JP2011027812A - 電子機器の製造方法及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来の電子機器の製造方法では、電子機器の信頼性を向上させることが困難である。
【解決手段】マザー基板81とマザー基板83とを、平面視で素子領域91を囲むシール領域93に設けられたシール材17を介して接合する接合工程と、前記接合工程の前に、マザー基板83における対向面5bにおいて、平面視でシール領域93を囲む外郭領域97に、無機材料を含む材料でマザー基板81側に向かって凸となる土手部19を形成する土手形成工程と、前記接合工程の後に、マザー基板83における外向面5aにおいて、平面視で土手部19に重なる領域に、土手部19に沿って傷をつけるスクライブ工程と、前記スクライブ工程の後に、マザー基板81及びマザー基板83の少なくとも一方に外力を付与して、マザー基板83を前記傷に沿って分断するブレイク工程と、を含む、ことを特徴とする電子機器の製造方法。
【選択図】図17
【解決手段】マザー基板81とマザー基板83とを、平面視で素子領域91を囲むシール領域93に設けられたシール材17を介して接合する接合工程と、前記接合工程の前に、マザー基板83における対向面5bにおいて、平面視でシール領域93を囲む外郭領域97に、無機材料を含む材料でマザー基板81側に向かって凸となる土手部19を形成する土手形成工程と、前記接合工程の後に、マザー基板83における外向面5aにおいて、平面視で土手部19に重なる領域に、土手部19に沿って傷をつけるスクライブ工程と、前記スクライブ工程の後に、マザー基板81及びマザー基板83の少なくとも一方に外力を付与して、マザー基板83を前記傷に沿って分断するブレイク工程と、を含む、ことを特徴とする電子機器の製造方法。
【選択図】図17
Description
本発明は、電子機器の製造方法及び電子機器等に関する。
電子機器の1つである電気光学装置には、画像を表示する表示装置が含まれている。表示装置としては、例えば、液晶ディスプレー、プラズマディスプレー、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー等が知られている。
例えば、液晶ディスプレーなどの液晶装置では、互いに対向する一対の基板間に液晶が介在した構成を有する液晶パネルが電気光学パネルとして用いられる。また、有機ELディスプレーなどの有機EL装置では、互いに対向する一対の基板間に発光層が介在した構成を有する有機ELパネルが電気光学パネルとして用いられる。
例えば、液晶ディスプレーなどの液晶装置では、互いに対向する一対の基板間に液晶が介在した構成を有する液晶パネルが電気光学パネルとして用いられる。また、有機ELディスプレーなどの有機EL装置では、互いに対向する一対の基板間に発光層が介在した構成を有する有機ELパネルが電気光学パネルとして用いられる。
一般的に、電気光学パネルの製造では、マザー基板に複数の電気光学パネルが一連した状態(以下、マザーパネルと呼ぶ)で形成される。マザーパネルから複数の電気光学パネルを個々に分離することによって、個別の電気光学パネルが製造され得る。
マザーパネルから複数の電気光学パネルを個々に分離する方法としては、従来、分離するライン(以下、分離ラインと呼ぶ)に沿ってカッターで基板をスクライブしてから、この基板に外力を付与することによって基板をブレイクする方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
なお、分離ラインは、切断ライン(切断線)や、スクライブラインとも呼ばれる。
マザーパネルから複数の電気光学パネルを個々に分離する方法としては、従来、分離するライン(以下、分離ラインと呼ぶ)に沿ってカッターで基板をスクライブしてから、この基板に外力を付与することによって基板をブレイクする方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
なお、分離ラインは、切断ライン(切断線)や、スクライブラインとも呼ばれる。
一般的に、電気光学パネルでは、対向する一対の基板801は、図26に示すように、シール材803を介して互いに接合されていることが多い。液晶や発光層などの電気光学物質805は、一対の基板801及びシール材803によって囲まれる領域内に封止されている。また、電気光学物質805は、平面視でシール材803によって囲まれる領域807内に位置している。
上述したマザーパネルから複数の電気光学パネルを個々に分離するときには、各電気光学パネルにおいて、分離ライン811は、平面視でシール材803によって囲まれる領域807よりも外側に設定される。さらに、この場合、分離ライン811は、平面視でシール材803よりも外側に設定される。これにより、分離ライン811とシール材803との重畳が避けられている。
上述したマザーパネルから複数の電気光学パネルを個々に分離するときには、各電気光学パネルにおいて、分離ライン811は、平面視でシール材803によって囲まれる領域807よりも外側に設定される。さらに、この場合、分離ライン811は、平面視でシール材803よりも外側に設定される。これにより、分離ライン811とシール材803との重畳が避けられている。
ここで、分離ライン811とシール材803とが互いに重なっていると、基板801を切断したときに、図27に示すように、シール材803が、分離ライン811をまたいで、切断後の基板801aと基板801bとにまたがる。このため、基板801を基板801aと基板801bとに切断しても、基板801aと基板801bとは、シール材803を介してつながったままとなる。この結果、電気光学パネルを分離することが困難となる。
これに対し、分離ライン811が平面視でシール材803よりも外側に設定されることにより、図28に示すように、基板801aと基板801bとが分離しやすくなる。この結果、電気光学パネルを分離しやすくすることができる。
これに対し、分離ライン811が平面視でシール材803よりも外側に設定されることにより、図28に示すように、基板801aと基板801bとが分離しやすくなる。この結果、電気光学パネルを分離しやすくすることができる。
ところで、マザー基板から分離された電気光学パネルでは、基板801aは、端部813がシール材803よりも外側に位置している。つまり、基板801aは、領域807からシール材803を越えてシール材803よりも外側に張り出している。基板801aの張り出し部815は、片持ち梁の状態を呈している。このため、張り出し部815に外力が作用すると、張り出し部815に割れが発生しやすくなる。
このことは、電気光学パネルひいては電子機器の信頼性の向上を阻害する要因の1つとなる。
つまり、従来の電子機器の製造方法では、電子機器の信頼性を向上させることが困難であるという課題がある。
このことは、電気光学パネルひいては電子機器の信頼性の向上を阻害する要因の1つとなる。
つまり、従来の電子機器の製造方法では、電子機器の信頼性を向上させることが困難であるという課題がある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現され得る。
[適用例1]無機材料を含む材料で構成された第1基板と、前記第1基板に対向する第2基板との間に電子素子を介在させた状態で、前記第1基板と前記第2基板とを、平面視で前記電子素子が設けられた領域である素子領域の外側で前記素子領域を囲むシール領域に設けられたシール材を介して接合する接合工程と、前記接合工程の前に、前記第1基板及び前記第2基板の少なくとも一方における前記電子素子側の面において、前記シール領域に前記シール材を設ける工程と、前記接合工程の前に、前記第1基板における前記電子素子側の面において、平面視で、前記シール領域の外側で前記シール領域を囲む外郭領域に、無機材料を含む材料で前記第2基板側に向かって凸となる土手部を形成する土手形成工程と、前記接合工程の後に、前記第1基板における前記電子素子側とは反対側の面において、平面視で前記土手部に重なる領域に、前記土手部に沿って傷をつけるスクライブ工程と、前記スクライブ工程の後に、前記第1基板及び前記第2基板の少なくとも一方に外力を付与して、前記第1基板を前記傷に沿って分断するブレイク工程と、を含む、ことを特徴とする電子機器の製造方法。
この適用例の電子機器の製造方法は、接合工程と、シール材を設ける工程と、土手形成工程と、スクライブ工程と、ブレイク工程と、を含む。
接合工程では、無機材料を含む材料で構成された第1基板と、第1基板に対向する第2基板と、を接合する。接合工程では、第1基板と第2基板との間に電子素子を介在させた状態で、第1基板と第2基板とを接合する。接合工程では、シール領域に設けられたシール材を介して、第1基板と第2基板とを接合する。シール領域は、平面視で、素子領域の外側で素子領域を囲む領域である。素子領域は、平面視で電子素子が設けられた領域である。
接合工程の前に、シール材を設ける工程では、第1基板及び第2基板の少なくとも一方における電子素子側の面において、シール領域にシール材を設ける。
接合工程の前に、土手形成工程では、第1基板における電子素子側の面において、外郭領域に、無機材料を含む材料で土手部を形成する。土手部は、第2基板側に向かって凸となる向きに形成される。外郭領域は、平面視で、シール領域の外側でシール領域を囲む領域である。
接合工程の後に、スクライブ工程では、第1基板における電子素子側とは反対側の面において、平面視で土手部に重なる領域に、土手部に沿って傷をつける。
スクライブ工程の後に、ブレイク工程では、第1基板及び第2基板の少なくとも一方に外力を付与して、第1基板を傷に沿って分断する。
この製造方法によれば、第1基板を、平面視で土手部に重なる領域で分断することができる。また、第1基板を分断するときに、土手部も分断することができる。このため、平面視で、分断した後の第1基板の縁を土手部に重ねやすくすることができる。これにより、第1基板を土手部よりも張り出させにくくすることができるので、第1基板を割れにくくすることができる。この結果、電子機器の信頼性を向上させやすくすることができる。
接合工程では、無機材料を含む材料で構成された第1基板と、第1基板に対向する第2基板と、を接合する。接合工程では、第1基板と第2基板との間に電子素子を介在させた状態で、第1基板と第2基板とを接合する。接合工程では、シール領域に設けられたシール材を介して、第1基板と第2基板とを接合する。シール領域は、平面視で、素子領域の外側で素子領域を囲む領域である。素子領域は、平面視で電子素子が設けられた領域である。
接合工程の前に、シール材を設ける工程では、第1基板及び第2基板の少なくとも一方における電子素子側の面において、シール領域にシール材を設ける。
接合工程の前に、土手形成工程では、第1基板における電子素子側の面において、外郭領域に、無機材料を含む材料で土手部を形成する。土手部は、第2基板側に向かって凸となる向きに形成される。外郭領域は、平面視で、シール領域の外側でシール領域を囲む領域である。
接合工程の後に、スクライブ工程では、第1基板における電子素子側とは反対側の面において、平面視で土手部に重なる領域に、土手部に沿って傷をつける。
スクライブ工程の後に、ブレイク工程では、第1基板及び第2基板の少なくとも一方に外力を付与して、第1基板を傷に沿って分断する。
この製造方法によれば、第1基板を、平面視で土手部に重なる領域で分断することができる。また、第1基板を分断するときに、土手部も分断することができる。このため、平面視で、分断した後の第1基板の縁を土手部に重ねやすくすることができる。これにより、第1基板を土手部よりも張り出させにくくすることができるので、第1基板を割れにくくすることができる。この結果、電子機器の信頼性を向上させやすくすることができる。
[適用例2]上記の電子機器の製造方法であって、前記接合工程では、前記土手部と前記第2基板とを互いに当接させた状態で、前記第1基板と前記第2基板とを接合する、ことを特徴とする電子機器の製造方法。
この適用例では、土手部と第2基板とを互いに当接させるので、第1基板と第2基板との間の隙間の寸法を、土手部の高さの寸法に合わせやすくすることができる。
[適用例3]上記の電子機器の製造方法であって、前記第2基板は、無機材料を含む材料で構成されており、前記接合工程の後に、前記土手部と前記第2基板とを接合する第2接合工程を含む、ことを特徴とする電子機器の製造方法。
この適用例では、第2基板が、無機材料を含む材料で構成されている。そして、この製造方法は、接合工程の後に、第2接合工程を含む。第2接合工程では、土手部と第2基板とを接合する。これにより、第1基板、土手部及び第2基板を相互に固着させることができる。このため、ブレイク工程で第1基板を分断するときに、土手部及び第2基板も分断することができる。このため、平面視で、分断した後の第2基板の縁を土手部に重ねやすくすることができる。これにより、第2基板を土手部よりも張り出させにくくすることができるので、第2基板をも割れにくくすることができる。この結果、電子機器の信頼性を一層向上させやすくすることができる。
[適用例4]上記の電子機器の製造方法であって、前記無機材料が、それぞれ、ガラスである、ことを特徴とする電子機器の製造方法。
この適用例では、各無機材料がガラスであるので、ブレイク工程で第1基板を分断するときに、土手部を分断しやすくすることができる。
[適用例5]上記の電子機器の製造方法であって、前記土手形成工程は、前記ガラスを粉の状態で含有するペーストで前記外郭領域にパターンを形成するパターン形成工程と、前記パターン形成工程の後に、前記パターンにおける前記ペーストを加熱することによって、前記ガラスを前記土手部として焼成する焼成工程と、を含む、ことを特徴とする電子機器の製造方法。
この適用例では、土手形成工程は、パターン形成工程と、焼成工程と、を含む。
パターン形成工程では、ガラスを粉の状態で含有するペーストで、外郭領域にパターンを形成する。
パターン形成工程の後に、焼成工程では、パターンにおけるペーストを加熱することによって、ガラスを土手部として焼成する。
これにより、ガラスを含む材料で土手部を形成することができる。
パターン形成工程では、ガラスを粉の状態で含有するペーストで、外郭領域にパターンを形成する。
パターン形成工程の後に、焼成工程では、パターンにおけるペーストを加熱することによって、ガラスを土手部として焼成する。
これにより、ガラスを含む材料で土手部を形成することができる。
[適用例6]互いに対向する2枚の基板と、前記2枚の基板の間に介在する電子素子と、平面視で前記電子素子が設けられた領域である素子領域の外側において、前記2枚の基板の間に介在し、且つ前記素子領域を囲むシール領域に設けられたシール材と、平面視で前記シール領域の外側において、前記2枚の基板の間に介在し、且つ前記シール領域を囲む外郭領域に設けられた土手部と、を含み、前記2枚の基板のうちの一方の基板は、無機材料を含む材料で構成されており、前記土手部は、無機材料を含む材料で構成されており、前記一方の基板の縁が、平面視で、前記土手部に重なっている、ことを特徴とする電子機器。
この適用例の電子機器は、2枚の基板と、電子素子と、シール材と、土手部と、を含む。
2枚の基板は、互いに対向する。
2枚の基板のうちの一方の基板は、無機材料を含む材料で構成されている。
電子素子は、2枚の基板の間に介在する。
シール材は、平面視で素子領域の外側において、2枚の基板の間に介在している。シール材は、シール領域に設けられている。シール領域は、素子領域を囲む領域である。素子領域は、平面視で電子素子が設けられた領域である。
土手部は、無機材料を含む材料で構成されており、平面視でシール領域の外側において、2枚の基板の間に介在している。土手部は、平面視でシール領域を囲む外郭領域に設けられている。
この電子機器では、一方の基板の縁が、平面視で、土手部に重なっているので、一方の基板を割れにくくすることができる。この結果、電子機器の信頼性を向上させやすくすることができる。
2枚の基板は、互いに対向する。
2枚の基板のうちの一方の基板は、無機材料を含む材料で構成されている。
電子素子は、2枚の基板の間に介在する。
シール材は、平面視で素子領域の外側において、2枚の基板の間に介在している。シール材は、シール領域に設けられている。シール領域は、素子領域を囲む領域である。素子領域は、平面視で電子素子が設けられた領域である。
土手部は、無機材料を含む材料で構成されており、平面視でシール領域の外側において、2枚の基板の間に介在している。土手部は、平面視でシール領域を囲む外郭領域に設けられている。
この電子機器では、一方の基板の縁が、平面視で、土手部に重なっているので、一方の基板を割れにくくすることができる。この結果、電子機器の信頼性を向上させやすくすることができる。
[適用例7]上記の電子機器であって、前記2枚の基板のうちの他方の基板は、無機材料を含む材料で構成されており、前記他方の基板の縁が、平面視で、前記土手部に重なっている、ことを特徴とする電子機器。
この適用例では、2枚の基板のうちの他方の基板は、無機材料を含む材料で構成されている。この電子機器では、他方の基板の縁が、平面視で、土手部に重なっているので、他方の基板を割れにくくすることができる。この結果、電子機器の信頼性を一層向上させやすくすることができる。
[適用例8]上記の電子機器であって、エレクトロルミネセンス素子を前記電子素子として有する、ことを特徴とする電子機器。
この適用例では、電子機器がエレクトロルミネセンス素子を電子素子として有するので、エレクトロルミネセンス素子を有する電子機器の信頼性を向上させやすくすることができる。
実施形態について、電子機器の1つである有機EL装置を利用した表示装置を例に、図面を参照しながら説明する。
本実施形態における表示装置1は、図1に示すように、素子基板3と、封止基板5と、を有している。素子基板3と封止基板5とは、互いに対向している。
表示装置1では、封止基板5の素子基板3側とは反対側の面である表示面7に、画像などを表示することができる。
本実施形態における表示装置1は、図1に示すように、素子基板3と、封止基板5と、を有している。素子基板3と封止基板5とは、互いに対向している。
表示装置1では、封止基板5の素子基板3側とは反対側の面である表示面7に、画像などを表示することができる。
ここで、表示装置1には、複数の画素9が設定されている。複数の画素9は、表示領域11内で、図中のX方向及びY方向に配列しており、X方向を行方向とし、Y方向を列方向とするマトリクスMを構成している。X方向及びY方向は、平面視で互いに交差する方向である。本実施形態では、X方向は、後述する走査線が延在する方向でもある。また、Y方向は、後述する信号線が延在する方向でもある。また、本実施形態では、X方向及びY方向は、平面視で互いに直交している。
表示装置1は、複数の画素9から選択的に表示面7を介して表示装置1の外に光を射出することで、表示面7に画像などを表示する。なお、表示領域11とは、画像が表示され得る領域である。図1では、構成をわかりやすく示すため、画素9が誇張され、且つ画素9の個数が減じられている。
表示装置1は、複数の画素9から選択的に表示面7を介して表示装置1の外に光を射出することで、表示面7に画像などを表示する。なお、表示領域11とは、画像が表示され得る領域である。図1では、構成をわかりやすく示すため、画素9が誇張され、且つ画素9の個数が減じられている。
表示装置1において、素子基板3は、図1中のA−A線における断面図である図2に示すように、封止基板5側とは反対側の面である底面13を有している。
素子基板3には、表示面7側すなわち封止基板5側に、後述する有機EL素子などが設けられている。なお、表示装置1において、表示面7と底面13とは、互いに表裏の関係にある。
素子基板3には、表示面7側すなわち封止基板5側に、後述する有機EL素子などが設けられている。なお、表示装置1において、表示面7と底面13とは、互いに表裏の関係にある。
封止基板5は、素子基板3よりも表示面7側で素子基板3に対向した状態で設けられている。素子基板3と封止基板5とは、接着剤16を介して接合されている。表示装置1では、有機EL素子は、接着剤16によって表示面7側から覆われている。
また、素子基板3と封止基板5との間は、表示装置1の周縁よりも内側で表示領域11を囲むシール材17によって封止されている。つまり、表示装置1では、有機EL素子と接着剤16とが、素子基板3及び封止基板5並びにシール材17によって封止されている。
さらに、表示装置1では、平面視でシール材17の外側に、土手部19が設けられている。土手部19は、素子基板3と封止基板5との間に介在しており、平面視でシール材17を囲んでいる。
また、素子基板3と封止基板5との間は、表示装置1の周縁よりも内側で表示領域11を囲むシール材17によって封止されている。つまり、表示装置1では、有機EL素子と接着剤16とが、素子基板3及び封止基板5並びにシール材17によって封止されている。
さらに、表示装置1では、平面視でシール材17の外側に、土手部19が設けられている。土手部19は、素子基板3と封止基板5との間に介在しており、平面視でシール材17を囲んでいる。
ここで、表示装置1における複数の画素9は、それぞれ、表示面7から射出する光の色が、図3に示すように、赤系(R)、緑系(G)及び青系(B)のうちの1つに設定されている。つまり、マトリクスMを構成する複数の画素9は、Rの光を射出する画素9Rと、Gの光を射出する画素9Gと、Bの光を射出する画素9Bとを含んでいる。
なお、以下においては、画素9という表記と、画素9R、画素9G及び画素9Bという表記とが、適宜、使いわけられる。
なお、以下においては、画素9という表記と、画素9R、画素9G及び画素9Bという表記とが、適宜、使いわけられる。
ここで、Rの色は、純粋な赤の色相に限定されず、橙等を含む。Gの色は、純粋な緑の色相に限定されず、青緑や黄緑等を含む。Bの色は、純粋な青の色相に限定されず、青紫や青緑等を含む。他の観点から、Rの色を呈する光は、光の波長のピークが、可視光領域で570nm以上の範囲にある光であると定義され得る。また、Gの色を呈する光は、光の波長のピークが500nm〜565nmの範囲にある光であると定義され得る。Bの色を呈する光は、光の波長のピークが415nm〜495nmの範囲にある光であると定義され得る。
マトリクスMでは、Y方向に沿って一列に並ぶ複数の画素9が、1つの画素列21を構成している。また、X方向に沿って一列に並ぶ複数の画素9が、1つの画素行23を構成している。
1つの画素列21内の各画素9は、光の色がR、G及びBのうちの1つに設定されている。つまり、マトリクスMは、複数の画素9RがY方向に配列した画素列21Rと、複数の画素9GがY方向に配列した画素列21Gと、複数の画素9BがY方向に配列した画素列21Bとを有している。そして、表示装置1では、画素列21R、画素列21G及び画素列21Bが、この順でX方向に沿って反復して並んでいる。
なお、以下においては、画素列21という表記と、画素列21R、画素列21G及び画素列21Bという表記とが、適宜、使いわけられる。
1つの画素列21内の各画素9は、光の色がR、G及びBのうちの1つに設定されている。つまり、マトリクスMは、複数の画素9RがY方向に配列した画素列21Rと、複数の画素9GがY方向に配列した画素列21Gと、複数の画素9BがY方向に配列した画素列21Bとを有している。そして、表示装置1では、画素列21R、画素列21G及び画素列21Bが、この順でX方向に沿って反復して並んでいる。
なお、以下においては、画素列21という表記と、画素列21R、画素列21G及び画素列21Bという表記とが、適宜、使いわけられる。
表示装置1は、回路構成を示す図である図4に示すように、画素9ごとに、選択トランジスター31と、駆動トランジスター33と、容量素子35と、有機EL素子37とを有している。有機EL素子37は、画素電極39と、有機層41と、共通電極43とを有している。選択トランジスター31及び駆動トランジスター33は、それぞれ、TFT(Thin Film Transistor)素子で構成されており、スイッチング素子としての機能を有する。
また、表示装置1は、走査線駆動回路45と、信号線駆動回路47と、複数の走査線GTと、複数の信号線SIと、複数の電源線PWとを有している。
また、表示装置1は、走査線駆動回路45と、信号線駆動回路47と、複数の走査線GTと、複数の信号線SIと、複数の電源線PWとを有している。
複数の走査線GTは、それぞれ走査線駆動回路45につながっており、Y方向に互いに間隔をあけた状態でX方向に延びている。
複数の信号線SIは、それぞれ信号線駆動回路47につながっており、X方向に互いに間隔をあけた状態でY方向に延びている。
複数の電源線PWは、X方向に互いに間隔をあけた状態で、且つ各電源線PWと各信号線SIとがX方向に間隔をあけた状態でY方向に延びている。
複数の信号線SIは、それぞれ信号線駆動回路47につながっており、X方向に互いに間隔をあけた状態でY方向に延びている。
複数の電源線PWは、X方向に互いに間隔をあけた状態で、且つ各電源線PWと各信号線SIとがX方向に間隔をあけた状態でY方向に延びている。
各画素9は、各走査線GTと各信号線SIとの交差に対応して設定されている。各走査線GTは、図3に示す各画素行23に対応している。各信号線SI及び各電源線PWは、それぞれ、図3に示す各画素列21に対応している。
図4に示す各選択トランジスター31のゲート電極は、対応する各走査線GTに電気的につながっている。各選択トランジスター31のソース電極は、対応する各信号線SIに電気的につながっている。各選択トランジスター31のドレイン電極は、各駆動トランジスター33のゲート電極及び各容量素子35の一方の電極に電気的につながっている。
図4に示す各選択トランジスター31のゲート電極は、対応する各走査線GTに電気的につながっている。各選択トランジスター31のソース電極は、対応する各信号線SIに電気的につながっている。各選択トランジスター31のドレイン電極は、各駆動トランジスター33のゲート電極及び各容量素子35の一方の電極に電気的につながっている。
容量素子35の他方の電極と、駆動トランジスター33のソース電極は、それぞれ、対応する各電源線PWに電気的につながっている。
各駆動トランジスター33のドレイン電極は、各画素電極39に電気的につながっている。各画素電極39と共通電極43とは、画素電極39を陽極とし、共通電極43を陰極とする一対の電極を構成している。
ここで、共通電極43は、マトリクスMを構成する複数の画素9間にわたって一連した状態で設けられており、複数の画素9間にわたって共通して機能する。
各画素電極39と共通電極43との間に介在する有機層41は、後述する発光層を含んでいる。有機層41では、画素電極39と共通電極43との間に発生する電流によって、発光層が発光する。
各駆動トランジスター33のドレイン電極は、各画素電極39に電気的につながっている。各画素電極39と共通電極43とは、画素電極39を陽極とし、共通電極43を陰極とする一対の電極を構成している。
ここで、共通電極43は、マトリクスMを構成する複数の画素9間にわたって一連した状態で設けられており、複数の画素9間にわたって共通して機能する。
各画素電極39と共通電極43との間に介在する有機層41は、後述する発光層を含んでいる。有機層41では、画素電極39と共通電極43との間に発生する電流によって、発光層が発光する。
選択トランジスター31は、この選択トランジスター31につながる走査線GTに選択信号が供給されるとON状態となる。このとき、この選択トランジスター31につながる信号線SIからデータ信号が供給され、駆動トランジスター33がON状態になる。駆動トランジスター33のゲート電位は、データ信号の電位が容量素子35に一定の期間だけ保持されることによって、一定の期間だけ保持される。これにより、駆動トランジスター33のON状態が一定の期間だけ保持される。なお、各データ信号は、階調表示に応じた電位に生成される。
駆動トランジスター33のON状態が保持されているときに、駆動トランジスター33のゲート電位に応じた電流が、電源線PWから画素電極39と有機層41を経て共通電極43に流れる。そして、有機層41に含まれる発光層が、有機層41を流れる電流量に応じた輝度で発光する。これにより、表示装置1では、階調表示が行われ得る。
表示装置1は、有機層41に含まれる発光層が発光し、発光層からの光が封止基板5を介して表示面7から射出されるトップエミッション型の有機EL装置の1つである。なお、表示装置1では、表示面7側という表現が上側とも表現され、底面13側という表現が下側とも表現される。
表示装置1は、有機層41に含まれる発光層が発光し、発光層からの光が封止基板5を介して表示面7から射出されるトップエミッション型の有機EL装置の1つである。なお、表示装置1では、表示面7側という表現が上側とも表現され、底面13側という表現が下側とも表現される。
ここで、素子基板3及び封止基板5のそれぞれの構成について、詳細を説明する。
素子基板3は、図3中のC−C線における断面図である図5に示すように、基板51と、素子層53と、を有している。素子層53は、駆動素子層55を含んでいる。
なお、図5では、構成をわかりやすく示すため、図4に示す選択トランジスター31、駆動トランジスター33、容量素子35、走査線GT、信号線SI及び電源線PWが省略されている。選択トランジスター31、駆動トランジスター33、容量素子35、走査線GT、信号線SI及び電源線PWは、駆動素子層55に含まれている。
素子基板3は、図3中のC−C線における断面図である図5に示すように、基板51と、素子層53と、を有している。素子層53は、駆動素子層55を含んでいる。
なお、図5では、構成をわかりやすく示すため、図4に示す選択トランジスター31、駆動トランジスター33、容量素子35、走査線GT、信号線SI及び電源線PWが省略されている。選択トランジスター31、駆動トランジスター33、容量素子35、走査線GT、信号線SI及び電源線PWは、駆動素子層55に含まれている。
基板51は、表示面7側に向けられた第1面52aと、底面13側に向けられた第2面52bとを有している。基板51の材料としては、例えば、ガラスや石英などの光透過性を有する無機材料が採用され得る。本実施形態では、基板51の材料として、ガラスが採用されている。
駆動素子層55は、基板51の第1面52aに設けられている。
駆動素子層55の表示面7側には、画素電極39が設けられている。画素電極39の材料としては、例えば、銀、白金、アルミニウム、銅などの光反射性を有する金属や、これらを含む合金などが採用され得る。
駆動素子層55は、基板51の第1面52aに設けられている。
駆動素子層55の表示面7側には、画素電極39が設けられている。画素電極39の材料としては、例えば、銀、白金、アルミニウム、銅などの光反射性を有する金属や、これらを含む合金などが採用され得る。
画素電極39を陽極として機能させる場合には、画素電極39の材料として、銀、白金などの仕事関数が比較的高い材料を用いることが好ましい。また、画素電極39の材料としてITO(Indium Tin Oxide)やインジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide)などを用い、光反射性を有する部材を画素電極39と駆動素子層55との間に設けた構成も採用され得る。本実施形態では、画素電極39の材料としてITOが採用されている。
隣り合う画素電極39同士の間には、各画素9を区画する絶縁膜(第1隔壁)57が領域58にわたって設けられている。絶縁膜57は、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、アクリル系の樹脂などの光透過性を有する材料で構成されている。絶縁膜57は、平面視で、表示領域11にわたって格子状に設けられている。このため、表示領域11は、絶縁膜57によって複数の画素9の領域に区画されている。1つの画素9に着目すると、絶縁膜57は、平面視で環状に設けられている。なお、各画素電極39は、絶縁膜57によって囲まれた各画素9の領域に平面視で重なっている。本実施形態では、絶縁膜57の材料として酸化シリコンが採用されている。
絶縁膜57の表示面7側には、各画素9の領域を囲む絶縁膜(第2隔壁)59が設けられている。絶縁膜59は、例えば、カーボンブラックやクロムなどの光吸収性が高い材料を含有するアクリル系の樹脂やポリイミド樹脂などの有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜57に沿って格子状に設けられている。1つの画素9に着目すると、絶縁膜59は、平面視で各画素9の領域を囲んでいる。このため、絶縁膜59は、画素9ごとに環状に設けられているとみなされ得る。本実施形態では、絶縁膜59の材料としてアクリル系の樹脂が採用されている。
画素電極39の表示面7側には、絶縁膜59に囲まれた領域内に、有機層41が設けられている。
画素電極39の表示面7側には、絶縁膜59に囲まれた領域内に、有機層41が設けられている。
有機層41は、各画素9に対応して設けられており、正孔注入層61と、正孔輸送層63と、発光層65と、を有している。
正孔注入層61は、有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜59によって囲まれた領域内で、画素電極39の表示面7側に設けられている。
正孔注入層61の有機材料としては、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体と、ポリスチレンスルホン酸(PSS)等との混合物が採用され得る。正孔注入層61の有機材料としては、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやこれらの誘導体なども採用され得る。
正孔注入層61は、有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜59によって囲まれた領域内で、画素電極39の表示面7側に設けられている。
正孔注入層61の有機材料としては、3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体と、ポリスチレンスルホン酸(PSS)等との混合物が採用され得る。正孔注入層61の有機材料としては、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやこれらの誘導体なども採用され得る。
正孔輸送層63は、有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜59によって囲まれた領域内で、正孔注入層61の表示面7側に設けられている。
正孔輸送層63の有機材料としては、例えば、下記化合物1として示されるTFBなどのトリフェニルアミン系ポリマーを含んだ構成が採用され得る。
正孔輸送層63の有機材料としては、例えば、下記化合物1として示されるTFBなどのトリフェニルアミン系ポリマーを含んだ構成が採用され得る。
発光層65は、有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜59によって囲まれた領域内で、正孔輸送層63の表示面7側に設けられている。
画素9Rに対応する発光層65の有機材料としては、例えば、下記化合物2として示されるF8(ポリジオクチルフルオレン)と、ペリレン染料とを混合したものが採用され得る。
画素9Rに対応する発光層65の有機材料としては、例えば、下記化合物2として示されるF8(ポリジオクチルフルオレン)と、ペリレン染料とを混合したものが採用され得る。
画素9Gに対応する発光層65の有機材料としては、例えば、下記化合物3として示されるF8BTと、上記化合物1として示されるTFBと、上記化合物2として示されるF8とを混合したものが採用され得る。
画素9Bに対応する発光層65の有機材料としては、例えば、上記化合物2として示されるF8が採用され得る。
有機層41の表示面7側には、図5に示すように、絶縁膜59に囲まれた領域内に、電子注入層67が設けられている。電子注入層67の材料としては、例えば、マグネシウムと銀とを含む合金や、カルシウムなどが採用され得る。本実施形態では、電子注入層67の材料として、マグネシウムと銀とを含む合金が採用されている。
電子注入層67の表示面7側には、共通電極43が設けられている。共通電極43は、例えば、アルミニウム等の金属を薄膜化して光透過性を付与したものなどが採用され得る。また、共通電極43は、例えば、マグネシウムと銀とを含む合金等を薄膜化して光透過性を付与したものなどによっても構成され得る。本実施形態では、共通電極43として、アルミニウムの薄膜が採用されている。共通電極43は、電子注入層67及び絶縁膜59を表示面7側から複数の画素9間にわたって覆っている。
電子注入層67の表示面7側には、共通電極43が設けられている。共通電極43は、例えば、アルミニウム等の金属を薄膜化して光透過性を付与したものなどが採用され得る。また、共通電極43は、例えば、マグネシウムと銀とを含む合金等を薄膜化して光透過性を付与したものなどによっても構成され得る。本実施形態では、共通電極43として、アルミニウムの薄膜が採用されている。共通電極43は、電子注入層67及び絶縁膜59を表示面7側から複数の画素9間にわたって覆っている。
なお、表示装置1では、各画素9において発光する領域(以下、発光領域と呼ぶ)は、平面視で画素電極39と有機層41と共通電極43とが重なる領域であると定義され得る。また、画素9ごとに発光領域を構成する要素の一群が1つの有機EL素子37であると定義され得る。表示装置1では、1つの有機EL素子37は、1つの画素電極39と、1つの有機層41と、1つの電子注入層67と、1つの画素9に対応する共通電極43とを含んだ構成を有している。
封止基板5は、例えばガラスや石英などの光透過性を有する材料で構成されており、表示面7側に向けられた外向面5aと、底面13側に向けられた対向面5bとを有している。
上記の構成を有する素子基板3及び封止基板5は、素子基板3の共通電極43と封止基板5の対向面5bとの間が、接着剤16を介して接合されている。
上記の構成を有する素子基板3及び封止基板5は、素子基板3の共通電極43と封止基板5の対向面5bとの間が、接着剤16を介して接合されている。
表示装置1では、図2に示すシール材17は、図5に示す基板51の第1面52aと、封止基板5の対向面5bとによって挟持されている。つまり、表示装置1では、有機EL素子37及び接着剤16が、基板51及び封止基板5並びにシール材17によって封止されている。なお、シール材17は、対向面5b及び共通電極43の間に設けられていてもよい。この場合、有機EL素子37及び接着剤16は、素子基板3及び封止基板5並びにシール材17によって封止されているとみなされ得る。
また、図2に示す土手部19は、図5に示す基板51の第1面52aと、封止基板5の対向面5bとの間に介在している。
また、図2に示す土手部19は、図5に示す基板51の第1面52aと、封止基板5の対向面5bとの間に介在している。
ここで、表示装置1の製造方法について説明する。
表示装置1の製造方法は、素子基板3を製造する工程と、表示装置1を組み立てる工程とに大別される。
素子基板3を製造する工程では、図6(a)に示すように、まず、基板51の第1面52aに駆動素子層55を形成する。
次いで、駆動素子層55の表示面7側に、各画素9に対応した画素電極39を形成する。
画素電極39の形成では、例えばスパッタリング技術や真空蒸着技術などの成膜技術や、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術が活用され得る。画素電極39の形成では、まず、例えばスパッタリング技術や真空蒸着技術などを活用して、駆動素子層55の表示面7にITOの膜を形成する。次いで、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術を活用して、ITOの膜をパターニングすることによって画素電極39が形成され得る。
表示装置1の製造方法は、素子基板3を製造する工程と、表示装置1を組み立てる工程とに大別される。
素子基板3を製造する工程では、図6(a)に示すように、まず、基板51の第1面52aに駆動素子層55を形成する。
次いで、駆動素子層55の表示面7側に、各画素9に対応した画素電極39を形成する。
画素電極39の形成では、例えばスパッタリング技術や真空蒸着技術などの成膜技術や、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術が活用され得る。画素電極39の形成では、まず、例えばスパッタリング技術や真空蒸着技術などを活用して、駆動素子層55の表示面7にITOの膜を形成する。次いで、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術を活用して、ITOの膜をパターニングすることによって画素電極39が形成され得る。
次いで、図6(b)に示すように、隣り合う画素電極39間に、絶縁膜57を、各画素電極39の周縁に重ねて形成する。
絶縁膜57の形成では、CVD(Chemical Vapor Deposition)技術や、PVD(Physical Vapor Deposition)技術などの成膜技術や、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術が活用され得る。絶縁膜57の形成では、まず、例えばCVD技術やPVD技術などを活用して酸化シリコンの膜を形成する。次いで、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術を活用して、酸化シリコンの膜をパターニングすることによって絶縁膜57が形成され得る。
絶縁膜57の形成では、CVD(Chemical Vapor Deposition)技術や、PVD(Physical Vapor Deposition)技術などの成膜技術や、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術が活用され得る。絶縁膜57の形成では、まず、例えばCVD技術やPVD技術などを活用して酸化シリコンの膜を形成する。次いで、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術などのパターニング技術を活用して、酸化シリコンの膜をパターニングすることによって絶縁膜57が形成され得る。
次いで、絶縁膜57の表示面7側に絶縁膜59を形成する。
絶縁膜59の形成では、まず、ネガ型の感光物質を含むアクリル系の樹脂で、平面視で画素電極39及び絶縁膜57を覆う樹脂膜を形成する。この樹脂膜の形成では、スピンコート技術や印刷技術などが活用され得る。次いで、例えばフォトリソグラフィー技術を活用することによって、樹脂膜をパターニングする。これにより、絶縁膜59が形成され得る。
なお、駆動素子層55から絶縁膜59までの構成が形成された基板51は、以下において基板51aと呼ばれる。
絶縁膜59の形成では、まず、ネガ型の感光物質を含むアクリル系の樹脂で、平面視で画素電極39及び絶縁膜57を覆う樹脂膜を形成する。この樹脂膜の形成では、スピンコート技術や印刷技術などが活用され得る。次いで、例えばフォトリソグラフィー技術を活用することによって、樹脂膜をパターニングする。これにより、絶縁膜59が形成され得る。
なお、駆動素子層55から絶縁膜59までの構成が形成された基板51は、以下において基板51aと呼ばれる。
次いで、図6(c)に示すように、基板51aにプラズマ処理を施す。このプラズマ処理では、基板51aに酸素プラズマ処理を施してから、基板51aにCF4プラズマ処理を施す。基板51aに酸素プラズマ処理を施すことにより、画素電極39や絶縁膜57に、後述する液状体61a、液状体63a、液状体65a等に対する親液性が付与される。また、基板51aにCF4プラズマ処理を施すことにより、絶縁膜59に、後述する液状体61a、液状体63a、液状体65a等に対する撥液性が付与される。
本実施形態では、処理室内を所定の真空度に保った状態で処理室内に処理ガスを導入しながら、処理室内にプラズマを発生させる方法が採用されている。本実施形態では、酸素プラズマ処理において、処理ガスとして酸素を含むガスが採用されている。また、CF4プラズマ処理において、処理ガスとして、フッ素化合物を含むガスであるCF4ガスが採用されている。なお、CF4プラズマ処理では、処理ガスは、CF4ガスに限定されず、SF6やCHF3などのハロゲンガスや、フッ素ガスなども採用され得る。
本実施形態では、処理室内を所定の真空度に保った状態で処理室内に処理ガスを導入しながら、処理室内にプラズマを発生させる方法が採用されている。本実施形態では、酸素プラズマ処理において、処理ガスとして酸素を含むガスが採用されている。また、CF4プラズマ処理において、処理ガスとして、フッ素化合物を含むガスであるCF4ガスが採用されている。なお、CF4プラズマ処理では、処理ガスは、CF4ガスに限定されず、SF6やCHF3などのハロゲンガスや、フッ素ガスなども採用され得る。
基板51aにプラズマ処理を施す工程に次いで、図7(a)に示すように、絶縁膜59によって囲まれた各画素9の領域内に液状体61aを配置する。液状体61aには、正孔注入層61を構成する有機材料が含まれている。液状体61aの配置には、液滴吐出ヘッド71を利用したインクジェット法が活用され得る。
液滴吐出ヘッド71から液状体61aなどを液滴61bとして吐出する技術は、インクジェット技術と呼ばれる。そして、インクジェット技術を活用して液状体61aなどを所定の位置に配置する方法は、インクジェット法と呼ばれる。このインクジェット法は、塗布法の1つである。
液滴吐出ヘッド71から液状体61aなどを液滴61bとして吐出する技術は、インクジェット技術と呼ばれる。そして、インクジェット技術を活用して液状体61aなどを所定の位置に配置する方法は、インクジェット法と呼ばれる。このインクジェット法は、塗布法の1つである。
各画素9の領域内に配置された液状体61aを減圧乾燥法で乾燥させてから焼成を行うことによって、図7(b)に示す正孔注入層61が形成され得る。なお、液状体61aには、PEDOTとPSSとの混合物を、溶媒に溶解させた構成が採用され得る。溶媒としては、例えば、ジエチレングリコール、イソプロピルアルコール、ノルマルブタノールなどが採用され得る。
なお、減圧乾燥法は、減圧環境下で行う乾燥方法であり、真空乾燥法とも呼ばれる。減圧環境とは、大気圧よりも低い圧力が保たれる環境である。また、液状体61aの焼成条件は、環境温度が約200℃で、保持時間が約10分間である。
なお、減圧乾燥法は、減圧環境下で行う乾燥方法であり、真空乾燥法とも呼ばれる。減圧環境とは、大気圧よりも低い圧力が保たれる環境である。また、液状体61aの焼成条件は、環境温度が約200℃で、保持時間が約10分間である。
次いで、図7(b)に示すように、絶縁膜59によって囲まれた各画素9の領域内に、液状体63aを配置する。液状体63aには、正孔輸送層63を構成する有機材料が含まれている。液状体63aは、液滴吐出ヘッド71から液状体63aを液滴63bとして吐出することによって配置される。このとき、正孔注入層61は、液状体63aによって覆われる。なお、液状体63aには、TFBを溶媒に溶解させた構成が採用され得る。溶媒としては、例えば、シクロヘキシルベンゼンなどが採用され得る。
次いで、液状体63aを減圧乾燥法で乾燥させてから、不活性ガス中で焼成を行うことによって、図8(a)に示す正孔輸送層63が形成され得る。なお、液状体63aの焼成条件は、環境温度が約130℃で、保持時間が約1時間である。
次いで、液状体63aを減圧乾燥法で乾燥させてから、不活性ガス中で焼成を行うことによって、図8(a)に示す正孔輸送層63が形成され得る。なお、液状体63aの焼成条件は、環境温度が約130℃で、保持時間が約1時間である。
次いで、図8(a)に示すように、絶縁膜59によって囲まれた各画素9の領域内に、液状体65aを配置する。液状体65aには、発光層65を構成する有機材料が含まれている。液状体65aは、液滴吐出ヘッド71から液状体65aを液滴65bとして吐出することによって配置される。このとき、正孔輸送層63は、液状体65aによって覆われる。なお、液状体65aには、画素9R、画素9G及び画素9Bのそれぞれに対応する発光層65を構成する有機材料を溶媒に溶解させた構成が採用され得る。溶媒としては、例えば、シクロヘキシルベンゼンなどが採用され得る。
次いで、液状体65aを減圧乾燥法で乾燥させてから、不活性ガス中で焼成を行うことによって、図8(b)に示す発光層65が形成され得る。液状体65aの焼成条件は、環境温度が約130℃で、保持時間が約1時間である。
次いで、液状体65aを減圧乾燥法で乾燥させてから、不活性ガス中で焼成を行うことによって、図8(b)に示す発光層65が形成され得る。液状体65aの焼成条件は、環境温度が約130℃で、保持時間が約1時間である。
次いで、蒸着技術などを活用してマグネシウムと銀とを含む合金の膜を、絶縁膜59によって囲まれた各画素9の領域内に形成することにより、図8(c)に示す電子注入層67が形成され得る。このとき、電子注入層67は、絶縁膜59をマスクで表示面7側から覆った状態で形成され得る。
次いで、蒸着技術を活用してアルミニウム等の膜を形成することにより、図5に示す共通電極43が形成され得る。これにより、素子基板3が製造され得る。
次いで、蒸着技術を活用してアルミニウム等の膜を形成することにより、図5に示す共通電極43が形成され得る。これにより、素子基板3が製造され得る。
表示装置1を組み立てる工程では、図2に示すように、素子基板3及び封止基板5を、接着剤16及びシール材17を介して接合する。なお、土手部19の形成については、詳細を後述する。
このとき、素子基板3及び封止基板5は、図5に示すように、基板51の第1面52aと、封止基板5の対向面5bとが向き合った状態で接合される。これにより、表示装置1が製造され得る。
このとき、素子基板3及び封止基板5は、図5に示すように、基板51の第1面52aと、封止基板5の対向面5bとが向き合った状態で接合される。これにより、表示装置1が製造され得る。
ここで、上述した素子基板3の製造工程、及び表示装置1の組立工程は、それぞれ、マザー基板の状態で実施される。
複数の素子基板3が形成されるマザー基板81は、平面図である図9(a)に示すように、複数の基板51の領域を包含する大きさを有している。マザー基板81において、基板51の領域は、図9(a)に示すように、基板領域85と呼ばれる。
また、複数の封止基板5が形成されるマザー基板83は、平面図である図9(b)に示すように、複数の封止基板5の領域を包含する大きさを有している。マザー基板83において、封止基板5の領域は、図9(b)に示すように、基板領域87と呼ばれる。
複数の素子基板3が形成されるマザー基板81は、平面図である図9(a)に示すように、複数の基板51の領域を包含する大きさを有している。マザー基板81において、基板51の領域は、図9(a)に示すように、基板領域85と呼ばれる。
また、複数の封止基板5が形成されるマザー基板83は、平面図である図9(b)に示すように、複数の封止基板5の領域を包含する大きさを有している。マザー基板83において、封止基板5の領域は、図9(b)に示すように、基板領域87と呼ばれる。
マザー基板81において、基板領域85は、図10に示すように、素子領域91と、シール領域93と、を包含している。なお、図10では、構成をわかりやすく示すため、素子領域91及びシール領域93のそれぞれにハッチングが施されている。
素子領域91は、基板領域85の周縁よりも内側で島状に、すなわち基板領域85の周縁から離間して設定される。素子領域91には、前述した素子層53が設けられる。
シール領域93は、基板領域85よりも内側且つ素子領域91の外側で、素子領域91を環状に囲む領域に設定される。シール領域93は、基板領域85の周縁から離間して設定される。シール領域93には、シール材17が設けられる。
素子領域91は、基板領域85の周縁よりも内側で島状に、すなわち基板領域85の周縁から離間して設定される。素子領域91には、前述した素子層53が設けられる。
シール領域93は、基板領域85よりも内側且つ素子領域91の外側で、素子領域91を環状に囲む領域に設定される。シール領域93は、基板領域85の周縁から離間して設定される。シール領域93には、シール材17が設けられる。
また、基板領域85は、図10中のD−D線における断面図である図11に示すように、端子領域95を包含している。端子領域95は、シール領域93の外縁よりも外側に設定される。端子領域95は、素子領域91及びシール領域93の外側に設定される。
端子領域95には、表示装置1における外部との電気的な接続点となる図示しない端子部が設けられる。
なお、マザー基板81は、基板51の第1面52aに対応する第1面52aと、第2面52bに対応する第2面52bと、を有している。
端子領域95には、表示装置1における外部との電気的な接続点となる図示しない端子部が設けられる。
なお、マザー基板81は、基板51の第1面52aに対応する第1面52aと、第2面52bに対応する第2面52bと、を有している。
マザー基板83には、図12に示すように、基板領域87ごとに外郭領域97が設定される。なお、図12では、構成をわかりやすく示すため、外郭領域97にハッチングが施されている。
外郭領域97は、一部の領域が基板領域87に重なっており、基板領域87を環状に囲んでいる。
外郭領域97の内周縁97aは、図12中のE−E線における断面図である図13に示すように、基板領域87内に位置している。外郭領域97の外周縁97bは、基板領域87外に位置している。
なお、マザー基板83は、封止基板5の外向面5aに対応する外向面5aと、対向面5bに対応する対向面5bと、を有している。
外郭領域97は、一部の領域が基板領域87に重なっており、基板領域87を環状に囲んでいる。
外郭領域97の内周縁97aは、図12中のE−E線における断面図である図13に示すように、基板領域87内に位置している。外郭領域97の外周縁97bは、基板領域87外に位置している。
なお、マザー基板83は、封止基板5の外向面5aに対応する外向面5aと、対向面5bに対応する対向面5bと、を有している。
前述した素子基板3の製造工程は、マザー基板81の状態で実施される。前述した素子層53は、図14(a)に示すように、マザー基板81の第1面52aにおいて、素子領域91に形成される。素子層53が形成されたマザー基板81は、マザー基板81aと呼ばれる。
素子層53の形成に次いで、図14(b)に示すように、マザー基板81の第1面52aに、シール材17を設ける。素子層53及びシール材17が設けられたマザー基板81は、マザー基板81bと呼ばれる。
シール材17を設ける方法としては、例えば、ディスペンサーなどを用いた塗布法や、フレキソ印刷やスクリーン印刷などの印刷法等が採用され得る。
素子層53の形成に次いで、図14(b)に示すように、マザー基板81の第1面52aに、シール材17を設ける。素子層53及びシール材17が設けられたマザー基板81は、マザー基板81bと呼ばれる。
シール材17を設ける方法としては、例えば、ディスペンサーなどを用いた塗布法や、フレキソ印刷やスクリーン印刷などの印刷法等が採用され得る。
他方で、マザー基板83には、図2に示す土手部19が設けられる。マザー基板83に土手部19を設ける工程について説明する。
この工程では、図15(a)に示すように、まず、マザー基板83の対向面5bに、ガラスフリットペースト99でパターンを形成する。
ここで、ガラスフリットペースト99は、ガラスを含有している。ガラスフリットペースト99が含有するガラスとしては、例えば、リン酸系のガラスや、酸化ビスマス系のガラスなどが採用され得る。ガラスフリットペースト99には、ガラスが粉の状態で含まれている。
この工程では、図15(a)に示すように、まず、マザー基板83の対向面5bに、ガラスフリットペースト99でパターンを形成する。
ここで、ガラスフリットペースト99は、ガラスを含有している。ガラスフリットペースト99が含有するガラスとしては、例えば、リン酸系のガラスや、酸化ビスマス系のガラスなどが採用され得る。ガラスフリットペースト99には、ガラスが粉の状態で含まれている。
そして、ガラスフリットペースト99でパターンを形成する工程では、例えば、ディスペンサーなどを用いた塗布法や、フレキソ印刷やスクリーン印刷などの印刷法等により、外郭領域97内にパターンを形成する。このとき、パターンは、平面視で基板領域87の輪郭に沿って環状に形成される。このため、パターンは、平面視で基板領域87の輪郭に重なる。本実施形態では、外郭領域97にわたってパターンを形成する。ガラスフリットペースト99でパターンが形成されたマザー基板83は、マザー基板83aと呼ばれる。
次いで、ガラスフリットペースト99を焼成することによって、図15(b)に示す土手部19が形成され得る。土手部19が形成されたマザー基板83は、マザー基板83bと呼ばれる。ガラスフリットペースト99を焼成する工程によって、土手部19は、マザー基板83に溶着する。これにより、土手部19とマザー基板83とは、互いに接合される。
ガラスフリットペースト99を焼成する工程では、マザー基板83aを焼成炉内で加熱することによってガラスフリットペースト99を焼成する。ガラスフリットペースト99の焼成は、大気環境下で実施される。また、焼成条件としては、マザー基板83aを焼成炉内に収容してから、約5℃/分の昇温レートで約500℃まで昇温させ、その温度を約15分間にわたって保持する条件が採用される。
これにより、マザー基板83に土手部19が設けられ得る。
ガラスフリットペースト99を焼成する工程では、マザー基板83aを焼成炉内で加熱することによってガラスフリットペースト99を焼成する。ガラスフリットペースト99の焼成は、大気環境下で実施される。また、焼成条件としては、マザー基板83aを焼成炉内に収容してから、約5℃/分の昇温レートで約500℃まで昇温させ、その温度を約15分間にわたって保持する条件が採用される。
これにより、マザー基板83に土手部19が設けられ得る。
次いで、図16に示すように、マザー基板81bとマザー基板83bとを、接着剤16及びシール材17を介して接合する。これにより、マザーパネル110が製造され得る。
マザー基板81bとマザー基板83bとは、マザー基板83の対向面5bと、マザー基板81の第1面52aとが向き合わされた状態で接合される。
次いで、図17に示すように、マザー基板83に切断線101を、平面視で基板領域87の輪郭に沿って罫書く(スクライブする)。マザー基板83などの基板に切断線101を罫書く工程は、スクライブ工程と呼ばれる。スクライブ工程では、例えば、図示しないガラスカッターなどで基板に傷をつけることによって切断線101が描かれる。
マザー基板81bとマザー基板83bとは、マザー基板83の対向面5bと、マザー基板81の第1面52aとが向き合わされた状態で接合される。
次いで、図17に示すように、マザー基板83に切断線101を、平面視で基板領域87の輪郭に沿って罫書く(スクライブする)。マザー基板83などの基板に切断線101を罫書く工程は、スクライブ工程と呼ばれる。スクライブ工程では、例えば、図示しないガラスカッターなどで基板に傷をつけることによって切断線101が描かれる。
マザー基板83のスクライブ工程では、外向面5aに、外向面5aから対向面5bに向かって凹となる切断線101(傷)をつける。マザーパネル110において、切断線101は、平面視で、土手部19に重なる領域内で土手部19に沿って設けられる。切断線101は、平面視で、素子領域91及びシール領域93を環状に囲む。
本実施形態では、土手部19が外郭領域97内にわたって設けられているので、切断線101は、平面視で、外郭領域97内に設けられる。
マザー基板83において、切断線101によって囲まれる領域よりも外側の領域が、表示装置1には不要な領域である不要領域103とされる。
本実施形態では、土手部19が外郭領域97内にわたって設けられているので、切断線101は、平面視で、外郭領域97内に設けられる。
マザー基板83において、切断線101によって囲まれる領域よりも外側の領域が、表示装置1には不要な領域である不要領域103とされる。
次いで、マザー基板83を切断線101で切断(ブレイク)する。マザー基板83などの基板を切断線101で切断する工程は、ブレイク工程と呼ばれる。マザー基板83のブレイク工程により、図18に示すように、封止基板5と不要領域103とが分断される(マザーパネル110から不要領域103が切り出される)。
マザー基板83のブレイク工程では、マザー基板83及びマザー基板81の少なくとも一方に外力を付与することによって、マザー基板83が切断線101で切断され得る。
マザー基板83のブレイク工程では、マザー基板83及びマザー基板81の少なくとも一方に外力を付与することによって、マザー基板83が切断線101で切断され得る。
ここで、前述したように、土手部19は、マザー基板83に溶着している。また、切断線101(図17)は、平面視で土手部19に重なっている。これらにより、マザー基板83を切断線101で切断すると、図18に示すように、マザー基板83とともに土手部19も切断され得る。このとき、土手部19は、基板領域87の輪郭を境に分断され得る。
分断された土手部19のうち基板領域87内に位置する土手部19は、封止基板5側に付随する。
他方で、分断された土手部19のうち基板領域87外に位置する土手部19は、不要領域103側に付随する。
封止基板5の外縁は、平面視で、封止基板5に付随する土手部19に重なりやすい。このため、封止基板5を、平面視で、土手部19よりも外側に突出させにくく(張り出させにくく)することができる。これにより、封止基板5を割れにくくすることができる。この結果、表示装置1の信頼性を向上させやすくすることができる。
分断された土手部19のうち基板領域87内に位置する土手部19は、封止基板5側に付随する。
他方で、分断された土手部19のうち基板領域87外に位置する土手部19は、不要領域103側に付随する。
封止基板5の外縁は、平面視で、封止基板5に付随する土手部19に重なりやすい。このため、封止基板5を、平面視で、土手部19よりも外側に突出させにくく(張り出させにくく)することができる。これにより、封止基板5を割れにくくすることができる。この結果、表示装置1の信頼性を向上させやすくすることができる。
マザー基板83のブレイク工程に次いで、図19に示すように、マザー基板81に切断線105を、平面視で基板領域85の輪郭に沿って罫書く(スクライブする)。マザー基板81のスクライブ工程においても、マザー基板83のスクライブ工程と同様に、例えば、図示しないガラスカッターなどで基板に傷をつけることによって切断線105が描かれる。
マザー基板81のスクライブ工程では、第2面52bに、第2面52bから第1面52aに向かって凹となる切断線105(傷)をつける。マザー基板81では、切断線105は、平面視で、端子領域95を除いて土手部19に重なる領域内で土手部19に沿って設けられる。切断線105は、平面視で、素子領域91及びシール領域93を環状に囲む。
マザー基板81において、切断線105によって囲まれる領域よりも外側の領域が、表示装置1には不要な領域である不要領域107とされる。
マザー基板81のスクライブ工程では、第2面52bに、第2面52bから第1面52aに向かって凹となる切断線105(傷)をつける。マザー基板81では、切断線105は、平面視で、端子領域95を除いて土手部19に重なる領域内で土手部19に沿って設けられる。切断線105は、平面視で、素子領域91及びシール領域93を環状に囲む。
マザー基板81において、切断線105によって囲まれる領域よりも外側の領域が、表示装置1には不要な領域である不要領域107とされる。
次いで、マザー基板81を切断線105で切断(ブレイク)する。マザー基板81のブレイク工程により、図20に示すように、基板51と不要領域107とが分断される(マザー基板81から不要領域107が切り出される)。これにより、表示装置1が製造され得る。
マザー基板81のブレイク工程では、マザー基板81に外力を付与することによって、マザー基板81が切断線105で切断され得る。
ここで、前述したように、マザー基板81(図17)において、基板領域85は、平面視で、端子領域95を除いて外郭領域97に重なっている。このため、端子領域95を除いて、基板51の外縁は、平面視で、土手部19に重なりやすい。このため、端子領域95を除いて、基板51を、平面視で、土手部19よりも外側に突出させにくく(張り出させにくく)することができる。これにより、基板51を割れにくくすることができる。この結果、表示装置1の信頼性を向上させやすくすることができる。
マザー基板81のブレイク工程では、マザー基板81に外力を付与することによって、マザー基板81が切断線105で切断され得る。
ここで、前述したように、マザー基板81(図17)において、基板領域85は、平面視で、端子領域95を除いて外郭領域97に重なっている。このため、端子領域95を除いて、基板51の外縁は、平面視で、土手部19に重なりやすい。このため、端子領域95を除いて、基板51を、平面視で、土手部19よりも外側に突出させにくく(張り出させにくく)することができる。これにより、基板51を割れにくくすることができる。この結果、表示装置1の信頼性を向上させやすくすることができる。
本実施形態において、マザー基板83が第1基板に対応し、マザー基板81が第2基板に対応し、選択トランジスター31や駆動トランジスター33、有機EL素子37がそれぞれ電子素子に対応している。
また、マザー基板81bとマザー基板83bとを接合する工程が接合工程に対応している。
また、マザー基板83に土手部19を設ける工程が土手形成工程に対応している。
また、ガラスフリットペースト99がペーストに対応し、ガラスフリットペースト99でパターンを形成する工程がパターン形成工程に対応している。
また、ガラスフリットペースト99を焼成する工程が焼成工程に対応している。
また、マザー基板81bとマザー基板83bとを接合する工程が接合工程に対応している。
また、マザー基板83に土手部19を設ける工程が土手形成工程に対応している。
また、ガラスフリットペースト99がペーストに対応し、ガラスフリットペースト99でパターンを形成する工程がパターン形成工程に対応している。
また、ガラスフリットペースト99を焼成する工程が焼成工程に対応している。
本実施形態では、前述したように、平面視で、封止基板5を土手部19よりも外側に張り出させにくくすることができるので、封止基板5を割れにくくすることができる。この結果、表示装置1の信頼性を向上させやすくすることができる。
同様に、端子領域95を除いて、平面視で、基板51を土手部19よりも外側に張り出させにくくすることができるので、基板51を割れにくくすることができる。この結果、表示装置1の信頼性を一層向上させやすくすることができる。
同様に、端子領域95を除いて、平面視で、基板51を土手部19よりも外側に張り出させにくくすることができるので、基板51を割れにくくすることができる。この結果、表示装置1の信頼性を一層向上させやすくすることができる。
なお、本実施形態では、土手部19にスペーサーの機能を付加することができる。
図16に示すマザー基板81bとマザー基板83bとを接合するときに、土手部19をマザー基板81の第1面52aに当接させることによって、マザー基板81とマザー基板83との間の隙間量が規定され得る。
この場合、マザー基板83に土手部19を設ける工程(図15(a)及び図15(b))において、土手部19の対向面5bからの高さが、マザー基板81とマザー基板83との間の隙間量に設定される。これにより、マザー基板81bとマザー基板83bとを接合するときに、土手部19をスペーサーとして機能させることができる。
土手部19にスペーサーの機能を付加することによって、マザー基板81とマザー基板83との間の隙間量を容易に規定しやすくすることができる。このため、表示装置1の製造効率を向上させやすくすることができる。
図16に示すマザー基板81bとマザー基板83bとを接合するときに、土手部19をマザー基板81の第1面52aに当接させることによって、マザー基板81とマザー基板83との間の隙間量が規定され得る。
この場合、マザー基板83に土手部19を設ける工程(図15(a)及び図15(b))において、土手部19の対向面5bからの高さが、マザー基板81とマザー基板83との間の隙間量に設定される。これにより、マザー基板81bとマザー基板83bとを接合するときに、土手部19をスペーサーとして機能させることができる。
土手部19にスペーサーの機能を付加することによって、マザー基板81とマザー基板83との間の隙間量を容易に規定しやすくすることができる。このため、表示装置1の製造効率を向上させやすくすることができる。
また、本実施形態では、シール材17をマザー基板81に設ける例を示したが、シール材17を設ける基板は、マザー基板81に限定されず、マザー基板83も採用され得る。マザー基板83にシール材17を設ける場合、シール材17は、図15(b)に示すマザー基板83bに設けられる。マザー基板83bにおいて、シール材17は、土手部19によって囲まれる領域内で環状に設けられる。
また、マザー基板81及びマザー基板83の双方にシール材17を設ける方法も採用され得る。
また、マザー基板81及びマザー基板83の双方にシール材17を設ける方法も採用され得る。
また、本実施形態では、マザー基板81とマザー基板83とを、接着剤16及びシール材17を介して接合する例を示したが、マザー基板81とマザー基板83との接合方法は、これに限定されない。マザー基板81とマザー基板83との接合方法としては、接着剤16及びシール材17並びに土手部19を介して接合する方法も採用され得る。
マザー基板81と土手部19との接合としては、図21に示すように、レーザー光111を利用した溶接が活用され得る。
レーザー光111としては、波長が600nm〜1600nmの範囲内にあるものが採用され得る。このようなレーザー光111としては、例えば、GaAsやInGaAsPなどの半導体レーザー、チタンサファイア、YAG、YVO4などの固体レーザー等の様々な種類が採用され得る。
本実施形態では、レーザー光111は、コリーメーターレンズ113を介して集光した状態で照射される。これにより、レーザー光111のエネルギー密度を高めることができ、効率よく溶接することができる。本実施形態では、レーザー光111の集光範囲は、直径が略1mmの円の範囲内に納められる。また、レーザー光111の発振器は、約20Wの出力に設定される。
マザー基板81と土手部19との接合としては、図21に示すように、レーザー光111を利用した溶接が活用され得る。
レーザー光111としては、波長が600nm〜1600nmの範囲内にあるものが採用され得る。このようなレーザー光111としては、例えば、GaAsやInGaAsPなどの半導体レーザー、チタンサファイア、YAG、YVO4などの固体レーザー等の様々な種類が採用され得る。
本実施形態では、レーザー光111は、コリーメーターレンズ113を介して集光した状態で照射される。これにより、レーザー光111のエネルギー密度を高めることができ、効率よく溶接することができる。本実施形態では、レーザー光111の集光範囲は、直径が略1mmの円の範囲内に納められる。また、レーザー光111の発振器は、約20Wの出力に設定される。
マザー基板81と土手部19との溶接では、まず、図22に示すように、ステージ115に、マザー基板81b及びマザー基板83bを重ねて載置する。
次いで、マザー基板83bに押さえ板117を重ねる。これにより、マザー基板81b及びマザー基板83bは、ステージ115と押さえ板117とによって挟持される。押さえ板117は、マザー基板81b及びマザー基板83bを加圧する機能を有しており、マザー基板81と土手部19との密着性を高める。押さえ板117の材料としては、例えば、石英やガラスなどのレーザー光111に対する光透過性が高い材料が採用され得る。
次いで、レーザー光111を励起させる。このとき、レーザー光111の集光部を、図21に示すように、マザー基板81の第1面52aと土手部19との境界面に合わせる。
次いで、マザー基板83bに押さえ板117を重ねる。これにより、マザー基板81b及びマザー基板83bは、ステージ115と押さえ板117とによって挟持される。押さえ板117は、マザー基板81b及びマザー基板83bを加圧する機能を有しており、マザー基板81と土手部19との密着性を高める。押さえ板117の材料としては、例えば、石英やガラスなどのレーザー光111に対する光透過性が高い材料が採用され得る。
次いで、レーザー光111を励起させる。このとき、レーザー光111の集光部を、図21に示すように、マザー基板81の第1面52aと土手部19との境界面に合わせる。
次いで、マザー基板81b及びマザー基板83bに対するレーザー光111の位置を変化させながら、基板領域87の輪郭に沿って溶接していく。このとき、平面視で、端子領域95に重なる領域内、及び端子領域95とシール領域93との間の領域内には、レーザー光111の照射が避けられる。これは、図示しない端子部のレーザー光111による損傷を回避するためである。
なお、マザー基板81b及びマザー基板83bに対するレーザー光111の位置を変化させる速さは、約1mm/秒の速さに設定される。
上記により、マザー基板81と土手部19との間が接合されたマザーパネル200が製造され得る。
なお、図22では、ステージ115にマザー基板81bを載置してから、マザー基板81bにマザー基板83bを重ねた状態が図示されている。しかしながら、マザー基板81b及びマザー基板83bの重ね順は、これに限定されず、ステージ115にマザー基板83bを載置してから、マザー基板83bにマザー基板81bを重ねる順序も採用され得る。
なお、マザー基板81b及びマザー基板83bに対するレーザー光111の位置を変化させる速さは、約1mm/秒の速さに設定される。
上記により、マザー基板81と土手部19との間が接合されたマザーパネル200が製造され得る。
なお、図22では、ステージ115にマザー基板81bを載置してから、マザー基板81bにマザー基板83bを重ねた状態が図示されている。しかしながら、マザー基板81b及びマザー基板83bの重ね順は、これに限定されず、ステージ115にマザー基板83bを載置してから、マザー基板83bにマザー基板81bを重ねる順序も採用され得る。
マザーパネル200では、図23に示すように、スクライブ工程において、マザー基板83に切断線101を罫書き、マザー基板81に切断線105を罫書く。
マザーパネル200における切断線101は、マザーパネル110(図17)における切断線101と同様の箇所に描かれる。
これに対し、マザーパネル200における切断線105は、基板領域85の輪郭を構成する辺のうち端子領域95の輪郭に重なる辺に沿って描かれる。なお、マザー基板81から端子領域95が省略されている場合には、マザーパネル200において、切断線105は、省略される。
スクライブ工程に次いで、マザー基板83を切断線101でブレイクし、マザー基板81を切断線105でブレイクする。このブレイク工程により、図24に示すように、封止基板5と不要領域103とが分断され、且つ基板51と不要領域107とが分断され得る。これにより、表示装置1が製造され得る。
マザーパネル200における切断線101は、マザーパネル110(図17)における切断線101と同様の箇所に描かれる。
これに対し、マザーパネル200における切断線105は、基板領域85の輪郭を構成する辺のうち端子領域95の輪郭に重なる辺に沿って描かれる。なお、マザー基板81から端子領域95が省略されている場合には、マザーパネル200において、切断線105は、省略される。
スクライブ工程に次いで、マザー基板83を切断線101でブレイクし、マザー基板81を切断線105でブレイクする。このブレイク工程により、図24に示すように、封止基板5と不要領域103とが分断され、且つ基板51と不要領域107とが分断され得る。これにより、表示装置1が製造され得る。
ここで、マザーパネル200では、前述したように、マザー基板81と土手部19との間が接合されている。つまり、マザー基板83とマザー基板81とが、土手部19を介して一体的につながっている。このため、基板領域85の輪郭を構成する辺のうち基板領域87の輪郭に重なる辺において、切断線101及び切断線105のうち切断線101だけが描かれていても、基板51と不要領域107とを分断することができる。つまり、この部分においては、マザー基板83をブレイクすることによって、マザー基板81もブレイクすることができる。
マザーパネル200では、マザーパネル110に比較して、切断線105の一部を省略することができる。また、マザーパネル200では、マザーパネル110に比較して、1回のブレイク工程において、マザーパネル200から表示装置1を分離することができる。これらにより、表示装置1の製造効率を一層向上させやすくすることができる。
マザーパネル200では、マザーパネル110に比較して、切断線105の一部を省略することができる。また、マザーパネル200では、マザーパネル110に比較して、1回のブレイク工程において、マザーパネル200から表示装置1を分離することができる。これらにより、表示装置1の製造効率を一層向上させやすくすることができる。
本実施形態では、複数の画素9が設定され、画素9ごとに有機EL素子37を有する表示装置1を例に説明したが、実施の形態はこれに限定されない。実施の形態としては、有機EL素子37を表示領域11にわたって一連した状態で設けた照明装置などの形態もある。このような照明装置は、例えば液晶表示装置などの光源に好適である。
また、本実施形態では、絶縁膜57が光透過性を有する材料で構成されているが、絶縁膜57の材料はこれに限定されない。絶縁膜57の材料としては、光吸収性が高い材料も採用され得る。絶縁膜57の材料に光吸収性が高い材料を採用すれば、隣り合う画素9同士間における遮光性が高められる。これにより、表示におけるコントラストを向上させやすくすることができ、表示品位を向上させやすくすることができる。
また、本実施形態では、有機層41からの光を封止基板5を介して表示面7から射出するトップエミッション型の有機EL装置を例に説明したが、有機EL装置はこれに限定されない。有機EL装置は、有機層41からの光を素子基板3を介して底面13から射出するボトムエミッション型も採用され得る。
ボトムエミッション型の場合、有機層41からの光が底面13から射出されるので、底面13側に表示面7が設定される。つまり、ボトムエミッション型では、表示装置1の底面13と表示面7とが入れ替わる。そして、ボトムエミッション型では、底面13側が上側に対応し、表示面7側が下側に対応する。
ボトムエミッション型の場合、有機層41からの光が底面13から射出されるので、底面13側に表示面7が設定される。つまり、ボトムエミッション型では、表示装置1の底面13と表示面7とが入れ替わる。そして、ボトムエミッション型では、底面13側が上側に対応し、表示面7側が下側に対応する。
また、本実施形態では、有機層41をインクジェット法で形成する場合を例に説明したが、有機層41の形成方法は、これに限定されず、蒸着法も採用され得る。
また、本実施形態では、表示装置1として有機EL装置を例に説明したが、表示装置1はこれに限定されない。表示装置1としては、光を変調することができる液晶を有する液晶装置も適用され得る。液晶装置の場合、マザー基板81にシール材17を設けてから、素子領域91に液晶を配置する方法が採用され得る。このような方法は、滴下法(ODF法とも呼ばれる)として知られている。
また、マザー基板81は、有機EL装置や液晶装置への適用に限定されず、半導体用シリコン基板や、半導体装置、太陽電池などの種々の電子機器にも適用され得る。
また、マザー基板81は、有機EL装置や液晶装置への適用に限定されず、半導体用シリコン基板や、半導体装置、太陽電池などの種々の電子機器にも適用され得る。
上述した表示装置1は、例えば、図25に示す電子機器500の表示部510に適用され得る。この電子機器500は、携帯電話機である。この電子機器500は、操作ボタン511を有している。表示部510は、操作ボタン511で入力した内容や着信情報を始めとする様々な情報について表示を行うことができる。この電子機器500では、表示部510に表示装置1が適用されているので、表示部510における表示品位を向上させやすくすることができる。
なお、電子機器500としては、携帯電話機に限られず、モバイルコンピューター、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ、カーナビゲーションシステム用の表示機器などの車載機器、オーディオ機器等の種々の電子機器が挙げられる。
1…表示装置、3…素子基板、5…封止基板、5a…外向面、5b…対向面、7…表示面、9…画素、13…底面、16…接着剤、17…シール材、19…土手部、31…選択トランジスター、33…駆動トランジスター、37…有機EL素子、41…有機層、51…基板、51a…基板、52a…第1面、52b…第2面、53…素子層、61…正孔注入層、63…正孔輸送層、65…発光層、67…電子注入層、81…マザー基板、81a…マザー基板、81b…マザー基板、83…マザー基板、83a…マザー基板、83b…マザー基板、85…基板領域、87…基板領域、91…素子領域、93…シール領域、95…端子領域、97…外郭領域、99…ガラスフリットペースト、101…切断線、103…不要領域、105…切断線、107…不要領域、110…マザーパネル、111…レーザー光、200…マザーパネル、500…電子機器、510…表示部、511…操作ボタン。
Claims (8)
- 無機材料を含む材料で構成された第1基板と、前記第1基板に対向する第2基板との間に電子素子を介在させた状態で、前記第1基板と前記第2基板とを、平面視で前記電子素子が設けられた領域である素子領域の外側で前記素子領域を囲むシール領域に設けられたシール材を介して接合する接合工程と、
前記接合工程の前に、前記第1基板及び前記第2基板の少なくとも一方における前記電子素子側の面において、前記シール領域に前記シール材を設ける工程と、
前記接合工程の前に、前記第1基板における前記電子素子側の面において、平面視で、前記シール領域の外側で前記シール領域を囲む外郭領域に、無機材料を含む材料で前記第2基板側に向かって凸となる土手部を形成する土手形成工程と、
前記接合工程の後に、前記第1基板における前記電子素子側とは反対側の面において、平面視で前記土手部に重なる領域に、前記土手部に沿って傷をつけるスクライブ工程と、
前記スクライブ工程の後に、前記第1基板及び前記第2基板の少なくとも一方に外力を付与して、前記第1基板を前記傷に沿って分断するブレイク工程と、を含む、
ことを特徴とする電子機器の製造方法。 - 前記接合工程では、前記土手部と前記第2基板とを互いに当接させた状態で、前記第1基板と前記第2基板とを接合する、
ことを特徴とする請求項1に記載の電子機器の製造方法。 - 前記第2基板は、無機材料を含む材料で構成されており、
前記接合工程の後に、前記土手部と前記第2基板とを接合する第2接合工程を含む、ことを特徴とする請求項2に記載の電子機器の製造方法。 - 前記無機材料が、それぞれ、ガラスである、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子機器の製造方法。
- 前記土手形成工程は、
前記ガラスを粉の状態で含有するペーストで前記外郭領域にパターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターン形成工程の後に、前記パターンにおける前記ペーストを加熱することによって、前記ガラスを前記土手部として焼成する焼成工程と、を含む、
ことを特徴とする請求項4に記載の電子機器の製造方法。 - 互いに対向する2枚の基板と、
前記2枚の基板の間に介在する電子素子と、
平面視で前記電子素子が設けられた領域である素子領域の外側において、前記2枚の基板の間に介在し、且つ前記素子領域を囲むシール領域に設けられたシール材と、
平面視で前記シール領域の外側において、前記2枚の基板の間に介在し、且つ前記シール領域を囲む外郭領域に設けられた土手部と、を含み、
前記2枚の基板のうちの一方の基板は、無機材料を含む材料で構成されており、
前記土手部は、無機材料を含む材料で構成されており、
前記一方の基板の縁が、平面視で、前記土手部に重なっている、ことを特徴とする電子機器。 - 前記2枚の基板のうちの他方の基板は、無機材料を含む材料で構成されており、
前記他方の基板の縁が、平面視で、前記土手部に重なっている、ことを特徴とする請求項6に記載の電子機器。 - エレクトロルミネセンス素子を前記電子素子として有する、ことを特徴とする請求項6又は7に記載の電子機器。
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