JP2011151294A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011151294A JP2011151294A JP2010013013A JP2010013013A JP2011151294A JP 2011151294 A JP2011151294 A JP 2011151294A JP 2010013013 A JP2010013013 A JP 2010013013A JP 2010013013 A JP2010013013 A JP 2010013013A JP 2011151294 A JP2011151294 A JP 2011151294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- gas
- gas supply
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】基板を収容した処理室に、複数の処理ガスを交互に供給することで前記基板上に成膜する半導体装置の製造方法であって、前記各処理ガスを前記処理室に供給する処理ガス供給工程と、前記各処理ガスを前記処理室から除去する処理ガス除去工程と、を所定回数繰り返して前記基板上に成膜し、前記処理ガス除去工程では、前記処理ガスを処理室内に所定の濃度だけ残留させる。
【選択図】図5
Description
本実施例に係る基板処理装置は、半導体装置(IC(Integrated Circuits))の製造に使用される半導体製造装置の一例として構成されているものである。下記の説明では、基板処理装置の一例として、基板に対し成膜処理等をおこなう縦型の装置を使用した場合について述べる。しかし、本発明は、縦型装置の使用を前提としたものでなく、例えば、枚葉装置を使用しても良い。
図1に示す通り、基板処理装置1では、基板の一例となるウエハ200を収納したカセット100が使用されており、ウエハ200はシリコン等の材料から構成されている。基板処理装置1は筐体101を備えており、筐体101の内部にはカセットステージ105が設置されている。カセット100はカセットステージ105上に工程内搬送装置(図示略)によって搬入されたり、カセットステージ105上から搬出されたりされる。
続いて、基板処理装置1の主な動作について説明する。
次に図2及び図3を用いて前述した基板処理装置に適用される処理炉202について説明する。
次に、上述の基板処理装置の処理炉202を用いて、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、大規模集積回路(Large Scale Integration;LSI)を製造する際などに、基板上に絶縁膜を成膜する方法の例について説明する。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ280により制御される。
図4に、本実施形態に係る窒化チタン膜の成膜シーケンスを示す。成膜プロセスでは、コントローラ280が、基板処理装置1を下記の通りに制御する。すなわち、ヒータ207を制御して処理室201内を例えば300℃〜550℃の範囲の温度であって、好適には450℃以下、より好ましくは450℃に保持する。その後、複数枚のウエハ200をボート217に装填し、ボート217を処理室201に搬入する。その後、ボート217をボート回転機構267により回転させ、ウエハ200を回転させる。その後、真空ポンプ246を作動させるとともにバルブ243を開いて処理室201内を真空引きし、ウエハ200の温度が450℃に達して温度等が安定したら、処理室201内の温度を450℃に保持した状態で後述する4つのステップを順次実行する。
ステップ1では、TiCl4を流す。TiCl4は常温で液体であり、処理室201に供給するには、加熱して気化させてから供給する方法、気化器700を使用してキャリアガスと呼ばれるHe(ヘリウム)、Ne(ネオン)、Ar(アルゴン)、N2(窒素)などの不活性ガスをTiCl4容器の中に通し、気化している分をそのキャリアガスと共に処理室201へと供給する方法などがあるが、例として後者のケースで説明する。
ガス供給管310のバルブ314を閉めて処理室へのTiCl4の供給を停止し、バルブ614を開けてベントライン610へTiCl4を流す。これによりTiCl4を常に安定して処理室へ供給することができる。このときガス排気管231のバルブ243は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を20Pa以下となるまで排気し、残留TiCl4を処理室201内から排除する。ここで、TiCl4の供給を停止し、残留TiCl4を処理室201から除去する時間(ガス置換時間)を1秒とする。
ステップ3では、NH3を流す。ガス供給管320にNH3を、キャリアガス供給管520にキャリアガス(N2)を流す。ガス供給管320のバルブ324、キャリアガス供給管520のバルブ524、および排気管231のバルブ243を共に開ける。キャリアガスは、キャリアガス供給管520から流れ、マスフローコントローラ522により流量調整される。NH3は、ガス供給管320から流れ、マスフローコントローラ322により流量調整され、流量調整されたキャリアガスを混合し、ノズル420のガス供給孔420aから処理室201内に供給されつつ排気管231から排気される。NH3を流すときは、バルブ243を適正に調節して処理室201内圧力を50〜1000Paの範囲であって、例えば60Paに維持する。マスフローコントローラ322で制御するNH3の供給流量は1〜10slmである。NH3にウエハ200を晒す時間は10〜30秒間である。このときのヒータ207の温度は、300℃〜550℃の範囲の所定の温度であって、例えば450℃になるよう設定してある。
ステップ4では、ガス供給管320のバルブ324を閉めて、NH3の供給を止める。また、ガス排気管231のバルブ243は開いたままにし、真空ポンプ246により、処理室201を20Pa以下に排気し、残留NH3を処理室201から排除する。ここで、NH3の供給を止め、残留NH3を処理室201から除去する時間(ガス置換時間)を1秒とする。
図5(a)は、比較例にかかるガス置換時間と(200)/(111)比の関係を示し、上記ステップ2及び4におけるガス置換時間を6秒に設定した。図5(b)は、実施例にかかるガス置換時間と(200)/(111)比の関係を示し、上記ステップ2及び4におけるガス置換時間を1秒に設定した。
図5(a)に示すように基板温度380℃において、ガス置換時間が6秒のときには(200)/(111)比は1.57であった。それに対して、図5(b)に示すように基板温度380℃において、ガス置換時間が1秒のときには(200)/(111)比は1.7であって、ガス置換温度が6秒のときと比較すると(200)/(111)比は8%増加した。
次に、図5(b)に示すようにガス置換時間を1秒に設定したまま基板温度を変えて比較した。結果として、基板温度を高くするにつれて(200)/(111)比は大きくなった。
200 ウエハ(基板)
201 処理室
202 処理炉
203 反応管
207 ヒータ
217 ボート
231 排気管
243 バルブ
246 真空ポンプ
280 コントローラ
310,320 ガス供給管
312,322 マスフローコントローラ
314,324 バルブ
410,420 ノズル
410a、420a ガス供給孔
Claims (1)
- 基板を収容した処理室に、複数の処理ガスを交互に供給することで前記基板上に成膜する半導体装置の製造方法であって、
前記各処理ガスを前記処理室に供給する処理ガス供給工程と、
前記各処理ガスを前記処理室から除去する処理ガス除去工程と、
を所定回数繰り返して前記基板上に成膜し、
前記処理ガス除去工程では、前記処理ガスを処理室内に所定の濃度だけ残留させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010013013A JP2011151294A (ja) | 2010-01-25 | 2010-01-25 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010013013A JP2011151294A (ja) | 2010-01-25 | 2010-01-25 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011151294A true JP2011151294A (ja) | 2011-08-04 |
JP2011151294A5 JP2011151294A5 (ja) | 2013-03-07 |
Family
ID=44537997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010013013A Pending JP2011151294A (ja) | 2010-01-25 | 2010-01-25 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011151294A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015097871A1 (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-02 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び記録媒体 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004091874A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法 |
JP2006032610A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置 |
JP2006516304A (ja) * | 2003-01-13 | 2006-06-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 薄膜を層状堆積させるための方法及び装置 |
JP2006269532A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法 |
JP2007039806A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-02-15 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法、成膜装置及び記憶媒体 |
-
2010
- 2010-01-25 JP JP2010013013A patent/JP2011151294A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004091874A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法 |
JP2006516304A (ja) * | 2003-01-13 | 2006-06-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 薄膜を層状堆積させるための方法及び装置 |
JP2006032610A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置 |
JP2006269532A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体デバイスの製造方法 |
JP2007039806A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-02-15 | Tokyo Electron Ltd | 成膜方法、成膜装置及び記憶媒体 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015097871A1 (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-02 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び記録媒体 |
JP5793241B1 (ja) * | 2013-12-27 | 2015-10-14 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
US9396930B2 (en) | 2013-12-27 | 2016-07-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5610438B2 (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP5774822B2 (ja) | 半導体デバイスの製造方法及び基板処理装置 | |
JP5087657B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
JP5692842B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
JP5787488B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
TWI483313B (zh) | 半導體裝置之製造方法及基板處理裝置 | |
US20110059600A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, cleaning method, and substrate processing apparatus | |
JP5963456B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、及び基板処理方法 | |
JP4879041B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR101015985B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP2005064305A (ja) | 基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP2012172171A (ja) | 基板処理装置及び薄膜成膜方法 | |
KR100935289B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2011151294A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5385439B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
JP5273936B2 (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2008227259A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2008227261A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130121 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140326 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140715 |