JP2011088949A - Epoxy resin composition and semiconductor device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin composition having excellent solder resistance, and to provide a semiconductor device. <P>SOLUTION: The epoxy resin composition is used for sealing a semiconductor, and contains (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) an inorganic filler and (D) a compound having a cyclic disulfide structure. The semiconductor device is obtained by sealing a semiconductor element by a cured product of the epoxy resin composition. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、エポキシ樹脂組成物および半導体装置に関するものである。   The present invention relates to an epoxy resin composition and a semiconductor device.

IC、LSI等の半導体素子の封止方法として、エポキシ樹脂組成物による成形封止が低コスト、大量生産に適しており、採用されている。さらに、信頼性の点でもエポキシ樹脂や硬化剤であるフェノール樹脂の改良により特性の向上が図られてきた。
しかし、近年の電子機器の小型化、軽量化、高性能化の市場動向において、半導体の高集積化も年々進み、また半導体装置の表面実装化が促進されるなかで、半導体封止用エポキシ樹脂組成物への要求は益々厳しいものとなってきている。このため、従来からのエポキシ樹脂組成物では解決出来ない問題点も出てきている。
As a sealing method for semiconductor elements such as IC and LSI, molding sealing with an epoxy resin composition is suitable because it is suitable for mass production at low cost. Further, in terms of reliability, improvement of properties has been achieved by improving epoxy resins and phenol resins as curing agents.
However, due to the recent trend toward smaller, lighter, and higher performance electronic devices, semiconductors have been increasingly integrated and the surface mounting of semiconductor devices has been promoted. The demand for compositions has become increasingly severe. For this reason, the problem which cannot be solved with the conventional epoxy resin composition has also come out.

例えば、表面実装の採用により半導体装置が半田浸漬或いは半田リフロー工程で急激に200℃以上の高温にさらされ、吸湿した水分が爆発的に気化する際の応力により、半導体装置内、特に半導体素子、リードフレーム、インナーリード上の金メッキや銀メッキ等の各種メッキされた各接合部分とエポキシ樹脂組成物の硬化物の界面で剥離が生じたりして、信頼性が著しく低下する現象である。
さらに、環境問題に端を発した有鉛半田から無鉛半田への移行に伴い、半田処理時の温度が高くなり、半導体装置中に含まれる水分の気化によって発生する爆発的な応力による耐半田性が、従来以上に大きな課題となってきている。
For example, by adopting surface mounting, the semiconductor device is suddenly exposed to a high temperature of 200 ° C. or higher in the solder dipping or solder reflow process, and the moisture inside the semiconductor device, particularly the semiconductor element, This is a phenomenon in which the reliability of the lead frame and the inner lead is remarkably lowered due to peeling at the interface between various plated joint portions such as gold plating and silver plating and the cured product of the epoxy resin composition.
In addition, with the transition from leaded solder to lead-free solder, which started with environmental problems, the temperature during soldering processing increased, and solder resistance due to explosive stress generated by vaporization of moisture contained in semiconductor devices However, it has become a bigger problem than before.

半田処理による信頼性低下を改善するために、エポキシ樹脂組成物中の無機質充填材の充填量を増加させることで低吸湿化、高強度化、低熱膨張化を達成し耐半田性を向上させ、低溶融粘度の樹脂を使用して、成形時に低粘度で高流動性を維持させる手法がある(例えば、特許文献1参照。)。この手法を用いることにより耐半田性がかなり改良されるが、無機充填材の充填割合の増加と共に、流動性が犠牲になり、エポキシ樹脂組成物がパッケージ内に十分に充填されず、空隙が生じやすくなる欠点があった。
また、メッキ部とエポキシ樹脂組成物の硬化物との界面での剥離を防止する為、ジスルフィド化合物によって金属と樹脂の密着性を高めることが提案されている(例えば、特許文献2参照。)が、十分な耐半田性を達成するには至っていない。このようなことから、無鉛半田に対応する高温の半田処理によっても剥離やクラックが発生しない良好な耐半田性を達成するための、更なる技術が求められている。
In order to improve reliability degradation due to solder processing, increase the amount of inorganic filler in the epoxy resin composition to achieve low moisture absorption, high strength, low thermal expansion, improve solder resistance, There is a technique of using a low melt viscosity resin to maintain a high fluidity at a low viscosity during molding (see, for example, Patent Document 1). Although solder resistance is considerably improved by using this method, as the filling rate of the inorganic filler increases, fluidity is sacrificed, and the epoxy resin composition is not sufficiently filled in the package, resulting in voids. There was a drawback that made it easier.
Moreover, in order to prevent peeling at the interface between the plated portion and the cured product of the epoxy resin composition, it has been proposed to increase the adhesion between the metal and the resin with a disulfide compound (see, for example, Patent Document 2). However, sufficient solder resistance has not been achieved. For this reason, there is a need for a further technique for achieving good solder resistance that does not cause peeling or cracking even by high-temperature solder processing corresponding to lead-free solder.

特開平05−131486号公報Japanese Patent Laid-Open No. 05-131486 特開2006−28477号公報JP 2006-28477 A

本発明の目的は、耐半田性に優れたエポキシ樹脂組成物および半導体装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an epoxy resin composition and a semiconductor device excellent in solder resistance.

このような目的は、下記(1)〜(7)に記載の本発明により達成される。
(1)(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、(C)無機充填材と、(D)ジチオアルコール化合物と、を含む半導体封止に用いるエポキシ樹脂組成物であって、
前記(D)ジチオアルコール化合物が、下記一般式(1)で示されるものであることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
Such an object is achieved by the present invention described in the following (1) to (7).
(1) An epoxy resin composition used for semiconductor encapsulation containing (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) an inorganic filler, and (D) a dithioalcohol compound,
The epoxy resin composition, wherein the (D) dithioalcohol compound is represented by the following general formula (1).

Figure 2011088949
Figure 2011088949

(2)前記(D)ジチオアルコール化合物が、2,2’−ジチオジエタノール、3,3’−ジチオジプロパノールおよびそれらの誘導体の中から選ばれる1種以上のジチオアルコール化合物である上記(1)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(3)前記(D)ジチオアルコール化合物の含有量は、前記エポキシ樹脂組成物全体の0.01重量%以上、1重量%以下である上記(1)または(2)に記載のエポキシ樹脂組成物。
(4)さらに(E)硬化促進剤を含むものである上記(1)ないし(3)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
(5)前記(A)エポキシ樹脂が、下記一般式(2)で表されるエポキシ樹脂である上記(1)ないし(4)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
(2) The above (1), wherein the (D) dithioalcohol compound is at least one dithioalcohol compound selected from 2,2′-dithiodiethanol, 3,3′-dithiodipropanol and derivatives thereof. The epoxy resin composition described in 1.
(3) The epoxy resin composition according to (1) or (2), wherein the content of the (D) dithioalcohol compound is 0.01% by weight or more and 1% by weight or less of the entire epoxy resin composition. .
(4) The epoxy resin composition according to any one of (1) to (3), further comprising (E) a curing accelerator.
(5) The epoxy resin composition according to any one of (1) to (4), wherein the (A) epoxy resin is an epoxy resin represented by the following general formula (2).

Figure 2011088949
Figure 2011088949

(6)前記(B)硬化剤が、下記一般式(3)で表されるフェノール樹脂である上記(1)ないし(5)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。 (6) The epoxy resin composition according to any one of (1) to (5), wherein the curing agent (B) is a phenol resin represented by the following general formula (3).

Figure 2011088949
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(7)上記(1)ないし(6)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物で、半導体素子が封止されていることを特徴とする半導体装置。 (7) A semiconductor device, wherein a semiconductor element is sealed with a cured product of the epoxy resin composition according to any one of (1) to (6).

本発明によると、耐半田性に優れたエポキシ樹脂組成物および半導体装置を得ることができる。   According to the present invention, an epoxy resin composition and a semiconductor device excellent in solder resistance can be obtained.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物を用いた半導体装置の一例について、断面構造を示した図である。It is the figure which showed the cross-section about an example of the semiconductor device using the epoxy resin composition which concerns on this invention.

以下、本発明のエポキシ樹脂組成物および半導体装置について詳細に説明する。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、(C)無機充填材と、(D)ジチオアルコール化合物と、を含む半導体封止に用いるエポキシ樹脂組成物であって、前記(D)ジチオアルコール化合物が、下記一般式(1)で示されるものであることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
Hereinafter, the epoxy resin composition and semiconductor device of the present invention will be described in detail.
The epoxy resin composition of the present invention, there in (A) epoxy resin, (B) a curing agent, (C) an inorganic filler, an epoxy resin composition used for encapsulating a semiconductor containing the (D) dithio alcohol compound The (D) dithioalcohol compound is represented by the following general formula (1).

Figure 2011088949
Figure 2011088949

本発明の半導体装置は、上記に記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物で、半導体素子が封止されていることを特徴とする。   A semiconductor device of the present invention is characterized in that a semiconductor element is sealed with a cured product of the epoxy resin composition described above.

(エポキシ樹脂組成物)
まず、エポキシ樹脂組成物について説明する。本発明のエポキシ樹脂組成物は、半導体素子を封止するために用いられるものである。
前記エポキシ樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂(A)を含む。
前記(A)エポキシ樹脂は、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、その分子量、分子構造は特に限定するものではないが、例えば、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂(フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有する)等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種以上を併用しても差し支えない。このようなエポキシ樹脂の中でも下記一般式(2)で表されるビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂が好ましい。これにより、耐燃性、耐半田性を特に向上することができる。
(Epoxy resin composition)
First, the epoxy resin composition will be described. The epoxy resin composition of the present invention is used for sealing a semiconductor element.
The epoxy resin composition contains (A) an epoxy resin (A).
The (A) epoxy resin is a monomer, oligomer or polymer in general having two or more epoxy groups in one molecule, and its molecular weight and molecular structure are not particularly limited. For example, biphenyl type epoxy resin, bisphenol Type epoxy resin, stilbene type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, alkyl-modified triphenolmethane type epoxy resin, triazine nucleus-containing epoxy resin, dicyclopentadiene modified phenol type epoxy Examples thereof include resins, phenol aralkyl type epoxy resins (having a phenylene skeleton, a biphenylene skeleton, etc.), and these may be used alone or in combination of two or more. Among such epoxy resins, a phenol aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton represented by the following general formula (2) is preferable. Thereby, especially flame resistance and solder resistance can be improved.

Figure 2011088949
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前記(A)エポキシ樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記エポキシ樹脂組成物全体の2重量%以上、10重量%以下であることが好ましく、2.5重量%以上、8重量%以下であることがより好ましい。前記(A)エポキシ樹脂の含有量が前記範囲内であると流動性を損なうことなく、耐半田性を向上する効果に優れる。   The content of the (A) epoxy resin is not particularly limited, but is preferably 2% by weight or more and 10% by weight or less of the whole epoxy resin composition, and is 2.5% by weight or more and 8% by weight or less. More preferably. When the content of the (A) epoxy resin is within the above range, the effect of improving the solder resistance is excellent without impairing the fluidity.

前記エポキシ樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、100〜2,000が好ましく、特に200〜1,000が好ましい。重量平均分子量が前記範囲内であると、特に流動性に優れる。
前記重量平均分子量は、例えばG.P.Cを用いて、次のような条件で評価することができる。
GPC装置は、ポンプ、インジェクター、ガードカラム、カラム及び検出器から構成され、溶媒にはテトラヒドロフラン(THF)を用いる。ポンプの流速は0.5ml/分にて測定を行なう。これよりも高い流速では目的の分子量の検出精度が低くなるため好ましくない。また、上記の流速で精度よく測定を行なうためには流量精度のよいポンプを使用することが必要であり、流量精度は0.10%以下が好ましい。ガードカラムには市販のガードカラム(例えば、東ソー(株)製TSK GUARDCOLUMN HHR−L:径6.0mm、管長40mm)、カラムには市販のポリスチレンジェルカラム(東ソー(株)製TSK−GEL GMHHR−L:径7.8mm、管長30mm)を複数本直列接続させる。検出器には示差屈折率計(RI検出器。例えば、WATERS社製示差屈折率(RI)検出器W2414)を用いる。測定に先立ち、ガードカラム、カラム及び検出器内部は40℃に安定させておく。試料には、濃度3〜4mg/mlに調整したエポキシ樹脂(A)のTHF溶液を用意し、これを約50〜150μlインジェクターより注入して測定を行なう。試料の解析にあたっては、単分散ポリスチレン(以下、PS)標準試料により作成した検量線を用いる。検量線はPSの分子量の対数値とPSのピーク検出時間(保持時間)をプロットし、3次式に回帰したものを用いる。検量線作成用の標準PS試料としては、昭和電工(株)製ShodexスタンダードSL−105シリーズの品番S−1.0(ピーク分子量1,060)、S−1.3(ピーク分子量1,310)、S−2.0(ピーク分子量1,990)、S−3.0(ピーク分子量2,970)、S−4.5(ピーク分子量4,490)、S−5.0(ピーク分子量5,030)、S−6.9(ピーク分子量6,930)、S−11(ピーク分子量10,700)、S−20(ピーク分子量19,900)を使用する。
The weight average molecular weight of the epoxy resin is not particularly limited, but is preferably 100 to 2,000, and particularly preferably 200 to 1,000. When the weight average molecular weight is within the above range, the fluidity is particularly excellent.
The weight average molecular weight is, for example, G.M. P. Using C, evaluation can be performed under the following conditions.
The GPC device is composed of a pump, an injector, a guard column, a column, and a detector, and tetrahydrofuran (THF) is used as a solvent. The pump flow rate is 0.5 ml / min. A flow rate higher than this is not preferable because the detection accuracy of the target molecular weight is lowered. In addition, in order to accurately measure at the above flow rate, it is necessary to use a pump with good flow rate accuracy, and the flow rate accuracy is preferably 0.10% or less. A commercially available guard column (for example, TSK GUARDCOLUMN HHR-L: diameter 6.0 mm, tube length 40 mm) manufactured by Tosoh Corporation, and a commercially available polystyrene gel column (TSK-GEL GMHHR- manufactured by Tosoh Corporation) are used for the guard column. L: diameter 7.8 mm, tube length 30 mm) are connected in series. A differential refractometer (RI detector, for example, a differential refractive index (RI) detector W2414 manufactured by WATERS) is used as the detector. Prior to the measurement, the guard column, the column and the inside of the detector are stabilized at 40 ° C. As a sample, a THF solution of an epoxy resin (A) adjusted to a concentration of 3 to 4 mg / ml is prepared, and this is injected from an about 50 to 150 μl injector to perform measurement. In analyzing the sample, a calibration curve prepared from a monodisperse polystyrene (hereinafter referred to as PS) standard sample is used. For the calibration curve, a logarithmic value of the molecular weight of PS and the peak detection time (retention time) of PS are plotted, and a regression of the cubic equation is used. As standard PS samples for preparing calibration curves, Shodex Standard SL-105 series product numbers S-1.0 (peak molecular weight 1,060), S-1.3 (peak molecular weight 1,310) manufactured by Showa Denko KK , S-2.0 (peak molecular weight 1,990), S-3.0 (peak molecular weight 2,970), S-4.5 (peak molecular weight 4,490), S-5.0 (peak molecular weight 5, 030), S-6.9 (peak molecular weight 6,930), S-11 (peak molecular weight 10,700), S-20 (peak molecular weight 19,900) are used.

前記エポキシ樹脂組成物は、(B)硬化剤を含む。前記(B)硬化剤は、エポキシ樹脂と反応して硬化させるものであれば特に限定されないが、それらの具体例としてはフェノール系樹脂、ビスフェノールAなどのビスフェノール化合物、無水マレイン酸、無水フタル酸、無水ピロメリット酸などの酸無水物およびメタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホンなどの芳香族アミンなどが挙げられこれらを単独で用いても、2種以上の硬化剤を併用しても良い。   The epoxy resin composition contains (B) a curing agent. The (B) curing agent is not particularly limited as long as it is cured by reacting with an epoxy resin. Specific examples thereof include phenolic resins, bisphenol compounds such as bisphenol A, maleic anhydride, phthalic anhydride, Examples include acid anhydrides such as pyromellitic anhydride and aromatic amines such as metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane, and diaminodiphenylsulfone. These may be used alone or in combination of two or more curing agents.

これらの硬化剤の中でも特にフェノール系樹脂を用いることが好ましい。本発明に用いるフェノール系樹脂は、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、その分子量、分子構造を特に限定するものではないが、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、トリフェノールメタン型樹脂、フェノールアラルキル樹脂(フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有する)等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種以上を併用しても差し支えない。このようなフェノール系樹脂の中でも下記一般式(3)で表されるビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂が好ましい。これにより、耐燃性、耐半田性を特に向上することができる。   Among these curing agents, it is particularly preferable to use a phenolic resin. The phenolic resin used in the present invention is a monomer, oligomer or polymer in general having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and its molecular weight and molecular structure are not particularly limited. For example, phenol novolak resin, cresol Examples include novolak resin, dicyclopentadiene-modified phenol resin, terpene-modified phenol resin, triphenolmethane type resin, phenol aralkyl resin (having a phenylene skeleton, biphenylene skeleton, etc.), etc. You can use more than one species together. Among such phenol resins, a phenol aralkyl resin having a biphenylene skeleton represented by the following general formula (3) is preferable. Thereby, especially flame resistance and solder resistance can be improved.

Figure 2011088949
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前記(B)硬化剤の含有量は、特に限定されないが、前記エポキシ樹脂組成物全体の1重量%以上、8重量%以下であることが好ましく、2重量%以上、6重量%以下であることがより好ましい。前記(B)硬化剤の含有量が前記範囲内であると、流動性を損なうことなく、耐半田性を向上する効果に優れる。   The content of the curing agent (B) is not particularly limited, but is preferably 1% by weight or more and 8% by weight or less, and preferably 2% by weight or more and 6% by weight or less of the entire epoxy resin composition. Is more preferable. When the content of the (B) curing agent is within the above range, the effect of improving the solder resistance is excellent without impairing the fluidity.

前記(A)エポキシ樹脂と前記(B)硬化剤であるフェノール系樹脂の配合割合としては、全エポキシ樹脂のエポキシ基数(Ep)と全フェノール系樹脂のフェノール性水酸基数(Ph)との比(Ep/Ph)が0.8以上、1.3以下であることが好ましく、特に0.9以上、1.25以下であることが好ましい。比が上記範囲内であると、エポキシ樹脂組成物の硬化性を向上することができ、硬化物のガラス転移温度を高くすることができる。また、耐湿信頼性にも優れる。   The blending ratio of the (A) epoxy resin and the (B) phenolic resin as the curing agent is a ratio of the number of epoxy groups (Ep) of all epoxy resins to the number of phenolic hydroxyl groups (Ph) of all phenolic resins ( Ep / Ph) is preferably 0.8 or more and 1.3 or less, and particularly preferably 0.9 or more and 1.25 or less. When the ratio is within the above range, the curability of the epoxy resin composition can be improved, and the glass transition temperature of the cured product can be increased. It also has excellent moisture resistance reliability.

前記エポキシ樹脂組成物は、(C)無機充填材を含む。前記(C)無機充填材としては、一般に半導体封止用エポキシ樹脂組成物に使用されているものを用いることができる。例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、タルク、アルミナ、窒化珪素等が挙げられ、最も好適に使用されるものとしては、球状の溶融シリカである。これらの無機充填材は、1種類を単独で用いても2種以上を併用しても差し支えない。   The epoxy resin composition includes (C) an inorganic filler. As said (C) inorganic filler, what is generally used for the epoxy resin composition for semiconductor sealing can be used. Examples thereof include fused silica, crystalline silica, talc, alumina, silicon nitride and the like, and the most preferably used is spherical fused silica. These inorganic fillers may be used alone or in combination of two or more.

前記(C)無機充填材の平均粒子径は、特に限定されないが、5μm以上、50μm以下が好ましく、特に10μm以上、45μm以下が好ましい。平均粒子径が上記範囲内であると、前記エポキシ樹脂組成物の流動性に優れる。また、平均粒子径が前記下限値を下回ると流動性が低下する場合があり、前記上限値を上回ると成形時の充填性が低下する場合がある。
また、前記平均粒子径は、例えばレーザー回折式粒度分布測定装置で評価することができる。(島津製作所製、SALD−7000)
The average particle diameter of the (C) inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 5 μm or more and 50 μm or less, and particularly preferably 10 μm or more and 45 μm or less. When the average particle size is in the above range, the epoxy resin composition is excellent in fluidity. Further, when the average particle diameter is less than the lower limit value, the fluidity may be lowered, and when the average particle diameter is more than the upper limit value, the filling property may be lowered during molding.
The average particle diameter can be evaluated by, for example, a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus. (Manufactured by Shimadzu Corporation, SALD-7000)

前記(C)無機充填材の含有量は、特に限定されないが、前記エポキシ樹脂組成物全体の75重量%以上、94重量%以下が好ましく、特に80重量%以上、92重量%以下が好ましい。含有量が上記範囲内であると、流動性の低下を招くことなく、耐半田性の向上効果に優れる。   The content of the (C) inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 75% by weight or more and 94% by weight or less, and particularly preferably 80% by weight or more and 92% by weight or less of the entire epoxy resin composition. When the content is within the above range, the effect of improving the solder resistance is excellent without causing a decrease in fluidity.

前記エポキシ樹脂組成物は、前記一般式(1)で示されるジチオアルコール化合物を含む。これにより、耐半田性を向上することができる。   The said epoxy resin composition contains the dithio alcohol compound shown by the said General formula (1). Thereby, solder resistance can be improved.

このような一般式(1)で示されるジチオアルコール化合物を用いることにより、耐半田性を向上することができる理由は、以下のように考えられる。
前記ジチオアルコール化合物は、エポキシ樹脂組成物を製造する過程では安定で反応せず、成形時リードフレーム金属(特に、表面が金の場合)へ接近した場合にS−S結合が解裂して、金属と結合する。したがって、効率良くエポキシ樹脂組成物とリードフレームとの界面で作用することができる。したがって、金属との界面での密着性をより向上することができる。これに対して、例えばチオールを有するような化合物の場合、エポキシ樹脂組成物を製造する過程で樹脂と反応するため、金属表面での効果が低下してしまう。
また、アルコール性水酸基は、他に用いられるようなアミノ基、カルボキシル基、シラノール基等のように樹脂と強固に結合するものと比較して、初期の密着性には劣るが、熱や吸湿等による樹脂の動き(応力)により、密着性の低下が小さい。
The reason why the solder resistance can be improved by using the dithioalcohol compound represented by the general formula (1) is considered as follows.
The dithioalcohol compound is stable and does not react in the process of producing the epoxy resin composition, and the SS bond is cleaved when approaching the lead frame metal (particularly when the surface is gold) during molding, Combines with metal. Therefore, it can act efficiently at the interface between the epoxy resin composition and the lead frame. Accordingly, the adhesion at the interface with the metal can be further improved. On the other hand, for example, in the case of a compound having a thiol, it reacts with the resin in the process of producing the epoxy resin composition, so the effect on the metal surface is reduced.
In addition, the alcoholic hydroxyl group is inferior to the initial adhesiveness compared to those that are strongly bonded to the resin, such as amino groups, carboxyl groups, silanol groups, etc. used elsewhere, but heat, moisture absorption, etc. Due to the movement (stress) of the resin due to, the decrease in adhesion is small.

前記ジチオアルコール化合物の炭素数mは2〜10の整数であるが、より好ましくは、2〜5の整数であり、最も好ましくは2〜3の整数である。炭素数が前記上限値を超えると、分子量が高くなることにより粘度が向上し、流動性が低下する場合がある。また、炭素数が前記下限値未満であると、溶融混練する際に揮発してしまう場合がある。   Although carbon number m of the said dithio alcohol compound is an integer of 2-10, More preferably, it is an integer of 2-5, Most preferably, it is an integer of 2-3. When the number of carbons exceeds the upper limit, the molecular weight is increased, whereby the viscosity is improved and the fluidity may be lowered. Moreover, when carbon number is less than the said lower limit, it may volatilize when melt-kneading.

また、前記ジチオアルコール化合物の炭素数nは、1〜10の整数であるが、より好ましくは、1〜5の整数であり、最も好ましくは1〜3の整数である。炭素数が前記上限値を超えると、分子量が高くなることにより粘度が向上し、流動性が低下する場合がある。また、炭素数が前記下限値未満であると、溶融混練する際に揮発してしまう場合がある。   Moreover, although carbon number n of the said dithio alcohol compound is an integer of 1-10, More preferably, it is an integer of 1-5, Most preferably, it is an integer of 1-3. When the number of carbons exceeds the upper limit, the molecular weight is increased, whereby the viscosity is improved and the fluidity may be lowered. Moreover, when carbon number is less than the said lower limit, it may volatilize when melt-kneading.

また、より具体的には、前記ジチオアルコール化合物の炭素数mが2〜4であり、かつnが1〜4であることが好ましく、特にmが2〜3であり、nが2〜3であることが好ましい。炭素数が前記範囲内であると、特にリードフレームへの接着性(又は耐半田性)を向上する効果に優れる。   More specifically, the dithioalcohol compound has m of 2 to 4 carbon atoms, preferably n of 1 to 4, particularly m of 2 to 3, and n of 2 to 3. Preferably there is. When the carbon number is within the above range, the effect of improving the adhesion (or solder resistance) to the lead frame is particularly excellent.

前記ジチオアルコール化合物は、より具体的には2,2’−ジチオジエタノール、3,3’−ジチオジプロパノールおよびそれらの誘導体の中から選ばれる1種以上のジチオアルコール化合物であることが好ましい。これにより、リードフレームへの接着性(又は耐半田性)を向上することができる。   More specifically, the dithioalcohol compound is preferably at least one dithioalcohol compound selected from 2,2'-dithiodiethanol, 3,3'-dithiodipropanol and derivatives thereof. Thereby, the adhesiveness (or solder resistance) to the lead frame can be improved.

前記(D)ジチオアルコール化合物の含有量は、特に限定されないが、前記エポキシ樹脂組成物全体の0.01重量%以上、1重量%以下が好ましく、特に0.1重量%以上、0.4重量%以下が好ましい。前記ジチオアルコール化合物の含有量が前記下限値を下回ると密着性を向上する効果が低下する場合があり、上限値を超えると成形物の強度を低下させ、パッケージの信頼性を向上する効果が低下する場合がある。   The content of the (D) dithioalcohol compound is not particularly limited, but is preferably 0.01% by weight or more and 1% by weight or less of the entire epoxy resin composition, and particularly 0.1% by weight or more and 0.4% by weight. % Or less is preferable. If the content of the dithioalcohol compound is below the lower limit, the effect of improving the adhesion may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the strength of the molded product is reduced and the effect of improving the reliability of the package is reduced. There is a case.

前記エポキシ樹脂組成物は、特に限定されないが、さらに(E)硬化促進剤を含むことが好ましい。これにより、エポキシ樹脂と硬化剤との反応を促進することができ、良好な流動性と硬化性を併せ持つことができる。
前記(E)硬化促進剤としては、エポキシ樹脂のエポキシ基と硬化剤(例えば、フェノール系樹脂のフェノール性水酸基)との反応を促進するものであればよく、一般に半導体素子の封止材であるエポキシ樹脂組成物に使用されているものを利用することができる。具体例としては、有機ホスフィン、テトラ置換ホスホニウム化合物、ホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物等のリン原子含有化合物、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、ベンジルジメチルアミン、2−メチルイミダゾール等の窒素原子含有化合物が挙げられる。これらの硬化促進剤は、1種類を単独で用いても2種以上を併用して差し支えない。これらのうち、リン原子含有化合物が好ましく、特に流動性という点を考慮するとテトラ置換ホスホニウム化合物が好ましく、またエポキシ樹脂組成物の硬化物の高温下における低弾性率化という点を考慮するとホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物がより好ましい。
Although the said epoxy resin composition is not specifically limited, It is preferable that (E) hardening accelerator is included further. Thereby, reaction of an epoxy resin and a hardening | curing agent can be accelerated | stimulated and it can have favorable fluidity | liquidity and sclerosis | hardenability.
As said (E) hardening accelerator, what accelerates | stimulates the reaction of the epoxy group of an epoxy resin and a hardening | curing agent (for example, phenolic hydroxyl group of a phenol-type resin) is sufficient, and it is a sealing material of a semiconductor element generally. What is used for the epoxy resin composition can be utilized. Specific examples include organic phosphines, tetra-substituted phosphonium compounds, phosphobetaine compounds, phosphorus atom-containing compounds such as adducts of phosphine compounds and quinone compounds, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7, benzyl Nitrogen atom-containing compounds such as dimethylamine and 2-methylimidazole can be mentioned. These curing accelerators may be used alone or in combination of two or more. Among these, a phosphorus atom-containing compound is preferable, and a tetra-substituted phosphonium compound is preferable in consideration of fluidity, and a phosphobetaine compound in consideration of lowering a modulus of elasticity of a cured product of an epoxy resin composition at a high temperature. An adduct of a phosphine compound and a quinone compound is more preferable.

前記有機ホスフィンとしては、例えばエチルホスフィン、フェニルホスフィン等の第1ホスフィン、ジメチルホスフィン、ジフェニルホスフィン等の第2ホスフィン、トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の第3ホスフィンが挙げられる。   Examples of the organic phosphine include a first phosphine such as ethylphosphine and phenylphosphine, a second phosphine such as dimethylphosphine and diphenylphosphine, and a third phosphine such as trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine, and triphenylphosphine.

前記テトラ置換ホスホニウム化合物としては、例えば、下記一般式(4)で表される化合物が挙げられる。   Examples of the tetra-substituted phosphonium compound include compounds represented by the following general formula (4).

Figure 2011088949
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一般式(4)で表される化合物は、例えば以下のようにして得られる。まず、テトラ置換ホスホニウムブロマイドと芳香族有機酸と塩基を有機溶剤に混ぜ均一に混合し、その溶液系内に芳香族有機酸アニオンを発生させる。次いで水を加える。すると、一般式(4)で表される化合物を沈殿させることができる。一般式(4)で表される化合物において、リン原子に結合するR7、R8、R9およびR10がフェニル基であり、かつAHはヒドロキシル基を芳香環に有する化合物、すなわちフェノール類であり、かつAは該フェノール類のアニオンであるのが好ましい。   The compound represented by the general formula (4) is obtained, for example, as follows. First, a tetra-substituted phosphonium bromide, an aromatic organic acid, and a base are mixed in an organic solvent and mixed uniformly to generate an aromatic organic acid anion in the solution system. Then add water. Then, the compound represented by the general formula (4) can be precipitated. In the compound represented by the general formula (4), R7, R8, R9 and R10 bonded to the phosphorus atom are phenyl groups, and AH is a compound having a hydroxyl group in an aromatic ring, that is, phenols, and A Is preferably an anion of the phenol.

前記ホスホベタイン化合物としては、例えば下記一般式(5)で表される化合物が挙げられる。   Examples of the phosphobetaine compound include compounds represented by the following general formula (5).

Figure 2011088949
Figure 2011088949

一般式(5)で表される化合物は、例えば以下のようにして得られる。まず、第三ホスフィンであるトリ芳香族置換ホスフィンとジアゾニウム塩とを接触させ、トリ芳香族置換ホスフィンとジアゾニウム塩が有するジアゾニウム基とを置換させる工程を経て得られる。しかしこれに限定されるものではない。一般式(5)で表される化合物としては、例えば、Xが水素又はメチル基であり、かつYが水素又はヒドロキシル基であるものが好ましい。   The compound represented by the general formula (5) is obtained, for example, as follows. First, it is obtained through a step of bringing a triaromatic substituted phosphine, which is a third phosphine, into contact with a diazonium salt and replacing the triaromatic substituted phosphine with a diazonium group of the diazonium salt. However, the present invention is not limited to this. As the compound represented by the general formula (5), for example, those in which X is hydrogen or a methyl group and Y is hydrogen or a hydroxyl group are preferable.

前記ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物としては、例えば、下記一般式(6)で表される化合物等が挙げられる。   Examples of the adduct of the phosphine compound and the quinone compound include compounds represented by the following general formula (6).

Figure 2011088949
Figure 2011088949

ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物に用いるホスフィン化合物としては、例えば、トリフェニルホスフィン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン、トリナフチルホスフィン、トリス(ベンジル)ホスフィン等の芳香環に無置換あるいはアルキル基、アルコキシル基等の置換基が存在するものが好ましく、アルキル基、アルコキシル基の有機基としては1〜6の炭素数を有するものが挙げられる。入手しやすさの観点からはトリフェニルホスフィンが好ましい。
またホスフィン化合物とキノン化合物との付加物に用いるキノン化合物としては、例えば、o−ベンゾキノン、p−ベンゾキノン、アントラキノン類が挙げられ、中でもp−ベンゾキノンが保存安定性の点から好ましい。
ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物の製造方法としては、有機第三ホスフィンとキノン化合物の両者が溶解することができる溶媒中で接触、混合させることにより付加物を得ることができる。溶媒としてはアセトンやメチルエチルケトン等のケトン類で付加物への溶解性が低いものがよい。しかしこれに限定されるものではない。
一般式(6)で表される化合物において、リン原子に結合するR11、R12およびR13がフェニル基であり、かつR14、R15およびR16が水素原子である化合物、すなわち1,4−ベンゾキノンとトリフェニルホスフィンを付加させた化合物が好ましい。
Examples of phosphine compounds used as adducts of phosphine compounds and quinone compounds include aromatic rings such as triphenylphosphine, tris (alkylphenyl) phosphine, tris (alkoxyphenyl) phosphine, trinaphthylphosphine, and tris (benzyl) phosphine. Those which are unsubstituted or have a substituent such as an alkyl group or an alkoxyl group are preferable, and examples of the organic group of the alkyl group and the alkoxyl group include those having 1 to 6 carbon atoms. From the viewpoint of availability, triphenylphosphine is preferable.
Moreover, as a quinone compound used for the adduct of a phosphine compound and a quinone compound, o-benzoquinone, p-benzoquinone, and anthraquinones are mentioned, for example, p-benzoquinone is preferable from the point of storage stability.
As a method for producing an adduct of a phosphine compound and a quinone compound, the adduct can be obtained by contacting and mixing in a solvent capable of dissolving both the organic tertiary phosphine and the quinone compound. The solvent is preferably a ketone such as acetone or methyl ethyl ketone, which has low solubility in the adduct. However, the present invention is not limited to this.
In the compound represented by the general formula (6), R11, R12 and R13 bonded to the phosphorus atom are phenyl groups, and R14, R15 and R16 are hydrogen atoms, that is, 1,4-benzoquinone and triphenyl A compound to which phosphine is added is preferable.

前記硬化促進剤(E)の配合量は、特に限定されないが、エポキシ樹脂組成物全体の0.1重量%以上、1重量%以下が好ましい。配合量が上記範囲内であると、流動性を損なうことなく、良好な硬化性を得ることができる。   Although the compounding quantity of the said hardening accelerator (E) is not specifically limited, 0.1 to 1 weight% of the whole epoxy resin composition is preferable. When the blending amount is within the above range, good curability can be obtained without impairing fluidity.

また、前記エポキシ樹脂組成物には、必要に応じてエポキシシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、アルキルシラン、ウレイドシラン、ビニルシラン等のシランカップリング剤を用いることが出来る。具体的な化合物としては、例えばγ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(β−アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(β−アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニルγ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(β−アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(6−アミノヘキシル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(3−トリメトキシシリルプロピル)−1,3−ベンゼンジメタナミン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシランン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどが挙げられる。これらのうちエポキシシラン、メルカプトシラン、アミノシランが好ましく、アミノシランとしては、1級アミノシラン又はアニリノシランが好ましい。またこれらは2種以上併用した方がより効果が高く、特にアニリノシランとエポキシシラン又はメルカプトシラン又は1級アミノシランを併用するのが好ましく、エポキシシラン、メルカプトシラン、1級アミノシラン、アニリノシラン4種類併用するのが最も好ましい。   Moreover, silane coupling agents, such as an epoxy silane, a mercapto silane, an amino silane, an alkyl silane, a ureido silane, a vinyl silane, can be used for the said epoxy resin composition as needed. Specific examples of the compound include γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, N- (β-aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N- (β-aminoethyl)- γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenylγ-aminopropyltrimethoxysilane, N- (β-aminoethyl) -γ-aminopropyltriethoxysilane, N- (6-Aminohexyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (3-trimethoxysilylpropyl) -1,3-benzenedimethanamine, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxy Propyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane beta-(3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, .gamma.-mercaptopropyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane down, .gamma.-ureidopropyltriethoxysilane, and vinyl triethoxysilane. Of these, epoxy silane, mercapto silane, and amino silane are preferable. As the amino silane, primary amino silane or anilino silane is preferable. In addition, it is more effective to use two or more of these in combination, and it is particularly preferable to use anilinosilane in combination with epoxy silane, mercaptosilane, or primary aminosilane. Is most preferred.

このようなシランカップリング剤の配合量は、特に限定されないが、前記エポキシ樹脂組成物全体の0.01重量%以上、1.5重量%以下が好ましく、特に0.03重量%以上、1重量%以下が好ましい。シランカップリング剤の配合量が上記範囲内であると、さらなる低粘度化と流動性向上効果が期待できる。また、上記範囲内であれば、硬化性を低下することなく、密着性の向上効果に優れる。また、これらシランカップリング剤は、予め水或いは必要に応じて酸又はアルカリを添加して、加水分解処理して用いてもよく、また予め無機充填材に処理されていてもよい。   The blending amount of such a silane coupling agent is not particularly limited, but is preferably 0.01% by weight or more and 1.5% by weight or less of the whole epoxy resin composition, particularly 0.03% by weight or more and 1% by weight. % Or less is preferable. When the blending amount of the silane coupling agent is within the above range, further lowering of viscosity and improvement in fluidity can be expected. Moreover, if it is in the said range, it will be excellent in the adhesive improvement effect, without reducing sclerosis | hardenability. In addition, these silane coupling agents may be used after being hydrolyzed by adding water or an acid or an alkali as necessary, or may be previously treated with an inorganic filler.

前記エポキシ樹脂組成物には、必要に応じて離型剤が用いられる。離型剤としては、従来公知のものを用いることができるが、例えば、高級脂肪酸、高級脂肪酸金属塩、エステル系ワックス、ポリエチレン系ワックス等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種以上を併用しても構わない。これらのうちポリエチレン系ワックスが好ましく、ポリエチレン系ワックスとモンタン酸エステル系ワックスを併用した方がより好ましい。離型剤の配合量は、特に制限されないが、エポキシ樹脂組成物全体の0.05重量%以上、3重量%以下が好ましく、より好ましくは0.1重量%以上、1重量%以下である。配合量が前記下限値を下回ると離型性が低下する場合があり、前記上限値を上回ると密着性および耐半田性が低下する場合がある。   A release agent is used in the epoxy resin composition as necessary. As the mold release agent, conventionally known ones can be used, and examples thereof include higher fatty acids, higher fatty acid metal salts, ester waxes, polyethylene waxes, and the like. You may use together a seed or more. Of these, polyethylene waxes are preferable, and it is more preferable to use polyethylene wax and montanic acid ester wax in combination. The compounding amount of the release agent is not particularly limited, but is preferably 0.05% by weight or more and 3% by weight or less, more preferably 0.1% by weight or more and 1% by weight or less of the entire epoxy resin composition. If the blending amount is less than the lower limit value, the releasability may be lowered, and if it exceeds the upper limit value, adhesion and solder resistance may be lowered.

前記エポキシ樹脂組成物には、必要に応じてイオントラップ剤が用いられる。イオントラップ剤としては従来公知のものを用いることができるが、例えば、ハイドロタルサイト類やマグネシウム、アルミニウム、ビスマス、チタン、ジルコニウムから選ばれる元素の含水酸化物等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種以上を併用しても構わない。これらのうちハイドロタルサイト類が好ましい。イオントラップ剤の配合量は、特に制限されないが、エポキシ樹脂組成物全体の0.05重量%以上3重量%以下が好ましく、より好ましくは0.1重量%以上1重量%以下である。配合量が前記範囲内であると、充分なイオン補足作用を発揮し、他の材料特性に対する悪影響も少ない。   An ion trap agent is used for the epoxy resin composition as necessary. As the ion trapping agent, conventionally known ones can be used. Examples thereof include hydrotalcites and hydrated oxides of elements selected from magnesium, aluminum, bismuth, titanium, and zirconium. It may be used alone or in combination of two or more. Of these, hydrotalcites are preferred. The compounding amount of the ion trapping agent is not particularly limited, but is preferably 0.05% by weight or more and 3% by weight or less, more preferably 0.1% by weight or more and 1% by weight or less of the entire epoxy resin composition. When the blending amount is within the above range, sufficient ion scavenging action is exhibited and there is little adverse effect on other material properties.

前記エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、硬化促進剤、無機質充填材、ジチオアルコール化合物、シランカップリング剤、離型剤およびイオントラップ剤などの他、カーボンブラック等の着色剤、シリコーンオイル、ゴム等の低応力添加剤、臭素化エポキシ樹脂や三酸化アンチモン、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ほう酸亜鉛、モリブデン酸亜鉛、フォスファゼン等の難燃剤等の添加剤を適宜配合しても差し支えない。   The epoxy resin composition includes an epoxy resin, a phenol resin, a curing accelerator, an inorganic filler, a dithioalcohol compound, a silane coupling agent, a release agent and an ion trap agent, a colorant such as carbon black, a silicone oil Additives such as low stress additives such as rubber, flame retardants such as brominated epoxy resin, antimony trioxide, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, zinc borate, zinc molybdate, phosphazene, etc. .

なお、前記エポキシ樹脂組成物は、例えばミキサー等を用いて原料を充分に均一に混合したもの、更にその後、熱ロール又はニーダー等で溶融混練し、冷却後粉砕したものなど、必要に応じて適宜分散度等を調整したものを用いることができる。   The epoxy resin composition is suitably mixed as necessary, for example, a mixture of raw materials sufficiently uniformly using, for example, a mixer, a melt kneaded with a hot roll or a kneader, and then pulverized after cooling. What adjusted dispersity etc. can be used.

(半導体装置)
上述したようなエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の各種の電子部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の従来からの成形方法で硬化成形して半導体装置を得ることができる。
(Semiconductor device)
The epoxy resin composition as described above is used to seal various electronic components such as semiconductor elements and to manufacture a semiconductor device, and is cured by a conventional molding method such as transfer molding, compression molding, injection molding, etc. A semiconductor device can be obtained by molding.

本発明で封止を行う半導体素子としては、特に限定されるものではなく、例えば、集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード、固体撮像素子等が挙げられる。
本発明の半導体装置の形態としては、特に限定されないが、例えば、デュアル・インライン・パッケージ(DIP)、プラスチック・リード付きチップ・キャリヤ(PLCC)、クワッド・フラット・パッケージ(QFP)、スモール・アウトライン・パッケージ(SOP)、スモール・アウトライン・Jリード・パッケージ(SOJ)、薄型スモール・アウトライン・パッケージ(TSOP)、薄型クワッド・フラット・パッケージ(TQFP)、テープ・キャリア・パッケージ(TCP)、ボール・グリッド・アレイ(BGA)、チップ・サイズ・パッケージ(CSP)等が挙げられる。
トランスファーモールドなどの成形方法で封止された半導体装置は、そのまま、或いは80℃〜200℃程度の温度で、10分〜10時間程度の時間をかけて完全硬化させた後、電子機器等に搭載される。
The semiconductor element that performs sealing in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, a diode, and a solid-state imaging element.
The form of the semiconductor device of the present invention is not particularly limited. For example, the dual in-line package (DIP), the plastic lead chip carrier (PLCC), the quad flat package (QFP), the small outline, and the like. Package (SOP), Small Outline J Lead Package (SOJ), Thin Small Outline Package (TSOP), Thin Quad Flat Package (TQFP), Tape Carrier Package (TCP), Ball Grid Examples include an array (BGA), a chip size package (CSP), and the like.
A semiconductor device sealed by a molding method such as a transfer mold is mounted on an electronic device or the like as it is or after being completely cured at a temperature of about 80 ° C. to 200 ° C. for about 10 minutes to 10 hours. Is done.

図1は、本発明に係る半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いた半導体装置の一例について、断面構造を示した図である。ダイパッド3上に、ダイボンド材硬化体2を介して半導体素子1が固定されている。半導体素子1の電極パッドとリードフレーム5との間は金線4によって接続されている。半導体素子1は、封止用樹脂組成物の硬化体6によって封止されている。   FIG. 1 is a view showing a cross-sectional structure of an example of a semiconductor device using the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to the present invention. The semiconductor element 1 is fixed on the die pad 3 via the die bond material cured body 2. The electrode pad of the semiconductor element 1 and the lead frame 5 are connected by a gold wire 4. The semiconductor element 1 is sealed with a cured body 6 of a sealing resin composition.

以下に本発明を実施例および比較例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。配合割合は重量部とした。
(実施例1)
エポキシ樹脂としてエポキシ樹脂1:一般式(2)で表されるエポキシ樹脂(ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂:日本化薬(株)製、商品名NC3000P、軟化点58℃、エポキシ当量273、n=2.3)6.3重量部と、フェノール樹脂としてフェノール樹脂1:一般式(3)で表されるビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂(明和化成(株)製、商品名MEH−7851SS、軟化点65℃、水酸基当量204、式(2)においてm=1.6)4.3重量部と、硬化促進剤:トリフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加物0.2重量部と、溶融球状シリカ(平均粒径30μm)88.0重量部と、ジチオアルコール構造を有する化合物(D)として2,2’−ジチオジエタノール(東京化成工業(株)製、分子量:154.25)0.1重量部と、シランカップリング剤としてカップリング剤1:N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.2重量部と、離型剤としてポリエチレン系ワックス(離型剤1)0.3重量部と、イオントラップ剤としてハイドロタルサイト(協和化学工業(株)製、DHT−4H)0.2重量部と、カーボンブラック0.4重量部とをミキサーにて混合し、熱ロールを用いて、95℃で8分間混練して冷却後粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto. The blending ratio was parts by weight.
Example 1
Epoxy resin 1: epoxy resin represented by the general formula (2) as an epoxy resin (phenol aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name NC3000P, softening point 58 ° C., epoxy equivalent 273, n = 2.3) 6.3 parts by weight and phenol resin 1: phenol aralkyl resin having a biphenylene skeleton represented by general formula (3) (Maywa Kasei Co., Ltd., trade name MEH-7801SS) Softening point 65 ° C., hydroxyl group equivalent 204, m = 1.6) in formula (2) 4.3 parts by weight, curing accelerator: 0.2 part by weight of adduct of triphenylphosphine and 1,4-benzoquinone , 88.0 parts by weight of fused spherical silica (average particle size 30 μm), and 2,2′-dithiodiethanano as compound (D) having a dithioalcohol structure 0.1 parts by weight of Le (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., molecular weight: 154.25) and 0.2 parts by weight of coupling agent 1: N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane as a silane coupling agent , 0.3 parts by weight of polyethylene wax (release agent 1) as a release agent, 0.2 parts by weight of hydrotalcite (DHT-4H, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) as an ion trap agent, and carbon black 0.4 parts by weight was mixed with a mixer, kneaded at 95 ° C. for 8 minutes using a hot roll, cooled and pulverized to obtain an epoxy resin composition.

(実施例2)
ジチオアルコール構造を有する化合物(D)として3,3’−ジチオジプロパノールを用いた以外は実施例1と同様にした。
(Example 2)
The same procedure as in Example 1 was conducted except that 3,3′-dithiodipropanol was used as the compound (D) having a dithioalcohol structure.

(実施例3)
2,2’−ジチオジエタノールの添加量を減らし、配合を表1のようにした以外は実施例1と同様にした。
(Example 3)
The procedure of Example 1 was repeated except that the amount of 2,2′-dithiodiethanol added was reduced and the formulation was as shown in Table 1.

(実施例4)
2,2’−ジチオジエタノールの添加量を増やし、配合を表1のようにした以外は実施例1と同様にした。
(Example 4)
The procedure of Example 1 was repeated except that the amount of 2,2′-dithiodiethanol added was increased and the formulation was changed as shown in Table 1.

(実施例5)
エポキシ樹脂として以下のものを用いた以外は実施例1と同様にした。
エポキシ樹脂2:ビフェニル型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、商品名YX−4000、エポキシ当量190、融点105℃)。
(Example 5)
Example 1 was repeated except that the following epoxy resin was used.
Epoxy resin 2: Biphenyl type epoxy resin (Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade name YX-4000, epoxy equivalent 190, melting point 105 ° C.).

(実施例6)
フェノール樹脂として以下のものを用いた以外は実施例1と同様にした。
フェノール樹脂2: フェノールアラルキル樹脂(三井化学(株)製、商品名XLC−LL、水酸基当量165、軟化点79℃)。
(Example 6)
Example 1 was repeated except that the following phenol resin was used.
Phenol resin 2: Phenol aralkyl resin (Mitsui Chemicals, trade name XLC-LL, hydroxyl group equivalent 165, softening point 79 ° C.).

(比較例1)
ジチオアルコール化合物(D)を除き、配合を表1のようにした以外は実施例1と同様にした。
(Comparative Example 1)
Except for the dithioalcohol compound (D), the procedure was the same as Example 1 except that the formulation was as shown in Table 1.

(比較例2)
ジチオアルコール化合物(D)の代わりに、ジスルフィドシラン(日本ユニカ−株式会社製:A1289)を用いた以外は実施例1と同様にした。
(Comparative Example 2)
It was carried out similarly to Example 1 except having used disulfide silane (Nippon Unicar Co., Ltd. product: A1289) instead of the dithio alcohol compound (D).

(比較例3)
ジチオアルコール化合物(D)の代わりに、ジチオグリコール酸(和光純薬(株)社製)を用いた以外は実施例1と同様にした。
(Comparative Example 3)
Example 1 was repeated except that dithioglycolic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was used instead of the dithioalcohol compound (D).

各実施例および比較例で得られたエポキシ樹脂組成物を用いて、以下の方法で評価した。結果を表1に示す。   Using the epoxy resin compositions obtained in each Example and Comparative Example, evaluation was performed by the following method. The results are shown in Table 1.

1.耐半田性1
低圧トランスファー成形機(第一精工(株)製、GP−ELF)を用いて、成形温度175℃、圧力8.3MPa、硬化時間120秒の条件でエポキシ樹脂組成物によりシリコンチップ等を封止成形して、80ピンQFP(Quad Flat Package、Cu製Ni−Pd−Auメッキフレーム、パッケージサイズ:14mm×20mm×2mm厚、チップサイズ6.0mm×6.0mm×0.35mm厚)を作製し、アフターベークとして175℃、8時間加熱処理した。その後、60℃、相対湿度60%で120時間の加湿処理を行った後、260℃のIRリフロー処理をした。パッケージ内部の剥離とクラックを超音波探傷機(日立建機ファインテック株式会社製、mi−scope hyper II)で確認し、剥離、クラックのいずれか一方でもあったものを不良とした。評価した10個のパッケージ中の不良パッケージ数を示す。
1. Solder resistance 1
Using a low-pressure transfer molding machine (Daiichi Seiko Co., Ltd., GP-ELF), a silicon chip or the like is sealed with an epoxy resin composition under conditions of a molding temperature of 175 ° C., a pressure of 8.3 MPa, and a curing time of 120 seconds. 80 pin QFP (Quad Flat Package, Cu Ni-Pd-Au plating frame, package size: 14 mm x 20 mm x 2 mm thickness, chip size 6.0 mm x 6.0 mm x 0.35 mm thickness) Heat treatment was performed at 175 ° C. for 8 hours as an afterbake. Then, after performing the humidification process for 120 hours at 60 degreeC and 60% of relative humidity, the IR reflow process of 260 degreeC was performed. Peeling and cracks inside the package were confirmed with an ultrasonic flaw detector (manufactured by Hitachi Construction Machinery Finetech Co., Ltd., mi-scope hyper II), and any one of either peeling or cracking was regarded as defective. The number of defective packages among the 10 packages evaluated is shown.

2.耐半田性2
低圧トランスファー成形機(第一精工(株)製、GP−ELF)を用いて、成形温度175℃、圧力8.3MPa、硬化時間120秒の条件でエポキシ樹脂組成物によりシリコンチップ等を封止成形して、80ピンQFP(Quad Flat Package、Cu製Ni−Pd−Auメッキフレーム、パッケージサイズ:14mm×20mm×2mm厚、チップサイズ6.0mm×6.0mm×0.35mm厚)を作製し、アフターベークとして175℃、8時間加熱処理した。その後、85℃、相対湿度60%で168時間の加湿処理を行った後、260℃のIRリフロー処理をした。パッケージ内部の剥離とクラックを超音波探傷機(日立建機ファインテック株式会社製、mi−scope hyper II)で確認し、剥離、クラックのいずれか一方でもあったものを不良とした。評価した10個のパッケージ中の不良パッケージ数を示す。
2. Solder resistance 2
Using a low-pressure transfer molding machine (Daiichi Seiko Co., Ltd., GP-ELF), a silicon chip or the like is sealed with an epoxy resin composition under conditions of a molding temperature of 175 ° C., a pressure of 8.3 MPa, and a curing time of 120 seconds. 80 pin QFP (Quad Flat Package, Cu Ni-Pd-Au plating frame, package size: 14 mm x 20 mm x 2 mm thickness, chip size 6.0 mm x 6.0 mm x 0.35 mm thickness) Heat treatment was performed at 175 ° C. for 8 hours as an afterbake. Then, after performing the humidification process for 168 hours at 85 degreeC and 60% of relative humidity, 260 degreeC IR reflow process was performed. Peeling and cracks inside the package were confirmed with an ultrasonic flaw detector (manufactured by Hitachi Construction Machinery Finetech Co., Ltd., mi-scope hyper II), and any one of either peeling or cracking was regarded as defective. The number of defective packages among the 10 packages evaluated is shown.

Figure 2011088949
Figure 2011088949

表1から明らかなように、実施例1〜6で得られたエポキシ組成物を用いて成形した半導体パッケージは、耐半田性に優れていた。
特に実施例1および2は、より厳しい条件下での耐半田性にも優れていた。
As is clear from Table 1, the semiconductor package molded using the epoxy compositions obtained in Examples 1 to 6 was excellent in solder resistance.
In particular, Examples 1 and 2 were excellent in solder resistance under more severe conditions.

本発明に従うと、無鉛半田に対応する高温の半田処理によっても剥離やクラックが発生しない良好な耐半田性を有する半導体封止用エポキシ樹脂組成物が得られるので、特に表面実装型の半導体装置の製造用として好適に用いることができる。   According to the present invention, since an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation having good solder resistance that does not cause peeling or cracking even by a high-temperature soldering process corresponding to lead-free solder can be obtained, particularly in a surface-mounted semiconductor device It can be suitably used for production.

1 半導体素子
2 ダイボンド材硬化体
3 ダイパッド
4 金線
5 リードフレーム
6 封止用樹脂組成物の硬化体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor element 2 Die-bonding material hardening body 3 Die pad 4 Gold wire 5 Lead frame 6 Hardening body of resin composition for sealing

Claims (7)

(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、(C)無機充填材と、(D)ジチオアルコール化合物と、を含む半導体封止に用いるエポキシ樹脂組成物であって、
前記(D)ジチオアルコール化合物が、下記一般式(1)で示されるものであることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
Figure 2011088949
(A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) an inorganic filler, and (D) a dithioalcohol compound, and an epoxy resin composition used for semiconductor encapsulation,
The epoxy resin composition, wherein the (D) dithioalcohol compound is represented by the following general formula (1).
Figure 2011088949
前記(D)ジチオアルコール化合物が、2,2’−ジチオジエタノール、3,3’−ジチオジプロパノールおよびそれらの誘導体の中から選ばれる1種以上のジチオアルコール化合物である請求項1に記載のエポキシ樹脂組成物。   The epoxy according to claim 1, wherein the (D) dithioalcohol compound is at least one dithioalcohol compound selected from 2,2'-dithiodiethanol, 3,3'-dithiodipropanol and derivatives thereof. Resin composition. 前記(D)ジチオアルコール化合物の含有量は、前記エポキシ樹脂組成物全体の0.01重量%以上、1重量%以下である請求項1または2に記載のエポキシ樹脂組成物。   3. The epoxy resin composition according to claim 1, wherein the content of the (D) dithioalcohol compound is 0.01 wt% or more and 1 wt% or less of the entire epoxy resin composition. さらに(E)硬化促進剤を含むものである請求項1ないし3のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising (E) a curing accelerator. 前記(A)エポキシ樹脂が、下記一般式(2)で表されるエポキシ樹脂である請求項1ないし4のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
Figure 2011088949
The epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the (A) epoxy resin is an epoxy resin represented by the following general formula (2).
Figure 2011088949
前記(B)硬化剤が、下記一般式(3)で表されるフェノール樹脂である請求項1ないし5のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
Figure 2011088949
The epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the curing agent (B) is a phenol resin represented by the following general formula (3).
Figure 2011088949
請求項1ないし6のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物で、半導体素子が封止されていることを特徴とする半導体装置。   A semiconductor device, wherein a semiconductor element is sealed with a cured product of the epoxy resin composition according to claim 1.
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