JP2011132605A - スパッタリング用電源装置 - Google Patents
スパッタリング用電源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011132605A JP2011132605A JP2011053780A JP2011053780A JP2011132605A JP 2011132605 A JP2011132605 A JP 2011132605A JP 2011053780 A JP2011053780 A JP 2011053780A JP 2011053780 A JP2011053780 A JP 2011053780A JP 2011132605 A JP2011132605 A JP 2011132605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- power supply
- switching
- sputtering
- arc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Dc-Dc Converters (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、スパッタリング用直流電源PS1と、このスパッタリング用直流電源の負極側に設けられた第1のスイッチング手段SW1と、この第1のスイッチング手段に複数直列接続される互いに独立のチョークコイルL1〜L4と、この複数のチョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路13と、逆電圧発生用直流電源PS2と、この逆電圧発生用直流電源と前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと逆方向アーク防止回路との中間位置との間に設けられた第2のスイッチング手段SW2と、前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部R1,R2と、前記第1のスイッチング手段及び第2のスイッチング手段の開閉を制御する制御手段21とから構成される。
【選択図】 図1
Description
第4に、アーク放電によって電流が増加すると、スイッチング素子の飽和電圧が高くなって逆電圧を発生させることができなくなる場合、第5に、前述したタップ付きチョークコイルが磁気飽和してしまうため、逆電圧を発生させることができなくなってアーク放電を消弧させることができなくなる場合などが挙げられる。
Va0:負荷特性から求めるIo=0付近の判定レベル
Rt:負荷特性から求めるIoに比例する成分の係数
Io:その時の電源出力電流≒L1を流れている電流
Vth:ヒステリシス電圧幅
このようにすることにより、逆電圧パルス印加後の電圧上昇時間が余分なコンデンサが無いため速くなっているので、負荷によっては0.1μs以下でもアーク判定可能である。
L=V*dt/di=500*20e-6/0.1=0.1=100[mH]
となる。従って、直流電源PS1の電圧が負荷電圧に近ければオフ時間は短くなるので、この半分から1/3の50〜30mHという大きなインダクタンスが必要とされる。スイッチング周波数を上げて、電流の変動幅(リップル)を大きく許容しても、10〜20mH程度が現実的な値である。
V=Ldi/dtであるので、
di=V*dt/L=500*10e−6/20e−3=0.025[A]
と小さい値であるが、10パルス以上のマルチパルスとなった場合には、電流はパルス数に比例して増加する。図2に示すように、逆電圧パルスを印加する場合には、スイッチSW2をオンし、スイッチSW1及びSW3をオフするので、チョークコイルL1及びL2を流れる電流は、ダイオードD3が設けられた還流路32を介して流れる。つまり、逆電圧パルスを印加する場合には、スイッチSW3をオフしておくようにしたので、直流電源PS2の電圧は負荷、つまりスパッタ源31だけに印加されるようにしている。このように、スイッチSW3をオフすることにより、ダイオードD1を切り離すようにしたので、逆電圧パルスを連続して印加した場合でも、チョークコイルL1及びL2に流れる電流を増加させないように制御することができる。
Va0:負荷特性から求めるIo=0付近の判定レベル
Rt:負荷特性から求めるIoに比例する成分の係数
Io:その時の電源出力電流≒L1を流れている電流
Vth:ヒステリシス電圧幅
このようにすることにより、逆電圧パルス印加後の電圧上昇時間が余分なコンデンサが無いため速くなっているので、負荷によっては0.1μs以下でもアーク判定可能である。
L=V*dt/di=500*20e-6/0.1=0.1=100[mH]
となる。従って、直流電源PS1の電圧が負荷電圧に近ければオフ時間は短くなるので、この半分から1/3の50〜30mHという大きなインダクタンスが必要とされる。スイッチング周波数を上げて、電流の変動幅(リップル)を大きく許容しても、10〜20mH程度が現実的な値である。
Va0:負荷特性から求めるIo=0付近の判定レベル
Rt:負荷特性から求めるIoに比例する成分の係数
Io:その時の電源出力電流≒L1を流れている電流
Vth:ヒステリシス電圧幅
このようにすることにより、逆電圧パルス印加後の電圧上昇時間が余分なコンデンサが無いため速くなっているので、負荷によっては0.1μs以下でもアーク判定可能である。
となる。従って、to/tf=500/300となる。
to=5/3*(10−to) to=50/8=6.25[μs]
電流の変化量diは、
di=6.25e−6*300/10e−3=(10−6.25)*te−6*500/10e−3
=0.1875[A]となる(図9参照)。
tr/(5−tr)=1/3 tr=5/3−tr/3 tr(1+1/3)=5/3
tr=5/3*3/4=1.25[μs]
電流の変化量は
di=1.25e−6*300/10e−3=(5−1.25)*te*−6*100/10e−3
=0.0375[A]となり、電流変動は1/5に小さくなる(図10)。逆に言うと、チョークコイルの値を小さくすることができる。チョークコイルの値を小さくすることができれば、単独のチョークコイルでL1を構成することも可能である。しかし、自己共振周波数を充分大きくしておく必要があるために、複数の独立したチョークコイルを用いている。
Claims (58)
- 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
スパッタリング用直流電源と、
このスパッタリング用直流電源の負極側に設けられた第1のスイッチング手段と、
この第1のスイッチング手段に複数直列接続される互いに独立のチョークコイルと、
この複数のチョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路と、
逆電圧発生用直流電源と、
この逆電圧発生用直流電源と前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと逆方向アーク防止回路との中間位置との間に設けられた第2のスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記第1のスイッチング手段及び第2のスイッチング手段の開閉を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。 - 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項1記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記負極出力端子及び正極出力端子から定電力が出力されるように前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項1記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとT1後に前記第2のスイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間T3以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項2記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、周期的に前記第2のスイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項2あるいは4記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイル全体の自己共振周波数は、前記第1のスイッチング手段のスイッチング周波数より5倍以上であること特徴とする請求項1記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング手段をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項1記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項7記載のスパッタリング用電源装置。
- 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
スパッタリング用直流電源と、
このスパッタリング用直流電源の負極側に設けられた第1のスイッチング手段と、
この第1のスイッチング手段に複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと、
この複数のチョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路と、
逆電圧発生用直流電源と、
この逆電圧発生用電源と前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと逆方向アーク防止回路との中間位置との間に設けられた第2のスイッチング手段と、
前記第1のスイッチング手段と前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルとの間に設けられた第3のスイッチング手段と、
この第3のスイッチングと前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルとの接続点から前記逆電圧発生源の陽極との間に接続された還流路と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記第1のスイッチング手段乃至第3のスイッチング手段の開閉を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。 - 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項9記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記負極出力端子及び正極出力端子から定電力が出力されるように前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項9記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとT1後に第1及び第3のスイッチング手段をオフすると共に前記第2のスイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間T3以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項9記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、周期的に前記第2のスイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項10あるいは12記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイル全体の自己共振周波数は、前記第1のスイッチング手段のスイッチング周波数より5倍以上であること特徴とする請求項9記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング手段をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項9記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項15記載のスパッタリング用電源装置。
- 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
スパッタリング用直流電源と、
このスパッタリング用直流電源の負極側に設けられた第1のスイッチング手段と、
この第1のスイッチング手段に複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと、
逆電圧発生用直流電源と、
この逆電圧発生用電源と前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと負極出力端子との中間位置との間に設けられた第2のスイッチング手段と、
前記第1のスイッチング手段と前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルとの間に設けられた第3のスイッチング手段と、
この第3のスイッチングと前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルとの接続点から前記逆電圧発生源の陽極との間に接続された還流路と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記第1のスイッチング手段乃至第3のスイッチング手段の開閉を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。 - 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項17記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記負極出力端子及び正極出力端子から定電力が出力されるように前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項17記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとT1後に第1及び第3のスイッチング手段をオフすると共に前記第2のスイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間T3以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項18記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、周期的に前記第2のスイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項17あるいは20記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイル全体の自己共振周波数は、前記第1のスイッチング手段のスイッチング周波数より5倍以上であること特徴とする請求項17記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング手段をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項17記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項23記載のスパッタリング用電源装置。
- 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
所定電圧の出力を発生する直流電源と、
それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換する第1及び第2のスイッチング回路と、
前記第1及び第2のスイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の2次電圧をそれぞれ出力する第1及び第2のトランスと、
前記第1のトランスから出力されるパルス状の2次電圧を整流する第1のダイオードブリッジと、
前記第2のトランスから出力されるパルス状の2次電圧を整流する第2のダイオードブリッジと、
前記第1のダイオードブリッジの出力側に接続される複数直列接続される互いに独立のチョークコイルと、
この複数のチョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路と、
前記第2のダイオードブリッジの出力側に接続される逆電圧保持用コンデンサと、
この逆電圧保持用コンデンサと前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと逆方向アーク防止回路との中間位置との間に設けられたスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記スイッチング素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段の開閉を制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段を具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。 - 前記制御手段は、前記スイッチング素子を開閉制御して前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項25記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記負極出力端子及び正極出力端子から定電力が出力されるように前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項25記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとT1後に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間T3以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項26記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、周期的に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項26あるいは28記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイル全体の自己共振周波数は、前記第1のスイッチング素子のスイッチング周波数より5倍以上であること特徴とする請求項25記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング素子をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項25記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項31記載のスパッタリング用電源装置。
- 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
所定電圧の出力を発生する直流電源と、
それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換するスイッチング回路と、
前記スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の2次電圧を出力するトランスと、
前記トランスから出力されるパルス状の2次電圧を整流する第1及び第2のダイオードブリッジと、
前記第1のダイオードブリッジの出力側に接続される複数直列接続される互いに独立のチョークコイルと、
この複数のチョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路と、
前記第2のダイオードブリッジの出力側に接続される逆電圧保持用コンデンサと、
この逆電圧保持用コンデンサと前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと逆方向アーク防止回路との中間位置との間に設けられたスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記スイッチング素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段の開閉を制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段を具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。 - 前記制御手段は、前記スイッチング素子を開閉制御して前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項33記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記負極出力端子及び正極出力端子から定電力が出力されるように前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項33記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとT1後に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間T3以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項34記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、周期的に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項34あるいは36記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイル全体の自己共振周波数は、前記スイッチング素子のスイッチング周波数より5倍以上であること特徴とする請求項33記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング素子をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項33記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項39記載のスパッタリング用電源装置。
- 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
所定電圧の出力を発生する直流電源と、
それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換するスイッチング回路と、
前記スイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の2次電圧を出力するトランスと、
前記トランスから出力されるパルス状の2次電圧を整流する第1及び第2のダイオードブリッジと、
前記第1のダイオードブリッジの出力側に接続される複数直列接続される互いに独立のチョークコイルと、
前記第2のダイオードブリッジの出力側に接続される逆電圧保持用コンデンサと、
この第2のダイオードブリッジとトランスの2次巻線間に接続された抵抗と、
この逆電圧保持用コンデンサと前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと負極出力端子との中間位置との間に設けられたスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記スイッチング素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段の開閉を制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段を具備したことを特徴とするスパッタリング用電源装置。 - 前記制御手段は、前記スイッチング素子を開閉制御して前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項41記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記負極出力端子及び正極出力端子から定電力が出力されるように前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項41記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとT1後に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間T3以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項42記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、周期的に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項41あるいは44記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイル全体の自己共振周波数は、前記スイッチング素子のスイッチング周波数より5倍以上であること特徴とする請求項41記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング素子をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項41記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項47記載のスパッタリング用電源装置。
- 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、
所定電圧の出力を発生する直流電源と、
それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換する第1及び第2のスイッチング回路と、
前記第1及び第2のスイッチング回路からパルス状の一次電圧が供給され、パルス状の2次電圧をそれぞれ出力する第1及び第2のトランスと、
前記第1のトランスから出力されるパルス状の2次電圧を整流する第1のダイオードブリッジと、
前記第2のトランスから出力されるパルス状の2次電圧を整流する第2のダイオードブリッジと、
前記第2のトランスから出力されるパルス状の2次電圧を整流する第3のダイオードブリッジと、
前記第1のダイオードブリッジの出力側に接続される複数直列接続される互いに独立のチョークコイルと、
この複数のチョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路と、
前記第3のダイオードブリッジの出力側に接続される逆電圧保持用コンデンサと、
この逆電圧保持用コンデンサと前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと逆方向アーク防止回路との中間位置との間に設けられたスイッチング手段と、
前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部と、
前記スイッチング素子に対してスイッチング制御信号を出力すると共に、前記スイッチング手段の開閉を制御するスイッチング制御信号を出力する制御手段を具備し、前記第1のダイオードブリッジと第2のダイオードブリッジとは直列接続されていることを特徴とするスパッタリング用電源装置。 - 前記制御手段は、前記第1のスイッチング回路と第2のスイッチング回路の位相をずらして制御することを特徴とする請求項49記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記スイッチング素子を開閉制御して前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに一定電流を流す制御を行うことを特徴とする請求項49記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記第1のスイッチング手段を開閉制御して前記負極出力端子及び正極出力端子から定電力が出力されるように前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルに流す電流値を制御することを特徴とする請求項49記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、さらに前記電圧検出部で検出された電圧によりアーク判定を行ない、アーク判定されるとT1後に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させ、この逆電圧パルス出力が終了してから設定時間T3以後に再度前記アーク判定を行い同様の処理を繰り返す制御を行う請求項50記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、周期的に前記スイッチング手段を設定時間T2だけオンして逆電圧パルスを発生させることを特徴とする請求項51あるいは53記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイル全体の自己共振周波数は、前記第1のスイッチング素子のスイッチング周波数より5倍以上であること特徴とする請求項49記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は前記電圧検出部により検出された電圧によりアーク判定を行い、アーク判定を行なうと、前記スイッチング素子をオフして、アーク放電の電圧−電流特性を計測するアーク放電特性測定モードを備えていることを特徴とする請求項49記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記制御手段は、前記アーク放電特性測定モードで計測されたアーク放電の電圧−電流特性に基づいてアーク判定を行うことを特徴とする請求項56記載のスパッタリング用電源装置。
- 前記スイッチング手段と前記逆電圧保持用コンデンサとの間がモード選択スイッチが設けられ、このモード選択スイッチを切り替えることにより、逆電圧保持用コンデンサから逆電圧パルスを発生させるかゼロ電圧の発生を切り換えられることを特徴とする請求項49記載のスパッタリング用電源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011053780A JP5284396B2 (ja) | 2011-03-11 | 2011-03-11 | スパッタリング用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011053780A JP5284396B2 (ja) | 2011-03-11 | 2011-03-11 | スパッタリング用電源装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001028505A Division JP4763897B2 (ja) | 2001-02-05 | 2001-02-05 | スパッタリング用電源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011132605A true JP2011132605A (ja) | 2011-07-07 |
JP5284396B2 JP5284396B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=44345644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011053780A Expired - Lifetime JP5284396B2 (ja) | 2011-03-11 | 2011-03-11 | スパッタリング用電源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5284396B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010031568B4 (de) | 2010-07-20 | 2014-12-11 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Arclöschanordnung und Verfahren zum Löschen von Arcs |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2835322B2 (ja) * | 1997-02-20 | 1998-12-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | スパッタリング用電源装置および該装置を用いたスパッタリング装置 |
-
2011
- 2011-03-11 JP JP2011053780A patent/JP5284396B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2835322B2 (ja) * | 1997-02-20 | 1998-12-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | スパッタリング用電源装置および該装置を用いたスパッタリング装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5284396B2 (ja) | 2013-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10014789B2 (en) | Resonant converter and driving method thereof | |
US7852647B2 (en) | Switching power supply digital control circuit protecting from magnetic saturation effects | |
US20160043632A1 (en) | Bridgeless power factor improvement converter | |
JP4272522B2 (ja) | スパッタリング用電源装置 | |
US11750087B2 (en) | Totem pole bridgeless PFC power converters | |
US20130223120A1 (en) | Method and apparatus for active inrush control of boost power stage | |
JP2012033409A (ja) | 直流プラズマ用逆極性パルス発生回路及び直流プラズマ電源装置 | |
JP6607495B2 (ja) | 電力変換装置 | |
JP6017831B2 (ja) | 直列共振型dc/dcコンバータ | |
KR102453825B1 (ko) | 직류-직류 컨버터 | |
JP4763897B2 (ja) | スパッタリング用電源装置 | |
JP2008235997A (ja) | スイッチング回路 | |
JP5284396B2 (ja) | スパッタリング用電源装置 | |
JP5301594B2 (ja) | スパッタリング用電源装置 | |
JP5284397B2 (ja) | スパッタリング用電源装置 | |
CN107614179A (zh) | 电弧焊装置 | |
JP2006158073A (ja) | キャパシタの充放電方法および電力変換装置 | |
US9729072B2 (en) | Resonant converter and driving method thereof | |
JP2021061207A (ja) | プラズマ装置、電源装置、プラズマ維持方法 | |
CN108365766B (zh) | Llc准谐振开关电源 | |
JP2001145371A (ja) | スパッタ用電源 | |
JP7102265B2 (ja) | スイッチング電源およびスイッチング電源制御回路 | |
WO2011161728A1 (ja) | スイッチング電源装置およびこれを用いた電源システム、電子装置 | |
JP2012204258A (ja) | 電源装置及び照明器具 | |
US8841850B2 (en) | Dimming angle sensing circuit and driving method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110406 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130129 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5284396 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |