JP2011096502A5 - - Google Patents
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Claims (1)
- 真空容器内において回路を開閉する固定側及び可動側電極と、前記真空容器の一端を貫
通して前記可動側電極を支持し開閉駆動する電極棒と、前記電極棒の真空容器の貫通部に
前記電極棒と前記真空容器間を伸縮自在でかつ気密に接続するベローズとを備えた真空バ
ルブにおいて、前記ベローズは同軸上に平行して配置した第１のベローズと第２のベロー
ズの間に気密空間を形成して前記気密空間の圧力を前記第１のベローズ外周の圧力と、前
記第２のベローズの内径側の圧力との中間値にするとともに、前記密閉空間内に緩衝材を配置したことを特徴とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009248973A JP5397160B2 (ja) | 2009-10-29 | 2009-10-29 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009248973A JP5397160B2 (ja) | 2009-10-29 | 2009-10-29 | 真空バルブ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011096502A JP2011096502A (ja) | 2011-05-12 |
| JP2011096502A5 true JP2011096502A5 (ja) | 2012-11-15 |
| JP5397160B2 JP5397160B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=44113216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009248973A Active JP5397160B2 (ja) | 2009-10-29 | 2009-10-29 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5397160B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2009
- 2009-10-29 JP JP2009248973A patent/JP5397160B2/ja active Active
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