JP2011146461A - 動作情報生成装置、動作確認装置、基板処理システムおよび動作情報生成プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】装置の動作を容易に検査する。
【解決手段】基板処理システムは、基板に対して洗浄処理を施す処理装置、および、処理装置に接続されて処理装置の動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認する動作確認装置を備える。動作確認装置は、処理装置の複数の動作要素の動作を確認するための比較用レシピを指示レシピと対比可能なレシピ形式にて生成するレシピ生成部５１、および、処理装置に接続されて指示レシピに基づく複数の動作要素のそれぞれの動作値を繰り返し取得する動作取得部５５を備える。基板処理システムでは、複数の動作要素の一連のステップ動作を指示レシピと同様のレシピ形式にて示す比較用レシピが、動作取得部５５からの出力に基づいてレシピ生成部５１により生成される。そして、指示レシピと比較用レシピとを比較することにより、処理装置の動作を容易に検査することができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、対象装置における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認するための動作情報を生成する動作情報生成装置および動作情報生成プログラム、並びに、動作情報生成装置を備える動作確認装置および基板処理システムに関する。

従来より、半導体基板に対して様々な処理を行う半導体の製造現場では、半導体製造装置において半導体基板に対して適切な処理が行われているか否かの検査が行われている。特許文献１の装置では、製品用の半導体基板とは異なるモニタ用のダミーウエハに対して、製品用の半導体基板に対して実際に行われる予定の処理とは異なる検査用の処理が行われる。そして、処理中の装置内の環境（例えば、圧力）の変化が取得され、当該環境変化が、予め取得しておいた適切な環境変化と異なる場合に、装置の動作が異常であると判断される。

特許文献２の装置では、半導体基板に対する実際の処理状態（例えば、装置内の圧力）を取得し、当該処理状態と、装置に対する処理状態の指示値とが比較されることにより、設定した指示値の通りの処理が行われているかが検査される。また、特許文献３の装置では、半導体基板に対する実際の処理状態を取得し、これを用いて半導体基板の処理結果を予測し、当該処理結果の予測値と設計値とを比較することにより、処理状態の異常検出が行われる。

特開２０００−１５０６０８号公報 特開２００６−２４７４２号公報 特開２００８−７２０４７号公報

ところで、特許文献１の装置では、装置内の環境変化の時系列同士を比較することになるため、作業者が比較を行う場合、多大な労力と時間とを要するとともに動作異常の見落とし等が発生するおそれがある。また、当該装置にて比較を行う場合も計算量が多くなるため、装置の動作が遅くなったり不安定になって生産性が低下するおそれがある。さらに、モニタ用のダミーウエハを利用して、実際に行われる予定の処理とは異なる検査用の処理を行って動作異常を検出するため、実際の半導体基板の製造における装置の動作が正常であるか否かを確実に判断することが困難である。

特許文献２の装置では、装置における実際の処理状態と処理状態の指示値とが比較されるが、実際の処理状態は時系列で表現され、指示値は通常、処理状態が切り換えられるタイミングと切り換え後の処理状態とのテーブルで表現されるため、両者を容易に比較することはできない。

特許文献３の装置では、半導体基板に対する処理結果の予測値と設計値との差が、装置が指示値と異なる異常動作を行ったために生じたものか、装置に対する指示値が不適切であったために生じたものかを判断することはできない。

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、装置の動作を容易に検査することを目的としている。

請求項１に記載の発明は、対象装置における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認するための動作情報を生成する動作情報生成装置であって、予め準備された指示レシピに基づく前記動作要素の動きまたは状態を表す動作値を繰り返し取得する動作取得部と、前記動作値が所定の規則にて変化する、または、前記動作値が一定である前記動作要素の動作を１つのステップ動作として、前記動作取得部により取得された前記動作値に基づいて、一連のステップ動作のそれぞれにおける、前記動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間を実質的に含む動作情報を、前記指示レシピと対比可能なレシピ形式にて生成するレシピ生成部とを備える。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の動作情報生成装置であって、前記指示レシピが、前記対象装置の複数の動作要素に動作を指示する情報を含み、前記複数の動作要素の複数の動作値のそれぞれが所定の規則にて変化する、または、一定である前記複数の動作要素の動作を１つのステップ動作として、前記レシピ生成部が、一連のステップ動作のそれぞれにおける、前記複数の動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間を実質的に含む動作情報を、前記指示レシピと対比可能なレシピ形式にて生成する。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の動作情報生成装置であって、前記一連のステップ動作において連続する各２つのステップ動作にて、いずれかの動作要素の動作値、または、単位時間当たりの動作値の変化量が異なる。

請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の動作情報生成装置であって、前記レシピ生成部に前記指示レシピが入力されることにより、または、前記対象装置から前記レシピ生成部に信号が入力されることにより、前記動作情報に含まれる各動作ステップの時間が決定される。

請求項５に記載の発明は、対象装置における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認する動作確認装置であって、前記動作要素の動作から動作情報を生成する請求項１ないし４のいずれかに記載の動作情報生成装置と、指示レシピを記憶する記憶部と、前記指示レシピと前記動作情報とを比較する比較部と、前記比較部による比較結果を出力する出力部とを備える。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の動作確認装置であって、前記指示レシピに基づく前記動作要素の動作と並行して、前記動作情報の生成、および、前記指示レシピと前記動作情報との比較が行われる。

請求項７に記載の発明は、基板処理システムであって、基板に所定の処理を施す処理装置と、前記処理装置に接続され、前記処理装置が前記対象装置である請求項１ないし４のいずれかに記載の動作情報生成装置とを備える。

請求項８に記載の発明は、対象装置における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認するための動作情報を生成する動作情報生成プログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）予め準備された指示レシピに基づく前記動作要素の動きまたは状態を表す動作値を繰り返し取得する工程と、ｂ）前記動作値が所定の規則にて変化する、または、前記動作値が一定である前記動作要素の動作を１つのステップ動作として、前記動作取得部により取得された前記動作値に基づいて、一連のステップ動作のそれぞれにおける、前記動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間を実質的に含む動作情報を、前記指示レシピと対比可能なレシピ形式にて生成する工程とを実行させる。

本発明では、装置の動作を容易に検査することができる。

一の実施の形態に係る基板処理システムの構成を示す図である。 指示レシピの一部を示す図である。 分解指示レシピの一部を示す図である。 動作確認装置の構成を示す図である。 コンピュータの機能を示すブロック図である。 装置の動作検査の流れを示す図である。 動作要素の動作値と時間との関係を示す図である。 比較用レシピの一部を示す図である。

図１は、本発明の一の実施の形態に係る基板処理システム８の構成を示す図である。図１に示すように、基板処理システム８は、半導体基板９（例えば、シリコン基板であり、以下、単に「基板９」という。）に対して所定の処理を施す処理装置１、および、処理装置１に接続される動作確認装置５を備える。処理装置１は、基板９の表面を洗浄し、基板９の表面に付着したパーティクル等の異物を除去する枚葉式の基板洗浄装置である。また、動作確認装置５は、対象装置である処理装置１における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認する装置である。

処理装置１は、円板状の基板９を水平に保持する基板保持部２、洗浄用の液体（以下、「洗浄液」という。）を基板保持部２にて保持される基板９の上面に向けて噴出するノズル３１、ノズル３１に洗浄液を供給する洗浄液供給部３２、および、これらの機構を制御する制御部４を備える。

基板保持部２は、基板９を下側から保持する略円板状のチャック２１を備え、チャック２１の外周上には、基板９を把持する複数のチャックピン２１１が設けられる。チャック２１の下面にはシャフト２２が設けられ、シャフト２２はモータ２３に接続される。基板９は、基板９の中心がシャフト２２の中心軸上に位置するようにチャック２１に保持される。基板保持部２では、制御部４の制御によりモータ２３が駆動されることによりシャフト２２が回転し、基板９がチャック２１およびシャフト２２と共にシャフト２２の中心軸を中心として回転する。なお、基板保持部２における基板９の保持は、例えば、基板９の下側（すなわち、ノズル３とは反対側）の主面の中央部のみを吸引吸着する等して実現されてもよい。

洗浄液供給部３２は、ノズル３１に接続される配管３２０、それぞれ異なる種類の洗浄液を配管３２０を介してノズル３１に供給する第１供給部３２１、第２供給部３２２および第３供給部３２３、並びに、第１供給部３２１ないし第３供給部３２３と配管３２０との間にそれぞれ設けられる第１バルブ３２４、第２バルブ３２５および第３バルブ３２６を備える。洗浄液供給部３２では、制御部４が第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６をそれぞれ開くことにより、第１供給部３２１ないし第３供給部３２３のそれぞれから洗浄液が配管３２０に送出される。なお、処理装置１では、実際には本実施の形態よりも多数の供給部およびバルブが設けられ、多種類の洗浄液が利用される。

ノズル３１は、アーム３３を介して図示省略のノズル移動機構に接続されており、基板９の上方においてノズル３１がアーム３３と共に水平方向（すなわち、基板９の上面に平行な方向）に移動可能とされる。

基板９の洗浄処理が行われる際には、基板保持部２のモータ２３が駆動されて基板９の回転が開始され、洗浄液供給部３２からノズル３１へと洗浄液が供給されて基板９の上面に向けて噴出される。そして、ノズル移動機構によりノズル３１が基板９の中心と外周上の１点との間にて往復移動を繰り返すことにより、基板９の上面の洗浄が行われる。処理装置１では、予め準備された指示レシピに基づいて制御部４による制御が行われ、基板９の回転数が変更されたり、ノズル３１に供給される洗浄液の種類が切り換えられる。

図２は、制御部４に入力される指示レシピ７１の一部を示す図である。指示レシピ７１は、図１に示す処理装置１のモータ２３、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６、並びに、ノズル移動機構等の複数の動作要素に動作を指示する情報を含んでおり、所定のレシピ形式にて記述される。以下の説明では、各動作要素の動き（例えば、モータ２３の回転数）または状態（例えば、バルブの開閉状態）を表す値を「動作値」といい、バルブの開いている状態の動作値を「１」、閉じている状態の動作値を「０」とする。

また、以下の説明では、説明を簡素化するために、処理装置１の複数の動作要素のうち、モータ２３、並びに、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６に注目して説明する。モータ２３は、動作値が連続的に変化する動作要素であり、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６はそれぞれ、動作値が極短い時間にて変化するため、動作値が「０」および「１」の２値の間で瞬間的に切り換えられる動作要素である。図２では、モータ２３、並びに、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６に対する動作指示が記述されている部分の一部のみを示す。

図２に示す指示レシピ７１の各行は、動作要素の所定の動作を示す複合ステップに対応する。番号が「１」の複合ステップ（以下、単に「複合ステップ１」という。）では、ステップ動作の時間のうち遷移時間が０秒、維持時間が２秒であり、モータ２３の回転数の終了値は０ｒｐｍであり、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６の動作値の終了値は全て、閉じられている状態を示す「０」である。処理装置１では、複合ステップ１に対応する２秒間は基板９の回転は行われず、第１供給部３２１ないし第３供給部３２３からの洗浄液の供給も行われない。

複合ステップ２では、遷移時間が２秒、維持時間が１秒であり、モータ２３の回転数の終了値は４００ｒｐｍであり、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６の動作値の終了値は０である。処理装置１では、複合ステップ２の最初の２秒間、モータ２３の回転数が０ｒｐｍから４００ｒｐｍになるまで増加し、その後の１秒間、４００ｒｐｍにて維持される。複合ステップ２の開始時のモータ２３の回転数（すなわち、モータ２３の回転数の開始値）である０ｒｐｍは、１つ前の複合ステップ１におけるモータ２３の回転数の終了値である。処理装置１では、複合ステップ２の３秒間、第１供給部３２１ないし第３供給部３２３からの洗浄液の供給は行われない。

複合ステップ３では、遷移時間が０秒、維持時間が６０秒であり、モータ２３の回転数の終了値は４００ｒｐｍであり、第１バルブ３２４の動作値の終了値は開いている状態を示す「１」であり、第２バルブ３２５および第３バルブ３２６の動作値の終了値は０である。処理装置１では、複合ステップ３の６０秒間、モータ２３の回転数は、開始値が４００ｒｐｍ（すなわち、複合ステップ２の終了値）であって終了値が４００ｒｐｍであるため、４００ｒｐｍにて維持される。また、第１バルブ３２４は複合ステップ３の開始時に開かれ、６０秒間、開いた状態が維持されて図１に示すノズル３１に第１供給部３２１からの洗浄液が供給され、基板９に向けて噴出される。一方、第２バルブ３２５および第３バルブ３２６は、６０秒間閉じられたままの状態とされる。

複合ステップ４では、遷移時間が１秒、維持時間が９秒であり、モータ２３の回転数の終了値は１０００ｒｐｍであり、第１バルブ３２４および第２バルブ３２５の動作値の終了値は１であり、第３バルブ３２６の動作値の終了値は０である。処理装置１では、複合ステップ４の最初の１秒間、モータ２３の回転数が４００ｒｐｍから１０００ｒｐｍになるまで増加し、その後の９秒間、１０００ｒｐｍにて維持される。また、第１バルブ３２４は複合ステップ３に引き続き開いた状態が維持され、第２バルブ３２５は複合ステップ４の開始時に開かれて、１０秒間、開いた状態が維持される。これにより、ノズル３１に第１供給部３２１および第２供給部３２２からの洗浄液が供給されて基板９に向けて噴出される。一方、第３バルブ３２６は１０秒間閉じられたままの状態とされる。

複合ステップ５では、遷移時間が１秒、維持時間が９秒であり、モータ２３の回転数の終了値は５００ｒｐｍであり、第１バルブ３２４および第３バルブ３２６の動作値の終了値は１であり、第２バルブ３２５の動作値の終了値は０である。処理装置１では、複合ステップ５の最初の１秒間、モータ２３の回転数が１０００ｒｐｍから５００ｒｐｍになるまで減少し、その後の９秒間、５００ｒｐｍにて維持される。また、第１バルブ３２４は複合ステップ３に引き続き開いた状態が維持され、第２バルブ３２５は複合ステップ５の開始時に閉じられ、第３バルブ３２６は複合ステップ５の開始時に開かれて、１０秒間、開いた状態が維持される。これにより、ノズル３１に第１供給部３２１および第３供給部３２３からの洗浄液が供給されて基板９に向けて噴出される。一方、第２バルブ３２５は１０秒間閉じられた状態とされる。

図３は、図２に示す指示レシピ７１の複合ステップ１〜５を、遷移時間に対応するステップと維持時間に対応するステップとに分解した分解指示レシピ７１ａを示す図である。図２中の複合ステップ１の遷移時間は０秒であるため、複合ステップ１は図３中のステップ１１と一致する。また、図２中の複合ステップ２の遷移時間は２秒、維持時間は１秒であるため、複合ステップ２は図３中のステップ２１，２２に分解される。ステップ２１は複合ステップ２の遷移状態（２秒間）に対応し、ステップ２２は複合ステップ２の維持状態（１秒間）に対応する。同様に、複合ステップ３はステップ３１に一致し、複合ステップ４はステップ４１，４２に分解され、複合ステップ５はステップ５１，５２に分解される。このように、複合ステップにおける遷移時間および維持時間の一方が０である場合には、当該複合ステップと分解指示レシピ７１ａにおいて対応するステップが一致し、複合ステップにおける遷移時間および維持時間の双方が０よりも大きい場合には、当該複合ステップは連続する２つのステップに対応する。

図３に示す分解指示レシピ７１ａの各行は、複数の動作要素の複数の動作値のそれぞれが所定の規則にて変化する、または、当該複数の動作値のそれぞれが一定である複数の動作要素の動作（以下、「ステップ動作」という。）に対応し、各行には、対応する１つのステップ動作の時間、および、ステップ動作終了時における動作値（すなわち、動作値の終了値）が示されている。各ステップ動作では、複数の動作値の全てが一定であってもよく、複数の動作値の全てが所定の規則にて変化してもよい。また、複数の動作値のうちの一部の動作値が所定の規則にて変化するとともに残りの動作値が一定であってもよい。本実施の形態では、ステップ２１，４１，５１においてモータ２３の回転数が線形に増大または減少する。なお、モータ２３の回転数は、一のステップにおいて線形以外の所定の規則にて漸次増大または漸次減少してもよい。

分解指示レシピ７１ａでは、各行に対応するステップ動作の動作値の開始値は、図２に示す指示レシピ７１と同様に、１行上のステップ動作の動作値の終了値である。したがって、分解指示レシピ７１ａには、一連のステップ動作のそれぞれにおける、複数の動作要素の複数の動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間が実質的に含まれる。同様に、分解指示レシピ７１ａの一連のステップ動作を異なる形式にて記述する指示レシピ７１にも、一連のステップ動作のそれぞれにおける、複数の動作要素の複数の動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間が実質的に含まれる。

図４は、動作確認装置５の構成を示す図である。動作確認装置５は、コンピュータ５０および動作取得部５５を備える。動作取得部５５は、処理装置１の複数の動作要素に接続され（あるいは、取り付けられ）、指示レシピ７１に基づく複数の動作要素のそれぞれの動作値を繰り返し取得する。例えば、図１に示す動作要素の１つであるモータ２３の回転数は、モータ２３に取り付けられたエンコーダにより取得される。本実施の形態では、モータ２３の回転数は１００ミリ秒毎に取得されてコンピュータ５０に送られる。また、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６については、例えば、各バルブが開かれた状態の場合のみ通電する機構を利用したり、制御部４から各バルブに対して送られる開閉の指示信号を取得することにより、各バルブの開閉状態が取得される。本実施の形態では、各バルブに対して送られる指示信号が１０ミリ秒毎に取得され、各バルブの開閉状態を示す情報としてコンピュータ５０に送られる。

コンピュータ５０は、ＣＰＵ５０１、ＲＡＭ５０２、ＲＯＭ５０３、固定ディスク５０４、ディスプレイ５０５、および、入力部５０６等を接続した構成となっており、固定ディスク５０４内には、動作確認装置５により実行されるプログラム５０４１が記憶される。図５は、コンピュータ５０のＣＰＵ５０１等がプログラム５０４１に従って演算処理を実行することにより実現される機能を示すブロック図である。図５では、コンピュータ５０以外の構成も併せて描いている。

コンピュータ５０は、レシピ生成部５１、指示レシピ７１を記憶する記憶部５２、レシピ生成部５１により生成された動作情報と指示レシピ７１とを比較する比較部５３、および、比較部５３による比較結果を出力する出力部５４を備え、レシピ生成部５１および比較部５３が、ＣＰＵ５０１等により実現される機能に相当する。これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。レシピ生成部５１は、処理装置１の複数の動作要素の動作から動作情報を生成する。動作情報は、処理装置１の複数の動作要素の動作を確認するための情報であり、指示レシピ７１（図２参照）と対比可能なレシピ形式にて生成される。

図１に示す基板処理システム８では、処理装置１のモータ２３や第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６等の動作要素の指示レシピ７１（図２参照）に基づく動作と並行して、図６に示すように、これらの動作要素のそれぞれの動作値が図５に示す動作取得部５５により繰り返し取得されてコンピュータ５０のレシピ生成部５１へと出力される（ステップＳ１１）。図７は、動作取得部５５からの出力を示す図である。図７では、上側から順に、モータ２３、並びに、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６について、処理装置１における洗浄処理の開始からの経過時間と動作値との関係を示す。なお、図７は、動作取得部５５からの出力を容易に理解できるようにグラフ化したものであり、実際の基板処理システム８では、図７のようなグラフの作成は行われなくてよい。

レシピ生成部５１では、動作取得部５５からの出力に基づいて、連続する複数のステップ動作が抽出され、複数のステップ動作の一部が合成されて複合ステップとされ、残りのステップ動作はそのまま複合ステップとされる。そして、一連のステップ動作のそれぞれにおける動作情報が、指示レシピ７１（図２参照）と対比可能なレシピ形式（すなわち、複合ステップの集合）にて生成される（ステップＳ１２）。ステップ動作の合成は、一のステップ動作において動作値が変化しており、次のステップ動作において当該動作値が一定であり、これら２つのステップ動作において他の動作値が一定である場合に行われる。

具体的には、動作取得部５５からの出力（図７参照）に基づいて、モータ２３について、単位時間当たりの動作値の変化量（すなわち、図７中における傾きであり、以下、「単位変化量」という。）が順次取得される。また、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６のそれぞれについては動作値（「０」または「１」）が取得される。

そして、モータ２３の単位変化量の変化（の絶対値）がおよそ０（実際には、単位変化量の変化の絶対値が０に近い所定の閾値以下）であり、かつ、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６の動作値が一定に維持される状態を１つのステップ動作とし、モータ２３の単位変化量の変化が上記閾値よりも大きくなるという条件、および、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６の動作値のいずれか１つでも０から１に、あるいは、１から０に変化するという条件のうち、少なくとも一方の条件が満たされた時点をステップ動作の終了時として当該ステップ動作が抽出される。図７の例では、処理時間２秒の時点でモータ２３の単位変化量の変化が閾値よりも大きくなるため、処理開始時（０秒）からの２秒間がステップ１１として抽出される。また、処理時間４秒の時点でモータ２３の単位変化量の変化が閾値よりも大きくなるため、処理時間２秒から４秒までの２秒間がステップ２１として抽出される。さらに、処理時間５秒の時点で第１バルブ３２４の動作値が０から１に変化するため、処理時間４秒から５秒までの１秒間がステップ２２として抽出される。

以下同様に、処理時間５秒から６５秒までの６０秒間がステップ３１として抽出される。また、処理時間６５秒から６６秒までの１秒間、および、処理時間６６秒から７５秒までの９秒間が、ステップ２１，２２と同様にステップ４１，４２として抽出され、処理時間７５秒から７６秒までの１秒間、および、処理時間７６秒から８５秒までの９秒間がステップ５１，５２として抽出される。このようにして抽出された一連のステップ動作では、連続する各２つのステップ動作にて、モータ２３の単位変化量、または、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６の動作値は異なる。

そして、レシピ生成部５１では、ステップ２１，２２が合成されて複合ステップ２とされ、ステップ４１，４２が合成されて複合ステップ４とされ、ステップ５１，５２が合成されて複合ステップ５とされる。また、ステップ１１は合成されることなくそのまま複合ステップ１とされ、ステップ４１も同様に複合ステップ４とされる。

レシピ生成部５１では、各ステップ動作におけるモータ２３の回転数の終了値、並びに、第１バルブ３２４ないし第２バルブ３２５のそれぞれの動作値が動作取得部５５からの出力に基づいて求められ、一連のステップ動作を示す動作情報が、図８に示すように、指示レシピ７１（図２参照）と同様のレシピ形式（すなわち、複合ステップの集合）にて生成される。以下の説明では、図８に示す動作情報を「比較用レシピ７２」という。比較用レシピ７２では、指示レシピ７１と同様に、各行は１つまたは２つのステップ動作を含む１つの複合ステップに対応し、各行には、当該複合ステップの遷移時間および維持時間、並びに、複数の動作要素の動作値の終了値が示されている。なお、動作取得部５５から出力されるモータ２３の動作値（回転数）は多少の変動を含むことがあり、この場合、モータ２３の動作値の終了値は、動作取得部５５からの出力値のうち最も出現頻度が高い値や当該出力値の平均値等とされる。

比較用レシピ７２では、各行に対応する複合ステップにおける複数の動作要素の動作値の開始値は、指示レシピ７１と同様に、１つ上の行に対応する複合ステップ（すなわち、直前の複合ステップ）における複数の動作要素の動作値の終了値である。複合ステップに２つのステップが含まれる場合、１番目のステップに対応するステップ動作の開始値は１つ前の複合ステップの終了値であり、終了値は本複合ステップの終了値であり、時間は本複合ステップの遷移時間である。また、２番目のステップに対応するステップ動作の開始値および終了値は共に本複合ステップの終了値であり、時間は本複合ステップの維持時間である。このように、比較用レシピ７２は、指示レシピ７１と同様に、一連のステップ動作のそれぞれにおける、複数の動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間を実質的に含む情報となっている。

図５に示すレシピ生成部５１にて生成された比較用レシピ７２は比較部５３に送られ、比較部５３により、記憶部５２に予め記憶されている指示レシピ７１と比較される（ステップＳ１３）。そして、出力部５４により、比較用レシピ７２と指示レシピ７１との比較結果が出力される（ステップＳ１４）。基板処理システム８では、指示レシピ７１に基づく処理装置１の複数の動作要素の動作と並行して、動作確認装置５による比較用レシピ７２の生成、および、指示レシピ７１と比較用レシピ７２との比較が行われ、基板９に対する処理が終了するまで継続される。出力部５４から出力される比較結果において比較用レシピ７２と指示レシピ７１とが異なる場合（すなわち、処理装置１が指示レシピ７１の通りに動作していない場合）には、例えば、作業者に対して警報が発信されるとともに後続の基板９に対する処理が中止される。

以上に説明したように、基板処理システム８では、指示レシピ７１に基づく処理装置１の複数の動作要素のそれぞれの動作値が動作取得部５５により繰り返し取得され、複数の動作要素の一連のステップ動作を指示レシピ７１と同様のレシピ形式にて示す比較用レシピ７２が、動作取得部５５からの出力に基づいてレシピ生成部５１により生成される。そして、指示レシピ７１と複数の動作要素の動作情報である比較用レシピ７２とを比較することにより、処理装置１の動作を容易に検査することができ、処理装置１が指示レシピ７１による指示と異なる動作をしている場合に当該誤動作を容易に検出することができる。また、処理装置１の誤動作が検出されないにもかかわらず基板９の処理結果が所望の結果と異なる場合には、指示レシピ７１の内容が適切でないことを容易に把握することができる。なお、レシピ生成部５１により分解指示レシピ７１ａと同様のレシピ形式（すなわち、各行が一のステップ動作に対応する形式）の比較用レシピが生成され、当該比較用レシピが分解指示レシピ７１ａと比較されてもよい。

基板処理システム８では、一連のステップ動作において連続する各２つのステップ動作にて、いずれかの動作要素の動作値、または、単位時間当たりの動作値の変化量である単位変化量（本実施の形態では、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６のそれぞれの動作値、並びに、モータ２３の単位変化量のうちのいずれか）が異なる。これにより、一連のステップ動作に含まれるステップ動作の個数が不必要に増大することが防止され、比較用レシピ７２に含まれる複合ステップの個数の増大も防止される。また、指示レシピ７１と比較用レシピ７２とが同様のレシピ形式とされることにより、処理装置１の動作の検査をより容易とすることができる。

動作確認装置５では、指示レシピ７１と比較用レシピ７２とを比較する比較部５３が設けられることにより、処理装置１の動作を自動的に確認（すなわち、検査）することができる。また、比較用レシピ７２の生成、および、指示レシピ７１と比較用レシピ７２との比較が、指示レシピ７１に基づく処理装置１の動作要素の動作と並行して行われることにより、処理装置１の誤動作が迅速かつ確実に検出される。その結果、指示レシピ７１に示される処理と異なる処理が行われた基板９（すなわち、不良品）が、後工程の他の装置へと搬入されることが防止される。また、後続の基板に対して指示レシピ７１に示される処理と異なる処理が行われることも防止される。

基板処理システム８では、図６に示すステップＳ１２における比較用レシピ７２の生成において、動作取得部５５からの出力に基づいて各ステップ動作の終了時を抽出して各ステップ動作の時間を取得する代わりに、レシピ生成部５１に指示レシピ７１が入力され、指示レシピ７１に含まれる各ステップ動作の時間（すなわち、図３に示す分解指示レシピ７１ａの各行に対応するステップ動作の時間）が、比較用レシピ７２を生成する際の各ステップ動作の時間として取得されてもよい。あるいは、処理装置１が指示レシピ７１に基づいて処理を行う際に、各ステップ動作の開始時または終了時に処理装置１からレシピ生成部５１に信号が入力されることにより、信号間の時間が各ステップ動作の時間として取得されてもよい。このように、基板処理システム８では、レシピ生成部５１に指示レシピ７１が入力されることにより、または、処理装置１からレシピ生成部５１に信号が入力されることにより、比較用レシピ７２に含まれる各動作ステップの時間（すなわち、各複合ステップの遷移時間および維持時間）が決定されてもよい。これにより、比較用レシピ７２の各複合ステップの遷移時間および維持時間を指示レシピ７１の各複合ステップの遷移時間および維持時間に容易かつ確実に一致させることができる。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。

例えば、上記実施の形態では、比較用レシピ７２のレシピ形式は指示レシピ７１のレシピ形式と同様とされるが、比較用レシピ７２のレシピ形式は、指示レシピ７１を構成する主要な要素にて表現されることにより指示レシピ７１と対比可能とされるのであれば、指示レシピ７１のレシピ形式と異なっていてもよい。

基板処理システム８では、第１バルブ３２４ないし第３バルブ３２６の開閉を示す動作値に代えて、各バルブを通過する処理液の流量が各バルブの動きの大きさを示す動作値として流量計により取得されてもよい。また、モータ２３の回転方向の位置等、他の動作が検査されてもよい。

上述のように、基板処理システム８では、処理装置１の動作を容易に検査することができるため、基板処理システム８の構造は、指示レシピ７１と動作要素の動作値との比較に比較的労力や時間を必要とする複数の動作要素を備える基板処理システムに特に適しているが、１つの動作要素の動作値を指示レシピと比較する基板処理システムに適用されてもよい。

基板処理システム８では、必ずしも基板９に対する処理と並行して比較用レシピ７２の生成、および、指示レシピ７１と比較用レシピ７２との比較が行われる必要はなく、動作取得部５５により取得された処理装置１の動作要素の動作値を格納しておき、基板９の処理結果に不具合が生じた場合に、当該基板９に対する処理の際に取得された動作値を抽出して比較用レシピ７２が生成されてもよい。

基板処理システム８では、必ずしも比較部５３により指示レシピ７１と比較用レシピ７２との比較が行われる必要はなく、例えば、レシピ生成部５１により生成された比較用レシピ７２が画面上に表示され、作業者が当該比較用レシピ７２と指示レシピ７１とを見比べることにより、処理装置１の動作が検査されてもよい。この場合であっても、指示レシピ７１と対比可能なレシピ形式（より好ましくは、指示レシピ７１と同様のレシピ形式）にて比較用レシピ７２を生成することにより、処理装置１の動作を容易に検査することができる。指示レシピ７１と比較用レシピ７２との比較が作業者の目視により行われる場合、記憶部５２、比較部５３および出力部５４は省略されてよく、この場合、レシピ生成部５１および動作取得部５５は、処理装置１における動作要素の動作を確認するための比較用レシピ７２（すなわち、動作情報）を生成する動作情報生成装置と捉えられる。

基板処理システム８の構造は、基板９に枚葉洗浄処理以外の処理を施す基板処理システムに適用されてもよい。例えば、基板処理システム８の構造が、複数枚の基板９を処理槽内の処理液に浸漬する処理装置を含む基板処理システムに適用される場合、複数枚の基板９を搬送する搬送機構の位置や速度が、動作要素の動作として検査されてもよい。また、基板９をチャンバ内で処理する処理装置におけるチャンバ内の温度や圧力が検査されてもよい。さらに、動作確認装置５および上述の動作情報生成装置の構造は、基板９に様々な処理を施す処理装置やその他の様々な装置を対象装置とする動作確認装置や動作情報生成装置に適用されてもよい。

１ 処理装置
５ 動作確認装置
８ 基板処理システム
９ 基板
２３ モータ
５１ レシピ生成部
５２ 記憶部
５３ 比較部
５４ 出力部
５５ 動作取得部
７１ 指示レシピ
７２ 比較用レシピ
３２４ 第１バルブ
３２５ 第２バルブ
３２６ 第３バルブ
５０４１ プログラム
Ｓ１１〜Ｓ１４ ステップ

Claims (8)

1. 対象装置における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認するための動作情報を生成する動作情報生成装置であって、
   予め準備された指示レシピに基づく前記動作要素の動きまたは状態を表す動作値を繰り返し取得する動作取得部と、
   前記動作値が所定の規則にて変化する、または、前記動作値が一定である前記動作要素の動作を１つのステップ動作として、前記動作取得部により取得された前記動作値に基づいて、一連のステップ動作のそれぞれにおける、前記動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間を実質的に含む動作情報を、前記指示レシピと対比可能なレシピ形式にて生成するレシピ生成部と、
   を備えることを特徴とする動作情報生成装置。
2. 請求項１に記載の動作情報生成装置であって、
   前記指示レシピが、前記対象装置の複数の動作要素に動作を指示する情報を含み、
   前記複数の動作要素の複数の動作値のそれぞれが所定の規則にて変化する、または、一定である前記複数の動作要素の動作を１つのステップ動作として、前記レシピ生成部が、一連のステップ動作のそれぞれにおける、前記複数の動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間を実質的に含む動作情報を、前記指示レシピと対比可能なレシピ形式にて生成することを特徴とする動作情報生成装置。
3. 請求項２に記載の動作情報生成装置であって、
   前記一連のステップ動作において連続する各２つのステップ動作にて、いずれかの動作要素の動作値、または、単位時間当たりの動作値の変化量が異なることを特徴とする動作情報生成装置。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の動作情報生成装置であって、
   前記レシピ生成部に前記指示レシピが入力されることにより、または、前記対象装置から前記レシピ生成部に信号が入力されることにより、前記動作情報に含まれる各動作ステップの時間が決定されることを特徴とする動作情報生成装置。
5. 対象装置における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認する動作確認装置であって、
   前記動作要素の動作から動作情報を生成する請求項１ないし４のいずれかに記載の動作情報生成装置と、
   指示レシピを記憶する記憶部と、
   前記指示レシピと前記動作情報とを比較する比較部と、
   前記比較部による比較結果を出力する出力部と、
   を備えることを特徴とする動作確認装置。
6. 請求項５に記載の動作確認装置であって、
   前記指示レシピに基づく前記動作要素の動作と並行して、前記動作情報の生成、および、前記指示レシピと前記動作情報との比較が行われることを特徴とする動作確認装置。
7. 基板処理システムであって、
   基板に所定の処理を施す処理装置と、
   前記処理装置に接続され、前記処理装置が前記対象装置である請求項１ないし４のいずれかに記載の動作情報生成装置と、
   を備えることを特徴とする基板処理システム。
8. 対象装置における動作要素の動きまたは状態の変化である動作を確認するための動作情報を生成する動作情報生成プログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
   ａ）予め準備された指示レシピに基づく前記動作要素の動きまたは状態を表す動作値を繰り返し取得する工程と、
   ｂ）前記動作値が所定の規則にて変化する、または、前記動作値が一定である前記動作要素の動作を１つのステップ動作として、前記動作取得部により取得された前記動作値に基づいて、一連のステップ動作のそれぞれにおける、前記動作値の開始値および終了値、並びに、ステップ動作の時間を実質的に含む動作情報を、前記指示レシピと対比可能なレシピ形式にて生成する工程と、
   を実行させることを特徴とする動作情報生成プログラム。

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