JP2011119601A - 電子部品用パッケージ、電子部品装置、及び電子部品用パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
低コストで作製可能な電子部品用パッケージ、電子部品装置、及び電子部品用パッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】
開口部によって開口される空洞部を有する容器と、前記容器の壁部を貫通して前記容器の内外にわたって配設されるリードフレームと、電磁シールド構造を有し、前記容器の前記開口部に蓋をする蓋部とを有し、前記空洞部内に電子部品が配設される電子部品用パッケージであって、前記壁部の前記空洞部側の内壁に沿って、前記リードフレームのうちの所定電位のラインと前記開口部との間に形成される溝部と、前記溝部内で前記蓋部と前記所定電位のラインとを接続する導電部とを含む。
【選択図】図2
Description
図2は、実施の形態1の電子部品装置を示す図であり、(A)は製造段階における平面図、(B)は完成状態を示す平面図、(C)は製造段階における断面構造を示す図、(D)は完成状態の断面構造を示す図である。図2(C)、(D)の断面構造は、図2(A)、(B)における矢視A−A’断面に相当する。
図5は、実施の形態2の電子部品装置を示す図であり、(A)は製造段階における平面図、(B)は製造段階における断面構造を示す図、(C)は完成状態の断面構造を示す図である。図5(B)、(C)の断面構造は、図5(A)における矢視A−A’断面に相当する。なお、完成後の平面図は、図2(B)に示す実施の形態1の電子部品装置10と同一であるため省略する。
3 ハウジング
3A 開口部
3B 空洞部
3C、23C 側壁
3D、23D 溝部
4 蓋部
4A 下面
5 リードフレーム
5A GNDライン
5B 電源ライン
5C 信号ライン
6A、6B、6C ワイヤ
10、20 電子部品装置
11、21 導電性樹脂
12、22 導電部
13、14 接着剤
Claims (7)
- 開口部によって開口される空洞部を有する容器と、前記容器の壁部を貫通して前記容器の内外にわたって配設されるリードフレームと、電磁シールド構造を有し、前記容器の前記開口部に蓋をする蓋部とを有し、前記空洞部内に電子部品が配設される電子部品用パッケージであって、
前記壁部の前記空洞部側の内壁に沿って、前記リードフレームのうちの所定電位のラインと前記開口部との間に形成される溝部と、
前記溝部内で前記蓋部と前記所定電位のラインとを接続する導電部と
を含む、電子部品用パッケージ。 - 前記導電部は、前記蓋部の前記開口部に接する面に付着された熱可塑性の導電性部材が軟化されて前記溝部内で前記蓋部と前記所定電位のラインを接続することによって形成される、請求項1に記載の電子部品用パッケージ。
- 前記溝部は、前記開口部から前記所定電位のライン側にかけて傾斜している、請求項1又は2に記載の電子部品用パッケージ。
- 前記溝部は、前記開口部から前記所定電位のライン側にかけて溝幅が狭くされる、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子部品用パッケージ。
- 請求項1乃至4のいずれか記載の電子部品用パッケージと、
前記電子部品用パッケージの前記空洞部内に配設される電子部品と
を含む、電子部品装置。 - 開口部によって開口される空洞部を有する容器と、前記容器の壁部を貫通して前記容器の内外にわたって配設されるリードフレームと、電磁シールド構造を有し、前記容器の前記開口部に蓋をする蓋部とを有し、前記空洞部内に電子部品が配設される電子部品用パッケージの製造方法であって、
前記壁部の前記空洞部側の内壁に沿って、前記リードフレームのうちの所定電位のラインと前記開口部との間に溝部を形成する工程と、
前記溝部内で前記蓋部と前記所定電位のラインとを導電部で接続する工程と
を含む、電子部品用パッケージの製造方法。 - 前記蓋部の下面の前記溝部に接する部分に熱可塑性の導電性部材を塗布する工程と、
前記導電性部材を軟化させる加熱工程と
をさらに含む、請求項6に記載の電子部品用パッケージの製造方法。
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WO2018207682A1 (ja) * | 2017-05-10 | 2018-11-15 | 株式会社村田製作所 | 電子回路モジュールの製造方法および電子回路モジュール |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11312889A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Kinseki Ltd | 電子部品容器 |
JP2003258141A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Nec Compound Semiconductor Devices Ltd | 電子部品及びその製造方法 |
JP2006128324A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Mitsui Chemicals Inc | パッケージおよびそれを用いた光素子 |
JP2009038053A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体センサ装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11312889A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Kinseki Ltd | 電子部品容器 |
JP2003258141A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Nec Compound Semiconductor Devices Ltd | 電子部品及びその製造方法 |
JP2006128324A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Mitsui Chemicals Inc | パッケージおよびそれを用いた光素子 |
JP2009038053A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体センサ装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018207682A1 (ja) * | 2017-05-10 | 2018-11-15 | 株式会社村田製作所 | 電子回路モジュールの製造方法および電子回路モジュール |
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