JP2011074463A - 銅の電解精製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電解液を収容する電解槽中に第1電極及び粗銅製の第2電極を浸漬させて銅電解精製を行う方法であって、第1電極13をカソードとし、第2電極12をアノードとする第1電流を第1電極13及び第2電極12の間に流し、第1電極13の表面に電着銅層6を析出させる工程(S1)と、第1電流を停止させる工程(S2)と、停止後、所定時間経過後に、第1電極13をアノードとし、第2電極12をカソードとする第2電流を第1電極13及び第2電極12の間に流し、電着銅層6上に生成される銅化合物層を除去する工程(S3)と、第1電極13をカソードとし、第2電極12をアノードとする第3電流を第1電極13及び第2電極12の間に流し、電着銅層6の表面に再電着銅層7を電着させる工程(S4)とを含む銅の電解精製方法である。
【選択図】図1
Description
図1に示す電解精製システムは、電解槽1、整流器2、循環槽3、ヘッドタンク4および制御装置5を備える。電解槽1の中には電解液11が収容されている。電解液11としては、例えば、銅濃度50〜60g/L、塩素濃度50〜60mg/Lの硫酸系電解液が利用可能である。電解液11中には、ステンレス、アルミ等により形成される第1電極13及び粗銅製の第2電極12が浸漬されている。第2電極12としては、例えば99.2〜99.6%の銅品位を有し、不純物として、Ni、Bi等を含む粗銅が利用可能である。第1電極13の側面部には、樹脂によるマスキング(エッジストリッププロテクター)が施されている。第1電極13の底部には、図2に示すように、V字型の溝14が形成されている。
図3に示すフローチャートを用いて本発明の実施の形態に係る銅の電解精製方法を説明する。
ステップS3の詳細を説明する前に、まず、停電前後の電解槽1内の反応について説明する。通常運転時の銅の電解精製(ステップS1)は、上述したように、通常250〜325A/m2程度の電流密度で行われるが、停電が起こると、電解槽1内の電流密度は一挙にゼロとなり、第1電極13上に析出した電着銅層6(図2参照)が、電解液11中に長期間晒される。その後、通常運転を再開して電流値を一挙に正常操業値に上げ、再電着銅層7を形成した後に、第1電極13に積層した電着銅の断面組織を観察すると、電着銅層6と再電着銅層7との間の界面9に筋状の模様が観察される。停電時間が長いほど、筋状の模様が明瞭になっており、結晶成長が停電前の履歴を引き継がないことがわかった。この筋状の模様は、塩化銅(CuCl(s))を主とする銅化合物層であると考えられる。
Cu2+ + e- → Cu+ ・・・(1)
Cu+ + e- → Cu ・・・(2)
Cu+ + Cl- → CuCl(aq) ・・・ (3)
CuCl(aq)+ e- → Cu + Cl- ・・(4)
Cu0 + Cu2+ → 2Cu+ ・・・(5)
Cu+ + Cl- → CuCl(s) ・・・ (6)
2 整流器
3 循環槽
4 ヘッドタンク
5 制御装置
6 電着銅層
7 再電着銅層
8、9 界面
11 電解液
12 第2電極
13 第1電極
14 V字形の溝
Claims (5)
- 電解液を収容する電解槽中に第1電極及び粗銅製の第2電極を浸漬させて銅電解精製を行う方法であって、
(a)前記第1電極をカソードとし、前記第2電極をアノードとする第1電流を前記第1電極及び前記第2電極の間に流し、前記第1電極の表面に電着銅層を析出させる工程と、
(b)前記第1電流の供給を停止させる工程と、
(c)前記停止後、所定時間経過後に、前記第1電極をアノードとし、前記第2電極をカソードとする第2電流を前記第1電極及び前記第2電極の間に流し、前記電着銅層上に生成される銅化合物層を除去する工程と、
(d)前記銅化合物層の除去後に、前記第1電極をカソードとし、前記第2電極をアノードとする第3電流を前記第1電極及び前記第2電極の間に流し、前記電着銅層の表面に再電着銅層を電着させる工程と
を含む銅の電解精製方法。 - 少なくとも工程(b)と工程(d)との間に、前記第1電極の電極面に対して液流を起こさせる工程を更に含む請求項1に記載の銅の電解精製方法。
- 少なくとも工程(b)と工程(d)との間に、前記電解液を循環させる工程を更に含む請求項1に記載の銅の電解精製方法。
- 工程(b)と工程(c)との間に、前記第2電流より電流密度が小さく、前記第1電極をアノードとし、前記第2電極をカソードとする第4電流を、前記第1電極及び前記第2電極の間に流す工程を更に含むことを特徴とする請求項1または2に記載の銅の電解精製方法。
- 前記第2電流の電流密度が、100〜350A/m2であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の銅の電解精製方法。
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CN106435654A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 河南豫光金铅股份有限公司 | 一种铜电解精炼中阴极板铜液位线白色结晶的消除方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0978282A (ja) * | 1995-09-12 | 1997-03-25 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 銅電解精製における長周期パルス電解操業方法 |
JPH09217190A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-08-19 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 電解精製における通電方法 |
JPH1088381A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 銅電解精製方法 |
JP2002206187A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-07-26 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 銅の電解精製方法 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0978282A (ja) * | 1995-09-12 | 1997-03-25 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 銅電解精製における長周期パルス電解操業方法 |
JPH09217190A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-08-19 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 電解精製における通電方法 |
JPH1088381A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 銅電解精製方法 |
JP2002206187A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-07-26 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 銅の電解精製方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015206101A (ja) * | 2014-04-23 | 2015-11-19 | パンパシフィック・カッパー株式会社 | 電着銅の剥ぎ取り方法 |
CN106435654A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 河南豫光金铅股份有限公司 | 一种铜电解精炼中阴极板铜液位线白色结晶的消除方法 |
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