JP2011058969A - 光学計測器用断熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対象物と光学計測器との間に平行平面な透明体を配置し、光学計測器と透明体の間に強制対流を発生させる空冷または液体冷却と、前記透明体を支持し、液体を使った冷却が可能な熱交換器により、光学計測器への熱気を遮断する光学計測器用断熱装置を構成するようにした。
【選択図】 図1
Description
さて、前記課題を解決するために、光学計測器の光路中に挿入される少なくとも1枚の平行平面透明体と、前記平行平面透明体を支持しかつ、熱源から前記光学計測器に向かう熱対流を遮断し、その内部に液体を流して熱が問題とならない外部へ排熱することで自らを冷却する機能を有する熱交換器と、前記光学計測器と平行平面透明体の間に、強制的に気体あるいは液体の流れを発生させることで前記平行平面透明体から前記光学計測器への対流熱伝達を防ぐ対流発生機構とにより断熱をする構造をもつ光学計測器用断熱装置を構成する。
2 断熱装置
3 対象物
4 加熱装置
5 空調装置
6 光学計測器
7 設置台
101 光学系部
102 液体循環用ホース
103 配管部
104 気体送排用ホース
105 送風発生装置
106 冷却水循環装置
201 熱交換器プレート
202 平行平面透明体
203 循環用パイプ
204 送風・送水口
205 排気・排水口
Claims (6)
- 光学計測器の光路中に挿入される少なくとも1枚の平行平面透明体と、
前記平行平面透明体を支持し、かつ、熱源から前記光学計測器に向かう熱対流を遮断し、内部に液体を流して熱が問題とならない外部へ排熱することで自らを冷却する機能を有する熱交換器と、
前記光学計測器と平行平面透明体との間に、強制的に気体あるいは液体の流れを発生させることで前記平行平面透明体から前記光学計測器への対流熱伝達を防ぐ対流発生機構とにより構成されることを特徴とする光学計測器用断熱装置。 - 前記平行平面透明体は2枚で構成され、
2枚の間の空間に前記対流発生機構により強制的に気体あるいは液体の対流を生じさせることを特徴とする請求項1記載の光学計測器用断熱装置。 - 前記平行平面透明体の少なくとも1面に、熱源からの輻射熱を低減する薄膜が塗布されていることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の光学計測器用断熱装置。
- 前記平行平面透明体は、熱膨張で発生する応力歪みによる複屈折が、偏光を利用する前記光学計測器の計測に影響しない程度に薄いことを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3のいずれかに記載の光学計測器用断熱装置。
- 前記光学計測器の設置空間の温度が、熱源からの熱により上昇することを抑制し、かつ前記熱交換器による結露発生を抑制するための空調機構を備えることを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4のいずれかに記載の光学計測器用断熱装置。
- 前記光学計測器の周囲に設置され、熱源からの熱対流を遮断する機能を有する断熱材を備えることを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3または請求項4または請求項5のいずれかに記載の光学計測器用断熱装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015529858A (ja) * | 2012-09-13 | 2015-10-08 | ブランディーズ・ユニバーシティBrandeis University | 低温超分解能蛍光顕微鏡法および他の用途のための冷却システムおよび方法 |
JP2019144129A (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 株式会社東光高岳 | 基板形状計測装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS526539A (en) * | 1975-07-05 | 1977-01-19 | Kawano Rinshiyou Igaku Kenkyusho | Observation recorder for live cells and others |
JPS6173011A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-15 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 結露防止した測長装置 |
JPH08201440A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Toshiba Corp | 光変流器及びその製造方法 |
JPH11258401A (ja) * | 1997-11-25 | 1999-09-24 | Hoya Corp | 光学素子及びその製造方法 |
JP2000004056A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Takuma Co Ltd | 耐熱プローブ及びこれを備えたレーザ流速計 |
JP2001117016A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-04-27 | Tokai Hit:Kk | 検体温度管理器用プロテクターと、検体温度管理器 |
JP2001290120A (ja) * | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Sony Corp | 投射型液晶表示装置 |
JP2003307412A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Haneda Makoto | 形状測定装置 |
JP2004093280A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Fujitsu Ltd | 測定装置 |
JP2007024711A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Schott Ag | 光分散を用いた熱ガラス体厚の無接触光学測定方法及び装置 |
JP2007127672A (ja) * | 2000-11-14 | 2007-05-24 | Nippon Steel Corp | 炉幅測定装置及び炉幅測定方法 |
-
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS526539A (en) * | 1975-07-05 | 1977-01-19 | Kawano Rinshiyou Igaku Kenkyusho | Observation recorder for live cells and others |
JPS6173011A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-15 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 結露防止した測長装置 |
JPH08201440A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Toshiba Corp | 光変流器及びその製造方法 |
JPH11258401A (ja) * | 1997-11-25 | 1999-09-24 | Hoya Corp | 光学素子及びその製造方法 |
JP2000004056A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Takuma Co Ltd | 耐熱プローブ及びこれを備えたレーザ流速計 |
JP2001117016A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-04-27 | Tokai Hit:Kk | 検体温度管理器用プロテクターと、検体温度管理器 |
JP2001290120A (ja) * | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Sony Corp | 投射型液晶表示装置 |
JP2007127672A (ja) * | 2000-11-14 | 2007-05-24 | Nippon Steel Corp | 炉幅測定装置及び炉幅測定方法 |
JP2003307412A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Haneda Makoto | 形状測定装置 |
JP2004093280A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Fujitsu Ltd | 測定装置 |
JP2007024711A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Schott Ag | 光分散を用いた熱ガラス体厚の無接触光学測定方法及び装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015529858A (ja) * | 2012-09-13 | 2015-10-08 | ブランディーズ・ユニバーシティBrandeis University | 低温超分解能蛍光顕微鏡法および他の用途のための冷却システムおよび方法 |
US9784962B2 (en) | 2012-09-13 | 2017-10-10 | Brandeis University | Cooling systems and methods for cryo super-resolution fluorescence light microscopy and other applications |
US10678039B2 (en) | 2012-09-13 | 2020-06-09 | Brandeis University | Cooling systems and methods for cryo super-resolution fluorescence light microscopy and other applications |
JP2019144129A (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 株式会社東光高岳 | 基板形状計測装置 |
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