JP2011049041A - 走査型電子顕微鏡装置及びそれを用いた試料の検査方法 - Google Patents
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Abstract
一次電子ビームの走査ずれに起因する擬似欠陥を低減する高感度高スループット電子ビーム式検査装置と検査方法を提供する。
【解決手段】
複数の一次電子ビームを有する半導体検査装置において、前記複数一次電子ビームが被検査試料を照射する位置を個別に設定調整手段を有する。前記複数一次電子ビームの試料上の照射位置を前記被検査試料の繰り返しパターン間隔に合わせて設定して、比較対象の繰り返しパターン画像を同時に取得する。同時に取得した複数の画像上に、比較する繰り返しパターンの処に一次電子ビームの走査ずれは同じである。そのため、差画像上に電子ビームの走査ずれに起因する擬似欠陥がなくなって、高感度高スループット電子ビーム式検査装置と検査方法を提供できる。
【選択図】図1
Description
まず、図1を用いて装置構成を説明する。装置全体は、大きく分けて電子顕微鏡(SEM)部100と画像処理・制御部150で構成されている。
走査型電子顕微鏡部100は電子源101、1次電子を集束させるコンデンサレンズ103、収束させた1次電子から2本のビームを引き出すアパチャアレイ104、引き出した2本の電子ビームを収束させるレンズアレイ105、2本のビームの間隔を調整するビーム位置調整手段106a及び106b、2次電子の軌道を制御するウィーンフィルタ108、2次電子を集束させる静電レンズ121、集束された2次電子を分離するための偏向器122、分離されたそれぞれの2次電子を検出する検出器123a及び123b、対物レンズ107a及び107b、1対の静電偏向器32、試料33を載置するテーブル手段34を備えており、走査型電子顕微鏡部100の内部は図示していない真空排気手段により真空に排気される。(アパチャアレイ104でミクロンオーダーで分離された2本の電子ビームの間隔を制御するビーム位置調整手段106a,106bの具体的な構成と動作について詳細な説明を追加要)
ビーム位置調整手段106a及び106bの構成と動作に関する実現例を図21に示す。
GUI画面2101からの指令を受けて、ビーム調整回路2001は制御電圧或いは電流を生成する。その制御電圧或いは制御電流がディスクリード部品や半導体プロセス上に作成した制御手段2104に印加して、一次電子ビーム2103の位置を調整することを実現する。
ユーザは入出力部131にあるビーム102aとビーム102bの位置調整用制御ボタン(後述する)を操作することにより、前記ビームの位置調整制御手段106aと106bを制御して試料33上の照射位置と距離を調整できる。ユーザはGUI132に表示される参照画像と検出画像とを確認しながら、ビーム102aとビーム102bとの試料33上の照射位置がそれぞれ比較対象の参照画像と検出画像との対応する位置と一致するように調整する。
この2つの電子ビームの照射・走査により同時に得られた検査画像と参照画像とを比較して欠陥を抽出することをテーブル34を連続的に移動させながら試料33上の予め指定されて領域又は全部の領域について行い、検査を終了後試料33をテーブル34から取り外して検査を終了する(S1909)。
以上に説明した実施例においては、一方の電子ビームの照射で検査画像を作成し、他方の電子ビームの照射で参照画像を作成し、これらの画像を比較して欠陥を抽出する方法について説明したが、ウェハ上に同時に照射する2つの電子ビームでそれぞれに画像を検出して記憶し、先に記憶した画像を参照画像とし、後に記憶した画像を検査画像として検査画像と参照画像とを順次比較するようにしても良い。
本実施例に示す装置構成は、上記第1〜第4実施例までと同じ基本構成であり、詳細な説明を省略する。ここでは、これまでの実施の形態と異なる部分を主として説明する。
S=2×(DL×VL−DU×VU)×S3/(g×V0) ・・・(数1)
上下静電偏向器に印加する偏向電圧をVU=VL=Vとした場合、電子ビーム偏向量Sは、
S=2×V×(DL−DU)×S3/(g×V0) ・・・(数2)
となる。
δS_com=2×N_com×(DL−DU)×S3/(g×V0) ・・・(数3)
である。
δS_nocom=2×N_nocom×((DL 2+DU 2)(0.5)×S3/(g×V0)) ・・・(数4)
となる。
(DL 2+DU 2)(0.5)>>(DL−DU) ・・・(数5)
であるから、
δS_nocom>>δS_com ・・・(数6)
となる。
これにより、本実施の形態の構成では、電子ビーム走査ずれの要因である上段静電偏向器32a及び下段静電偏向器32bに対する非共通な回路ノイズが大幅に低減でき、電子ビーム式検査装置の検出感度向上が実現できるようになった。
30…電子銃 31…一次電子ビーム 32…静電偏向器 32a…上段静電偏向器 32b…下段静電偏向器 33…試料 34…試料台 35…検出器 36…集束レンズ 37…対物レンズ 38…二次電子 41…検出回路 42…画像処理手段 101…電子源 103…コンデンサーレンズ 104…アパーチャーアレイ 105…レンズアレイ 106a〜d…一次電子ビーム位置調整手段 107a…対物レンズ、107b…対物レンズ 123a〜d…検出器 124a〜d…検出回路、124b…検出回路、124c…検出回路、124d…検出回路、125…A/D変換回路、126a…記憶装置、126b…演算部、126c…欠陥判定部、125…A/D変換回路。
Claims (12)
- 電子を発生させる電子源と、
該電子源で発生させた電子を複数のビーム状に引き出して収束させて該複数のビームを試料上の所望の領域に同時に照射して走査する電子光学系と、
該電子光学系により複数の電子ビームが同時に照射されて走査された前記試料から発生した2次電子を前記複数の電子ビームごとに対応して検出して複数の検出信号を出力する2次電子検出手段と、
該2次電子検出手段から出力された複数の検出信号に基づいて前記試料の表面の複数の画像を生成して処理する画像処理手段と
前記電子光学系と前記2次電子検出手段と前記画像処理手段とを制御する制御手段と、
該制御手段で制御する前記電子光学系の制御条件および前記画像処理手段の処理条件を入力するとともに前記画像処理手段の処理の結果を出力する入出力手段と
を備えた走査型電子顕微鏡装置であって、
前記電子光学系は前記引き出した複数のビームの間隔を調整するビーム間隔調整部を有し、該ビーム間隔調整部は前記入出力手段から入力されたビーム間隔設定条件に基づいて前記複数のビームの間隔を設定することを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。 - 前記入出力手段は画面を備え、前記2次電子検出手段で前記複数の電子ビームごとに対応して検出した画像を前記画面に表示し、前記制御手段は前記入出力手段の画面に表示された画像上で設定されたビーム間隔設定条件に基づいて前記ビーム間隔調整部を制御して前記複数のビームの間隔を設定することを特徴とする請求項1記載の走査型電子顕微鏡装置。
- 前記画像処理手段は、前記生成した試料の表面の複数の画像のうちの一つを検査画像とし、他の画像を参照画像として前記検査画像と参照画像とを比較して欠陥を検出することを特徴とする請求項1記載の走査型電子顕微鏡装置。
- 電子を発生させる電子源と、
該電子源で発生させた電子を収束させて試料上の所望の領域に照射して走査する電子光学系と、
該電子光学系により電子が照射された前記試料から発生した2次電子を検出して検出信号を出力する2次電子検出手段と、
該2次電子検出手段から出力された検出信号に基づいて前記試料の表面の画像を生成して処理する画像処理手段と
前記電子光学系と前記2次電子検出手段と前記画像処理手段とを制御する制御手段と
を備えた走査型電子顕微鏡装置であって、
前記電子光学系は前記電子源で発生させた電子を複数のビームに引き出すビーム引き出し部と、該ビーム引き出し部で引き出した複数のビームの間隔を調整するビーム間隔調整部と、該ビーム間隔調整部で間隔を調整された複数のビームをX方向とY方向に偏向させて前記試料上の所望の領域を走査するX方向偏向器とY方向偏向器及び該X方向偏向器を制御するX偏向制御部と該Y方向偏向器を制御して一部の回路を前記X偏向制御部と共有するY偏向制御部を有するビーム偏向電極部とを有することを特徴とする。 - 表示画面を有する入出力手段を更に備え、前記ビーム偏向電極部で偏向を制御された複数のビームが照射された前記試料から発生した2次電子を前記2次電子検出手段で検出して得られた複数の画像を前記入出力手段の画面に表示し、前記制御手段は前記入出力手段の画面に表示された画像上で設定されたビーム間隔設定条件に基づいて前記電子光学系ビーム間隔調整部を制御して前記複数のビームの間隔を設定することを特徴とする請求項4記載の走査型電子顕微鏡装置。
- 前記画像処理手段は、前記ビーム偏向電極部で偏向を制御された複数のビームが照射された前記試料から発生した2次電子を前記2次電子検出手段で検出して得られた複数の画像のうちの一つを検査画像とし、他の画像を参照画像として前記検査画像と参照画像とを比較して欠陥を検出することを特徴とする請求項4記載の走査型電子顕微鏡装置。
- 電子源で発生させた電子を複数のビーム状に引き出し、
該引き出した複数のビームの間隔をビーム間隔調整部により予め設定された間隔に調整して試料上の所望の領域に同時に照射して走査し、
該複数の電子ビームが同時に照射されて走査された前記試料から発生した2次電子を前記複数の電子ビームごとに対応して検出して複数の検出信号を取得し、
該取得した複数の検出信号に基づいて前記試料の表面の複数の画像を生成し、
該生成した複数の画像を処理して前記試料を検査する走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法であって、
前記収束させた複数のビームの間隔をビーム間隔調整部により予め設定することを、予め前記複数のビームを前記試料上に同時に照射して走査することにより得られた複数の画像を画面上に表示し、該複数の画像が表示された画面上で前記ビーム間隔調整部による前記複数のビームの間隔の調整条件を設定することにより行うことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法。 - 前記収束させた複数のビームの間隔をビーム間隔調整部により予め設定することを、前記試料の低倍率の画像が表示された画面上で前記複数のビームのそれぞれで画像を取得する領域を設定し、該設定したそれぞれの領域を前記複数のビームで撮像して複数の高倍率の画像を得、該得た複数の高倍率の画像間の差に基づいて前記複数のビームの間隔を調整し、該調整した結果に基づいて前記複数のビームの間隔を設定することを特徴とする請求項7記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法。
- 前記生成した複数の画像を処理して前記試料を検査するステップにおいて、前記生成した複数の画像のうちの一つを検査画像とし、他の画像を参照画像として前記検査画像と参照画像とを比較して欠陥を検出することを特徴とする請求項7記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法。
- 電子源で発生させた電子ビームを収束させて試料上の所望の領域に照射して走査し、
該電子が照射して走査された前記試料から発生した2次電子を検出して検出信号を得、
該2次電子を検出して得られた検出信号に基づいて前記試料の表面の画像を生成し、
該生成した画像を処理して前記試料上の欠陥を検出する走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法であって、
前記電子ビームを試料上の所望の領域に照射して走査するステップにおいて、
前記電子源で発生させた電子から複数のビームを引き出し、
該引き出した複数のビームの間隔をビーム間隔調整部により予め設定した間隔になるように調整し、
該間隔を調整した複数のビームをX方向とY方向に偏向させて前記試料上の所望の領域を走査することを含み、
前記複数のビームをX方向とY方向に偏向させることを一部の回路を共有するX偏向制御部とY偏向制御部とで制御されたX方向偏向器とY方向偏向器とにより行われることを特徴とする走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法。 - 前記複数のビームの間隔を予め設定することを、前記複数のビームを前記試料上に同時に照射して走査することにより得られた複数の画像を画面上に表示し、該複数の画像が表示された画面上で前記ビーム間隔調整部による前記複数のビームの間隔の調整条件を設定することにより行うことを特徴とする請求項10記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法。
- 前記生成した画像を処理して前記試料上の欠陥を検出することを、前記間隔を調整した複数のビームを照射して走査することにより前記試料から発生した2次電子を検出して得られた検出信号に基づいて生成された複数の画像のうちの一つを検査画像とし、他の画像を参照画像として前記検査画像と参照画像とを比較して欠陥を検出することを特徴とする請求項10記載の走査型電子顕微鏡装置を用いた試料の検査方法。
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