JP2011090016A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11上には、磁気抵抗素子MR1を構成する感磁部121〜124と、磁気抵抗素子MR2を構成する感磁部131〜134とが形成されている。感磁部121〜124,131〜134は長尺状の半導体膜により形成されており、さらに感磁部121〜124の半導体膜上には導電性材料からなる短絡電極が長尺方向に沿って所定間隔で形成されている。感磁部121〜124,131〜134は、それぞれの長尺方向が平行に並び且つ近接するように形成される。この際、感磁部121〜124,131〜134は、磁気抵抗素子MR2の感磁部131,132、磁気抵抗素子MR1の感磁部121,122、磁気抵抗素子MR2の感磁部133,134、磁気抵抗素子MR1の感磁部123,124の順に配列されるように、形成される。
【選択図】図1
Description
基板と、
電力入力端子と、第1の電圧出力端子と、グランド端子と、
前記電圧入力端子と前記第1の電圧出力端子との間に接続されている第1磁気抵抗素子と、
前記第1の電圧出力端子と前記グランド端子との間に接続されており、第1磁気抵抗素子と直列接続されている第2磁気抵抗素子とを備え、
前記第1磁気抵抗素子は、前記基板の表面に長尺状に形成された複数の第1の感磁部と、前記複数の第1の感磁部を直列接続する第1の接続導体部とを有し、
前記第2磁気抵抗素子は、前記基板の表面に長尺状に形成され、前記第1の感磁部とは異なる感度を有する複数の第2の感磁部と、前記複数の第2の感磁部を直列接続する第2の接続導体部とを有し、
前記複数の第1の感磁部および前記複数の第2の感磁部は、同一方向に沿って互いに近接して配列され、
前記配列されたひとつの前記第1の感磁部および第2の感磁部は、少なくとも同一の磁気抵抗素子を構成する他の複数の感磁部が配列方向の両側から隣り合わないように配列されている。
基板41における磁気検出部40の形成領域の第一方向(図5(A)における縦方向)に沿った一方端には、電圧入力用電極491、グランド接続用電極492が形成されており、他方端には、電圧出力用電極493が形成されている。
基板51における磁気検出部50の形成領域の第二方向(図6(A)における横方向)に沿った一方端には、電圧入力用電極5911,5912、グランド接続用電極5921,5922が形成されており、他方端には、電圧出力用電極5931,5932が形成されている。
Claims (5)
- 被検出体に対向配置され、該被検出体の搬送時に該被検出体に備えられた磁気情報を検出する磁気センサであって、
基板と、
電力入力端子と、第1の電圧出力端子と、グランド端子と、
前記電圧入力端子と前記第1の電圧出力端子との間に接続されている第1磁気抵抗素子と、
前記第1の電圧出力端子と前記グランド端子との間に接続されており、第1磁気抵抗素子と直列接続されている第2磁気抵抗素子とを備え、
前記第1磁気抵抗素子は、前記基板の表面に長尺状に形成された複数の第1の感磁部と、前記複数の第1の感磁部を直列接続する第1の接続導体部とを有し、
前記第2磁気抵抗素子は、前記基板の表面に長尺状に形成され、前記第1の感磁部とは異なる感度を有する複数の第2の感磁部と、前記複数の第2の感磁部を直列接続する第2の接続導体部とを有し、
前記複数の第1の感磁部および前記複数の第2の感磁部は、同一方向に沿って互いに近接して配列され、
前記配列されたひとつの前記第1の感磁部および第2の感磁部は、少なくとも同一の磁気抵抗素子を構成する他の複数の感磁部が配列方向の両側から隣り合わないように配列され、
前記配列された前記第1の感磁部および前記第2の感磁部は、その配列方向が、前記被検出体の搬送方向に直交するようにされ、前記被検出体による通過磁束の変化に応じた前記第1の磁気抵抗素子の抵抗値変化と前記第2の磁気抵抗素子の抵抗値変化とが、時間軸上で一致することを特徴とする磁気センサ。 - 前記第1磁気抵抗素子の感磁部および前記第2磁気抵抗素子の感磁部は長尺状の半導体膜から構成され、
前記第2磁気抵抗素子の感磁部の前記半導体膜には、短絡電極が長尺方向に沿って等間隔に形成されていることを特徴とする、請求項1記載の磁気センサ。 - 第2の電圧出力端子と、
電圧入力端子と前記第2の電圧出力端子との間に接続されている第3磁気抵抗素子と、
前記第2の電圧出力端子とグランド端子との間に接続されており、第3磁気抵抗素子と直列接続されている第4磁気抵抗素子とをさらに備え、
前記第3磁気抵抗素子は、前記基板の表面に長尺状に形成され、前記第3の感磁部と、前記複数の第3の感磁部を直列接続する第3の接続導体部とを有し、
前記第4磁気抵抗素子は、前記基板の表面に長尺状に形成され、前記第3の感磁部とは異なる感度を有する複数の第4の感磁部と、前記複数の第4の感磁部を直列接続する第4の接続導体部とを有し、
前記複数の第3の感磁部および前記複数の第4の感磁部は、前記複数の第1の感磁部および前記複数の第2の感磁部と同一方向に沿って配列され、
前記配列されたひとつの前記第3の感磁部および第4の感磁部は、少なくとも同一の磁気抵抗素子を構成する他の複数の感磁部が配列方向の両側から隣り合わないように配列され、
配列された全ての感磁部は、その配列方向が、前記被検出体の搬送方向に直交するようにされ、前記被検出体による通過磁束の変化に応じた前記第1の磁気抵抗素子の抵抗値変化と前記第2の磁気抵抗素子の抵抗値変化と前記第3の磁気抵抗素子の抵抗値変化と前記第4の磁気抵抗素子の抵抗値変化とが、時間軸上で一致することを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。 - 前記第3磁気抵抗素子の感磁部および前記第4磁気抵抗素子の感磁部は長尺状の半導体膜から構成され、
前記第4磁気抵抗素子の感磁部の前記半導体膜には、短絡電極が長尺方向に沿って等間隔に形成されていることを特徴とする、請求項3に記載の磁気センサ。 - 前記感磁部の表面を覆うように形成された絶縁性の保護膜をさらに備え、
前記接続導体膜の一部は、前記保護膜の表面に形成されている接続ライン電極と、前記保護膜に形成されたビアホールとから構成されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の磁気センサ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015083604A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | コニカミノルタ株式会社 | 信号増幅装置及びセンサー装置 |
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JPH08313296A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2001004728A (ja) * | 1999-09-02 | 2001-01-12 | Micro Magune Kk | 磁気検出装置 |
JP2003188438A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Murata Mfg Co Ltd | 磁気抵抗素子 |
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