JP2013257271A - 位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源10からの測定光L0を偏光ビームスプリッタ12により被測定部材1に入射させる物体光束L1と参照光束L2に分割し、被測定面1aによる反射光束L1を反射型の回折格子14により反射回折させ、再び被測定面1aによって反射させて偏光ビームスプリッタ12に戻すとともに、光束L2を回折格子14により反射回折させ偏光ビームスプリッタ12に戻し、偏光ビームスプリッタ12により重ね合わされた光束L1及び光束L2の干渉光を受光する受光部20Aにより得られる干渉光強度に基づいて、相対位置情報出力部20Bにより被測定面1aの高さ方向の変位情報を得るにあたり、被測定面1aによる反射光束L1を反射して被測定面1aに戻し入射させる反射鏡15を設け、光束L1を回折格子14により2回反射回折させて偏光ビームスプリッタ12に戻す。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 測定光を出射する光源と、
上記光源から出射された測定光を被測定部材に入射させる物体光となる第1の光束と、参照光となる第2の光束に分割する光束分割部と、
上記光束分割部によって分割され、かつ上記被測定部材の被測定面の任意の入射位置に入射され、上記被測定面によって反射された上記第1の光束を回折し、回折した上記第1の光束を再び上記被測定部材の被測定面の任意の入射位置とは別の入射位置に入射させる反射型の回折格子と、
上記被測定部材の被測定面の上記別の入射位置において反射された上記第1の光束を反射して上記被測定部材の被測定面の上記別の位置に戻す第1の反射部と、
上記光束分割部によって分割され、上記反射型の回折格子により回折された上記第2の光束を反射して、上記反射型の回折格子に戻す第2の反射部と、
上記第1の反射部により反射され、上記反射型の回折格子により再び回折され、上記被測定面の上記任意の入射位置において反射されて戻される上記第1の光束と、上記第2の反射部により反射され、上記回折格子によって再び回折されて戻される上記第2の光束とを重ね合わせる光束結合部と、
上記光束結合部により重ね合わされた上記第1の光束及び上記第2の光束の干渉光を受光する受光部と、
上記受光部により受光した干渉光強度に基づいて上記被測定面の高さ方向の変位情報を出力する相対位置情報出力手段と
を備えた変位検出装置。 - 上記光束分割部によって分割された上記第2の光束が第1の入射位置に入射され、入射された上記第2の光束を反射して上記反射型の回折格子に入射させ、上記反射型の回折格子により回折された上記第2の光束が上記第2の反射部により反射されて上記反射型の回折格子を介して上記第1の入射位置とは別の第2の入射位置に入射され、入射された上記第2の光束を再び反射する反射部を備え、
上記光束結合部は、上記被測定面の上記任意の入射位置において反射されて戻される上記第1の光束と、上記反射部の上記第1の入射位置とは別の第2の入射位置において反射されて戻される上記第2の光束とを重ね合わせることを特徴とする請求項1記載の変位検出装置。 - 上記反射型の回折格子に入射する入射角と回折角が異なることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の変位検出装置。
- 上記第1の反射部と上記被測定面の間に光束を集光するレンズを配置したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の変位検出装置。
- 上記レンズの焦点距離は、上記レンズと上記反射型の回折格子までの距離と略等しいことを特徴とする請求項4に記載の変位検出装置。
- 上記レンズの焦点距離は、上記レンズと上記第1の反射部までの距離と略等しい請求項5の変位検出装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114384763A (zh) * | 2020-10-20 | 2022-04-22 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 位移测量装置和光刻设备 |
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-
2012
- 2012-06-14 JP JP2012134628A patent/JP5969274B2/ja active Active
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