JP2011112521A - 質量分析装置および分析方法 - Google Patents
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Abstract
デバイス等の不良原因となる数μmの難揮発性の有機微小異物を高感度に分析できる熱分解質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
加熱プローブ2によって気化した試料をイオン源4に導入し,イオン化された試料を質量/電荷比ごとに分離して検出する質量分析技術において,加熱プローブ2を筒型の気体捕集機構3で覆い,気化した試料を気体捕集機構3によって効率よくイオン源4へ導くことにより,従来は拡散して無駄になっていた試料成分も分析に寄与できるようにした。これにより従来より高感度でS/Nのよい質量分析が可能となる。
【選択図】 図1
Description
(1)試料以外のコンタミ成分をなるべくイオン化させない。
(2)気化した試料成分をなるべく多くイオン化させる。
ことが重要である。
(式1)
τ=τ0exp(Ed/kT)
で与えられる。ここで,各文字は下記の通りである。
Ed:脱離の活性化エネルギ
k:ボルツマン定数
T:温度
すなわち脱離の活性化エネルギが小さいほど低温でも滞留時間が短く速やかに脱離するが,脱離の活性化エネルギが大きい分子は滞留時間が長くなり,速やかな脱離が阻害され分析に寄与し難くなる。したがって脱離に活性化エネルギの大きな試料ほど筒型捕集機構を加熱する効果が大きい。通常,分子量の大きな分子ほど脱離の活性化エネルギが大きい。例えば,分子量100と分子量200の分子とで比較をすると,300Kでは分子量100の分子の滞留時間が1E−4s以下なのに対し,分子量200では1E6s以上となる。分析は時間当たりのシグナル量の変化を観察することになるので,最初のシグナルが検出されてから1s以内に検出されなければ現実的には分析はできないため,分子量200の分子の分析では筒型捕集機構の効果は小さい。一方,温度を500Kとすると,分子量100で滞留時間は1E−7s以下,分子量200では0.1s程度である。この場合,分子量200の分子でも十分分析感度の向上に寄与できる。
Claims (12)
- 試料を保持する試料保持部材と,
前記試料を保持した保持部材を加熱し,前記試料を気化させる第一の加熱手段と,
前記気化した試料をイオン化するためのイオン源と,
前記イオン化した試料をを搬送するためのイオン搬送光学系と,
前記イオン化し搬送された試料を質量/電荷比に応じて分離し検出する質量分析計を備えた質量分析装置において,
前記気化した試料を前記イオン源へ導くための気化試料捕集手段を備えたことを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載の質量分析装置において,
前記気化試料捕集手段は,前記保持部材に保持された試料を囲むように配置され,前記イオン源の方向に第一の開口部を有することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項2に記載の質量分析装置において,
前記気化試料捕集手段は,筒型であることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項2に記載の質量分析装置において,
前記気化試料捕集手段を加熱するための第二の加熱手段を,前記第一の加熱手段とは別に有することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項4に記載の質量分析装置において,
前記試料を加熱する第一の加熱手段と前記気化試料捕集手段を加熱する第二の加熱手段とは,異なるタイミングで加熱を行なうことを特徴とする質量分析装置。 - 請求項4に記載の質量分析装置において,
加熱時における前記気化試料捕集手段の温度は,前記試料保持手段の最高温度よりも低いことを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載の質量分析装置において,
前記第一の加熱手段は金属ワイヤを有し,
前記金属ワイヤに通電し発生するジュール熱を用いて前記試料を加熱することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載の質量分析装置において,
前記気化試料捕集手段は,第二の開口部を有し,
当該第二の開口部より入射した光により前記試料が加熱されることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項8に記載の質量分析装置において,
前記試料を加熱するための光がレーザ光であることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項8に記載の質量分析装置において,
前記第二の開口部は,前記保持された試料に対して,前記イオン源とは反対側に設けられていることを特徴とする質量分析装置。 - 保持部材に保持された試料を加熱して気化する工程と,
前記気化した試料をイオン源によりイオン化する工程と,
生成したイオンを搬送する工程と,
前記搬送されたイオンを質量/電荷比に分離し検出する工程と,
を有する質量分析方法において,
前記保持部材は,前記イオン源の方向に第一の開口部を有する気化試料捕集手段により囲まれた状態で試料の気化を行なうことを特徴とする質量分析方法。 - 請求項11に記載の質量分析方法において,
前記気化試料捕集手段を加熱した状態で,前記試料を加熱して気化させることを特徴とする質量分析方法。
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