JP2011119621A - 着磁装置及び着磁ヘッド - Google Patents

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Abstract

【課題】ネオジム磁石本来の性能を以って多極着磁を実現する、着磁装置とこれに使用する着磁ヘッドを提供する。
【解決手段】ネオジム金属片に極めて強力な飽和着磁の多極着磁を実現するために、着磁ヘッドは多極構成にして、ギャップはコイル線の太さよりも細く形成した。そして、着磁ヘッドを移動させるリニアアクチュエータは、着磁の際には停止すると共に、ネオジム金属片上の一つの着磁パターンをヨークの着磁面が複数回対面して着磁処理するように、リニアアクチュエータの移動ステップを構成した。以上のように着磁ヘッド及び着磁台のリニアアクチュエータを構成することで、ネオジム金属片へ多極着磁を実現する着磁装置を提供できる。
【選択図】図1

Description

本発明は、着磁装置及びこれに使用する着磁ヘッドに関する。
より詳細には、長大なネオジム磁石に等間隔の多極着磁を施す着磁装置に関する。
多くの電子機器の製造現場では、高性能化及び小型化に伴い、これまでより強力な磁石を求める傾向が強まっている。
特に、周知のハードディスク装置等で使用されるネオジム磁石は、極めて強力な磁力を提供することで、高性能なデバイスを実現するための重要な要素となっている。
特開2002−319507号公報 特開2006−173447号公報
これまでのフェライト系の磁石等とは異なり、ネオジム磁石は、製造時の着磁工程で極めて強力な磁力を与える必要がある。このため、従来のネオジム磁石に対する着磁の手法は、着磁ヨークをネオジム金属片に固定して、静止した状態で着磁させる手法しか存在しなかった。
例えば本出願人による従来技術の多極着磁装置である特許文献1のような、フェライト磁石等の多極着磁を実現する装置は、磁性体と着磁ヨークとの間に相対的な移動が生じるので、この技術をネオジム磁石の着磁に使用しても、ネオジム磁石として十分な性能を実現できなかった。
本発明は係る課題を解決し、ネオジム磁石本来の性能を以って多極着磁を実現する、着磁装置とこれに使用する着磁ヘッドを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の着磁装置は、永久磁石材料が載置される固定台と、均等な形状の着磁面を長手方向に四個以上備えて永久磁石材料に着磁のための磁気を発する着磁ヘッドと、着磁ヘッドに着磁電流を供給する着磁器と、着磁ヘッドが搭載され、着磁面が同一箇所に複数回対面するように着磁ヘッドを永久磁石材料の長手方向に移動させると共に、着磁の際には着磁ヘッドの移動を停止するリニアアクチュエータと、リニアアクチュエータが移動するときは着磁を禁止し、着磁ヘッドが着磁を実施する時はリニアアクチュエータの移動を禁止する制御部とを具備する。
また、上記課題を解決するために、本発明の着磁ヘッドは、永久磁石材料に近接して着磁のための磁気を発する第一の着磁面と、第一の着磁面と所定の距離である第一のギャップと、第一のギャップと隣接して形成される第一のギャップより広い幅の第一の穴を介して隣接し、第一の着磁面が発する磁極と逆の磁極の磁気を発する第二の着磁面と、第二の着磁面と第一のギャップと等しい距離である第二のギャップと、第二のギャップと隣接して形成される第二のギャップより広い幅の第二の穴を介して隣接し、第二の着磁面が発する磁極と逆の磁極の磁気を発する第三の着磁面とを備えるヨークと、第一の穴と第二の穴に通過するコイル線とよりなる。
永久磁石材料に極めて強力な飽和着磁の多極着磁を実現するために、着磁ヘッドは多極構成にして、ギャップはコイル線の太さよりも細く形成した。そして、着磁ヘッドを移動させるリニアアクチュエータは、着磁の際には停止すると共に、永久磁石材料上の一つの着磁パターンをヨークの着磁面が複数回対面して着磁処理するように、リニアアクチュエータの移動ステップを構成した。
本発明により、ネオジム磁石本来の性能を以って多極着磁を実現する、着磁装置とこれに使用する着磁ヘッドを提供できる。
着磁装置を横から見た外観図である。 定盤の上面図と、定盤の上面の一部拡大図と、定盤を横から見た図である。 着磁ヘッドの外観斜視図である。 ヨーク片の上面図と、ヨークの斜視図である。 ヨークにコイル線を通した状態を示す斜視図である。 ヨークにコイル線を通す有り様を示す上面概略図と、ヨークにコイル線を通す有り様を示す横面概略図である。 着磁ヘッドがネオジム金属片を移動して着磁する手順を示す概略図である。 着磁装置の機能を示すブロック図である。 制御部の機能ブロック図である。 制御部のタイムチャートである。
図1は着磁装置を横から見た外観図である。着磁装置101は、永久磁石材料である長大なネオジム金属片を載置して着磁を実施する着磁台102と、着磁のための高電圧直流電流を生じる着磁器103よりなる。
着磁台102は、スチール製のシャーシ104に、横方向に長い石材の定盤105と、この定盤105の上に平行なレール106が設けられている。更に、レール106を横方向に移動可能なリニアアクチュエータ107が設けられている。
リニアアクチュエータ107の定盤105に対面する箇所には、ネオジム金属片に着磁を行うための着磁ヘッド108が設けられている。また、リニアアクチュエータ107にはレール106上を横方向に移動するためのモータ109が内蔵されている。
定盤105の下にはポンプ110が設けられている。ポンプ110はパイプ111を通じて定盤105に接続されており、定盤105のネオジム金属片が載置される載置面105aに設けられている図示しない穴から空気を吸引する。つまり、バキューム吸着を行って、定盤105の載置面105aにネオジム金属片を固定する。
着磁器103は、予めインバータで高電圧の交流を発生させて、これをダイオード整流して、大容量コンデンサを充電しておく。そして、着磁コイルに大容量コンデンサを接続して、パルス状の高電圧大電流を流す。
着磁器103の詳細は例えば本出願人による特許文献2等で周知であり、本実施形態では着磁器103は従来技術と等しいので、詳細は割愛する。
図2(a)は定盤105の上面図であり、図2(b)は定盤105の上面の一部拡大図であり、図2(c)は定盤105を横から見た図である。定盤105の上面とは、載置面105aである。
定盤105の、ネオジム金属片が載置される載置面105aには、図2(a)では図示していないが、図2(c)で示されるように、微細な吸着穴202が多数開けられている。吸着穴202はポンプ110に接続され、ポンプ110が空気を吸いだすことで、吸着穴202上に載置された物体を吸着する。
定盤105の載置面105aの、ネオジム金属片203のすぐ隣には、リニアスケール204が設けられている。
このリニアスケール204を拡大した図が図2(b)である。細かいマーカ204aが等間隔で設けられている。このマーカ204aは赤外線を吸収する塗料が塗られており、リニアアクチュエータ107から後述する赤外線LEDを照射して、その反射光をフォトトランジスタで検出することで、リニアスケール204が移動する際に、移動量に応じたパルスを得ることができる。
リニアスケール204のマーカ204aの間隔は、後述するヨーク302の着磁面同士の間隔と、整数比の関係である。つまり、マーカ204aの間隔を整数倍すると、ヨーク302の着磁面同士の間隔と等しくなる。
マーカ204aの間隔は、着磁ヘッド108がネオジム金属片203上に正確な位置で着磁処理をするために、高い分解能を実現するよう、ヨーク302の着磁面同士の間隔に対して100〜1000倍の比率で構成される。
なお、着磁装置101はネオジム金属片203上に形成する多極着磁パターンの間隔が顧客の要求仕様によって変わる場合、着磁ヘッド108のヨーク302の着磁面同士の間隔等を変更して作成すると共に、後述する制御部内のカウンタの値を変更する。
図3は着磁ヘッド108の外観斜視図である。
着磁ヘッド108は、図示しないコイルが巻きつけられたヨーク302をモールド樹脂303でモールドした後、強磁性体のシールドケース304に封入することで形成される。
図3を見て判るように、ヨーク302は6極設けられている。
図4(a)はヨーク片の上面図であり、図4(b)はヨーク302の斜視図である。
ヨーク片402は、1.5mm厚の珪素鋼板を切削加工して、図4(a)のような形状に形成される。
ヨーク片402の、ネオジム金属片203に近接する磁極面側402aには、コイル線を通す穴402b、402c、402d、402e及び402fが設けられている。
ヨーク302は、ヨーク片402を多数積層することで形成される。
穴402bと穴402fは、コイル線が1本だけ通るため、円形の穴である。
穴402c、穴402d及び穴402eは、コイル線が2本通るため、穴402bや穴402fが二つ分並んだ形状の穴である。
図5は、ヨーク302にコイル線を通した状態を示す斜視図である。
図6(a)は、ヨーク302にコイル線502を通す有り様を示す上面概略図であり、図6(b)は、ヨーク302にコイル線502を通す有り様を示す横面概略図である。
本実施形態の着磁装置101では、1500Vで20KAという大電流を流すため、コイル線502は3mm径と、必然的に太くなる。
このコイル線502の径に比べて、ヨーク302の着磁面は、ネオジム金属片203に十分な磁力を与える関係上、面積を広く取らなければならない。このため、コイル線502を通す穴402b、402c、402d、402e及び402fは中空形状になり、着磁面に形成される磁極同士のギャップG603a、G603b、G603c、G603d及びG603eは、コイル線502よりも細く形成する必要がある。
図6(a)を見ると判るように、ヨーク302の着磁面602aはコイル線502が片側面のみ巻き回されている。
着磁面602bはコイル線502が片側面一重で片側面二重にて、巻き回されている。
着磁面602cはコイル線502が両側面二重にて、巻き回されている。
着磁面602dはコイル線502が両側面二重にて、巻き回されている。
着磁面602eはコイル線502が片側面二重で片側面一重にて、巻き回されている。
着磁面602fはコイル線502が片側面のみ巻き回されている。
つまり、コイル線502から発生する磁力は、両脇のヨーク302から中心のヨーク302に向かって段階的に強くなる。
図7は着磁ヘッド108がネオジム金属片203を移動して着磁する手順を示す概略図である。
ある時刻t1において、着磁ヘッド108がネオジム金属片203上に停止した状態で、着磁ヘッド108に所定の電流が流れて、6極の着磁が行われる。
次に、着磁ヘッド108はネオジム金属片203上を、磁極の間隔にして2極分の距離だけ移動する。
そして、時刻t2において、着磁ヘッド108がネオジム金属片203上に停止した状態で、着磁ヘッド108に所定の電流が流れて、6極の着磁が行われる。このとき、時刻t1で着磁した磁極のうち、4極分が重複して着磁される。
次に、着磁ヘッド108はネオジム金属片203上を、磁極の間隔にして2極分の距離だけ移動する。
そして、時刻t3において、着磁ヘッド108がネオジム金属片203上に停止した状態で、着磁ヘッド108に所定の電流が流れて、6極の着磁が行われる。このとき、時刻t2で着磁した磁極のうち、4極分が重複して着磁されると共に、時刻t1で着磁した磁極のうち、2極分が重複して着磁される。
このように、着磁ヘッド108は2極ずつ移動して、重複した着磁処理を遂行する。
図7で説明したように、本実施形態の着磁装置101は、着磁をする際に着磁ヘッド108がネオジム金属片203上で停止して着磁処理が行われる。着磁処理が終了した後、着磁ヘッド108は2極分の距離を移動する。つまり、着磁ヘッド108は移動と着磁とを交互に繰り返す。
従来技術の多極着磁装置では、着磁する対象の強磁性体の、飽和着磁に必要な磁力が小さかったので、着磁処理の際に着磁ヘッド108を停止しなくてもよかった。また、着磁の際に着磁ヘッド108の磁極面が着磁する対象の強磁性体上を移動する距離を考慮して小さく設計してもよかった。
しかし、ネオジムの場合は飽和着磁に必要な磁力が非常に大きいので、一度の着磁処理では飽和着磁が完遂できない。このため、着磁ヘッド108に複数の磁極を形成する必要がある。更に、強力な磁力を与えるために、着磁ヘッド108の磁極とネオジム金属片203上に形成する磁極との面積を一致させる必要がある。
以上の理由により、着磁の際に着磁ヘッド108を止める必要がある。また、磁極の面積を大きくするために、磁極間のギャップはコイル線502が通らない位細く形成する必要がある。
図8は、着磁装置101の機能を示すブロック図である。
レール106上を移動するリニアアクチュエータ107には、レール106上を移動するためのモータ109と、リニアスケール204を読み取るための赤外線LED802とフォトトランジスタ803と、着磁ヘッド108が設けられている。そして、フォトトランジスタ803の出力信号を受け、モータ109と着磁ヘッド108に接続される着磁器103内のリレー804をオン・オフ制御する制御部805も設けられている。
図9は制御部805の機能ブロック図である。
フォトトランジスタ803から得られる信号は、カウンタ902に入力される。カウンタ902は予め設定された値を計数すると、出力信号が論理の偽から真に転換する。
カウンタ902の出力信号はタイマ903に入力される。タイマ903は着磁ヘッド108に接続されるリレー804のオン時間を計時する。タイマ903の出力信号は半導体リレー904に接続され、リレー804のオン・オフ制御信号となる。
一方、タイマ903の出力信号はNOTゲート905で反転されて、モータドライバ906に入力される。モータドライバ906はモータ109を駆動する電流をモータ109に与える。
NOTゲート905の信号はモノマルチ907で所定の幅のパルスに変換された上で、カウンタ902のリセット端子に入力される。
図10(a)、(b)、(c)及び(d)は制御部805のタイムチャートである。図10(a)はフォトトランジスタ803がリニアスケール204を読み取った際の信号である。図10(b)はカウンタ902の信号である。図10(c)はタイマ903の信号である。10(c)はモノマルチ907の信号である。
図10(a)に示す、フォトトランジスタ803がリニアスケール204を読み取ったパルスは、カウンタ902が既定の数だけ計数すると、図10(b)に示すように論理が偽から真に転換する。そして、図10(c)に示すようにカウンタ902のアップエッジがタイマ903を起動する。
タイマ903が既定の時間の計時を終了すると、論理が真から偽に転換する。その際のダウンエッジがNOTゲート905で反転され、アップエッジとなる。このアップエッジは図10(d)に示すようにモノマルチ907を起動する。そして、モノマルチ907のアップエッジがカウンタ902のリセット端子に入力され、カウンタ902の出力は真から偽に転換する。
本実施形態は以下のような応用例が可能である。
(1)図7で説明したように、着磁ヘッドの移動ステップは2極間隔であった。これを1極間隔にすることもできる。その際、コイル線502に流す電流の方向を1ステップ毎に反転させる必要が生じる。
(2)ヨーク302の材料は珪素鋼板であったが、透磁率の高い材料であればなんでもよい。例えばセンダスト(Fe−9.5%Si−5.5%Al合金)やパーマロイ(Fe−Ni合金)等が挙げられる。
本実施形態では着磁装置を開示した。
ネオジム金属片に極めて強力な飽和着磁の多極着磁を実現するために、着磁ヘッドは多極構成にして、ギャップはコイル線の太さよりも細く形成した。そして、着磁ヘッドを移動させるリニアアクチュエータは、着磁の際には停止すると共に、ネオジム金属片上の一つの着磁パターンをヨークの着磁面が複数回対面して着磁処理するように、リニアアクチュエータの移動ステップを構成した。以上のように着磁ヘッド及び着磁台のリニアアクチュエータを構成することで、ネオジム金属片へ多極着磁を実現する着磁装置を提供できる。
101…着磁装置、102…着磁台、103…着磁器、104…シャーシ、105…定盤、105a…載置面、106…レール、107…リニアアクチュエータ、108…着磁ヘッド、109…モータ、110…ポンプ、111…パイプ、202…吸着穴、203…ネオジム金属片、204…リニアスケール、204a…マーカ、302…ヨーク、303…モールド樹脂、304…シールドケース、402…ヨーク片、402a…磁極面側、402b…穴、402c…穴、402d…穴、402e…穴、402f…穴、502…コイル線、602a…着磁面、602b…着磁面、602c…着磁面、602d…着磁面、602e…着磁面、602f…着磁面、802…赤外線LED、803…フォトトランジスタ、804…リレー、805…制御部、902…カウンタ、903…タイマ、904…半導体リレー、905…NOTゲート、906…モータドライバ、907…モノマルチ

Claims (2)

  1. 永久磁石材料が載置される固定台と、
    均等な形状の着磁面を長手方向に四個以上備えて前記永久磁石材料に着磁のための磁気を発する着磁ヘッドと、
    前記着磁ヘッドに着磁電流を供給する着磁器と、
    前記着磁ヘッドが搭載され、前記着磁面が同一箇所に複数回対面するように前記着磁ヘッドを前記永久磁石材料の長手方向に移動させると共に、着磁の際には前記着磁ヘッドの移動を停止するリニアアクチュエータと、
    前記リニアアクチュエータが移動するときは着磁を禁止し、前記着磁ヘッドが着磁を実施する時は前記リニアアクチュエータの移動を禁止する制御部と
    を具備する着磁装置。
  2. 永久磁石材料に近接して着磁のための磁気を発する第一の着磁面と、
    前記第一の着磁面と所定の距離である第一のギャップと、前記第一のギャップと隣接して形成される前記第一のギャップより広い幅の第一の穴を介して隣接し、前記第一の着磁面が発する磁極と逆の磁極の磁気を発する第二の着磁面と、
    前記第二の着磁面と前記第一のギャップと等しい距離である第二のギャップと、前記第二のギャップと隣接して形成される前記第二のギャップより広い幅の第二の穴を介して隣接し、前記第二の着磁面が発する磁極と逆の磁極の磁気を発する第三の着磁面と
    を備えるヨークと、
    前記第一の穴と前記第二の穴に通過するコイル線と
    よりなる着磁ヘッド。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011249565A (ja) * 2010-05-27 2011-12-08 Mglab Co Ltd 着磁装置及び着磁ヘッド
WO2018056256A1 (ja) * 2016-09-20 2018-03-29 Ntn株式会社 磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58188107A (ja) * 1982-04-27 1983-11-02 Maguetsukusu:Kk 自動着磁方法
JPS624109U (ja) * 1985-06-21 1987-01-12
JPS63250520A (ja) * 1987-04-06 1988-10-18 Dai Ichi Seiko Co Ltd 磁気目盛の着磁方法
JPS63159810U (ja) * 1987-04-09 1988-10-19
JPH02224305A (ja) * 1989-02-27 1990-09-06 Apollo Iryoki Kk 磁気治療用柔軟性プラスチック複合線状磁性体の着磁方法及び着磁装置
JPH0391906A (ja) * 1989-08-30 1991-04-17 Torrington Co:The 磁化可能な物体上に磁化された帯域を形成する方法と装置
JPH08279415A (ja) * 1995-04-06 1996-10-22 Daido Steel Co Ltd 多極着磁用ヨーク
JP2003059718A (ja) * 2001-06-08 2003-02-28 Nok Corp 着磁装置及びこれを用いた回転着磁方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58188107A (ja) * 1982-04-27 1983-11-02 Maguetsukusu:Kk 自動着磁方法
JPS624109U (ja) * 1985-06-21 1987-01-12
JPS63250520A (ja) * 1987-04-06 1988-10-18 Dai Ichi Seiko Co Ltd 磁気目盛の着磁方法
JPS63159810U (ja) * 1987-04-09 1988-10-19
JPH02224305A (ja) * 1989-02-27 1990-09-06 Apollo Iryoki Kk 磁気治療用柔軟性プラスチック複合線状磁性体の着磁方法及び着磁装置
JPH0391906A (ja) * 1989-08-30 1991-04-17 Torrington Co:The 磁化可能な物体上に磁化された帯域を形成する方法と装置
JPH08279415A (ja) * 1995-04-06 1996-10-22 Daido Steel Co Ltd 多極着磁用ヨーク
JP2003059718A (ja) * 2001-06-08 2003-02-28 Nok Corp 着磁装置及びこれを用いた回転着磁方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011249565A (ja) * 2010-05-27 2011-12-08 Mglab Co Ltd 着磁装置及び着磁ヘッド
WO2018056256A1 (ja) * 2016-09-20 2018-03-29 Ntn株式会社 磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法
JP2018049871A (ja) * 2016-09-20 2018-03-29 Ntn株式会社 磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法

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