JP2011057350A - フローティングテーブル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基台110と、基台110に対し水平方向に移動自在な載置台120と、基台110に垂直方向に移動可能に取り付けられ、載置台120と係合することにより載置台120の移動を規制する規制部材130と、規制部材130と載置台120との係合状態を維持する維持機構140とを備える。
【選択図】図3
Description
図2は、フローティングテーブルを側面から示す断面図である。
B ロボット
100 フローティングテーブル
110 基台
111 フランジ部
120 載置台
121 載置部
122 第一係合部
123 回避部
124 接続部
130 規制部材
131 第二係合部
132 環状部
133 長孔
140 維持機構
145 ピン
146 孔
151 ベアリング
152 凹陥部
Claims (3)
- 基台と、
前記基台に対し水平方向に移動自在な載置台と、
前記基台に垂直方向に移動可能に取り付けられ、前記載置台と係合することにより前記載置台の移動を規制する規制部材と、
前記規制部材と前記載置台との係合状態を維持する維持機構と
を備えるフローティングテーブル。 - 前記規制部材は、筒形状であり、前記基台と前記載置台との摺動部分を取り囲んで覆うように配置される請求項1に記載のフローティングテーブル。
- 前記規制部材が前記載置台と係合した状態において、前記載置台の中央を通り垂直方向に仮想的に延びる載置台軸と、前記基台の中央を通り垂直方向に仮想的に延びる基台軸とが一致する請求項1に記載のフローティングテーブル。
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JP2009207528A JP4905521B2 (ja) | 2009-09-08 | 2009-09-08 | フローティングテーブル |
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JP4905521B2 JP4905521B2 (ja) | 2012-03-28 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113460474A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-10-01 | 苏州玥朗自动化科技有限公司 | 浮动支撑装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05283508A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Toshiba Corp | 半導体ウェーハ収納容器の載置装置 |
JP2008098288A (ja) * | 2006-10-10 | 2008-04-24 | Freebear Corp | 位置決めユニット |
JP2009038326A (ja) * | 2007-08-06 | 2009-02-19 | Yaskawa Electric Corp | カセットフローティングステージおよびこれを用いたカセットステーション |
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2009
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JP4905521B2 (ja) | 2012-03-28 |
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