JP2011053415A - 液晶露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液晶露光用の波長を選択的に反射する平面鏡の温度を、効率的に保持板に伝熱して変形や破損を防止する。
【解決手段】液晶露光用の波長を選択的に反射する第１平面鏡１１７は、保持板２０１に面接触で保持されている。その保持板２０１側の接触面には、全面に亘って負圧発生用の穴が形成され、真空ポンプ４０７からリザーブタンク４０３を介して真空吸引することで、第１平面鏡１１７の背面を保持板２０１に密着させ、その伝熱効果を高めている。水ポンプ４０１は、パイプ２０３に冷却媒体を流すことで、第１平面鏡１１７等の温度も制御可能としている。
【選択図】図７

Description

本発明は、液晶表示用パネルの製造装置に係り、特にマスクに描かれたパターンをガラス基板上に露光する液晶露光装置に関する。

液晶パネルの製造では、フォトレジスト膜などが形成されたガラス基板とマスクとを１mm以下に近づけ、露光用ランプからの光を平行光にしてマスクに照射し、マスクパターンをガラス基板に転写するプロキシミティ方式の露光装置が用いられている。

このような液晶用の露光装置において、近年は表示用パネルの大型化が進み、露光用ランプの輝度も高いものが要求されるようになった。このため、露光用に複数のランプを用いることで、高輝度化に対応することも提案されている。

例えば、特許文献１もその1つで、ここでは複数のランプを用いた場合に、隣接するランプの温度差が与える影響を分析し、その表面温度を均一化することで、露光光の照明を安定化することが記載されている。具体的には、各ランプ及び集光鏡間に隔壁を設け、この隔壁に冷却水を流すとともに、その後段の平面鏡をも含めてランプハウスに入れて空気を還流させることで、均一に冷やすことが提案されている。

特開２００８−８３５８６号公報

しかしながら、上記特許文献１には、特に平面鏡の保持構造、更にはそのことによる温度の影響については考慮されていない。

図１２は、最近考えられている液晶露光装置の概略図であって、露光用ランプ１２１は、その発光を安定させるため鉛直方向上方向きに設置し、これから出た光は、集光鏡１１９で集め、上方に設置した第１平面鏡１１７に向かう。第１平面鏡１１７では、露光に利用する波長365nmのi線、波長405nmのｈ線、波長436nmのg線の光を選択的に反射し、他の光は透過し、保持板２００（図１３）でそのエネルギーを吸収する。第１平面鏡１１７は、鉛直方向下向きで、反射した光が次のフライアレイレンズ１１５に向かうよう、４５度斜めに設置する。第１平面鏡１１７で反射した光は、フライアレイレンズ１１５を透過して強度分布が一様化し、凹面鏡１１３で平行光に変換する。平行光は、第２平面鏡１１１で鉛直方向下向きに曲げられ、マスク１０９のパターンをこれに接近して設置したガラス基板１０７上に投影する。投影終了後、ガラス基板１０７を搭載したステージ１０５は、ステージ１０３とともにステップ移動し、ガラス基板１０７にマスク１０９のパターンを複数転写する。
マスクパターンの転写を短時間に終了させれば、液晶パネルを効率良く生産することができる。このため、ランプ１２１には、高輝度のもの、あるいは特許文献１のように複数のランプを使うことになる。

図１４は本発明に適用する高圧水銀ランプの発光波長強度特性の一例、図１５は本発明に適用する第１平面鏡１１７の光透過率特性の一例を示す。

前記第１平面鏡１１７は、波長５００ｎｍまでを反射、波長５００ｎｍより長波長は透過している。図１５より、波長５００ｎｍよりも長波長では、光の透過率が９０％程度であり、残りの１０％の光は第１平面鏡１１７で反射、または、吸収している。第１平面鏡１１７が光を吸収すると、その温度は上昇する。

図１３は、図１２を構成する部品のうち、第１平面鏡１１７とこれを保持する保持板２００を示している。第１平面鏡１１７は、周辺に配置した複数箇所のフック２０７で保持板２００に固定されている。保持板２００には、冷却水を通すパイプ２０３を設置し、第１平面鏡１１７を透過した光のエネルギーを吸収し温度上昇を防止する。第１平面鏡１１７が光を吸収して温度が上昇すると、第１平面鏡１１７が熱膨張により大きくなり、周辺をフック２０７で拘束していると、第１平面鏡１１７の表面が凸に盛り上がる変形が発生する。変形が大きくなると、これで反射した光がフライアレイレンズ１１５から外れてこれに入射する光が少なくなり、マスクパターンが転写できなくなる。更に、変形が大きくなると、第１平面鏡１１７が破壊してしまう。

これを避けるために、フック２０７の拘束を弱くして第１平面鏡１１７の変形をそのまま伸縮できるようにすると、４５度斜め下向きに設置したため重力に引かれて位置が変わり、入射する光の全てをフライアレイレンズ１１５に向けて反射できず、マスクパターンを鮮明に転写できなくなる。

また、第１平面鏡１１７は、フック２０７により保持板２００に接しており、この接触面の伝熱によりエネルギーが保持板２００側に移動し、第１平面鏡１１７の温度上昇を抑える効果がある。しかし、第１平面鏡１１７が４５度斜め下向きに設置されると、フック２０７から離れた部分では、重力に引かれて保持板２００との間にすき間が生じ、輻射によるエネルギーが保持板２００側に僅かに移動するだけとなり、この部分での温度上昇が大きくなる。このすき間を小さくする、又は無くすために、接着剤で第１平面鏡１１７裏面と保持板２００を接着する方法もあるが、第１平面鏡１１７の温度変化による伸縮で、接着がはがれてしまうことがあった。

更には、ランプ点灯時の前後、あるいはランプ消灯時の前後では、第１平面鏡と保持板との間の温度差、それによる伸縮率の差によっても、前記すき間、或いは接着のはがれ等を生じ、更に強固に接触固定すると第１平面鏡を破損する恐れがある。

そこで、本発明の第一の目的は、液晶露光用の波長を選択的に反射する平面鏡の温度を保持板に効率的に伝熱し、安定した露光が可能な液晶露光装置を提供するにある。

本発明の第二の目的は、上記平面鏡の温度変化、或いは保持板との伸縮率の差にも強い、信頼性の高い液晶露光装置を提供するにある。
本発明のその他の目的については、以下述べる実施例で詳述する。

上記第一の目的達成するため、本発明の第一の特徴は、上記平面鏡の背面と面接触して当該平面鏡を保持する保持板を設け、この保持板の上記平面鏡背面との接触面に負圧部を形成することにより、この負圧を利用して平面鏡背面を保持板に密着して固定可能にしたところにある。

上記第二の目的を達成するため、本発明の第二の特徴は、前記保持板の接触面を冷却する冷却通路と、この冷却通路に冷却媒体を流すポンプと、上記冷却媒体の温度を変化させる熱変換機と、この熱交換器を作動して上記冷却媒体の温度を制御する温度コントローラとを備え、上記冷却媒体の温度を目的に応じて制御可能にしたところにある。
本発明のその他の特徴は、以下述べる実施例で詳述する。

本発明の第一の特徴によれば、負圧を利用して平面鏡の裏面を保持板に密着させることができるので、平面鏡のエネルギーを高い伝熱効果で保持板に移動させることができ、平面鏡の温度上昇或いは変形を小さくして、平面鏡に入射する光をフライアレイレンズを介して効率的に利用することのできる、安定した液晶露光を実現することが可能となる。

本発明の第二の特徴によれば、温度コントローラにより、冷却媒体の温度、即ち保持板の温度、更には平面鏡の温度を、状況に合わせて制御することができるので、平面鏡背面と保持板とが密着していても、温度変化に強い信頼性の高い液晶露光装置を実現することができる。
その他の効果については、以下述べる実施例の中で詳述する。

本発明による液晶露光装置の一実施例の概要図。 図１のランプウスとミラーハウスの内部を説明する概要図。 本発明の一実施例に係る第１平面鏡の設置例の概要図。 本発明の一実施例に係る保持板の構成図。 本発明の他の実施例に係る保持板の構成図。 本発明の更に他の実施例に係る保持板の構成図。 本発明の一実施例に係る負圧部の負圧制御ブロック図。 本発明の他の実施例に係る負圧部の負圧制御ブロック図。 図８における圧力コントローラの制御フローチャート。 本発明の他の実施例に係る液晶露光装置の概要図。 図１０における第１平面鏡と冷却媒体との温度変化の説明図。 最近考えられている液晶露光装置の概要図。 図１２を構成する第１平面鏡の取付け図。 本発明に適用する高圧水銀ランプの発光波長強度を示す一特性図。 本発明に適用する平面鏡の光透過率を示す一特性図。

以下、本発明の実施の形態について、図示する実施例を用いて詳細に説明する。
なお、本発明の対象となる平面鏡は、集光鏡からの光の波長を選択して反射する平面鏡であって、以下述べる実施例では第１平面鏡が該当する。

図１は、本発明による液晶露光装置の一実施を示す。テーブル１０１上にステージ１０３を設置し、ステージ１０３上にステージ１０５を設置することで、ガラス基板１０７をＸＹ方向にステップ状に移動し、位置決めする。ランプハウス１１０の光は、ミラーハウス１０８を通して、マスクに描かれたパターンをガラス基板１０７に転写する。ステージ１０３とステージ１０５は、１０００ミリ毎秒以上の速度で高速に移動し、ガラス基板１０７を一ヶ月あたり数万枚処理することができる。

図２は、ランプハウス１１０とミラーハウス１０８の内部を説明する概要図である。ランプ１２１には高圧水銀ランプを用い、これの放電発光を安定させるため、鉛直方向に設置する。ランプ１２１から出た光は、周辺に設置した集光鏡１１９で集める。集光鏡１１９は、ランプ１２１に接近して設置し高温になるため、その開口を鉛直方向上向きにして、放熱を行う。この集光鏡１１９は、図１５に示す短波長反射、長波長透過のコールドミラーの機能を備えることが多い。集光鏡１１９で集めた光は、直上に設置した第１平面鏡１１７で、波長５００ｎｍまでを反射、波長５００ｎｍより長波長は透過する。第１平面鏡１１７で反射した光は、フライアレイレンズ１１５を透過し強度分布が一様化し、凹面鏡１１３で平行光に変換する。平行光は、第２平面鏡１１１で鉛直方向下向きに曲げられ、マスク１０９のパターンをこれに接近して設置したガラス基板１０７上に投影する。ガラス基板１０７を一ヶ月あたり数万枚処理するには、投影時間は数秒になることが多く、マスク１０９のサイズが大きくなり６５インチを超える液晶パネルを製造するためには、ランプ１２１の出力を数１０キロワットとすることが多い。集光鏡１１９は、その設置が鉛直方向上向きで放熱が容易な他、冷却手段の設置が容易である。

図３は、本発明の特徴をなす第１平面鏡の一設置例の概要図ある。第１平面鏡１１７は、これを４５度斜め下向きに設置するため保持板２０１に、フック２０７で固定する。第１平面鏡１１７は、フック２０７によってその表面だけが保持板２０１方向に押さえ付けられている。第１平面鏡１１７とフック２０７が接する面は、金属製波形状板バネ、または、耐紫外線と耐熱性に優れるシリコン製ゴム等で構成することが好ましい。

図４は、本発明の特徴をなす保持板の一構成例の概要図であり、図３の第１平面鏡１１７を省いた状態で、この平面鏡背面との接触面に形成する負圧部を多数の穴３０１で構成した例を示す。図４において、保持板２０１はその冷却のために冷却媒体を流すパイプ２０３が設置されている。冷却媒体としては水、または、エチレングリコールを溶解した液体を、このパイプを通して保持板２０１の内部に設置した冷却水管穴２０４に流し保持板２０１に接した第１平面鏡１１７を冷却する。また、図４で、保持板２０１は真空圧を発生させるためのパイプ２０５を設置する。パイプ２０５は、保持板２０１の内部に設置した真空管穴２０６を介して、第１平面鏡１１７の背面が接する表面に複数個設けた穴３０１で真空圧を発生し、保持板２０１表面に第１平面鏡１１７を密着させ伝熱により冷却する。第１平面鏡１１７は、保持板２０１にフック２０７でその４辺を押さえて保持板２０１に組み付けるだけでは、第１平面鏡１１７が自重によりフック２０７から離れた部分、例えば、その中心では保持板２０１との間にすき間ができてしまい、この部分が輻射による冷却となってしまうのに比べて、本実施例では効率の良い冷却が可能となる。

図５は、図４で示した保持板２０１の変形例で、平面鏡背面との接触面に形成する負圧部を溝３０３で構成した例を示す。図に示すように、第１平面鏡１１７の背面が接する表面に溝３０３を設け、全ての溝がつながった状態で、溝３０３の中に設けた穴３０５を通して真空引きすることで、保持板２０１表面に第１平面鏡１１７密着させ伝熱により冷却するようにしている。本実施例によれば、保持板２０１の表面に溝を形成することで負圧部を構成できるので、加工が容易という特徴がある。さらには、冷却用パイプ２０３の配置に因らずに形成でき、また、溝３０３の幅を広げることで第１平面鏡１１７が厚くなっても真空圧で保持板２０１表面に第１平面鏡１１７密着させることが可能となる。

また、以上説明した実施例によれば、第１平面鏡の全面にわたって保持板２０１を介して冷却をすることができるので、第１平面鏡の変形が小さくなり、これで反射した光をフライアレイレンズ１１５にすべて入射し、マスクパターンを正確に転写することが可能となる。また、変形が大きくなることはないため、第１平面鏡１１７の破壊を避けることができる。

更には、第１平面鏡１１７を保持板２０１で支えるときに、負圧力とフック２０７で第１平面鏡１１７の荷重を支えることから、フック２０７が第１平面鏡表面を押さえる力が小さくでき、第１平面鏡表面形状の変形が小さくなり、これで反射した光をフライアレイレンズ１１５にすべて入射し、マスクパターンを正確に転写することが可能となる。また、穴３０１、又は溝３０３の間にわたって重力に引かれて自由変形するが、この間隔が狭くなり自由変形が小さくなるので、第１平面鏡の厚さを薄くしてより少ない材料で第１平面鏡を製作することができるという特徴もある。

また、第１平面鏡１１７と保持板２０１の温度膨張係数が違っていて、両者の伸縮量に違いがあっても、伸縮方向には両者の吸着力と両者の接触面での摩擦係数の積による摩擦力がその面内でしか掛からないため、両者の材料選択の幅が広がり、製造が容易になるという特徴がある。

図６は、図４の更なる変形例で、平面鏡背面との負圧部を空間で構成した例を示す。図示するように、第１平面鏡１１７の背面が接する面に空間３０７を形成し、この空間３０７内にあって、第１平面鏡１１７の裏面に接する高さの突起３０９を設け、空間３０７の中に設けた穴３１１を通して空間３０７と突起３０９の間に真空圧を発生し、保持板２０１表面と突起３０９に、第１平面鏡１１７を密着させ伝熱により冷却するようにしている。

本実施例によれば、第１平面鏡１１７表面で、集光鏡１１９によって集めたランプ１２１からの光が集中する領域で、その裏面に突起３０９を密着させることにより、第１平面鏡１１７表面で高温になる部分からの熱を効率よく保持板２０１に逃がすことができる。したがってランプ１２１でより高出力のものを使って露光を短時間にすることができ、または、マスク１０９を大きくしても露光時間を長くする必要がなくなり、マスクパターンを効率よく転写することが可能となる。

図７は本発明の一実施例に係る負圧部の負圧制御ブロック図であり、図４、図５又は図６で示した保持板２０１でもって、その負圧力を制御して第１平面鏡１１７を密着・保持するための構成例を示す。なお、水ポンプ４０１は、パイプ２０３に冷却媒体を流すものであり、パイプ２０３を通して保持板２０１内の冷却水管２０４に冷却水を循環している。真空ポンプ４０７は、リザーブタンク４０３とパイプ２０５を介して、保持板２０１の穴３０１、溝３０３や空間３０７に負圧を発生させる。真空ポンプ４０７とリザーブタンクの間にある弁４０５は、第１平面鏡１１７を保持板２０１に密着後、弁４０５を閉じることで真空ポンプ４０７を切り離しても第１平面鏡１１７が保持板２０１に密着することを維持するものである。

この実施例によれば、第１平面鏡１１７を保持板２０１に組み付けたユニットをランプハウス１１０に取り付ける作業中に第１平面鏡１１７の変形を抑え、取付後に第１平面鏡１１７に残る応力を小さくし不用意な加振、熱衝撃による破壊を防止することができるという効果がある。また、第１平面鏡１１７が保持板２０１に密着後、弁４０５を閉じることで真空ポンプ４０７を停止しても第１平面鏡１１７が保持板２０１に密着することを維持するものである。これにより、第１平面鏡１１７と保持板２０１の間からの空気の流入が少なければ、真空ポンプ４０７の稼働を停止することが出来、液晶露光装置の稼動に必要なエネルギー消費を抑えることができる。

図８は本発明の他の実施例に係る負圧部の負圧制御ブロック図で、図７の変形例に相当する。真空ポンプ４０７は、リザーブタンク４０３とパイプ２０５を介して、保持板２０１の穴３０１、溝３０３や空間３０７に負圧を発生させる。リザーブタンク４０３に取り付けた圧力センサ４０９は、リザーブタンク４０３中の圧力であって、保持板２０１の穴３０１、溝３０３や空間３０７の負圧値を検出し、この値について圧力コントローラ４１１は所定の値より圧力が変化、または到達すると真空ポンプ４０７を稼動、停止させる制御を行う。

この圧力コントローラ４１１に設定される圧力値Ｐ０は、第１平面鏡１１７の総重量をＭ、図４、図５又は図６で示される穴３０１、溝３０３や空間３０７の総面積をＳとすると、Ｍ／Ｓよりも負圧値を大きくする。例えば、第１平面鏡１１７が幅１ｍ、長さ１ｍ、厚さ５ｍｍ、密度が２．２ｇ毎立方ｃｍで、これを４５度斜め下向きに設置したとき、穴３０１の大きさが直径３ｍｍで、真空ポンプの圧力が１Ｐａのとき、穴３０１が２１５個以上あると第１平面鏡１１７は保持板２０１に密着した状態にすることができる。実際には、第１平面鏡１１７が保持板２０１面内で平行移動しないようにするために、これよりも穴３０１数を多くするか、フック２０７を併用して押さえることが望ましい。

本実施例によれば、第１平面鏡１１７と保持板２０１の間からの空気の流入が変化しても、真空ポンプ４０７が負圧値を、例えば前記１Ｐａに維持するよう制御することで、平面鏡１１７の変形を抑え液晶露光装置の稼動を安定させることができるという効果がある。

図９は、図８における圧力コントローラ４１１の制御フローチャートを示す。制御を開始すると、先ずリザーブタンク４０３の内部圧力値Ｐ０を設定し（ステップ５０１）、リザーブタンク４０３の内部圧力Ｐを圧力センサ４０９で検出する（ステップ５０３）。検出値Ｐと設定値Ｐ０を比較し（ステップ５０５）、検出値Ｐが設定値Ｐ０より高い場合には、真空ポンプ４０７を駆動する（ステップ５０７）。また、検出値Ｐと設定値Ｐ０を比較し（ステップ５０５）、検出値Ｐが設定値Ｐ０以下の場合には、真空ポンプ４０７の駆動はしない。その後、制御を停止するか否かの判断をし（ステップ５０９）、制御を続ける場合には、リザーブタンク４０３の内部圧力Ｐを圧力センサ４０９で検出するステップ５０３に戻る。

このように、本実施例によれば、負圧部の負圧値を設定値に維持することができるので、平面鏡１１７の変形を抑え、安定した液晶露光装置を実現することができる。

図１０に、本発明の他の実施例に係る液晶露光装置の概要図を示す。

前記実施例１によれば、負圧を利用して平面鏡の裏面を保持板に密着させることができるので、その伝熱効果を利用して、平面鏡の温度上昇或いは変形を小さく抑えることができる。しかしながら、平面鏡と保持板とを常に密着させていると、平面鏡と保持板との温度差、或いは伸縮率の差によって、平面鏡にストレスを生じる可能性がある。

例えば、露光用ランプの点灯時には、平面鏡が温度上昇で伸びるよりも、冷却水で冷却されている保持板の伸びが遅く、逆に消灯時には、平面鏡が温度降下で縮むよりも、冷却水で冷却されている保持板の縮みが速く、その差がストレスとなって平面鏡を破損する恐れがある。

図１０は、このような平面鏡の温度変化或いは保持板との伸縮率の差等にも強い液晶露光装置の他の実施例であり、図８の実施例において更に、冷却媒体の温度を制御する機構を設けている。図において、水ポンプ４０１は、パイプ２０３に冷却媒体を流すものであり、パイプ２０３を通して保持板２０１内の冷却水管２０４に冷却水を循環している。温度センサ６０１は、第１平面鏡１１７裏面の温度を検出、温度センサ６０２は、保持板２０１から出てきた冷却媒体の温度を検出し、これらのデータを温度コントローラに伝達する。熱交換機６０５は、冷却媒体から熱を取りだしてこれの温度を調整する。なお、温度センサ６０２は冷却媒体の温度を検出しているが、保持板２０１の温度を直接検出するようにしても良い。

このような構成において、温度コントローラ６０３は、通常は上記温度センサ６０１及び６０２の検出値を入力し、その差又は設定値に応じて熱交換機６０５を作動し、冷却媒体の温度を制御することで、平面鏡１１７の温度を抑制し、保持板２０１との温度差或いは伸縮差を抑制するように制御している。

ところで、前記したように、露光用ランプの点灯時、或いは消灯時には、平面鏡と保持板との伸縮差によって平面鏡にストレスを生じる恐れがある。図11は、このストレスを説明するためのもので、温度センサ６０１による第１平面鏡１１７の裏面の温度検出値Tg（実線）と、温度センサ６０２による保持板２０１から出てきた冷却媒体の温度検出値Tc（波線）との関係を、ランプ点灯時からの時間変化で示したものである。
図１１に示すように、第１平面鏡１１７は、ランプ点灯直後から温度上昇し、その単位長さ当たりその温度上昇幅と、その材質特有の熱膨張係数の積だけ伸びる。そこで、保持板２０１の温度を、第１平面鏡１１７の伸びと同じになるように制御することで、保持板２０１が第１平面鏡１１７に与えるストレスを防止し、第１平面鏡１１７の剥がれ、或いは割れを防止する。

例えば、周囲温度T0、第１平面鏡１１７裏面の温度Tg(センサ６０１の検出値)、その熱膨張係数αg、冷却媒体の温度Tc（センサ６０２の検出値）、その保持板の熱膨張係数α_cとすると、冷却媒体の目標温度TCは次の式で表すことができる。
TC＝（Tg−T0）×αg÷αc＋T0・・・（式１）
即ち、温度コントローラ６０３には上記演算を行う手段を備え、その目標温度TCとなるように熱交換機６０５を制御する。

ランプ消灯時にも、第１平面鏡１１７裏面の温度でセンサ６０１の検出値を基に、冷却媒体の温度が（式１）となるよう温度コントローラ６０３で熱交換機６０５を制御する。これにより、保持板２０１の温度が第１平面鏡１１７の伸びと同じになるように制御されるので、保持板２０１が与えるストレス、即ち第１平面鏡１１７を引っ張ることによる剥がれ、割れ等を防止することができる。

このように、本実施例によれば、温度コントローラ６０３により、冷却媒体の温度、即ち保持板２０１の温度、更には第１平面鏡１１７の温度を、状況に合わせて制御することができるので、第1平面鏡１１７背面と保持板２０１とが面接触で密着していても、第１平面鏡１１７の剥がれ、破損等のない信頼性の高い液晶露光装置を構成することができる。

１０７・・・ガラス基板
１０８・・・ミラーハウス
１１０・・・ランプハウス
１０９・・・マスク
１１１・・・第２平面鏡
１１３・・・凹面鏡
１１５・・・フライアレイレンズ
１１７・・・第１平面鏡
１１９・・・集光鏡
１２１・・・露光用ランプ
２００、２０１・・・保持板
２０３・・・冷却用パイプ
２０４・・・冷却水管
２０５・・・真空圧用パイプ
２０７・・・フック
３０１・・・穴
３０３・・・溝
３０５・・・穴
３０７・・・空間
３０９・・・突起

Claims (8)

1. 露光用ランプからの光を集光する集光鏡と、該集光鏡からの光の波長を選択して反射する平面鏡と、該平面鏡で反射した光の強度分布を一様化するフライアレイレンズとを備え、該フライアレイレンズからの光を用いて、マスクに描かれたパターンをレジストが塗布されたガラス基板に露光する液晶露光装置において、上記平面鏡の背面と面接触して当該平面鏡を保持する保持板を設け、当該保持板の上記平面鏡背面との接触面に負圧部を形成したことを特徴とする液晶露光装置。
2. 請求項１において、前記負圧部は、前記平面鏡背面との接触面に形成した複数の穴又は溝で構成したことを特徴とする液晶露光装置。
3. 請求項１において、前記負圧部は、前記平面鏡の背面と前記保持板の接触面との間に形成した空間により構成したことを特徴とする液晶露光装置。
4. 請求項１において、負圧を発生させる真空ポンプを設け、当該真空ポンプと前記負圧部との間に、リザーブタンク、及び弁を備えたことを特徴とする液晶露光装置。
5. 請求項４において、前記リザーブタンクの内部圧力を検出する圧力センサと、該圧力センサの値に対応して前記真空ポンプを制御する圧力コントローラとを備えたことを特徴とする液晶露光装置。
6. 請求項１において、前記保持板の接触面を冷却する冷却通路と、該冷却通路に冷却媒体を流すポンプと、上記冷却媒体の温度を変化させる熱交換機と、当該熱交換機を作動して上記冷却媒体の温度を制御する温度コントローラとを備えたことを特徴とする液晶露光装置。
7. 請求項６において、前記平面鏡の温度を検出する温度センサと、前記冷却媒体又は保持板の温度を検出する温度センサとを設け、前記温度コントローラは、上記両温度センサの検出値の差又は設定値に応じて、上記冷却媒体の温度を制御するように構成したことを特徴とする液晶露光装置。
8. 請求項６において、前記平面鏡の温度を検出する温度センサと、前記冷却媒体又は保持板の温度を検出する温度センサとを設け、前記温度コントローラは上記両温度センサの値を入力し、前記露光用ランプを点灯又は消灯するときに、前記平面鏡と前記保持板との伸縮差を抑制するように上記冷却媒体の温度を制御する手段を備えたことを特徴とする液晶露光装置。

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