JP2011040454A - 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、画素10ごとに形成される複数のフォトダイオードPDと、フォトダイオードPDの光入射側に設けられ、第1の屈折率を有する透光性を備えた第1の構造体101と、第1の構造体101における複数のフォトダイオードPDの境界位置に対応して設けられるエッチング溝と、エッチング溝に埋め込まれ、第1の屈折率より小さい第2の屈折率を有する第2の構造体102とを備える固体撮像装置1である。
【選択図】図3
Description
1.固体撮像装置の全体構成(全体構成の例、画素の回路構成例、比較例の構成、比較例の製造方法、本実施形態のポイント)
2.第1実施形態(断面構造の例、製造方法の例)
3.第2実施形態(断面構造の例、製造方法の例)
4.第3実施形態(断面構造の例、製造方法の例)
5.第4実施形態(断面構造の例、製造方法の例)
6.第5実施形態(断面構造の例、製造方法の例)
7.導波路の平面構成
8.撮像装置
[全体構成]
図1は、本実施形態に係る固体撮像装置の全体構成の一例を説明する概略平面図である。固体撮像装置1は、複数の画素10、垂直信号線VDL、垂直選択回路11、水平選択/信号処理回路12、出力回路13を備えている。
図2は、画素の回路構成の一例を示す回路図である。本回路例に係る画素10は、受光部であるフォトダイオードPD、転送トランジスタTr−tx、リセットトランジスタTr−rst、増幅トランジスタTr−ampおよび選択トランジスタTr−selの4つのトランジスタを有する構成となっている。各トランジスタは、例えばNチャネルのMOSトランジスタが用いられる。
図3は、比較例の構成を説明する模式断面図である。この図では、R(赤)、G(緑)、B(青)に対応した3つの画素10に対応した模式断面図となっている。比較例の固体撮像装置1’は、一つの画素10について、受光部であるフォトダイオードPD、フォトダイオードPDに対応して設けられる光導波路100、光導波路100上に設けられるカラーフィルタCFおよびマイクロレンズML、フォトダイオードPDの下側に設けられる配線層Hを備えている。
図4は、比較例における固体撮像装置の光導波路の製造方法を説明する模式断面図である。なお、ここでは、フォトダイオードPD上に平坦化膜を形成した後の工程から説明するものとする。先ず、図4(a)に示すように、平坦化膜200上の全面にクラッドとなる第2の構造体の材料102aを塗布する。その後、フォトレジストRを塗布し、第2の構造体となる部分のみ残すよう露光、現像を行う。
上記の比較例に対して、本実施形態のポイントは次のようになる。
(1)クラッド部が有機材料で構成された光導波路構造を有する固体撮像装置で、先に、ドライエッチングなどでP−SiNなどで構成されるコア部を形成した後に、クラッド部を有機材料で塗布・埋め込みすることにより、光導波路構造を形成する。
その際、有機材料は、屈折率が低く(約1.42)、埋め込み性に優れ、耐熱性・耐光性などに優れるフッ素含有系アクリル樹脂、フッ素含有系ポリシロキサンであれば、適切な導波路効果を有することができ、固体撮像素子の集光特性向上(感度向上)をもたらすことができる。また、樹脂を塗布・埋め込みする際においても、コア部を埋め込む場合は、小さなホール状を埋め込む必要があるが、クラッド部であれば、スリット格子状に埋め込むため、コア部よりも著しく埋め込み性が向上する。
(2)カラーフィルタ部分や平坦膜部分にも上記構造を形成しても良い(それぞれの組み合わせも含む)。
(3)有機材料を塗布・埋め込み後に無機膜(例えば、P−SiO)を成膜し、すなわち、キャップ層を形成し、その後、高温熱処理により、有機材料膜中を発泡させることで多孔質化し、更に屈折率を下げて、導波路効果も向上させることができる。
その際、有機材料に熱酸発生剤(例えばパラトルエンスルフォン酸)などを適切量添加することにより、均一性が良く多孔質化することができる。
(4)さらに、光導波路効果だけでなく、直接、クラッド層を通過する光線部分の混色も低減させるために、有機材料に色素(カーボンブラックなど)を内添し、吸収特性を有しても良い。
[断面構造]
図5は、第1実施形態の構成を説明する模式断面図である。この図では、R(赤)、G(緑)、B(青)に対応した3つの画素10に対応した模式断面図となっている。第1実施形態に係る固体撮像装置1は、一つの画素10について、受光部であるフォトダイオードPD、フォトダイオードPDに対応して設けられる光導波路100、光導波路100上に設けられるカラーフィルタCFおよびマイクロレンズML、フォトダイオードPDの下側に設けられる配線層Hを備えている。
図6〜図7は、第1実施形態における固体撮像装置の光導波路の製造方法を説明する模式断面図である。なお、ここでは、フォトダイオードPD上に平坦化膜を形成した後の工程から説明するものとする。先ず、図6(a)に示すように、平坦化膜200上の全面にコアとなる第1の構造体の材料101aを塗布する。第1の構造体の材料101aは、P−SiN(プラズマCVD法により生成された窒化シリコン)を用いる。第1の構造体の材料101aは、例えば、屈折率1.9〜2.0のP−SiNが用いられる。その後、フォトレジストRを塗布し、第1の構造体となる部分のみ残すよう露光、現像を行う。
[断面構造]
図8は、第2実施形態の構成を説明する模式断面図である。この図では、R(赤)、G(緑)、B(青)に対応した3つの画素10に対応した模式断面図となっている。第2実施形態に係る固体撮像装置1は、一つの画素10について、受光部であるフォトダイオードPD、フォトダイオードPDに対応して設けられる光導波路100、光導波路100上に設けられるカラーフィルタCFおよびマイクロレンズML、フォトダイオードPDの下側に設けられる配線層Hを備えている。
図9〜図10は、第2実施形態における固体撮像装置の光導波路の製造方法を説明する模式断面図である。なお、ここでは、フォトダイオードPD上に平坦化膜を形成した後の工程から説明するものとする。先ず、図9(a)に示すように、平坦化膜200上の全面にコアとなる第1の構造体の材料101aを塗布する。第1の構造体の材料101aは、P−SiN(プラズマCVD法により生成された窒化シリコン)を用いる。第1の構造体の材料101aは、例えば、屈折率1.9〜2.0のP−SiNが用いられる。
[断面構造]
図11は、第3実施形態の構成を説明する模式断面図である。この図では、R(赤)、G(緑)、B(青)に対応した3つの画素10に対応した模式断面図となっている。第3実施形態に係る固体撮像装置1は、一つの画素10について、受光部であるフォトダイオードPD、フォトダイオードPDに対応して設けられる光導波路100、光導波路100上に設けられるカラーフィルタCFおよびマイクロレンズML、フォトダイオードPDの下側に設けられる配線層Hを備えている。
図12〜図13は、第3実施形態における固体撮像装置の光導波路の製造方法を説明する模式断面図である。なお、ここでは、フォトダイオードPD上に平坦化膜を形成した後の工程から説明するものとする。先ず、図12(a)に示すように、平坦化膜200上の全面にコアとなる第1の構造体の材料101aを塗布する。第1の構造体の材料101aは、P−SiN(プラズマCVD法により生成された窒化シリコン)を用いる。第1の構造体の材料101aは、例えば、屈折率1.9〜2.0のP−SiNが用いられる。その後、フォトレジストRを塗布し、第1の構造体となる部分のみ残すよう露光、現像を行う。
[断面構造]
図14は、第4実施形態の構成を説明する模式断面図である。この図では、R(赤)、G(緑)、B(青)に対応した3つの画素10に対応した模式断面図となっている。第4実施形態に係る固体撮像装置1は、一つの画素10について、受光部であるフォトダイオードPD、フォトダイオードPDに対応して設けられる光導波路100、光導波路100上に設けられるカラーフィルタCFおよびマイクロレンズML、フォトダイオードPDの下側に設けられる配線層Hを備えている。
図15〜図16は、第4実施形態における固体撮像装置の光導波路の製造方法を説明する模式断面図である。なお、ここでは、フォトダイオードPD上に平坦化膜を形成した後の工程から説明するものとする。先ず、図15(a)に示すように、平坦化膜200上の全面にコアとなる第1の構造体の材料101aを塗布する。第1の構造体の材料101aは、P−SiN(プラズマCVD法により生成された窒化シリコン)を用いる。第1の構造体の材料101aは、例えば、屈折率1.9〜2.0のP−SiNが用いられる。その後、フォトレジストRを塗布し、第1の構造体となる部分のみ残すよう露光、現像を行う。
[断面構造]
図17は、第5実施形態の構成を説明する模式断面図である。この図では、R(赤)、G(緑)、B(青)に対応した3つの画素10に対応した模式断面図となっている。第4実施形態に係る固体撮像装置1は、一つの画素10について、受光部であるフォトダイオードPD、フォトダイオードPDに対応して設けられる光導波路100、光導波路100上に設けられるカラーフィルタCFおよびマイクロレンズML、フォトダイオードPDの下側に設けられる配線層Hを備えている。
図18〜図19は、第5実施形態における固体撮像装置の光導波路の製造方法を説明する模式断面図である。なお、ここでは、フォトダイオードPD上に平坦化膜を形成した後の工程から説明するものとする。先ず、図18(a)に示すように、平坦化膜200上の全面にコアとなる第1の構造体の材料101aを塗布する。第1の構造体の材料101aは、P−SiN(プラズマCVD法により生成された窒化シリコン)を用いる。第1の構造体の材料101aは、例えば、屈折率1.9〜2.0のP−SiNが用いられる。その後、フォトレジストRを塗布し、第1の構造体となる部分のみ残すよう露光、現像を行う。
図20は、導波路の平面構成を説明する図(その1)であり、(a)は模式断面図、(b)は模式平面図である。図20(a)では、3つの画素に対応した模式断面図となっており、光導波路100から上の構造のみ示している。また、図20(b)では、縦×横、3×3の画素に対応した光導波路の平面構成を示している。この例では、光導波路100の平面構成は矩形を成している。
図22は、本実施形態に係る電子機器の一例である撮像装置の構成例を示すブロック図である。図22に示すように、撮像装置90は、レンズ群91を含む光学系、固体撮像装置92、カメラ信号処理回路であるDSP(Digital Signal Processor)回路93、フレームメモリ94、表示装置95、記録装置96、操作系97および電源系98等を有している。これらのうち、DSP回路93、フレームメモリ94、表示装置95、記録装置96、操作系97および電源系98がバスライン99を介して相互に接続された構成となっている。
Claims (10)
- 画素ごとに形成される複数の受光部と、
前記受光部の光入射側に設けられ、第1の屈折率を有する透光性を備えた第1の構造体と、
前記第1の構造体における前記複数の受光部の境界位置に対応して設けられるエッチング溝と、
前記エッチング溝に埋め込まれ、前記第1の屈折率より小さい第2の屈折率を有する第2の構造体と
を備える固体撮像装置。 - 前記第2の構造体には気泡が混入している
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第2の構造体は遮光機能を有する
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1の構造体における光入射側にはカラーフィルタおよびマイクロレンズが設けられている
請求項1から3のうちいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記エッチング溝が前記複数の受光部に対応して設けられる複数のカラーフィルタの間まで設けられ、当該エッチング溝に前記第2の構造体が埋め込まれている
請求項1から4のうちいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記エッチング溝が前記第1の構造体と前記受光部との間の絶縁膜まで設けられ、当該エッチング溝に前記第2の構造体が埋め込まれている
請求項1から5のうちいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 画素ごとに形成された複数の受光部の上の全面に第1の屈折率を有する透光性を備えた第1の構造体を形成する工程と、
前記第1の構造体における前記複数の受光部の境界位置に対応してエッチングを施し、エッチング溝を形成する工程と、
前記エッチング溝に、前記第1の屈折率より小さい第2の屈折率を有する第2の構造体を埋め込む工程と
を有する固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2の構造体に発泡剤を混入しておき、前記エッチング溝に埋め込んだ後に加熱して気泡を生成する
請求項7記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2の構造体に遮光材料を混入しておく
請求項7記載の固体撮像装置の製造方法。 - 取り込んだ光を電気信号に変換する固体撮像装置と、
前記固体撮像装置で得た電気信号を処理する信号処理部とを備え、
前記固体撮像装置として、
画素ごとに形成される複数の受光部と、
前記受光部の光入射側に設けられ、第1の屈折率を有する透光性を備えた第1の構造体と、
前記第1の構造体における前記複数の受光部の境界位置に対応して設けられるエッチング溝と、
前記エッチング溝に埋め込まれ、前記第1の屈折率より小さい第2の屈折率を有する第2の構造体と
を有する電子機器。
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