JP2011149933A - 固体試料の分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】質量数1の水素同位体と物理的な挙動が酷似し、単体または化合物として大気中での存在量が極めて少ない質量数2の水素同位体をイオン注入によって分析対象とする固体試料中に導入する。そして、固体試料を加熱処理し、固体試料中に含まれる質量数1及び質量数2の水素同位体の濃度を減少させ、二次イオン質量分析法を用いて固体試料中における質量数2の水素同位体の濃度を分析し、その数値を固体試料中に残留する質量数1の水素同位体の濃度として同定する。
【選択図】図1
Description
101 基板
110 固体試料
111 固体試料
200 固体試料
201 一次イオン
202 二次イオン
210 イオン源
220 イオンカラム
230 二次イオン引き出し電極
240 エネルギーアナライザ
250 質量分析計
260 検出器
Claims (9)
- 質量数1の水素同位体を含む固体試料中に、該水素同位体と同量以上の質量数2の水素同位体をイオン注入し、
前記固体試料に脱水化または脱水素化処理を施して前記固体試料中に含まれる質量数1及び質量数2の水素同位体の濃度を減少させ、
二次イオン質量分析法を用いて前記固体試料中における質量数2の水素同位体の濃度を分析し、その数値を前記固体試料中に残留する質量数1の水素同位体の濃度として同定することを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。 - 請求項1において、前記固体試料中にイオン注入する質量数2の水素同位体の濃度は、1×1015atoms/cm3以上であることを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。
- 請求項1または2において、前記固体試料は酸化物半導体であることを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。
- 質量数1の水素同位体を含み、主成分の組成比が同一の第1及び第2の固体試料を準備し、
前記第1の固体試料中の質量数1及び質量数2の水素同位体がそれぞれ同量となるように調整し、
前記第1の固体試料に脱水化または脱水素化処理を施し、二次イオン質量分析法を用いて質量数1及び質量数2の水素同位体の濃度をそれぞれ分析し、
質量数2の水素同位体の濃度に対する質量数1の水素同位体の濃度の割合を算出して係数とし、
前記第2の固体試料中に質量数2の水素同位体をイオン注入し、
前記第2の固体試料に脱水化または脱水素化処理を施して前記第2の固体試料中に含まれる質量数1の水素同位体及び質量数2の水素同位体の濃度を減少させ、
二次イオン質量分析法を用いて前記第2の固体試料中における質量数2の水素同位体の濃度を分析し、その数値と前記係数を乗じて算出される数値を前記第2の固体試料中に残留する質量数1の水素同位体の濃度として同定することを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。 - 請求項4において、前記第1の固体試料中で同量となるように調整された質量数1及び質量数2の水素同位体のそれぞれの濃度は、1×1017atoms/cm3以上であることを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。
- 請求項4または5において、前記第1の固体試料の脱水化または脱水素化処理は、前記第1の固体試料中の残留水素濃度が1×1017atoms/cm3未満とならないように行うことを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。
- 請求項4乃至6のいずれか一項において、前記第2の固体試料中にイオン注入する質量数2の水素同位体の濃度は、1×1015atoms/cm3以上であることを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。
- 請求項4乃至7のいずれか一項において、前記第1及び第2の固体試料は酸化物半導体であることを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。
- 請求項1乃至8のいずれか一項において、前記脱水化または脱水素化処理は、加熱処理であることを特徴とする固体試料中の水素濃度の分析方法。
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CN110988104A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-04-10 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种基于双校正的氢同位素气体四极质谱分析法 |
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2010
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