JP2011037232A - 積層プラスチックフィルム及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000002651 laminated plastic film Substances 0.000 title claims abstract description 66
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 16
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims abstract description 76
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims abstract description 76
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 96
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 76
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 69
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 32
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 25
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 17
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 17
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 14
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 21
- 239000004033 plastic Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 136
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 46
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 29
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 21
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 17
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 10
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 10
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 10
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 6
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 3
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 2
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000705921 Homo sapiens Proline-rich protein 3 Proteins 0.000 description 1
- JHWNWJKBPDFINM-UHFFFAOYSA-N Laurolactam Chemical compound O=C1CCCCCCCCCCCN1 JHWNWJKBPDFINM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000299 Nylon 12 Polymers 0.000 description 1
- 229920001007 Nylon 4 Polymers 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 102100031053 Proline-rich protein 3 Human genes 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010216 calcium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- JUNWLZAGQLJVLR-UHFFFAOYSA-J calcium diphosphate Chemical compound [Ca+2].[Ca+2].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O JUNWLZAGQLJVLR-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- FUFJGUQYACFECW-UHFFFAOYSA-L calcium hydrogenphosphate Chemical compound [Ca+2].OP([O-])([O-])=O FUFJGUQYACFECW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001506 calcium phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910000389 calcium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011010 calcium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 229940043256 calcium pyrophosphate Drugs 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002734 clay mineral Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012024 dehydrating agents Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 235000019821 dicalcium diphosphate Nutrition 0.000 description 1
- 235000019700 dicalcium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000036470 plasma concentration Effects 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000006798 ring closing metathesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 150000000000 tetracarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H tricalcium bis(phosphate) Chemical compound [Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- Laminated Bodies (AREA)
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Abstract
【解決手段】無機物層と、表面に該無機物層がドライプロセスによって形成される前に、マイクロ波放電によるプラズマによって該表面が処理されるプラスチックフィルム基材とを含む積層プラスチックフィルムであって、前記プラスチックフィルム基材の表面が、前記プラズマによって12〜563nmのエッチング量でエッチングされている。
【選択図】図1
Description
無機物層と、表面に該無機物層がドライプロセスによって形成される前に、マイクロ波放電によるプラズマによって該表面が処理されるプラスチックフィルム基材とを含む積層プラスチックフィルムであって、
前記プラスチックフィルム基材の表面が、前記プラズマによって12〜563nmのエッチング量でエッチングされていることを特徴とする。
請求項1に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記マイクロ波放電によるプラズマの発生に使用するガスがアルゴンガスであることを特徴とする。
請求項1に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記マイクロ波放電によるプラズマの発生に使用するガスが、アルゴンガスと水素ガスとの混合ガス、またはアルゴンガスと窒素ガスとの混合ガスであることを特徴とする。
請求項1から3のいずれか一項に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材がポリエステルフィルム基材であって、
前記無機物層が酸化インジウムを主成分とする層であることを特徴とする。
請求項4に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材と無機物層との密着力が100N/m以上であることを特徴とする。
請求項1から3のいずれか一項に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材がポリイミドフィルムであって、
前記無機物層が銅を主成分とする層であることを特徴とする。
請求項6に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材と無機物層との密着力が800N/m以上であることを特徴とする。
プラスチックフィルム基材の表面をマイクロ波放電によるプラズマによって12〜563nmのエッチング量でエッチングし、該エッチング後の表面にドライプロセスによって無機物層を形成することを特徴とする。
図4に示す装置により、無機物層として酸化インジウムスズ層を厚さ100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム基材(東洋紡績株式会社製 A4100、以下、「PETフィルム基材」と称する。)の表面に形成した。そして、酸化インジウムスズ層とPETフィルム基材との密着力を測定した。
実施例1〜3、比較例1においては、本発明に係る積層プラスチックフィルムの効果であるPETフィルム基材Sと無機物層(酸化インジウムスズ層)との密着力は、プラスチックフィルム基材と無機物層とを剥離するのに必要な力を測定することにより求めた。すなわち、剥離力を密着力とした。
実施例1〜3、比較例1においては、密着力だけでなく、プラズマ処理によるPETフィルム基材Sのエッチング量も測定した。なお、エッチング量の測定は、密着力を測定するPETフィルム基材から測定するのではなく、同一の条件でプラズマ処理された同一のPETフィルム基材に対して実施した。
実施例1〜3、比較例1とほぼ同じだが、プラズマ処理時に真空槽52に導入するガスを、150sccmのアルゴンガスと181sccmの水素ガスとの混合ガスとした。またプラズマによる処理時間を、60(比較例2),120(実施例4),300(比較例3),600(実施例5)秒にした。
実施例1〜3、比較例1とほぼ同じだが、プラズマ処理時に真空槽52に導入するガスを、150sccmのアルゴンガスと233sccmの窒素ガスとの混合ガスとした。またプラズマによる処理時間を、60(比較例4),120(実施例6),300(比較例5),600(実施例7)秒にした。
実施例1〜3、比較例1とほぼ同じだが、プラズマ処理時に真空槽52に導入するガスを、150sccmのアルゴンガスと246sccmの酸素ガスとの混合ガスとした。またプラズマによる処理時間を、60(比較例6),120(比較例7),300(比較例8),600(比較例9)秒にした。
本比較例は、プラズマ処理を実施しないことを除いて実施例1〜3、比較例1と同様に実施した。
実施例1〜3、比較例1とほぼ同じだが、プラズマ処理時に真空槽52に導入するガスとして247sccmのアルゴンガスを使用し、また、それにより真空槽52内を10Paの圧力にした。またプラズマによる処理時間を、30(実施例8),60(実施例9),90(実施例10),120(実施例11),150(実施例12),180(実施例13),300(実施例14),600(実施例15)秒にした。
実施例1〜3,比較例1とほぼ同じだが、プラズマ処理時に真空槽52に導入するガスとして150sccmのアルゴンガスと50sccmの水素ガスとの混合ガスを使用し、また、それにより真空槽52内を7Paの圧力にした。またプラズマによる処理時間を、120(比較例11),300(実施例16),600(比較例12)秒にした。
実施例1〜3,比較例1とほほ同じだが、プラズマ処理時に真空槽52に導入するガスとして150sccmのアルゴンガスと92sccmの窒素ガスとの混合ガスを使用し、また、それにより真空槽52内を9Paの圧力にした。またプラズマによる処理時間を、120(実施例17),300(比較例13),600(実施例18)秒にした。
実施例1〜3,比較例1とほぼ同じだが、プラズマ処理時に真空槽52に導入するガスとして150sccmのアルゴンガスと92sccmの酸素ガスとの混合ガスを使用し、また、それにより真空槽52内を9Paの圧力にした。またプラズマによる処理時間を、120(比較例14),300(比較例15),600(比較例16)秒にした。
比較例10と同じである。
図5に示す装置により、無機物層として銅層を厚さ37.5μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製 カプトン150EN−C、以下、「ポリイミドフィルム基材」と称する。)の表面に形成した。そして、銅層とポリイミドフィルム基材との密着力を測定した。
実施例19において、実施例1〜3、比較例1と同様に、ポリイミドフィルム基材S2と無機物層(銅)との密着力は、ポリイミドフィルム基材と無機物層とを剥離するのに必要な力を測定することにより求めた。すなわち、剥離力を密着力とした。
本比較例は、プラズマ処理を実施しないことを除いて実施例19と同じである。
11 テーパー状接続管
12 接合部
13 導波管
14 スロットアンテナ
15 誘電体板
16 プラズマ発生部
17 マイクロ波電源
18 アイソレーター
19 パワーメーター
20 整合器
VC 真空槽
Claims (8)
- 無機物層と、表面に該無機物層がドライプロセスによって形成される前に、マイクロ波放電によるプラズマによって該表面が処理されるプラスチックフィルム基材とを含む積層プラスチックフィルムであって、
前記プラスチックフィルム基材の表面が、前記プラズマによって12〜563nmのエッチング量でエッチングされていることを特徴とする積層プラスチックフィルム。 - 請求項1に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記マイクロ波放電によるプラズマの発生に使用するガスがアルゴンガスであることを特徴とする積層プラスチックフィルム。 - 請求項1に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記マイクロ波放電によるプラズマの発生に使用するガスが、アルゴンガスと水素ガスとの混合ガス、またはアルゴンガスと窒素ガスとの混合ガスであることを特徴とする積層プラスチックフィルム。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材がポリエステルフィルム基材であって、
前記無機物層が酸化インジウムを主成分とする層であることを特徴とする積層プラスチックフィルム。 - 請求項4に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材と無機物層との密着力が100N/m以上であることを特徴とする積層プラスチックフィルム。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材がポリイミドフィルムであって、
前記無機物層が銅を主成分とする層であることを特徴とする積層プラスチックフィルム。 - 請求項6に記載の積層プラスチックフィルムにおいて、
前記プラスチックフィルム基材と無機物層との密着力が800N/m以上であることを特徴とする積層プラスチックフィルム。 - プラスチックフィルム基材の表面をマイクロ波放電によるプラズマによって12〜563nmのエッチング量でエッチングし、該エッチング後の表面にドライプロセスによって無機物層を形成することを特徴とする積層プラスチックフィルムの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021172006A (ja) * | 2020-04-24 | 2021-11-01 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05343194A (ja) * | 1992-06-05 | 1993-12-24 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置およびその処理方法 |
JP2004276401A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 樹脂フィルム、積層体及び、それを用いてなるプリント配線板とその製造方法 |
JP2004533723A (ja) * | 2001-03-15 | 2004-11-04 | オークミツイ,インク., | ポリイミド膜に対するポリイミド密着性の向上 |
JP2005512305A (ja) * | 2001-05-01 | 2005-04-28 | オークミツイ,インク., | 基板のフィルムに対する密着性の向上 |
JP2006283023A (ja) * | 2006-03-30 | 2006-10-19 | Ube Ind Ltd | 蒸着法による金属薄膜形成用のポリイミドフィルム |
JP2007134293A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-31 | Hs Planning:Kk | 透明導電性フィルム及び透明導電性フィルム製造方法 |
JP2007266615A (ja) * | 2002-03-22 | 2007-10-11 | Ube Ind Ltd | 半導体パッケ−ジ内部絶縁用ポリイミドフィルムおよび積層基板 |
JP2008105187A (ja) * | 2006-10-23 | 2008-05-08 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層体 |
JP2008265232A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア積層体 |
JP2009224269A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Chube Univ | プラズマ装置、プラズマ処理ユニット及びプラズマ処理方法 |
-
2009
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05343194A (ja) * | 1992-06-05 | 1993-12-24 | Hitachi Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置およびその処理方法 |
JP2004533723A (ja) * | 2001-03-15 | 2004-11-04 | オークミツイ,インク., | ポリイミド膜に対するポリイミド密着性の向上 |
JP2005512305A (ja) * | 2001-05-01 | 2005-04-28 | オークミツイ,インク., | 基板のフィルムに対する密着性の向上 |
JP2007266615A (ja) * | 2002-03-22 | 2007-10-11 | Ube Ind Ltd | 半導体パッケ−ジ内部絶縁用ポリイミドフィルムおよび積層基板 |
JP2004276401A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 樹脂フィルム、積層体及び、それを用いてなるプリント配線板とその製造方法 |
JP2007134293A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-31 | Hs Planning:Kk | 透明導電性フィルム及び透明導電性フィルム製造方法 |
JP2006283023A (ja) * | 2006-03-30 | 2006-10-19 | Ube Ind Ltd | 蒸着法による金属薄膜形成用のポリイミドフィルム |
JP2008105187A (ja) * | 2006-10-23 | 2008-05-08 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性積層体 |
JP2008265232A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア積層体 |
JP2009224269A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Chube Univ | プラズマ装置、プラズマ処理ユニット及びプラズマ処理方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021172006A (ja) * | 2020-04-24 | 2021-11-01 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 |
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