JP2011098295A - 異物発生試験方法および異物発生試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を、オフラインで簡単に試験することができる異物発生試験方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１３ａに導入される機能液と、機能液を貯留するタンク２１との相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、タンク２１を揺動させる揺動手段２２を用い、タンク２１を介して、タンク２１内の機能液を揺動させ、異物の発生を促進する異物発生加速工程Ｓ１と、を備えた。
【選択図】図４

Description

本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法および異物発生試験装置に関する。

従来、インク（機能液）を貯留したインク供給容器（タンク）からインク供給チューブを介して機能液が供給される機能液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置において、機能液に含まれる導電性微粒子等の異物を除去する方法（異物除去方法）が知られている（特許文献１参照）。この機能液滴吐出ヘッドは、機能液の導入口となるインク導入針と、インク導入針内に配設されたフィルターと、フィルターを介して機能液滴吐出ヘッド内にインクを導入するインク導入路と、機能液に振動を与える圧電振動子を有するアクチュエータユニットと、を備えている。この機能液滴吐出ヘッドでは、アクチュエータユニットを用いて、機能液に対して高周波微振動を印加することで、機能液の攪拌およびキャビテーション効果により、フィルターに機能液内に含まれる導電性微粒子が付着することを防止している。

特開２００８−２３００１２号公報

しかし、タンク内に貯留した機能液は、タンク内の上部空間の空気（酸素や水分）に触れたり、タンクとの擦動することにより、時間の経過とともに、導電性微粒子が異物として析出する場合がある。従来の異物除去方法では、フィルターの目詰まりを一時的に防止することはできるものの、生じた異物は定期的に除去しなければならない。係る場合には、液滴吐出装置の動作を全て停止し、異物除去のための作業を行わなければならないため、生産効率が著しく低下するという問題があった。
このような問題を防止するためには、機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入（供給）する前に、使用する機能液を検査し、異物が発生せず安全に使用可能な期間を予め求めておくことが非常に重要となる。

本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、これを貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を、オフラインで簡単に試験することができる異物発生試験方法および異物発生試験装置を提供することを課題とする。

本発明の異物発生試験方法は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、タンクを揺動させる揺動手段を用い、タンクを介して、タンク内の機能液を揺動させ、異物の発生を促進する異物発生加速工程と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明の異物発生試験装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験装置であって、機能液を貯留するタンクと、タンクを揺動させる揺動手段と、揺動手段の駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。

異物の発生の仕組みは、機能液がタンク中の空気中の水分を含み、機能液の顔料が、タンクの内壁に付着し、硬化したものが剥がれて異物化すると考えられている。
これらの構成によれば、揺動手段を用いてタンクを揺動させることにより、タンク内の機能液が攪拌される。このため、機能液とタンク内の空気との接触の機会が増加するため、異物の発生を促進することができる。すなわち、異物の発生を加速させた状態で、機能液の異物発生試験を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する前のオフライン状態で、機能液内での異物発生の状況を評価することができる。これにより、機能液とこれを貯留するタンクとの相互作用による異物の発生の有無を、比較的短い時間で且つ簡単に確認することができる。なお、揺動は、直線的な往復動の他、曲線的な往復動であってもよい。

この場合、異物発生加速工程では、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向、ロール方向、ピッチ方向およびヨー方向のうち少なくとも１の方向に揺動させることが好ましい。

この場合、揺動手段は、タンクを、任意の１の方向であるＸ軸方向に揺動させるＸ軸揺動機構、これに直交するＹ軸方向に揺動させるＹ軸揺動機構、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向に揺動させるＺ軸揺動機構、ロール方向に揺動させるローリング揺動機構、ピッチ方向に揺動させるピッチング揺動機構およびヨー方向に揺動させるヨーイング揺動機構のうち少なくとも１つを備えていることが好ましい。

これらの構成によれば、一または複数の任意の方向から機能液に揺動（振動）を与えることができるため、様々な試験環境を作り出すことができる。これにより、短期間で異物発生率を見定めたい場合や、実際に機能液滴吐出ヘッドから吐出させる時と同様の環境（実機搭載時の環境）での異物発生率を見定めたい場合等、目的に応じた異物発生試験を行うことができる。

また、この場合、異物発生加速工程は、タンクを介して、機能液を揺動させる揺動工程と、タンクを介して、機能液への揺動を停止させる揺動停止工程と、を交互に繰り返すことが好ましい。

また、この場合、制御手段は、タンク内の機能液に間欠的に揺動させるように揺動手段を制御することが好ましい。

これらの構成によれば、揺動手段の駆動と停止とを繰り返すことにより、タンク内の機能液が激しく揺動し、機能液と空気との攪拌が、より促進される。これにより、異物発生試験を、より加速（促進）させることができる。

さらに、この場合、異物発生加速工程は、タンクに貯留した機能液を所定の温度に昇温した状態で実施されることが好ましい。

さらに、この場合、タンクに貯留した機能液を所定の温度に昇温する機能液昇温手段を更に備え、制御手段は、タンクの機能液を所定の温度に昇温した状態で、揺動手段を駆動することが好ましい。

これらの構成によれば、機能液の種類によっては、一定以上の温度にすることで、異物の発生を更に促進させることができる。これにより、短時間で異物発生の有無を試験することができる。

液滴吐出装置を模式的に示した斜視図である。 第１実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図である。 タンクを模式的に示した斜視図である。 異物発生試験方法の手順を示したフローチャートである。 第３実施形態に係る異物発生試験装置を模式的に示した斜視図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る異物発生試験方法およびこれを実施するため異物発生試験装置について説明する。この異物発生試験は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速（促進）させて試験するものである。
異物発生試験方法（装置）の説明に先立ち、検査対象である機能液が使用される液滴吐出装置について簡単に説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース１２ａ上に配設され、Ｙ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設され、複数の機能液滴吐出ヘッド１３ａが搭載された複数のキャリッジユニット１３と、機能液滴吐出ヘッド１３ａに機能液を供給する機能液供給ユニット１４と、を備えている。この液滴吐出装置１は、制御装置１５の指示により、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１３ａから機能液を吐出させて、ワークＷに所定のパターンを描画する。

機能液供給ユニット１４は、機能液の供給源となる複数のメインタンク１４ａと、各キャリッジユニット１３に対応して設けた複数のサブタンク１４ｂと、各サブタンク１４ｂを介してメインタンク１４ａと各機能液滴吐出ヘッド１３ａとを接続する機能液流路１４ｃと、を備えている。各サブタンク１４ｂは、一対のＹ軸支持ベース１２ａに掛け渡されたブリッジプレート１２ｂ上に配設されており、対応するキャリッジユニット１３と共に移動する。そして、各キャリッジユニット１３に搭載された各機能液滴吐出ヘッド１３ａには、各サブタンク１４ｂから自然水頭を利用し、機能液流路１４ｃを通じて機能液が供給されるようになっている。

このような、液滴吐出装置１では、機能液滴吐出ヘッド１３ａへの機能液の供給は、サブタンク１４ｂから自然水頭を利用しているため、サブタンク１４ｂ内における機能液は、空気（或いは窒素）に触れると共に、その量は増減を繰り返すこととなる。また、サブタンク１４ｂはＹ軸テーブル１２に搭載され、キャリッジユニット１３と共に移動を繰り返す。このため、サブタンク１４ｂ内に貯留している機能液は、攪拌され、機能液とこれを貯留するサブタンク１４ｂとの相互作用により異物が発生しやすい環境といえる。この異物が、機能液滴吐出ヘッド１３ａに流入すると、機能液滴吐出ヘッド１３ａ内の流路やノズルに詰り、吐出不良が生じ、ワークＷへの描画品質に影響を及ぼす。この場合、異物除去すべく液滴吐出装置１の動作が全て停止されるため、生産効率が著しく低下する。
そこで、異物発生試験装置２を用いて、液滴吐出装置１に機能液を導入する前の状態（オフライン状態）で、サブタンク１４ｂ内に貯留した機能液の異物発生の状況を加速させて試験を行う。

（第１実施形態）
図２および図３を参照して、異物発生試験装置２について説明する。図２に示すように、異物発生試験装置２は、機能液を貯留するタンク２１と、タンク２１をＸ軸方向およびＺ軸方向に揺動させる揺動手段２２と、タンク２１内の機能液を所定の温度に昇温させる機能液昇温手段２３と、揺動手段２２の動作を制御するためのＰＣ等から構成された制御手段２４と、を備えている。

図３に示すように、タンク２１は、サブタンク１４ｂと同一（または同等）のものであり、ステンレス等の金属材料で、薄型直方体形状に形成されている。また、タンク２１の上面は開放されており（蓋体を取り外した状態）、そこからタンク２１内に機能液を注入できるようになっている。このようにタンク２１の上面は開放されているため、タンク２１内の機能液と空気（大気）とが直接接触し、機能液内に異物が発生しやすくなっている。なお、開放式のタンク２１に限らず、蓋付の密閉式タンクを用いてもよい。詳細は後述するが、このタンク２１は、Ｘ軸スライダー３４ｂに支持され、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に往復移動するようになっている。

図２に示すように、揺動手段２２は、タンク２１を支持するキャリッジ３１と、キャリッジ３１をＸ軸方向に揺動させるＸ軸揺動機構３２と、キャリッジ３１をＺ軸方向に揺動させるＺ軸揺動機構３３と、を備えている。

キャリッジ３１は、タンク２１を吊るすように支持するものであり、キャリッジ３１の下面には、タンク２１の開放された面を上にして取り付けられている。タンク２１の取り付けは、キャリッジ３１の下面から下方に突き出した複数のフック（図示省略）が、タンク２１の上部に形成された複数の引掛り部（図示省略）に係合することで行われる。なお、キャリッジ３１へのタンク２１の取り付けは、上記した方法に限られたものではなく、例えば、タンク２１をベルトでキャリッジ３１に固定してよいし、粘着テープ等で固定してもよい。

Ｘ軸揺動機構３２は、Ｘ軸方向への駆動源となるＸ軸リニアモーター３４と、Ｘ軸リニアモーター３４の往復移動をガイドするＸ軸ガイド軸３５と、を備えている。

Ｘ軸リニアモーター３４は、一般的なリニアモーターであり、Ｘ軸方向に延在するＸ軸ステーター３４ａと、Ｘ軸ステーター３４ａに沿って移動するＸ軸スライダー３４ｂと、から構成されている。Ｘ軸ガイド軸３５は、Ｘ軸ステーター３４ａと平行して配設されている。Ｘ軸スライダー３４ｂは、ブロック状の部材であり、Ｙ軸方向の一方の端部でＸ軸ガイド軸３５にスライド自在に係合している。そして、このＸ軸リニアモーター３４は、Ｘ軸ステーター３４ａおよびＸ軸スライダー３４ｂが、それぞれ備えたマグネットの磁極同士の吸引・反発により、Ｘ軸スライダー３４ｂがＸ軸ガイド軸３５にガイドされつつＸ軸ステーター３４ａ上を往復移動する。なお、図示は省略するが、Ｘ軸リニアモーター３４は、リニアエンコーダーを有しており、Ｘ軸ステーター３４ａ上におけるＸ軸スライダー３４ｂの移動量（変位量）を検出することができるようになっている。

また、Ｘ軸スライダー３４ｂは、Ｙ軸方向の他方の端部においてキャリッジ３１を片持ち式で支持している。詳細は後述するが、Ｘ軸スライダー３４ｂのキャリッジ３１が片持ち支持される面には、Ｚ軸方向に延在する一対のＺ軸ガイドレール３７が配設されている。そして、キャリッジ３１は、一対のＺ軸ガイドレール３７に沿って往復移動可能に片持ち支持されている。

Ｚ軸揺動機構３３は、Ｚ軸方向への駆動源となるＺ軸モーター３６と、キャリッジ３１のＺ軸方向への往復移動をガイドする一対のＺ軸ガイドレール３７と、を備えている。

Ｚ軸モーター３６は、一般的なステッピングモーターであり、回転軸を下方に向けてＸ軸スライダー３４ｂの上面に配設されている。Ｚ軸モーター３６の回転軸は、下方（Ｚ軸方向）に延在し、キャリッジ３１の上面部分に螺合している。すなわち、Ｚ軸モーター３６の回転軸と、キャリッジ３１の上面部分とで、ボールネジ機構３８が構成されている。これにより、キャリッジ３１（タンク２１）を、円滑に上下（Ｚ軸）方向に往復移動させることができる。

各Ｚ軸ガイドレール３７は、凹状の溝であり、Ｘ軸スライダー３４ｂのキャリッジ３１が片持ち支持される面においてＺ軸方向に延在している。また、キャリッジ３１には、この一対のＺ軸ガイドレール３７（溝）に対応するように、一対の凸部（図示省略）が突設されている。この一対の凸部が、一対のＺ軸ガイドレール３７に組み合うことで、キャリッジ３１は、一対のＺ軸ガイドレール３７に沿って上下（Ｚ軸）方向に往復移動する。

機能液昇温手段２３は、タンク２１内に貯留した機能液を所定の温度に昇温させるためのヒーター４１を備えたチャンバー４２で構成されている。チャンバー４２は、異物発生試験を行うために必要なタンク２１や揺動手段２２等の機材を配置する試験室であり、異物発生試験を行う環境を、ヒーター４１により所定の温度に昇温することで、タンク２１内の機能液の温度を昇温する。これにより、機能液内の異物発生を更に促進させることができる。これは、一定以上の温度にすることで異物が発生しやすくなる種類の機能液に対して特に有効である。なお、本実施形態では、異物発生試験を行うための環境温度（機能液の試験温度）を、機能液の物性に影響を与えない４０℃以下となるように調整している。

また、制御手段２４は、ユーザーが操作することを考慮するとチャンバー４２の外部に配設されることが好ましい。他にも、チャンバー４２を省略して、ヒーター４１（フィルムヒーター等）を、タンク２１の外側から囲むように配設してもよい。もちろん、防水処理したプレートヒーターを、機能液に浸漬する構成であってもよい。いずれにあって、機能液の温度は、センサーによりヒーター４１をＯＮ−ＯＦＦしながら一定に管理させることとなる。

続いて、図２ないし図４を参照して、異物発生試験装置２の制御手段２４による制御方法（異物発生試験方法）について説明する。
この異物発生試験方法は、タンク２１を揺動手段２２（Ｘ軸揺動機構３２およびＺ軸揺動機構３３）により揺動させて、タンク２１内の機能液に振動を与えて異物の発生を促進する異物発生加速工程Ｓ１を備えている。

図３に示すように、ユーザーは、異物発生加速工程Ｓ１に先立ち、試験に供する機能液をタンク２１に注入する。この際、揺動させて振動を付与したときに機能液がタンク２１の外に溢れ出すことを防止するため、タンク２１の最大貯留量（容量）の１０〜８０％程度に留める。また、タンク２１の内面と機能液とが接触する面積が、タンク２１の内面の総面積の１０％以上になるようにする。これにより、機能液とタンク２１との擦動面積を一定以上維持することができるため、機能液の異物化促進を有効に行える。なお、密閉式タンクを用いた場合でも、最大貯留量を８０％以下にしているため、タンク２１内の上部には、空間（空気層）が形成される。このため、揺動により、機能液と空気とが攪拌され、機能液の異物化を有効に加速することができる。

次に、図２に示すように、ユーザーは、機能液を貯留したタンク２１を、チャンバー４２内に配設された揺動手段２２のキャリッジ３１に取り付ける。なお、キャリッジ３１は、Ｘ軸方向略中央を初期位置としている。その後、ユーザーの指示により制御手段２４は、異物発生加速工程Ｓ１を実施する。図４に示すように、異物発生加速工程Ｓ１は、タンク２１内の機能液の温度を昇温させる昇温工程Ｓ２と、タンク２１を介して、機能液を揺動させる揺動工程Ｓ３と、タンク２１を介して、機能液への揺動を停止させる揺動停止工程Ｓ４と、を有している。

昇温工程Ｓ２では、チャンバー４２内の温度を所定の温度（４０℃程度）にするため、制御手段２４がヒーター４１を駆動する。ヒーター４１を駆動して、しばらく経過するとタンク２１内の機能液の温度もチャンバー４２内の温度と略同一となる（タンク２１内のセンサーで検出する。）。

次に、制御手段２４は、揺動手段２２の駆動を制御し、揺動工程Ｓ３と揺動停止工程Ｓ４とを交互に繰り返すことで、タンク２１内の機能液に対し、間欠的（断続的）に振動を与える。以下、揺動工程Ｓ３および揺動停止工程Ｓ４を詳細に説明する。
先ず、制御手段２４は、Ｘ軸揺動機構３２を駆動して、タンク２１（キャリッジ３１）を初期位置からＸ軸・正方向（図２では左方向）に所定の距離（本実施形態では０．５ｍ）だけ移動させる（揺動工程Ｓ３）。その後、Ｘ軸揺動機構３２の駆動を停止させ、所定の時間だけタンク２１の移動を停止させる（揺動停止工程Ｓ４）。

続いて、制御手段２４は、所定の時間経過後、Ｚ軸揺動機構３３を駆動して、タンク２１をＺ軸・負方向（図２では下方向）に所定の距離（本実施形態では０．０３ｍ）だけ移動させる（揺動工程Ｓ３）。その後、Ｚ軸揺動機構３３の駆動を停止させ、所定の時間だけタンク２１の移動を停止させる（揺動停止工程Ｓ４）。そして、所定の時間経過後、再びＺ軸揺動機構３３を駆動して、タンク２１をＺ軸・正方向に所定の距離だけ移動させた後、同様に停止する。今度は、Ｘ軸・負方向（図２では右方向）に移動して初期位置に戻ってくる。このように初期位置から移動を開始し、初期位置に戻ってくるまでを１サイクルとする。
初期位置に戻った後、今度はＸ軸・負方向において、同様に１サイクルの動作が行われる。本実施形態では、揺動工程Ｓ３および揺動停止工程Ｓ４を、７日間に渡り実施する。

このように、揺動手段２２の駆動と停止とを繰り返すことにより、タンク２１内において、機能液が激しく揺動する。これにより、タンク２１内において、機能液と空気との攪拌が促進されるため、異物発生試験を、より加速（促進）させることができる。なお、移動する距離および停止する時間の長さは任意であり、また、揺動工程Ｓ３および揺動停止工程Ｓ４を実施する期間も任意に設定してよい。

なお、揺動停止工程Ｓ４を省略して、揺動工程Ｓ３のみを連続的に行ってもよい。また、上記した制御手段２４は、キャリッジ３１（タンク２１）の移動距離を制御していたが、移動時間を制御するようにしてもよい。つまり、所定の時間だけ移動するようにしてもよい。また、タンク２１は、Ｘ軸方向またはＺ軸方向のうち、いずれか一方にのみ往復移動（揺動）させてもよい。さらに、タンク２１をＹ軸方向に移動可能な機構を設けて、タンク２１内の機能液をＹ軸方向に揺動させてもよい。

以上の構成によれば、タンク２１を揺動させることにより、タンク２１内の機能液と空気との接触、および機能液とタンク２１内面との接触の機会を増加させ、機能液内における異物の発生を加速させた状態で異物発生試験を行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッド１３ａに機能液を供給する前のオフライン状態で、機能液内での異物発生の状況を評価することができる。これにより、機能液とこれを貯留するタンク２１との相互作用による異物の発生の有無を、短い時間で且つ簡単に確認可能となる。

（第２実施形態）
第１実施形態に係る異物発生試験装置２では、揺動手段２２の可動範囲内（Ｘ軸方向に１．０ｍ，Ｙ軸方向に０．０３ｍ）で大きく揺り動かしていたが、第２実施形態に係る異物発生試験装置２では、揺動手段２２を数ｍｍ〜数ｃｍ刻み（または数百ｍｓ〜数ｓ刻み）で移動と停止を繰り返すように制御する。この場合、キャリッジ３１（タンク２１）は、激しく移動と停止を繰り返すため、タンク２１内の機能液は、さらに激しく揺動し、攪拌され、空気と混じりあう。これにより、異物発生試験を、さらに加速（促進）させることができる。

（第３実施形態）
図５に示すように、第３実施形態に係る異物発生試験装置２では、タンク２１をヨー方向に揺動させるヨーイング揺動機構５０を、更に設けている。ヨーイング揺動機構５０は、キャリッジ３１の下側において、キャリッジ３１に対してＺ軸周りに揺動可能に設けられている。そして、ヨーイング揺動機構５０は、キャリッジ３１に代わってタンク２１を支持する。制御手段２４がヨーイング揺動機構５０を駆動制御することにより、タンク２１は、ヨー方向に揺動する。ヨーイング揺動機構５０の駆動は、第１実施形態および第２実施形態で述べたように間欠的に行ってもよいし、揺動工程Ｓ３のみを連続的に行ってもよい。このような構成によっても、タンク２１内の機能液を揺動・攪拌することができ、異物発生試験を加速させることができる。なお、図示および詳細な説明は省略するが、タンク２１を、ロール方向やピッチ方向に揺動させる機構（ローリング揺動機構、ピッチング揺動機構）を設けてもよい。

２：異物発生試験装置、１３ａ：機能液滴吐出ヘッド、２１：タンク、２２：揺動手段、２３：機能液昇温手段、２４：制御手段、３２：Ｘ軸揺動機構、３３：Ｚ軸揺動機構、５０：ヨーイング揺動機構

Claims (8)

1. インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、前記機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験方法であって、
   前記タンクを揺動させる揺動手段を用い、
   前記タンクを介して、前記タンク内の機能液を揺動させ、異物の発生を促進する異物発生加速工程と、を備えたことを特徴とする異物発生試験方法。
2. 前記異物発生加速工程では、任意の１の方向であるＸ軸方向、これに直交するＹ軸方向、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向、ロール方向、ピッチ方向およびヨー方向のうち少なくとも１の方向に揺動させることを特徴とする請求項１に記載の異物発生試験方法。
3. 前記異物発生加速工程は、
   前記タンクを介して、前記機能液を揺動させる揺動工程と、
   前記タンクを介して、前記機能液への揺動を停止させる揺動停止工程と、を交互に繰り返すことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の異物発生試験方法。
4. 前記異物発生加速工程は、前記タンクに貯留した前記機能液を所定の温度に昇温した状態で実施されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の異物発生試験方法。
5. インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに導入される機能液と、前記機能液を貯留するタンクとの相互作用により発生する異物の発生状況を加速試験する異物発生試験装置であって、
   前記機能液を貯留するタンクと、
   前記タンクを揺動させる揺動手段と、
   前記揺動手段の駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする異物発生試験装置。
6. 前記揺動手段は、前記タンクを、任意の１の方向であるＸ軸方向に揺動させるＸ軸揺動機構、これに直交するＹ軸方向に揺動させるＹ軸揺動機構、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向に揺動させるＺ軸揺動機構、ロール方向に揺動させるローリング揺動機構、ピッチ方向に揺動させるピッチング揺動機構およびヨー方向に揺動させるヨーイング揺動機構のうち少なくとも１つを備えていることを特徴とする請求項５に記載の異物発生試験装置。
7. 前記制御手段は、前記タンク内の前記機能液に間欠的に揺動させるように前記揺動手段を制御することを特徴とする請求項５または６に記載の異物発生試験装置。
8. 前記タンクに貯留した前記機能液を所定の温度に昇温する機能液昇温手段を更に備え、
   前記制御手段は、前記タンクの前記機能液を所定の温度に昇温した状態で、前記揺動手段を駆動することを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の異物発生試験装置。

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