JP2011095045A - 歪み及び温度の測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出部20は異種の導線22、23の一端同士が中心部20cで接続される配線21を備える。配線21の両端から第1の電気信号として通電時の電圧V1が検出され、電圧降下法によって配線21の抵抗Rε+Tが求められる。また、導線22、23同士の接続部を含み配線21の内側にある配線中心部21cの両端から第2の電気信号として通電時の電圧V2が検出され、電圧降下法によって配線中心部21cの抵抗RTが求められる。そして、配線21の抵抗Rε+Tと配線中心部21cの抵抗RTを用いて被計測対象物である基板の歪みRεが求められる。また、配線21の両端又は配線中心部21cの両端から第3の電気信号である熱起電力V3又は熱起電力V4が検出され、被計測対象物である基板の温度T1が求められる。
【選択図】図2
Description
被計測対象物に接触してその被計測対象物の歪み及び温度を検出する検出部を備えた歪み及び温度の計測装置において、
前記検出部は、金属、半金属、半導体の何れからなる異種の導線の一端同士が当該検出部中心で接続される配線を備えており、
前記配線の両端から第1の電気信号を検出して当該配線の抵抗を求め、
前記導線同士の接続部を含み前記配線の内側にある配線中心部の両端から第2の電気信号を検出して当該配線中心部の抵抗を求め、
前記配線の抵抗と前記配線中心部の抵抗を用いて被計測対象物の歪みを求め、
前記配線の両端又は前記配線中心部の両端から第3の電気信号を検出して被計測対象物の温度を求めること
を特徴とする。
検出部20は異種の導線22、23の一端同士が中心部20cで接続される配線21を備える。配線21の両端から第1の電気信号として通電時の電圧V1が検出され、電圧降下法によって配線21の抵抗Rε+Tが求められる。また導線22、23同士の接続部を含み配線21の内側にある配線中心部21cの両端から第2の電気信号として通電時の電圧V2が検出され、電圧降下法によって配線中心部21cの抵抗RTが求められる。そして、配線21の抵抗Rε+Tと配線中心部21cの抵抗RTを用いて被計測対象物である基板10の歪みRεが求められる。また、配線21の両端又は配線中心部21cの両端から第3の電気信号である熱起電力V3又は熱起電力V4が検出され、被計測対象物である基板10の温度T1が求められる。こうした処理によって基板10の歪みRε及び表面温度T1が求められる。
前記配線の抵抗と前記配線中心部の抵抗と被計測対象物の歪みと温度を求める演算処理部を備えること
を特徴とする。
前記演算処理部は、
前記配線の両端間に通電する通電部と、
前記配線の両端間の電圧を検出する第1電圧検出部と、
前記配線中心部の両端間の電圧を検出する第2電圧検出部と、
前記通電部で通電した電流値と前記第1電圧検出部で検出した通電時の電圧値を用いて前記配線の抵抗を求め、前記通電部で通電した電流値と前記第2電圧検出部で検出した通電時の電圧値を用いて前記配線中心部の抵抗を求め、前記配線の抵抗−{前記配線中心部の抵抗×(前記配線の長さ/前記配線中心部の長さ)}なる関係によって被計測対象物の歪みを求める演算部を備えること
を特徴とする。
検出部20は第1〜第4端子31、32、33、34を介して演算処理部40に電気的に接続される。演算処理部40は通電部41と第1電圧検出部42と第2電圧検出部43と演算部44を備える。
前記配線はミアンダ状のパターンで薄膜に形成されること
を特徴とする。
配線21は可撓性を有する薄膜部材25にミアンダ状のパターンにしてプリントされる。この薄膜部材25が基板10に接着されることで配線21が基板10に設けられる。
さらに、温度変化成分と歪み成分が含まれる配線の抵抗から歪み成分の抵抗を分離しこれを基板の歪みとするので、基板の歪みを精度よく求めることが可能になる。
ステップS01からステップS05の処理を複数回行い、求めた歪みRε及び表面温度T1の平均を求めるようにすれば、より精度が増す。
Claims (4)
- 被計測対象物に接触してその被計測対象物の歪み及び温度を検出する検出部を備えた歪み及び温度の計測装置において、
前記検出部は、金属、半金属、半導体の何れからなる異種の導線の一端同士が当該検出部中心で接続される配線を備えており、
前記配線の両端から第1の電気信号を検出して当該配線の抵抗を求め、
前記導線同士の接続部を含み前記配線の内側にある配線中心部の両端から第2の電気信号を検出して当該配線中心部の抵抗を求め、
前記配線の抵抗と前記配線中心部の抵抗を用いて被計測対象物の歪みを求め、
前記配線の両端又は前記配線中心部の両端から第3の電気信号を検出して被計測対象物の温度を求めること
を特徴とする歪み及び温度の計測装置。 - 前記配線の抵抗と前記配線中心部の抵抗と被計測対象物の歪みと温度を求める演算処理部を備えること
を特徴とする請求項1記載の歪み及び温度の計測装置。 - 前記演算処理部は、
前記配線の両端間に通電する通電部と、
前記配線の両端間の電圧を検出する第1電圧検出部と、
前記配線中心部の両端間の電圧を検出する第2電圧検出部と、
前記通電部で通電した電流値と前記第1電圧検出部で検出した通電時の電圧値を用いて前記配線の抵抗を求め、前記通電部で通電した電流値と前記第2電圧検出部で検出した通電時の電圧値を用いて前記配線中心部の抵抗を求め、前記配線の抵抗−{前記配線中心部の抵抗×(前記配線の長さ/前記配線中心部の長さ)}なる関係によって被計測対象物の歪みを求める演算部を備えること
を特徴とする請求項2記載の歪み及び温度の計測装置。 - 前記配線はミアンダ状のパターンで薄膜に形成されること
を特徴とする請求項1乃至3記載の歪み及び温度の計測装置。
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JP2006300637A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Tokyo Sokki Kenkyusho Co Ltd | ひずみ及び温度の測定装置 |
-
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