JP2011168460A - 単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体及びその作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、ダイヤモンド基板101内の高濃度イオン注入領域がグラファイトに改質されることを利用し、改質されたグラファイト層104を犠牲層として電気化学エッチング除去し、その上に遺されたダイヤモンド層を可動構造体とする。作製されたカンチレバー106は高い周波数の共鳴振動を示した。単結晶ダイヤモンドを使用することによって、N/MEMSデバイスの機械性能、安定性および電気特性を改良することができる。
【選択図】図1
Description
(a)単結晶ダイヤモンド基板の一部をグラファイト層に改質する。
(b)前記単結晶ダイヤモンド基板上に単結晶ダイヤモンド層を成長させる。
(c)前記単結晶ダイヤモンド層を所定の形状にエッチングする。
(d)前記グラファイト層を除去することにより、前記単結晶タイヤモンド層と前記単結晶ダイヤモンド基板の間にエアギャップを形成する。
パターニングされた孔構造を持つモリブデンプレートをマスクとして用い、高温高圧合成法によって合成された単結晶ダイヤモンド基板101の(100)面表面に選択的にイオン注入を行った(図1(a))。イオン注入条件は以下の通りであった。
イオンネルギー:180keV−1MeV
ビーム電流:180〜500nA/cm2
注入角度:7度
注入量:1016個/cm2
マイクロ波プラズマ気相成長(MPCVD)法によりダイヤモンド・エピタキシャル層103を成長させた。成長条件は以下の通りであった。
下地基板:Ib型絶縁性(100)面方位ダイヤモンド基板
原料ガス:メタン(CH4)、流量0.4sccm
キャリア(希釈)ガス:水素(H2)、流量500sccm
CH4/H2比:0.08%
成長中圧力:80Torr
マイクロ波パワー:400W
基板温度:960℃
成長時間:8時間
エピタキシャル層の厚さ:0.3μm
イオン注入された単結晶ダイヤモンド基板101上に成長させたダイヤモンド・エピタキシャル層103上に、図1(c)に示すように炭化タングステン/金層(WC/Au、ここで“/”は堆積順序を示す)層105をそれぞれ30nm堆積させ、リフトオフ法によりパターニングした。このWC/Au層105をマスクとして、ダイヤモンドを酸素とアルゴンの混合ガスプラズマを用いてドライエッチングした。エッチング条件は以下の通りであった。
ガス流量:ArおよびO2それぞれ10sccm
マイクロ波パワー:100W
エッチング時間:1時間
図2に、図1に示すプロセス(c)後のダイヤモンド試料の光学顕微鏡像を示す。203で示される暗い部分はイオン注入領域(グラファイトへの改質領域)であり、204で示される比較的暗い部分はイオン注入されていない領域である。201で示される明るい部分はWC/Au膜であり、202で示されるビーム状部分は、最終的にカンチレバーとなる領域である。
上述の実施例においては、通常のフォトリソグラフィ・プロセスを用いて、単結晶ダイヤモンドのカンチレバーを作製したが、電子ビームリソグラフィやレーザリソグラフィでも作製可能である。
102:モリブデン製マスク
103:ダイヤモンド・エピタキシャル層
104:グラファイトへの改質領域
105:WC/Auマスク
106:カンチレバー
201:WC/Auでカバーされている領域
202:カンチレバーとなる領域のパターン
203:イオン注入領域
204:イオン注入されていない領域
301:WC/Auでカバーされている領域
302:カンチレバーのパターン
303:1.2μm深さまでエッチングされた単結晶ダイヤモンド基板
Claims (8)
- 単結晶ダイヤモンド基板上に前記単結晶ダイヤモンド基板と一体に設けられるとともに、前記単結晶ダイヤモンド基板との間に空隙が形成された、単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体。
- 少なくとも一端で前記単結晶ダイヤモンド基板と一体化されたビーム状の単結晶ダイヤモンドからなる、請求項1に記載の単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体。
- 一端のみで前記単結晶ダイヤモンド基板と一体化されたビーム状の単結晶ダイヤモンドからなる、請求項2に記載の単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体。
- 両端で前記単結晶ダイヤモンド基板と一体化されたビーム状の単結晶ダイヤモンドからなる、請求項2に記載の単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体。
- 前記ビーム状の単結晶ダイヤモンドの幅は10nm以上であり、長さは100nm以上である、請求項2から請求項4の何れかに記載の単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体。
- 以下の(a)から(d)のステップを含む、単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体の作製方法。
(a)単結晶ダイヤモンド基板の一部をグラファイト層に改質する。
(b)前記単結晶ダイヤモンド基板上に単結晶ダイヤモンド層を成長させる。
(c)前記単結晶ダイヤモンド層を所定の形状にエッチングする。
(d)前記グラファイト層を除去することにより、前記単結晶タイヤモンド層と前記単結晶ダイヤモンド基板の間にエアギャップを形成する。 - 前記グラファイト層への改質はイオン注入によって行う、請求項6に記載の単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体の作製方法。
- 前記グラファイト層の除去は電気化学エッチングにより行う、請求項6または7に記載の単結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体の作製方法。
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