JP2011103387A - 半導体製造装置及び半導体処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマによる処理を行う半導体製造装置及び半導体処理方法において、プロセス条件ごとにプラズマ発光を観測する発光ピックアップ11の観測方向や観測位置を可変とするピックアップ駆動手段111を設けて、条件に応じた最適な方向および位置での観測を単一の発光ピックアップにて行う。
【選択図】図2
Description
2 ソレノイドコイル
3 ソレノイドコイル
4 ソレノイドコイル用直流電源
5 ソレノイドコイル用直流電源
6 圧力コントローラ
7 電極
8 静電吸着電源
9 高周波バイアス電源
10 半導体ウェハ
11 発光ピックアップ
12 発光分光分析器
13 装置コントローラ
14 プロセスガス流量コントローラ
15 プロセスガス
16 ECRプラズマ
111 ピックアップ駆動手段
1111 モータドライバ
1112 エンコーダ付ステッピングモータ
1113 回転機構
Claims (6)
- プラズマ発光分光により終点判定を行う手段を備える半導体製造装置において、
プラズマ発光をピックアップする方向や位置を可変する手段を有することを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1に記載の半導体製造装置において、前記可変手段は発光ピックアップを固定した回転機構と、前記回転機構を駆動する手段を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
- 請求項2に記載の半導体製造装置において、前記回転機構の回転軸を、半導体ウェハを載置する電極の半径方向と垂直とし、前記発光ピックアップの光軸先端が前記電極の中央から外周部に可変とすることを特徴とする半導体製造装置。
- 請求項2に記載の半導体製造装置において、装置コントローラは単一あるいは複数の処理ステップからなる一連の機器パラメータ設定を行い、前記パラメータ設定に前記回転機構への設定信号を含むことを特徴とする半導体製造装置。
- プラズマ発光分光により終点判定を行う半導体処理方法において、プラズマ発光をピックアップする方向や位置を処理ステップごとに可変することを特徴とする半導体処理方法。
- 請求項5に記載の半導体処理方法において、前記プラズマ発光による発光強度の様々な分布に応じて、中央部の発光強度が比較的強いプロセス条件では前記プラズマ発光をピックアップする方向を中央部に向け、外周部の発光強度が比較的強い条件では前記プラズマ発光をピックアップする方向を外周部に向けて、発光ピックアップが固定の場合に比べて、幅広く終点判定可能とすることを特徴とする半導体処理方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH054467U (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-22 | 国際電気株式会社 | エツチング終点検出装置 |
JPH05206078A (ja) * | 1992-01-29 | 1993-08-13 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JPH05206076A (ja) * | 1992-01-29 | 1993-08-13 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH10294305A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法及び装置 |
-
2009
- 2009-11-11 JP JP2009257963A patent/JP5424823B2/ja not_active Expired - Fee Related
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