JP2011043467A - 測距センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査物3に対して略平行光を照射する光源1,2と、前記被検査物3と光源1,2とを結ぶ直線上とは異なる位置に配置され、当該被検査物3で散乱された光を回折する体積ホログラム4と、前記体積ホログラム4で回折した光のうち+n次光と、−n次光(但し、nは整数)とをそれぞれ個別に受光する光検出器6,7と、前記光検出器6,7の出力から、被検査物3の変位量を出力する演算回路部8と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
(1):被検査物に対して略平行光を照射する光源と、前記被検査物と光源とを結ぶ直線上とは異なる位置に配置され、当該被検査物で散乱された光を回折する体積ホログラムと、前記体積ホログラムで回折した光のうち+n次光と、−n次光(但し、nは整数)とをそれぞれ個別に受光する光検出器と、前記光検出器の出力から、被検査物の変位量を出力する演算回路部と、を備えることを特徴とする測距センサである。
次に、本発明に係る測距センサについて図面を参照しながらさらに詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な実施形態であるから技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は以下の説明において本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図1は本発明に係る測距センサの実施形態の一例を示す概略図である。
点光源1にはLD、もしくはLEDを用いる。点光源1から出射された発散光はコリメートレンズ2によって平行光束になる。
本発明における光源とは、被検査物3に対して略平行光を照射可能であれば如何なる形態であっても良いが、本実施形態では、点光源1とコリメートレンズ2を併せて光源とし用いる。コリメートレンズ2には、従来公知のものをそのまま適用できる。
次いで、平行光束は被検査物3に照射される。被検査物3は例えば人体、衣服などの表面形状の粗い散乱体を想定している。この被検査物3で斜め方向に散乱された光の一部を後述する体積ホログラム4で回折し、検出レンズ5で集光する。体積ホログラム(回折ホログラム)4で回折した光のうち、次数nの数値の揃った回折光±n次光をそれぞれ光検出器A6、光検出器B7で受光する。ここで、nは整数を表す。
光検出器6,7には、従来公知のものをそのまま適用できる。
本実施形態における三角測距法について図2を元に説明する。コリメートレンズ2からx軸方向にL離れた位置に被検査物3がある。また、コリメートレンズ2からy軸方向にA離れたところに体積ホログラム4を設置する。ここで、コリメートレンズ2−被検査物3−体積ホログラム4のなす角をθとする。このとき体積ホログラム4は、θ≠0degとなるように、即ち被検査物3と光源1,2とを結ぶ直線上とは異なる位置に配置される。
今、被検査物3がx軸方向にΔL変位し、移動後の位置3’に移動したとする。この時、コリメートレンズ2−移動後の位置3’−体積ホログラム4のなす角をθ+Δθとすると、以下の2式が成り立つ。
A/(L+ΔL)=tan(θ+Δθ) ・・・式(2)
体積ホログラムについて説明する。例えば、小山、西原著の「光波電子光学」(コロナ社)117頁〜132頁に記載されている如く、ホログラムには、一般的に平面ホログラムと体積ホログラムとがある。平面ホログラムであるか体積ホログラムであるかは、次の式(4)で算出されるパラメータQの値(Q値)によって判断される。ここで、λは入射光の波長、Tは凹凸格子の溝深さ、n1は硝材13の屈折率、n2は硝材14の屈折率、Pは溝間隔である。
即ち、体積ホログラム4は、被検査物3が変位測定範囲の中心にあるΔθ=0degのときに、当該被検査物3で散乱された光に対して入射角が0度になるように配置されていて、かつ、その溝形状は、被検査物3で散乱された光に対して平行である。また、溝形状は矩形形状であることが好ましい。
即ち、体積ホログラム4は、光源1,2から被検査物3へ向かう光に対して垂直に配置されていて、かつその溝形状は、被検査物3が変位測定範囲の中心にあるときに、被検査物3で散乱された光に対して平行である。
本発明の測距センサの演算回路部(信号演算部)8は、図7に示すような回路で構成される。光検出器A6、及び光検出器B7の出力は、引き算回路9によって引き算され、信号Aが得られる。また、光検出器A6、及び光検出器B7の出力は、足し算回路10によって足し算され、信号Bが得られる。そして割り算回路11によって信号Aを信号Bで割ることで、式(5)にある角度信号SΔθを得ることができる。さらに、その出力信号に対して、1/Cに信号を増幅することで、Δθの変化量そのものを測定することができる。変位量演算回路12は、式(3)を演算する。これにより、被検査物3の変位ΔL(変位量)を測定することが可能になる。ここで、図1に構成において、L=100mm、A=20mmとしたとき、被検査物3をx軸方向に動かしたときの変位信号SΔLを図8に示す。本実施形態においては、L=100mm±25mmにおいて線形な信号が得られている。ここで、コリメートレンズ2と体積ホログラム4の間隔Aを変えると、表1に示すように、被検査物の測定範囲を変えることが可能になる。
2 コリメートレンズ
3 非検査物
4 体積ホログラム
5 検出レンズ
6 光検出器A
7 光検出器B
8 演算回路部
9 引き算回路
10 足し算回路
11 割り算回路
12 変位量演算回路
13 硝材1
14 硝材2
54 第2の体積ホログラム
55 第2の検出レンズ
56 第2の光検出器A
57 第2の光検出器B
64 第3の体積ホログラム
65 第3の検出レンズ
66 第3の光検出器A
67 第3の光検出器B
74 第4の体積ホログラム
75 第4の検出レンズ
76 第4の光検出器A
77 第4の光検出器B
Claims (4)
- 被検査物に対して略平行光を照射する光源と、
前記被検査物と光源とを結ぶ直線上とは異なる位置に配置され、当該被検査物で散乱された光を回折する体積ホログラムと、
前記体積ホログラムで回折した光のうち+n次光と、−n次光(但し、nは整数)とをそれぞれ個別に受光する光検出器と、
前記光検出器の出力から、被検査物の変位量を出力する演算回路部と、を備えることを特徴とする測距センサ。 - 前記体積ホログラムは、前記被検査物が変位測定範囲の中心にあるときに、当該被検査物で散乱された光に対して入射角が0度になるように配置されていて、かつ当該体積ホログラムの溝形状は、被検査物で散乱された光に対して平行であると共に矩形形状であることを特徴とする請求項1に記載の測距センサ。
- 前記体積ホログラムは、前記光源から前記被検査物へ向かう光に対して垂直に配置されていて、かつ当該体積ホログラムの溝形状は、前記被検査物が変位測定範囲の中心にあるときに、当該被検査物で散乱された光に対して平行であることを特徴とする請求項1に記載の測距センサ。
- 前記光源を中心に、当該光源から前記被検査物へ向かう光に対して垂直な面内に、前記体積ホログラム及び前記光検出器が、それぞれ複数配置されていることを特徴とする請求項1に記載の測距センサ。
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