JP2011056788A - ブレイク装置及びブレイク方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】脆性材料基板17は、一方の面に粘着テープ41が貼り付けられ、他方の面にスクライブラインが形成される。脆性材料基板17のスクライブ面をシート状の弾性部材42上に接触させて保持する。又弾性部材42の外周部を環状のリング18により保持し、弾性部材42の下部の空隙43を気密に保ってテーブル16上に配置する。そして基板のスクライブラインの真上から加圧空気をノズルより噴出させ、スクライブラインに沿って走査することにより、脆性材料基板17を容易にブレイクすることができる。
【選択図】図3B
Description
11 移動台
12a,12b 案内レール
13 ボールネジ
14,15 モータ
16 テーブル
17 脆性材料基板
18 リング
19a,19c CCDカメラ
20 ブリッジ
21a,21b 支柱
22 リニアモータ
23 ブレイクヘッド
24 エアノズル
25 ダクト
26 空気圧縮機
31 画像処理部
32 制御部
41 粘着テープ
42 弾性部材
Claims (4)
- 一方の面に粘着テープが貼り付けられ、他方の面にスクライブラインが形成された脆性材料基板をブレイクするブレイク装置であって、
前記脆性材料基板のスクライブラインが形成された面をその上面に接触させたシート状の弾性部材と、
テーブル上に配置され前記弾性部材の外周部を保持し、前記弾性部材の下部空隙を気密に保つ環状のリングと、
前記基板のスクライブラインに沿ってスクライブラインの真上より流体をノズルより噴出させる流体噴出手段と、を具備するブレイク装置。 - 前記流体噴出手段のノズルをスクライブラインに沿って走査する走査手段を更に具備する請求項1記載のブレイク装置。
- 一方の面に粘着テープが貼り付けられ、他方の面にスクライブラインが形成された脆性材料基板をブレイクするブレイク方法であって、
前記脆性材料基板のスクライブラインが形成された面を弾性部材の上面に接触させて保持し、
前記弾性部材の外周部を保持し、前記弾性部材の下部空隙を気密に保ち、
前記基板のスクライブラインに沿ってスクライブラインの真上より流体をノズルより噴出させるブレイク方法。 - 前記ノズルより流体を噴出させつつスクライブラインに沿って走査する請求項3記載のブレイク方法。
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2009
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