を囲繞して位置決めされたファイバクラッド（２０８）と、
   ファイバクラッド（２０８）の周りに位置決めされ、複数の水素化不可能材料層と交互配置された複数の水素化可能材料層を備える変調構造を備える、水素に反応する多層検知薄膜（２１０）と、
   を備える水素純度センサ（２００）。
7. 前記水素化可能材料は高屈折率材料を含み、
   前記水素化不可能材料は低屈折率材料を含む、
   請求項６に記載の水素純度センサ。
8. 前記多層検知薄膜はナノ多孔性構造とナノ粒子構造のうちの少なくとも一方を備える、請求項６または７に記載のシステム。
9. 前記多層検知薄膜は柱状の表面形態を備える、請求項６または７に記載のシステム。