JP2011101499A - 発電装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】多方向の外部振動を効率的に発電に利用可能な発電装置並びにこの発電装置を搭載した電気機器及び通信装置を得られるようにする。
【解決手段】発電装置は、第1の部材15に設けられた第1の電極5と、第1の電極5と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材14に設けられた第2の電極6とを有し、第1の部材15は、第2の部材14の内側に配置されており、第2の部材14は可動である。
【選択図】図1
【解決手段】発電装置は、第1の部材15に設けられた第1の電極5と、第1の電極5と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材14に設けられた第2の電極6とを有し、第1の部材15は、第2の部材14の内側に配置されており、第2の部材14は可動である。
【選択図】図1
Description
本発明は、発電装置及び発電装置を搭載する電気機器に関し、特に、エレクトレット材料を用いた静電誘導型発電装置及びこの発電装置を搭載する電気機器に関する。
従来、小型の静電誘導型発電装置が知られている。静電誘導型発電装置は、可変容量の電極に電荷を与え、その電荷により対向電極間にクーロン引力を働かせ、このクーロン引力に抗して振動子が振動することにより発生した振動エネルギーを電気エネルギーに変換することによって、発電を行う(例えば、特許文献1を参照。)。
図20(a)は特許文献1に開示された従来の静電誘導型発電装置の概略上面図であり、図20(b)は図20(a)の発電装置の2A−2A線に沿った概略断面図であり、図20(c)は図20(a)の発電装置の2B−2B線に沿った概略断面図である。
図20(a)〜(c)に示すように、この静電誘導型発電装置は、いわゆるエレクトレット発電装置であり、櫛形のエレクトレット材料電極102と可動電極105とが互いに所定の間隔を隔てて配置されている。可動電極105及び可動基板104は、不動基板101の上に設けられた固定構造体103a、103bにバネ駆動体106a、106bのような弾性部材を介して連結されている。2種類のバネ駆動体106a、106bを組み合わせることにより、可動基板104はXY平面内の任意の方向に運動できる。このバネがX軸方向又はY軸方向に振動することにより、電荷を保持しているエレクトレット材料電極102と、エレクトレット材料電極102に対向する可動電極105との重なり面積の増減が生じ、可動電極105に電荷の変化が生じる。静電誘導型発電装置は、この電荷の変化を電気エネルギーとして取り出すことにより発電を行う。
また、他の発電装置を説明する例として、例えば、特許文献2及び特許文献3等が挙げられる。
しかしながら、従来の静電誘導型発電装置では、可動基板はX軸方向又はY軸方向にのみ振動する。そのため、この静電誘導型発電装置は、X軸方向又はY軸方向以外の方向への外部振動を発電に利用することができなかった。
本発明は、前記従来の問題に鑑み、その目的は、多方向の外部振動を効率的に発電に利用可能な発電装置並びにこの発電装置を搭載した電気機器及び通信装置を得られるようにすることにある。
前記の目的を達成するために、本発明の発電装置は、第1の部材に設けられた第1の電極と、第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、第1の部材は、第2の部材の内側に配置されており、第2の部材は可動であることを特徴とする。
また、本発明の発電装置は、第1の部材に設けられた第1の電極と、第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、第2の部材は、外縁部に重りを有することを特徴とする。
また、本発明の発電装置は、第1の部材に設けられた第1の電極と、第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、第2の部材の中心近傍における単位体積あたりの質量と比較して、第2の部材の外縁部の単位体積あたりの質量が大きいことを特徴とする。
また、本発明の発電装置は、第1の部材に設けられた第1の電極と、第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、第2の部材を第1の部材に向かって上から投影した部分と第1の部材との重なり部分における重心から第1の部材の中心近傍までの距離よりも、第2の部材の重心から第2の部材における第1の部材の中心近傍に対向する部分までの距離のほうが長いことを特徴とする。
本発明に係る発電装置によると、多方向の外部振動を効率的に発電に利用可能な発電装置並びにこのような発電装置を搭載した電気機器及び通信装置を得ることができる。
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態に係る発電装置について、図1及び図2を参照しながら説明する。また、本発明の以下の実施形態において、用いている材料及び数値は、好ましい例を例示しているだけであり、この形態に限定されることはない。また、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲において、便宜変更は可能である。
本発明の第1の実施形態に係る発電装置について、図1及び図2を参照しながら説明する。また、本発明の以下の実施形態において、用いている材料及び数値は、好ましい例を例示しているだけであり、この形態に限定されることはない。また、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲において、便宜変更は可能である。
図1(a)及び(b)並びに図2(a)に示すように、第1の部材15は、第1の基板1及び第2の基板2から構成されている。また、第2の部材14は、第3の基板3及び第4の基板4から構成されている。第1の部材15及び第2の部材14の詳細については後述する。
図1(a)及び(b)に示すように、第1の部材15を上から見た形状は、略円形であり、第2の部材14を上から見た形状は、略円形である第1の部材15の半径よりも大きな半径を持った略円形形状の一部からなる略扇形である。
また、図1(a)に示すように、第1の部材15及び第2の部材14は、第1の部材15の中心付近において軸10と軸受け11とによって接続されている。ここで、第2の部材14は、軸10を中心として、第2の部材14の面方向に、第1の部材15に対して相対的に平面方向に回転可能な構造となっている。
第1の部材15と第2の部材14とを軸10により接続する際に、第1の部材15は第2の部材14から一部をくり抜いた溝部に配置される。すなわち、第1の部材15と第2の部材14とを組み合わせたときに、その断面を見ると、図2(a)に示すように、第1の部材15は第2の部材14よりも内側に配置される。
ここで、第2の部材14は、扇形に限定されるものではない。例えば、半円形でもよい。発電効率の点から考えると、第2の部材14は回転錘であることが望ましい。回転錘とは、回転軸から重心の位置がずれているものを指し、回転軸からずれる距離が遠くなるほど、遠心力による影響を受けやすく、振動のエネルギーを吸収しやすくなる。第2の部材14が回転錘であることによって微小な振動でも振れやすくなり、発電効率が向上する。すなわち、第2の部材14の重心の位置が回転軸からずれる距離が遠いほど、発電効率が増加する。第2の部材14は上から見たときに円形又は扇形で重心が回転軸からずれている錘であってもよい。例えば、第2の部材14の外縁部に重りを付加した構成であってもよい。
次に、第1の部材15及び第2の部材14の詳細を説明する。
図2(a)に示すように、第1の部材15は、例えば、クロム及びニッケルを含むステンレス合金等からなる第1の基板1と、例えばプリント基板である第2の基板2とを組み合わせた構造から構成されている。
また、第2の部材14は、例えば、クロム及びニッケルを含むステンレス合金等からなる第3の基板3と、例えばプリント基板である第4の基板4とを組み合わせた構造から構成されている。ここで、第4の基板4は、第3の基板3の面上で、且つ、第1の部材15と対向する側に設置されている。さらに、第4の基板4は、第3の基板3における図1(a)及び(b)の領域Bとして示す部分に設置されている。
第1の部材15の一部である第2の基板2の、第2の部材14に対向する面には、図1(a)及び(b)に示すように、中心近傍から外周方向に向かって延びるような略扇形の第1の電極5が一定の回転角度分の間隔を空けて複数形成されている。なお、略扇形の第1の電極5は発電効率の点から複数個形成されていることが好ましいが、1つでもよい。
第2の部材14の一部である第4の基板4の、第1の部材15に対向する面には、第1の電極5と同様の回転角度分の間隔を空けて第2の電極6が形成されている。また、第1の電極5と第2の電極6との間における第2の電極6側には、エレクトレット材7が形成されている。第2の電極6とその上に形成されているエレクトレット材7とは、第1の電極5のような略扇形のストライプ構造のうち、一部を切り取ったような形状であり、第1の部材15に形成された第1の電極5とちょうど重なるように第2の電極6とエレクトレット材7が形成されている。図1(b)における符号6、7が第2の電極6とエレクトレット材7とが形成されている部分であり、実際には第1の部材15に対向する面に形成されている。
なお、第2の部材14が軸10を中心に回転することによって、第1の電極5の形成部とエレクトレット材7の形成部の重なり部分はずれていき、一定の回転角分ずれると再び重なるようになっている。
なお、本実施形態では第1の部材15が第1の基板1及び第2の基板2から構成されている例を示したが、第1の部材15の構成はこれに限定されない。すなわち、一つの基板により構成されていてもよいし、2以上の基板又はスペーサー等から構成されていてもよい。同様に、第2の部材14は一つの基板により構成されていてもよいし、2以上の基板又はスペーサー等から構成されていてもよい。
また、第1の部材15と第2の部材14との間に、第1の部材15又は第2の部材14に接触する第3の部材を設置してもよい。例えば、第1の部材15の外縁部で、且つ、第2の部材14に対向する面上に第3の部材として突起を形成する。このとき、この突起の厚さは、第1の電極5、第4の基板4、第2の電極6及びエレクトレット材7の厚みを足した厚さよりも大きい方が好ましい。この第3の部材が配置されていると、電極とエレクトレット材との間に働くクーロン力によって第1の電極5とエレクトレット材7とが張り付いてしまうことを防止することができる。この構成は、特に電極とエレクトレット材との間の距離が50μm以下程度と小さいときにより効果的である。
さらに、この第3の部材は回転可能な略球状から構成されることが望ましい。略球状の部材を第1の部材15と第2の部材14との間に設置する場合、図2(b)に示すように、第2の部材14は第3の基板3と第4の基板4とスペーサー8とから構成されており、スペーサー8には溝部が形成されている。また、この溝部に略球状の部材9が接触している。
なお、部材9は耐摩耗性材料又は超硬合金材料から形成されていることが好ましく、通常、Al2O3、Si3N4、ZrO2又はタングステンカーバイド等の材料から構成される。部材9が略球状であることにより、第2の部材14は回転による摩擦が低減され、発電効率を向上させることができる。また、部材9が耐摩耗性材料又は超硬材料であることによって、より摩擦に強い耐久性のある構造とすることができる。
また、スペーサー8に形成される溝部は、下側から見た場合に、第1の部材15の外縁に沿ってある範囲分の長さを有し、部材9が略球状の部材である場合にはその範囲の間において回転しながら移動可能であることが好ましい。また、このような溝部は部材9の数に応じて複数あることが好ましい。ここで、第1の部材15を上から見た形状が円状であれば、スペーサー8に形成された溝部は、円弧状である。また、このようにスペーサー8の溝部に略球状の部材9を組み合わせた構造は、ベアリング構造と呼ぶことも可能であり、ベアリング構造は略球状の部材9が回転できればよく、例えば円柱でもよいし、本実施形態の構成に限定されない。また、溝部に部材9が設置されたスペーサー8は第1の部材15に形成されていてもよい。
なお、溝部は必ずしもスペーサー8に形成されている必要はなく、第1の部材15のうち第2の部材14と対向する面に形成されていればよい。
また、スペーサー8は第1の部材15と第2の部材14との間にあればよく、必ずしも外縁部でなくともよい。
ここで、エレクトレット材7は、例えばシリコン酸化膜等の絶縁膜からなり、シリコン窒化膜等のエレクトレット材7よりも引張り応力の大きい絶縁膜により覆われていることが好ましい。シリコン酸化膜をシリコン窒化膜により覆うことによって、シリコン酸化膜部に注入される電荷を抜けにくくすることができ、発電効率を高めることができる。なお、電荷を抜けにくくするためには、エレクトレット材7の側面、下面及び上面が完全にシリコン窒化膜により覆われていることが好ましい。
また、エレクトレット材7は、例えばシリコン酸化膜ではなく、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)膜により形成してもよい。PZTは強誘電特性を有するため、分極すれば、エレクトレット材となる。PZT膜の最表面に電荷が存在するので、対向する電極に対して電荷の中心がもっとも近くなる。これによって静電誘導により得られる電荷量が増え、発電効率を向上させることができる。
ここで、本実施形態では第2の部材14にエレクトレット材7を配置したが、第1の部材15にエレクトレット材7を配置しても構わない。
なお、エレクトレット材は、絶縁体の中に電荷を保持したものであるが、材料の持つ絶縁耐圧を超えて電荷を保持することはできない。従って必要な電荷量に対応して厚さを制御する必要がある。絶縁耐圧の低い材料では相対的に厚みが増し、電荷の中心と、対向電極との距離が相対的に遠くなるのため、発電効率が低下する傾向にある。そのため、絶縁耐圧の高いシリコン酸化膜等が有効であり、発電効率が大きくなる。
また、発電量を増加させるためには、第1の電極5と厚さが2μm〜3μm程度であるエレクトレット材7との距離は短いほうがよく、50μm以下程度であることが好ましい。また、そのためには、厚さがそれぞれ0.5μm程度であり、材料がそれぞれ金及びポリシリコン等からなる第1の電極5と第2の電極6との距離が50μm以下程度であることが好ましい。ただし、これらの数値は好ましい値を例示したにすぎず、この数値に限定されるものではない。
次に、第1の実施形態に係る発電装置に外部振動が与えられたときの第2の部材14の動きを、図3を参照しながら説明する。
図3に示すように、第1の部材15を上側から見た形状は略円形であり、第2の部材14を上側から見た形状は、略円形である第1の部材15の半径よりも大きな半径を持った略円形の一部からなる略扇形である。第2の部材14は、軸10を中心軸として第1の回転方向12及び第2の回転方向13に回転可能である。第2の部材14は回転錘であることが好ましい。第2の部材14が錘であることによって、小さな力でも効率的に振動することができる。
ここで、外部からの振動が小さい場合には、第2の部材14は、重力方向(Y軸方向)を中心に、第1の回転方向12に向かい、あるところから第2の回転方向13に向かうというような振り子運動をすることとなる。一方、外部からの振動が大きい場合には、第2の部材14は、第1の回転方向12又は第2の回転方向13に回転し続けるような運動をすることとなる。
また、第1の部材15は固定されているため、第2の部材14のように、外部振動に呼応した回転運動は生じない。
次に、第1の実施形態に係る発電装置に外部振動が与えられたときの、発電のメカニズムについて説明する。
まず、外部振動が発電装置に加わると、第2の部材14の振動に呼応して、第2の電極6も軸10を中心軸として第1の回転方向12又は第2の回転方向13に回転する。すると、固定されている第1の部材15に配置されている第1の電極5と、第1の回転方向12又は第2の回転方向13に振動するエレクトレット材7との重なり面積に増減が生じるため、第1の電極5に誘起される電荷に変化が生じることとなる。この電荷の変化による電流を電気エネルギーとして外部に取り出すことにより発電を行う。
第1の実施形態に係る発電装置によると、第2の部材14の回転に呼応する第1の電極5に生じる電荷の変化を、電気エネルギーとして取り出すことが可能となる。そのため、従来技術と比較して、平面内のあらゆる方向の振動も発電に利用することができる効果がある。
また、第1の実施形態に係る発電装置によると、第2の部材14が略扇形であり、且つ、第1の部材15よりも外側にまで第2の部材14が存在していることにより、第2の部材14の重心は軸10よりも外縁部に近い位置となり、効率よく発電させることができるという効果がある。
ここで、第2の部材14の重心について図4を参照しながら詳しく説明する。
図4(a)は、略扇形の第2の部材14の頂点(第1の部材15の中心近傍に対向する部分)と略円形の第1の部材15の中心とを重ね合わせて、第2の部材14を第1の部材15に投影させた状態を示している。また、図4(b)は、図4(a)のように、第2の部材14を第1の部材15に向かって上から投影した部分と第1の部材15との重なり部分20を示している。この重なり部分20の重心は符号21に位置している。一方、第2の部材14の重心は符号22に位置している。ここで、略扇形の第2の部材14の頂点から重心22までの距離は、略扇形の重なり部分20の頂点(第1の部材15の中心近傍)から重心21までの距離よりも長くなる。従って、第2の部材14の重心22は軸10よりも外縁部に近い位置となっている。このように、第2の部材14の重心22が第2の部材14の外縁部に近づけば近づくほど、第2の部材14が回転したときの遠心力による影響を受けやすく、振動のエネルギーを吸収しやすくなる。そのため、発電効率を向上させることができる。
次に、本発明の第1の実施形態に係る発電装置の製造方法について図5〜図7を参照しながら説明する。
まず、図5(a)及び(b)に示すように、第1の部材15を形成する。第2の基板2に第1の電極5を形成し、第1の基板1に設置する。
同様に、図6(a)及び(b)に示すように、第2の部材14を形成する。第4の基板4に第2の電極6を形成し、その上にエレクトレット材7を形成し、第3の基板3に設置する。ここで、第3の基板3は、略円形の第1の部材15よりも半径が長い略円形から、第1の部材15の面積と同じ又はより大きい面積分をくり抜いた溝部を有する構造であり、その略円形の一定の角度分を切り出した略扇形をしている。第4の基板4は、図6(a)の領域Bとして表す部分の形状をしている。
次に、図7(a)及び(b)に示すように、軸10と軸受け11とを用いて、第1の部材15と第2の部材14とを接続する。このとき、前述した第1の部材15における第1の電極5が形成されている面と、第2の部材14の第2の電極6及びエレクトレット材7が形成されている面とを対向させる。また、第2の部材14は、第1の部材15に対して相対的に平面方向に回転可能であるように接続されている。
(第1の実施形態の第1の変形例)
本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る発電装置について図8を参照しながら説明する。
本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る発電装置について図8を参照しながら説明する。
第1の実施形態の第1の変形例に係る発電装置は、第1の実施形態に係る発電装置と比較して、第2の部材14の構成が異なり、それ以外の構成は同様である。
具体的には、図8に示すように、第2の部材14の構成を第3の基板3、第4の基板4及び重り16とからなる構成にする。第2の部材14の形状は、第1の実施形態に係る発電装置と同様であるが、第1の実施形態における第3の基板3の外縁部に相当する部分よりも質量が大きい材料からなる重り16が第3の基板3の外縁部に付加されている。別の言い方をすると、第3の基板3(第2の部材14)の回転軸近傍の単位体積あたりの質量と比較して、第3の基板3(第2の部材14)の外縁部近傍の単位体積あたりの質量が大きい構造となっている。
第1の実施形態の第1の変形例によると、第2の部材14の重心が外縁部の方向に傾き、微小な振動でも振れやすくなり、発電効率が向上する効果がある。
(第1の実施形態の第2の変形例)
本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る発電装置について図9及び図10を参照しながら説明する。
本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る発電装置について図9及び図10を参照しながら説明する。
第1の実施形態の第2の変形例に係る発電装置は、第1の実施形態の第1の変形例に係る発電装置と比較して、重り16の位置が異なり、それ以外の構成は、同様である。
具体的には、図9(a)及び(b)並びに図10に示すように、重り16は、第3の基板3の平面方向に延びるような位置に設けられている。このような形態であったとしても、第1の実施形態の第1の変形例に係る発電装置と同様な効果を得ることが可能である。
(第1の実施形態の第3の変形例)
本発明の第1の実施形態の第3の変形例に係る発電装置について図11を参照しながら説明する。
本発明の第1の実施形態の第3の変形例に係る発電装置について図11を参照しながら説明する。
第1の実施形態の第3の変形例に係る発電装置は、第1の実施形態に係る発電装置と比較して、第1の電極5、第2の電極6及びエレクトレット材7の配置が異なり、それ以外の構成は、同様である。
具体的には、図11に示すように、第1の電極5、第2の電極6及びエレクトレット材7の形状を、それぞれブロック形状として、千鳥状に配置してもよい。
言い換えれば、第1の部材15と第2の部材14との関係において、ブロック形状の第1の電極5、ブロック形状の第2の電極6及びブロック形状のエレクトレット材7がそれぞれ、第1の部材15の中心(回転軸)近傍から外周方向に向かって延びるように複数配置されることとなる。また、第2の電極6とその上に形成されたエレクトレット材7とは、第1の電極5と重なるように対向して配置される。
図11に示す領域Bの範囲に第4の基板4とその上に形成された第2の電極6及びエレクトレット材7が配置されている。実際には、第2の部材14のうち、第1の部材15と対向する面上に第4の基板4は配置されている。
(第1の実施形態の第4の変形例)
本発明の第1の実施形態の第4の変形例に係る発電装置について図12を参照しながら説明する。
本発明の第1の実施形態の第4の変形例に係る発電装置について図12を参照しながら説明する。
第1の実施形態の第4の変形例に係る発電装置は、第1の実施形態に係る発電装置と比較して、第1の電極5、第2の電極6及びエレクトレット材7を上から見たときの形状が異なり、それ以外の構成は同様である。
具体的には、図12に示すように、第1の電極5、第2の電極6及びエレクトレット材7の形状をそれぞれ渦巻き形状とする。図12においては、簡略化のために、渦巻き形状を線状にて記載しているが、発電効率の観点から、第1の電極5、第2の電極6及びエレクトレット材7は、それぞれある程度の幅を持っている。
以上のように電極及びエレクトレット材を配置することにより、電極が渦巻き状に一続きになっているため、それぞれの電極ブロック間の接続が必要なく、最外周部で容易に外部配線と接続することができる効果がある。
(第2の実施形態)
以下、本発明の第2の実施形態に係る発電装置について、図13及び図14を参照しながら説明する。また、本発明の以下の実施形態において、用いている材料及び数値は好ましい例を例示しているだけであり、この形態に限定されることはない。また、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲において、便宜変更は可能である。
以下、本発明の第2の実施形態に係る発電装置について、図13及び図14を参照しながら説明する。また、本発明の以下の実施形態において、用いている材料及び数値は好ましい例を例示しているだけであり、この形態に限定されることはない。また、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲において、便宜変更は可能である。
図13(a)及び(b)並びに図14(a)に示すように、第1の部材15は、第1の基板1及び第2の基板2から構成されている。また、第2の部材14は、第3の基板3、第4の基板4及び重り16から構成されている。第1の部材15及び第2の部材14の詳細については後述する。
図13(a)及び(b)に示すように、第1の部材15を上から見た形状は略円形であり、第2の部材14を上から見た形状は、略円形の第1の部材15からある角度分を切り取った略扇形である。
また、図13(a)に示すように、第1の部材15及び第2の部材14は、第1の部材15の中心付近において軸10と軸受け11とによって接続されている。ここで、第2の部材14は、軸10を中心として、第2の部材14の面方向に、第1の部材15に対して相対的に平面方向に回転可能な構造となっている。
ここで、第2の部材14は、扇形に限定されるものではない。例えば、半円形でもよい。
次に、第1の部材15及び第2の部材14の詳細について説明する。
図14(a)に示すように、第1の部材15は、例えば、クロム及びニッケルを含むステンレス合金等からなる第1の基板1と、例えばプリント基板である第2の基板2とを組み合わせた構造から構成されている。
また、第2の部材14は、例えば、クロム及びニッケルを含むステンレス合金等からなる第3の基板3と、例えばプリント基板である第4の基板4と、重り16とを組み合わせた構造から構成されている。重り16は、第3の基板3よりも質量が大きい材料から形成されており、第3の基板3の外縁部に付加されている。ここで、第4の基板4は、第3の基板3の面上で、且つ、第1の部材15と対向する側に設置されている。さらに、第4の基板4は略扇形をした第3の基板3における図13(a)及び(b)の領域Bとして示す部分に設置されている。
第1の部材15の一部である第2の基板2の、第2の部材14に対向する面には、図13(a)及び(b)に示すように、中心近傍から外周方向にむかって延びるような略扇形の第1の電極5が一定の回転角度分の間隔を空けて複数形成されている。なお、略扇形の第1の電極5は発電効率の点から複数個形成されていることが好ましいが、1つでもよい。
第2の部材14の一部である第4の基板4の、第1の部材15に対向する面には、第1の電極5と同様の回転角度分の間隔を空けて第2の電極6が形成されている。第1の電極5と第2の電極6との間における第2の電極6側には、エレクトレット材7が形成されている。第2の電極6とその上に形成されているエレクトレット材7とは、第1の電極5のような略扇形のストライプ構造のうち、一部を切り取ったような形状であり、第1の部材15に形成された第1の電極5とちょうど重なるように第2の電極6とエレクトレット材7が形成されている。図13(b)における符号6が第2の電極6とエレクトレット材7とが形成されている部分であり、実際には第1の部材15に対向する面に形成されている。
なお、第2の部材14が軸10を中心に回転することによって、第1の電極5の形成部とエレクトレット材7の形成部との重なり部分はずれていき、一定の回転角分ずれると再び重なるようになっている。
なお、本実施形態では第1の部材15が第1の基板1と第2の基板2から構成されている例を示したが、第1の部材15の構成はこれに限定されない。すなわち、一つの基板により構成されていてもよいし、2以上の基板又はスペーサー等から構成されていてもよい。同様に、第2の部材14は一つの基板により構成されていてもよいし、2以上の基板又はスペーサー等から構成されていてもよい。
また、第1の部材15と第2の部材14との間に、第1の部材15又は第2の部材14に接触する第3の部材を設置してもよい。例えば、第1の部材15の外縁部で、且つ、第2の部材14に対向する面上に第3の部材として突起を形成する。このとき、この突起の厚さは、第1の電極5、第4の基板4、第2の電極6及びエレクトレット材7の厚みを足した厚さよりも大きい方が好ましい。この第3の部材が配置されていると、電極とエレクトレット材との間に働くクーロン力によって第1の電極5とエレクトレット材7とが張り付いてしまうことを防止することができる。この構成は、特に、電極とエレクトレット材との間の距離が50μm以下程度と小さいときにより効果的である。
さらに、この第3の部材は回転可能な略球状から構成されることが望ましい。略球状の部材を第1の部材15と第2の部材14との間に設置する場合、図14(b)に示すように、第2の部材14は第3の基板3、第4の基板4及びスペーサー8から構成されており、スペーサー8には溝部が形成されている。また、この溝部に略球状の部材9が接触している。
なお、部材9は耐摩耗性材料又は超硬合金材料から形成されていることが好ましく、通常、Al2O3、Si3N4、ZrO2又はタングステンカーバイド等の材料から構成される。部材9が略球状であることにより、第2の部材14は回転による摩擦が低減され、発電効率を向上させることができる。また、部材9が耐摩耗性材料又は超硬材料であることによって、より摩擦に強い耐久性のある構造とすることができる。
また、スペーサー8に形成される溝部は、下側から見た場合に、第1の部材15の外縁に沿ってある範囲分の長さを有し、部材9が略球状の部材である場合にはその範囲の間にいて回転しながら移動可能であることが好ましい。また、このような溝部は部材9の数に応じて複数あることが好ましい。ここで、第1の部材15を上から見た形状が円状であれば、スペーサー8に形成された溝部は円弧状である。また、このようにスペーサー8の溝部に略球状の部材9を組み合わせた構造は、ベアリング構造と呼ぶことも可能であり、ベアリング構造は略球状の部材9が回転できればよく、例えば円柱でもよいし、本実施形態の構成に限定されない。また、溝部に部材9が設置されたスペーサー8は第1の部材15に形成されていてもよい。
なお、溝部は必ずしもスペーサー8に形成されている必要はなく、第1の部材15のうち第2の部材14と対向する面に形成されていればよい。
また、スペーサー8は第1の部材15と第2の部材14との間にあればよく、必ずしも外縁部でなくともよい。
ここで、エレクトレット材7は、例えばシリコン酸化膜等の絶縁膜からなり、シリコン窒化膜等のエレクトレット材7よりも引張り応力の大きい絶縁膜により覆われていることが好ましい。シリコン酸化膜をシリコン窒化膜により覆うことによって、シリコン酸化膜部に注入される電荷を抜けにくくすることができ、発電効率を高めることができる。なお、電荷を抜けにくくするためには、エレクトレット材7の側面、下面及び上面が完全にシリコン窒化膜により覆われていることが好ましい。
また、エレクトレット材7は、例えばシリコン酸化膜ではなく、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)膜により形成してもよい。PZTは強誘電特性を有するため、分極すれば、エレクトレット材となる。PZT膜の最表面に電荷が存在するので、対向する電極に対して電荷の中心がもっとも近くなる。これによって静電誘導により得られる電荷量が増え、発電効率を向上させることができる。
ここで、本実施形態では第2の部材14にエレクトレット材7を配置したが、第1の部材15にエレクトレット材7を配置しても構わない。
なお、エレクトレット材は、絶縁体の中に電荷を保持したものであるが、材料の持つ絶縁耐圧を超えて電荷を保持することはできない。従って、必要な電荷量に対応して厚さを制御する必要がある。絶縁耐圧の低い材料では相対的に厚みが増し、電荷の中心と、対向電極との距離が相対的に遠くなるので、発電効率が落ちる傾向にある。そのため、絶縁耐圧の高いシリコン酸化膜等が有効であり、発電効率が大きくなる。
また、発電量を増加させるためには、第1の電極5と厚さが2μm〜3μm程度であるエレクトレット材7との距離は短いほうがよく、50μm以下程度であることが好ましい。また、そのためには、厚さがそれぞれ0.5μm程度であり、材料がそれぞれ金及びポリシリコン等からなる第1の電極5と第2の電極6との距離が50μm以下程度であることが好ましい。ただし、これらの数値は好ましい値を例示したにすぎず、この数値に限定されるものではない。
第2の実施形態に係る発電装置に外部振動が与えられたときの第2の部材14の動きと、発電のメカニズムとは第1の実施形態に係る発電装置と同様であるので、説明を省略する。
第2の実施形態に係る発電装置によると、第2の部材14の回転に呼応する第1の電極5に生じる電荷の変化を、電気エネルギーとして取り出すことが可能となる。そのため、従来技術と比較して、平面内のあらゆる方向の振動も発電に利用することができる効果がある。
また、第2の実施形態に係る発電装置によると、第2の部材14が略扇形であり、且つ、外縁部に重りがあることにより、第2の部材14の重心は軸10よりも外縁部に近い位置となり、効率よく発電させることができる効果がある。
次に、第2の部材14の重心について図15を参照しながら詳しく説明する。
図15(a)は、略扇形の第2の部材14の頂点と略円形の第1の部材15の中心とを重ね合わせて、第2の部材14を第1の部材15に投影させた状態を示している。また、図15(b)は、図15(a)のように、第2の部材14を第1の部材15に向かって上から投影した部分と第1の部材15との重なり部分20を示している。ここで、この重なり部分20の重心は符号21に位置している。一方、第2の部材14の重心は符号23に位置している。
ここで、略扇形の第2の部材14の頂点から重心23までの距離は、略扇形の重なり部分20の頂点から重心21までの距離よりも長くなる。従って、第2の部材14の重心23は軸10よりも外縁部に近い位置となっている。このように、第2の部材14の重心23が第2の部材14の外縁部に近づけば近づくほど、第2の部材14が回転したときの遠心力による影響を受けやすく、振動のエネルギーを吸収しやすくなる。そのため、発電効率を向上させることができる。
(第2の実施形態の第1の変形例)
本発明の第2の実施形態の第1の変形例に係る発電装置について図16及び図17を参照しながら説明する。
本発明の第2の実施形態の第1の変形例に係る発電装置について図16及び図17を参照しながら説明する。
第2の実施形態の第1の変形例に係る発電装置は、第2の実施形態に係る発電装置と比較して、第2の部材14の構成が異なり、それ以外の構成は同様である。
具体的には、図16(a)及び(b)並びに図17に示すように、重り16が第3の基板3の面上で、且つ、第1の部材15と対向する面と反対側に設置されている。
第2の実施形態の第1の変形例によると、第2の部材14の重心が外縁部の方向に傾き、微小な振動でも振れやすくなり、発電効率が向上する効果がある。
(第2の実施形態の第2の変形例)
本発明の第2の実施形態の第2の変形例に係る発電装置について図18を参照しながら説明する。
本発明の第2の実施形態の第2の変形例に係る発電装置について図18を参照しながら説明する。
第2の実施形態の第2の変形例に係る発電装置は、第1の実施形態の第3の変形例に係る発電装置と比較して、第2の部材14の外縁部の位置が異なり、それ以外の構成は同様である。
具体的には、第1の実施形態の第3の変形例に係る発電装置における第2の部材14の外縁部は、第1の部材15の外縁部よりも、上側から見たときに外側に位置している。一方、第2の実施形態の第2の変形例においては、図18に示すように、第2の部材14の外縁部は、第1の部材15の外縁部と同じ位置又は内側に位置している。
第2の実施形態の変形例においても、第1の実施形態の第3の変形例に係る発電装置と同様の効果を得ることが可能である。
(第2の実施形態の第3の変形例)
第2の実施形態の第3の変形例に係る発電装置は、第1の実施形態の第4の変形例に係る発電装置と比較して同様である。第2の実施形態の第3の変形例においても、第1の実施形態の第4の変形例に係る発電装置と同様の効果を得ることが可能である。
第2の実施形態の第3の変形例に係る発電装置は、第1の実施形態の第4の変形例に係る発電装置と比較して同様である。第2の実施形態の第3の変形例においても、第1の実施形態の第4の変形例に係る発電装置と同様の効果を得ることが可能である。
具体的には、図19に示すように、電極及びエレクトレット材の形状をそれぞれ渦巻き形状とする。
なお、本発明は上記の実施形態及び変形例に限定されるものではない。さらに、それぞれの実施形態及び変形例を適宜組み合わせることも可能である。
また、第1の実施形態、第2の実施形態及びそれらの変形例においては、エレクトレット材7が第1の電極5と第2の電極6との間に配置される構成について説明したが、第1の電極5と第2の電極6との間に外部から電荷を供給できるような電荷供給機構があれば、必ずしも必要ではない。しかし、それぞれの電極間には多くの電荷が供給される必要がある。従って、その観点からは、エレクトレット材がそれぞれの電極間に配置される方が好ましい。
本発明に係る発電装置は、多方向の外部振動を効率的に発電に利用可能な発電装置並びにこのような発電装置を搭載した電気機器及び通信装置を得ることができ、特に、エレクトレット材料を用いた静電誘導型発電装置及びこの発電装置を搭載する電気機器等に有用である。
1 第1の基板
2 第2の基板
3 第3の基板
4 第4の基板
5 第1の電極
6 第2の電極
7 エレクトレット材
8 スペーサー
9 部材
10 軸
11 軸受け
12 第1の回転方向
13 第2の回転方向
14 第2の部材
15 第1の部材
20 重なり部分
21 (重なり部分の)重心
22 (第2の部材の)重心
23 (第2の部材の)重心
2 第2の基板
3 第3の基板
4 第4の基板
5 第1の電極
6 第2の電極
7 エレクトレット材
8 スペーサー
9 部材
10 軸
11 軸受け
12 第1の回転方向
13 第2の回転方向
14 第2の部材
15 第1の部材
20 重なり部分
21 (重なり部分の)重心
22 (第2の部材の)重心
23 (第2の部材の)重心
Claims (17)
- 第1の部材に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、
前記第1の部材は、前記第2の部材の内側に配置されており、
前記第2の部材は可動であることを特徴とする発電装置。 - 前記第2の部材は回転錘であることを特徴とする請求項1に記載の発電装置。
- 前記第2の部材は前記第1の部材に対して相対的に平面方向に回転することを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられ、前記第1の電極又は第2の電極に設けられたエレクトレット材を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第1の部材と前記第2の部材との間に設けられ、前記第1の部材又は第2の部材のいずれかの面上に第3の部材が複数接触していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第1の部材と前記第2の部材の間に設けられ、前記第1の部材又は第2の部材のいずれかに形成された溝部に第3の部材が複数接触していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第3の部材は略球状をしていることを特徴とする請求項5又は6のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第3の部材は、耐磨耗性材料からなることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第3の部材は、超硬材料からなることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第1の部材には軸が形成されており、
前記軸は、前記第1の部材の平面方向に対して垂直方向に伸びており、
前記第1の部材と前記第2の部材とは前記軸により接続されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の発電装置。 - 前記第1の電極は、前記第1の部材の中心近傍から外周方向に向かって形成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第1の電極は、ブロック状の電極が前記第1の部材の中心近傍から外周方向に向かって複数個形成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第1の電極は、ブロック状の電極が千鳥配置となるように形成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の発電装置。
- 前記第1の電極は、前記第1の部材の中心近傍から外周方向に渦巻き状に形成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の発電装置。
- 第1の部材に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、
前記第2の部材は、外縁部に重りを有することを特徴とする発電装置。 - 第1の部材に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、
前記第2の部材の中心近傍における単位体積あたりの質量と比較して、前記第2の部材の外縁部の単位体積あたりの質量が大きいことを特徴とする発電装置。 - 第1の部材に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極と間隔を隔てて対向するように設けられ、第2の部材に設けられた第2の電極とを有し、
前記第2の部材を前記第1の部材に向かって上から投影した部分と前記第1の部材との重なり部分における重心から前記第1の部材の中心近傍までの距離よりも、前記第2の部材の重心から前記第2の部材における前記第1の部材の中心近傍に対向する部分までの距離のほうが長いことを特徴とする発電装置。
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- 2009-11-05 JP JP2009254373A patent/JP2011101499A/ja active Pending
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