JP2010080341A - 表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】製造歩留まりの低下を招くことなく表示品位が良好であり、且つ、長寿命化が可能な表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 複数の画素によって構成されたアクティブエリア102を備えた表示装置であって、各画素に配置された自発光性の有機EL素子40と、アクティブエリアの周辺104に配置された光反射性を有する金属層500と、金属層に積層され光透過性を有する金属酸化物層600と、を備えたアレイ基板100と、アレイ基板の有機EL素子に対向して配置された封止基板200と、アクティブエリアを囲むように枠状に配置され、金属酸化物層に溶着されたフリットガラスからなり、アレイ基板と封止基板とを接合するシール部材300と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】 図2

Description

この発明は、表示装置に係り、特に、自発光性の表示素子を備えた構成の表示装置に関する。
近年、平面表示装置として、有機エレクトロルミネッセンス(EL)表示装置が注目されている。この有機EL表示装置は、自発光素子である有機EL素子を備えていることから、視野角が広く、バックライトを必要とせず薄型化及び軽量化が可能であり、消費電力が抑えられ、且つ応答速度が速いといった特徴を有している。これらの特徴から、有機EL表示装置は、液晶表示装置に代わる、次世代平面表示装置の有力候補として注目を集めている。
有機EL表示装置は、陽極と陰極との間に発光機能を有する有機化合物を含む有機活性層を保持した有機EL素子を備えて構成されている。このような有機EL表示装置としては、有機EL素子で発生したEL光をアレイ基板側から外部に取り出す下面発光(ボトムエミッション)方式、及び、有機EL素子で発生したEL光を封止基板側から外部に取り出す上面発光(トップエミッション)方式がある。
このような構成の有機EL素子は、水分や酸素の影響により劣化しやすい薄膜を含んで構成されている。このため、有機EL素子が大気に曝されないように密封する必要がある。
そこで、例えば特許文献1によれば、有機EL素子が配置された基板の周辺に設置した低融点ガラスであるフリットガラスを介して封止基板を貼り合せることにより水分の流入を防止する構成が提案されている。また、特許文献2によれば、透明な材質の第1フリット層と、不透明な材質の第2フリット層を含む密封材により厚さ調整を可能とする構成が提案されている。
特開2007−200840号公報 特開2007−200836号公報
有機EL素子を備えたアレイ基板と封止基板とをフリットガラスによって接合する場合には、通常、封止基板となるガラス板にフリットガラスを塗布して硬化焼成し、冷却した後にアレイ基板を合わせ、レーザー等の局所的に加熱する装置によってフリットガラスを溶融して、アレイ基板と封止基板との外周全部を接合し、両基板の間に有機EL素子を密封している。
平面表示装置については、画像を表示するアクティブエリアの大きさは所望のサイズを確保しつつ、外形寸法を縮小すること(狭額縁化)が市場から強く望まれており、有機EL表示装置についても同様の要望がある。そのため、アレイ基板と封止基板との接合を担うフリットガラスの塗布幅(溶着後の幅)の縮小が望まれる一方で、表示装置として十分な機械的強度及び密封性能を確保する必要がある。
しかしながら、アレイ基板の表面に剥き出しとなった金属配線とフリットガラスとが直接溶着されている箇所については、引き剥がす力に対する機械的強度及び密封性能が不足する傾向にあり、製造歩留まりの低下を招くおそれがある。
この発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、狭額縁化が可能であるとともに、機械的強度及び密封性能を向上することが可能な表示装置を提供することにある。
この発明の態様による表示装置は、
複数の画素によって構成されたアクティブエリアを備えた表示装置であって、
各画素に配置された自発光性の表示素子と、前記アクティブエリアの周辺に配置された光反射性を有する金属層と、前記金属層に積層され光透過性を有する金属酸化物層と、を備えた第1基板と、
前記第1基板の前記表示素子に対向して配置された第2基板と、
前記アクティブエリアを囲むように枠状に配置され、前記金属酸化物層に溶着されたフリットガラスからなり、前記第1基板と前記第2基板とを接合するシール部材と、
を備えたことを特徴とする。
この発明によれば、狭額縁化が可能であるとともに、機械的強度及び密封性能を向上することが可能な表示装置を提供できる。このため、製造歩留まりの低下が抑制されるとともに、表示素子が大気に曝されることがなく、表示素子の劣化が抑制されるため、良好な表示品位の維持及び長寿命化が可能となる。
以下、この発明の一実施の形態に係る表示装置について図面を参照して説明する。なお、この実施の形態では、表示装置として、自己発光型表示装置、例えば、有機EL(エレクトロルミネッセンス)表示装置を例にして説明する。
有機EL表示装置1は、図1に示すように、画像を表示するアクティブエリア102を有するアレイ基板(第1基板)100を備えている。アクティブエリア102は、マトリクス状に配置された複数の画素PXによって構成されている。また、図1では、カラー表示タイプの有機EL表示装置1を例に示しており、アクティブエリア102は、複数種類の色画素、例えば3原色に対応した赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBによって構成されている。
アレイ基板100の少なくともアクティブエリア102は、封止基板200(第2基板)によって封止されている。封止基板200は、光透過性を有する絶縁性の基板、特にガラス基板によって構成されている。この封止基板200のアレイ基板100と対向する内面は、平坦に形成されていても良いし、少なくともアクティブエリア102との対向面が窪み、周縁部より肉薄に形成されても良い。
これらのアレイ基板100と封止基板200とは、それぞれの周縁部がアクティブエリア102を囲むように枠状に配置されたシール部材300によって接合されている。この実施の形態においては、シール部材300は、フリットガラス(低融点ガラス)からなる。
各画素PX(R、G、B)は、画素回路10及びこの画素回路10によって駆動制御される表示素子40を備えている。図1に示した画素回路10は、一例であって、他の構成の画素回路を適用しても良いことは言うまでもない。
図1に示した例では、画素回路10は、駆動トランジスタDRT、各種スイッチ(第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、第3スイッチSW3)、蓄積容量素子Csなどを備えて構成されている。駆動トランジスタDRTは、表示素子40に供給する電流量を制御する機能を有している。第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2は、サンプル・ホールドスイッチとして機能する。第3スイッチ素子SW3は、駆動トランジスタDRTから表示素子40への駆動電流の供給、つまり表示素子40のオン/オフを制御する機能を有している。蓄積容量素子Csは、駆動トランジスタDRTのゲートーソース間の電位を保持する機能を有している。
駆動トランジスタDRTは、高電位電源線P1と第3スイッチSW3との間に接続されている。表示素子40は、第3スイッチSW3と低電位電源線P2との間に接続されている。第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2のゲート電極は、第1ゲート線GL1に接続されている。第3スイッチSW3のゲート電極は、第2ゲート線GL2に接続されている。第1スイッチSW1のソース電極は、映像信号線SLに接続されている。
これらの駆動トランジスタDRT、第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、及び、第3スイッチ素子SW3は、例えば薄膜トランジスタ(TFT)によって構成され、その半導体層は、アモルファスシリコンやポリシリコンなどによって形成可能であり、ここではポリシリコンによって形成されている。
このような回路構成の場合、第1ゲート線GL1からオン信号が供給されたのに基づいて第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2がオンとなり、映像信号線SLを流れる電流量に応じて高電位電源線P1から駆動トランジスタDRTに電流が流れ、また、駆動トランジスタDRTを流れる電流に応じて蓄積容量素子CSが充電される。これにより、駆動トランジスタDRTは、映像信号線SLから供給された電流量と同一の電流量を、高電位電源線P1から表示素子40に供給可能となる。
そして、第2ゲート線GL2からオン信号が供給されたのに基づいて第3スイッチSW3がオンとなり、蓄積容量素子CSで保持した容量に応じて、駆動トランジスタDRTは、高電位電源線P1から第3スイッチSW3を介して表示素子40に所定輝度に対応した所定量の電流を供給する。これにより、表示素子40は、所定の輝度に発光する。
表示素子40は、自発光性の表示素子である有機EL素子40(R、G、B)によって構成されている。すなわち、赤色画素PXRは、主に赤色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Rを備えている。緑色画素PXGは、主に緑色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Gを備えている。青色画素PXBは、主に青色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Bを備えている。
各種有機EL素子40(R、G、B)は、基本的に同一構成であり、例えば、図2に示すように、配線基板120上に配置されている。なお、配線基板120は、ガラス基板などの絶縁性の支持基板101上に、アンダーコート層111、ゲート絶縁膜112、層間絶縁膜113、有機絶縁膜(平坦化層)114などの絶縁層を備える他に、各種スイッチSW、駆動トランジスタDRT、蓄積容量素子Cs、各種配線(ゲート線、映像信号線、電源線等)などを備えて構成されている。アンダーコート層111、ゲート絶縁膜112、及び、層間絶縁膜113は、例えば、窒化シリコン(SiN)や酸化シリコン(SiO)などの無機系材料によって形成されている。
すなわち、図2に示した例では、アンダーコート層111の上には、スイッチや駆動トランジスタなどのトランジスタ素子(図1に示した回路構成においては第3スイッチSW3に相当する)20の半導体層21が配置されている。半導体層21は、ゲート絶縁膜112によって覆われている。
ゲート絶縁膜112の上には、トランジスタ素子20のゲート電極20Gや図示しないゲート線などが配置されている。ゲート電極20Gやゲート線は、層間絶縁膜113によって覆われている。層間絶縁膜113の上には、トランジスタ素子20のソース電極20S及びドレイン電極20Dや図示しない信号線などが配置されている。
これらのソース電極20S及びドレイン電極20Dは、ゲート絶縁膜112及び層間絶縁膜113を半導体層21まで貫通するコンタクトホールを介して半導体層21にそれぞれコンタクトしている。これらのソース電極20S及びドレイン電極20Dや信号線は、有機絶縁膜114によって覆われている。このような有機絶縁膜114は、下層の凹凸の影響を緩和しその表面を平坦化する目的で、樹脂材料をコーティングするなどの手法により形成されている。
この実施の形態においては、有機EL素子40は、有機絶縁膜114の上に配置されている。この有機EL素子40は、第1電極60と第2電極64との間に有機活性層62を保持した構成であり、以下に詳細な構造について説明する。
すなわち、第1電極60は、有機絶縁膜114の上において各画素PXに独立した島状に配置され、陽極として機能する。この第1電極60は、有機絶縁膜114をドレイン電極20Dまで貫通するコンタクトホールを介して、ドレイン電極20Dにコンタクトしている。
このような第1電極60は、アルミニウム(Al)や銀(Ag)などの光反射性を有する導電材料を用いて形成された反射層の上に、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)やインジウム・ジンク・オキサイド(IZO)などの光透過性を有する導電材料を用いて形成された透過層を積層した構造であってもよいし、反射層単層、または、透過層単層として構成しても良い。トップエミッション方式の場合、第1電極60は、反射層を含んでいることが望ましい。
有機活性層62は、第1電極60の上に配置され、少なくとも発光層を含んでいる。この有機活性層62は、発光層以外の機能層を含むことができ、例えば、ホール注入層、ホール輸送層、ブロッキング層、電子輸送層、電子注入層、バッファ層などの機能層を含むことができる。このような有機活性層62は、複数の機能層を複合した単層で構成されても良いし、各機能層を積層した多層構造であっても良い。有機活性層62においては、発光層が有機系材料であればよく、発光層以外の層は無機系材料でも有機系材料でも構わない。有機活性層62において、発光層以外の機能層は共通層であってもよい。発光層は、赤、緑、または青に発光する発光機能を有した有機化合物によって形成される。なお、有機活性層62は、低分子系材料によって形成された薄膜を含んでいても良い。このような薄膜は、マスク蒸着法などの手法により成膜可能である。
第2電極64は、複数の画素PXに共通であって、各画素PXの有機活性層62の上に配置され、陰極として機能する。このような第2電極64は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との混合物などからなる半透過層、及び、ITOなどの光透過性を有する導電材料を用いて形成された透過層を積層した構造であってもよいし、半透過層単層、または、透過層単層として構成しても良い。トップエミッション方式の場合、第2電極64は、半透過層を含んでいることが望ましい。
また、アレイ基板100は、アクティブエリア102において、隣接する画素PX(R、G、B)間を分離する隔壁70を備えている。この隔壁70は、例えば、各第1電極60の周縁を覆うように配置され、アクティブエリア102において格子状またはストライプ状に形成されている。これにより、隣接する異なる色の有機EL素子が絶縁される。このような隔壁70は、例えば樹脂材料をパターニングすることによって形成される。この隔壁70は、第2電極64によって覆われている。
封止基板200は、アレイ基板100の有機EL素子40に対向するように配置されている。これらのアレイ基板100と封止基板200とは、アクティブエリアの周辺104において、シール部材300により接合されている。シール部材300は、フリットガラスであり、このようなフリットガラスは、レーザー光を照射するなどして熱を加えることによって溶融し、アレイ基板100と封止基板200とを接合する。これにより、アレイ基板100と封止基板200との間に密閉空間が形成される。有機EL素子40は、この密閉空間内に配置され、密封されることになる。
ところで、この実施の形態においては、アレイ基板100は、シール部材300の下地として、金属層500及び金属酸化物層600の積層体を備えている。この金属層500は、アクティブエリア102の周辺104に配置され、光反射性を有する金属材料によって形成されている。また、金属酸化物層600は、金属層500の上に積層され、光透過性を有する金属酸化物によって形成されている。シール部材300は、金属酸化物層600に溶着されている。換言すると、金属層500とシール部材300とは、金属酸化物層600を介して溶着されている。
例えば、図2に示すように、アンダーコート層111、ゲート絶縁膜112、及び、層間絶縁膜113は、アクティブエリア102からその周辺104に延在しており、シール部材300が配置されるシール領域310にも配置されている。金属層500は、シール領域310に対応するように、層間絶縁膜113の上に配置されている。金属酸化物層600は、金属層500の上に積層配置されている。
このような金属層500及び金属酸化物層600は、例えば、図3に示すように、アクティブエリア102を囲むように一連の枠状に配置されている。この場合、金属酸化物層600は、シール部材300と全周にわたって重なっている。なお、金属層500及び金属酸化物層600は、このような配置に限らず、一連でなくても良い。例えば、金属層500及び金属酸化物層600は、島状に形成され、アクティブエリア102を囲むように点在するように配置されても良いし、アクティブエリア102に沿った少なくとも一辺に配置されても良いし、特に強固な接合が要求されるコーナー部などの特定の箇所についてのみ配置されても良い。
このような金属酸化物層600は、シール領域310において、アレイ基板100の表面に露出している。このため、シール部材300として、フリットガラスを塗布、硬化させた封止基板200をアレイ基板100に貼り合わせる際、シール部材300は、金属酸化物層600に接触する。
そして、封止基板200の外面側からレーザー光を照射することによって、フリットガラス300を加熱し、また一部のレーザー光が金属酸化物層600を透過して金属層500によって反射されるなどしてフリットガラス300と金属酸化物層600との界面の温度上昇によってフリットガラス300が溶融し、フリットガラス300が金属酸化物層600に溶着される。
このような金属酸化物層600は、金属層500よりも比較的高い融点を有している。このため、金属酸化物層600がフリットガラス300の下地としてのバッファ層として機能し、金属層500の溶着時の熱によるダメージを軽減できる。これにより、レーザー光を照射した際に、金属層500と金属酸化物層600との界面での剥離や界面形状乱れを抑制することが可能となる。
また、金属酸化物層600が光透過性を有するため、照射されたレーザー光は、金属酸化物層600を透過し、金属層500で反射されるため、フリットガラス300にレーザー光のエネルギーが効率よく吸収される。このため、フリットガラス300の溶融が促進され、金属酸化物層600との溶着性が向上し、アレイ基板100と封止基板200とを強固に接合することが可能となる。
加えて、金属層500の上に金属酸化物層600が積層された構造においては、高い熱伝導性を維持できるため、レーザー光が照射された領域のみが局所的に高温にならず、フリットガラス300と接触している部分が均一な熱分布となる。このため、フリットガラス300と金属酸化物層600との均一な溶着が可能となる。
したがって、アレイ基板100と封止基板200とを接合するために、シール領域310を大幅に拡大する必要がなく、狭額縁化が可能となる。また、機械的強度及び密封性能を向上することが可能となり、製造歩留まりの低下を抑制できるとともに、有機EL素子の劣化が抑制されるため、良好な表示品位の維持及び長寿命化が可能となる。
≪構成例≫
金属層500は、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、アルミニウム・ネオジム(AlNd)などのアルミニウム合金のいずれかによって形成されることが望ましい。このような金属層500は、例えば、金属層500を形成する金属材料をマグネトロンスパッタ法などで成膜した後に、フォトグラフィー法やドライエッチングあるいはウエットエッチングなどにより所望の形状にパターニングされることによって形成可能である。
金属酸化物層600は、インジウム・錫酸化物(ITO)、インジウム酸化物(In)、亜鉛酸化物(ZnO)、チタン酸化物(TiO)のいずれかによって形成されることが望ましい。このような金属酸化物層600は、金属層500を形成した後に、たとえば、金属酸化物層を形成する材料をスパッタ法などで成膜した後に、パターニングすることによって形成可能である。
このようにして形成された金属酸化物層600は、例えば図4に示すように、先に形成された金属層500の表面(つまり上面及び側面)を覆うように配置される。
金属層500及び金属酸化物層600を形成する金属材料として、上述した材料を選択した場合には、金属層500及び金属酸化物層600は、アレイ基板100に備えられた配線または有機EL素子40を構成する電極を形成する工程で同時に形成可能である。図2に示したように、金属層500が層間絶縁膜113の上に配置された構成では、金属層500及び金属酸化物層600は、アレイ基板100における層間絶縁膜113よりも後に形成される配線または電極と同一材料によって形成可能である。
例えば、有機絶縁膜114の上に配置される第1電極60が反射層及びこの反射層の上に透過層を積層した構成においては、反射層がアルミニウムや銀を主金属として形成される場合には、金属層500は、第1電極60の反射層と同一材料により同一工程で形成可能である。また、第1電極60の透過層がITOなどによって形成される場合には、金属酸化物層600は、透過層と同一材料により同一工程で形成可能である。
これにより、金属層500及び金属酸化物層600を形成する工程を別途に必要とせず、製造工程が増加しないため、コストアップを抑制できる。
なお、金属層500については、層間絶縁膜113の上に配置される信号線やトランジスタ素子のソース電極及びドレイン電極と同一材料により同一工程で形成可能である。すなわち、配線や電極の材料としては、チタン、アルミニウムのほかに、MoTa、MoW、Mo/Al/Mo、Cr/Al/Cr、Ti/Al/Tiなどが利用可能であり、いずれも金属層500を形成する材料として適用可能である。
次に、実施例について説明する。
すなわち、封止基板200となる厚さ0.7mmの平板状のガラス板の周縁部に、粘度1,000〜50,000cPのペースト状にしたフリットガラス300を、0.5mmの幅に塗布できるよう適当な塗布条件を設定し、アレイ基板100のアクティブエリア102の外周を囲む形状となるよう塗布する。フリットガラス300を塗布したガラス板を、300℃以上の温度で加熱してペースト中の有機物質を燃焼させ、フリットガラス300を硬化させる。
一方で、アレイ基板100の形成過程において、アクティブエリア102においては有機絶縁膜114の上、及び、周辺104においては層間絶縁膜113の上に、金属材料としてアルミニウム(Al)をマグネトロンスパッタ法により成膜した後に、フォトリソグラフィー法およびドライエッチング(またはウェットエッチング)により所望の形状にパターニングする。これにより、アクティブエリア102においては、第1電極60の反射層が形成されるとともに、周辺104のシール領域(溶着領域)310においては、0.7mmの幅でアクティブエリア102を囲むようなリング状の金属層500が形成される。
その後、基板上のアクティブエリア102及びその周辺104の全面に、ITOをスパッタ法で成膜した後に、所望の形状にパターニングする。この後、220℃でアニールして膜界面を安定化させ、透過率の向上を図る。これにより、アクティブエリア102においては、第1電極60の反射層の上に透過層が形成されるとともに、周辺104のシール領域(溶着領域)310においては、金属層500の上に金属酸化物層600が形成される。
その後、アクティブエリア102において、第1電極60と第2電極64との間に有機活性層62を保持した有機EL素子40と、隣接する有機EL素子を分離する隔壁70を形成するなどしてアレイ基板100が完成する。
その後、アレイ基板100と、フリットガラス300を硬化させた封止基板200とを対向配置し、シール領域310において、金属酸化物層600とフリットガラスとを接触させた後、封止基板200側からシール領域310の金属層500に向けてレーザー光を照射してフリットガラス300を溶融し、フリットガラス300と金属酸化物層600とを溶着する。これにより、アレイ基板100と封止基板200との外周全部が接合され、アレイ基板100の有機EL素子40が密封される。
この実施例によれば、フリットガラス300を溶融するために、シール領域310に向けて照射されたレーザー光は、金属酸化物層600を透過した後に金属層500によって反射され、フリットガラス300にレーザー光のエネルギーが十分に吸収される。このため、金属酸化物層600上において、フリットガラス300の加熱及び溶融が促進される。これにより、金属酸化物層600の表面で溶融したフリットガラス300が広がり、フリットガラス300と金属酸化物層600との溶着性が向上する。したがって、溶着後のアレイ基板100と封止基板200との接合強度を向上することが可能となる。
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
図1は、この発明の一実施の形態に係る有機EL表示装置の構成を概略的に示す図である。 図2は、図1に示した有機EL表示装置を切断したときの構造を概略的に示す断面図である。 図3は、シール部材とその下地(金属層)との位置関係の一例を概略的に示す平面図である。 図4は、金属層の上に金属酸化物層を積層した構造例を説明するための概略断面図である。
符号の説明
1…有機EL表示装置 PX(R、G、B)…画素
40…有機EL素子(表示素子)
60…第1電極 62…有機活性層 64…第2電極
70…隔壁
100…アレイ基板 102…アクティブエリア 104…アクティブエリア周辺
120…配線基板 200…封止基板 300…シール部材(フリットガラス)
500…金属層 600…金属酸化物層

Claims (6)

  1. 複数の画素によって構成されたアクティブエリアを備えた表示装置であって、
    各画素に配置された自発光性の表示素子と、前記アクティブエリアの周辺に配置された光反射性を有する金属層と、前記金属層に積層され光透過性を有する金属酸化物層と、を備えた第1基板と、
    前記第1基板の前記表示素子に対向して配置された第2基板と、
    前記アクティブエリアを囲むように枠状に配置され、前記金属酸化物層に溶着されたフリットガラスからなり、前記第1基板と前記第2基板とを接合するシール部材と、
    を備えたことを特徴とする表示装置。
  2. 前記金属酸化物層は、インジウム・錫酸化物(ITO)、インジウム酸化物(In)、亜鉛酸化物(ZnO)、チタン酸化物(TiO)のいずれかによって形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記金属層は、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、アルミニウム合金のいずれかによって形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  4. 前記金属層及び前記金属酸化物層は、前記アクティブエリアを囲むように枠状に配置され、前記金属酸化物層が前記シール部材と全周にわたって重なることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  5. 前記金属層及び前記金属酸化物層は、前記第1基板に備えられた配線または前記表示素子を構成する電極と同一材料によって形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  6. 前記表示素子は、
    反射層及び反射層の上に積層された透過層を有する第1電極と、
    前記第1電極の透過層上に配置された有機活性層と、
    前記有機活性層を覆うように配置された第2電極と、を備えたトップエミッション方式であり、
    前記金属層は、前記第1電極の反射層と同一材料によって形成されるとともに、前記金属酸化物層は、前記第1電極の透過層と同一材料によって形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
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