JP2011191625A - 光偏向器パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面側封止部材1は、放物線状凹凸構造の反射防止構造を有する光学透過窓11を有するたとえばガラスよりなる。光偏向器2は、マイクロミラー21、マイクロミラー21をX軸に対して揺動させるための支持体22、マイクロミラー21をY軸に対して揺動させるための支持体23及び貫通電極24を有する。裏面側封止部材3は、貫通電極31及びAu電極32を有するたとえばガラスよりなる。
【選択図】図2
Description
P≦λ/2
但し、λは入射光Iの波長、とし、
放物線状凹凸構造の高さHは、
H/P = 1〜2
とする。この結果、物体Aが空気、物体Bがガラスの場合、入射光Iに対して反射光Rは可視光全域に亘って2%以下に抑制され、透過率は98%以上となる。特に、気密封止光偏向器パッケージにおいては、入射光がパッケージ内の揺動するマイクロミラーにより反射され、走査光としてパッケージ外に出射されるので、光学透過窓を2回通過する。従って、光学透過窓の反射を抑制することは極めて重要である。また、入射光としてレーザを用いた場合には、高光強度に加えて干渉性も有するので、パッケージ表面での反射光の存在は適用されたプロジェクタが形成する投影画像のノイズとして作用する。従って、光学透過窓の反射を抑制することはさらに重要である。このことから、本発明は図1の(B)に示す反射防止構造の光学透過窓を採用する。
11:光学透過窓
12:Au電極
13:Pbフリーはんだボール
1a:キャビティ
2:光偏向器
21:マイクロミラー
22:支持体
22a、22b:トーションバー
22c、22d、22e、22f:圧電アクチュエータ
23:支持体
23c、23d、23e、23f:圧電アクチュエータ
24:貫通電極
25:Au電極
26:Au電極
3:裏面側封止部材
3a:キャビティ
31:貫通電極
32:Au電極
33:AuSn電極
4:Auはんだ電極
5:AuSn共晶電極
100:表面側封止用ガラスウェハ
200:光偏向器シリコンウェハ
300:裏面側封止用ガラスウェハ
501:シリコンウェハ
502:レジストパターン
503:マスタ金型
504:透明樹脂フィルム
505:透明レプリカ金型
506:レジスト層
507:レジストパターン
701:透明樹脂層
901:単結晶シリコン基板
902:ポリシリコン埋込み電極ビア
905:下部電極層
907:上部電極層
908:酸化シリコン層
909:AlSi配線
911:サポート基板
912:酸化シリコン層
Claims (7)
- 支持体、弾性部材、該弾性部材によって前記支持体の空洞部に揺動可能に支持されたミラー及び前記弾性部材を介して前記ミラーを揺動駆動するアクチュエータを有する光偏向器と、
該光偏向器を挟んで前記ミラーの揺動空間を確保するキャビティを気密封止する第1、第2の封止部材と
を具備し、
前記第1の封止部材が前記キャビティに対向した反射防止機能放物線状凹凸構造の光学透過窓を有する光偏向器パッケージ。 - 前記反射防止機能放物線状凹凸構造のピッチが入射光の波長の1/2以下であり、前記反射防止機能放物線状凹凸構造の高さが前記ピッチの1〜2倍である請求項2に記載の光偏向器パッケージ。
- 前記反射防止機能放物線状凹凸構造の中心軸が前記第1の封止部材の前記光学透過窓表面と直交しており、かつ角度が60〜80℃である請求項1に記載の光偏向器パッケージ。
- 前記反射防止機能放物線状凹凸構造が前記第1の封止部材の両面に形成された透明樹脂あるいはガラスをインプリント加工することによって得られたものである請求項1に記載の光偏向器パッケージ。
- 前記各第1、第2の封止部材が前記キャビティを形成する第1、第2のキャビティを有する請求項1に記載の光偏向器パッケージ。
- 前記第1の封止部材が前記キャビティを有する請求項1に記載の光偏向器パッケージ。
- 前記第1、第2の封止部材がガラスである請求項1に記載の光偏向器アセンブリ。
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