JP2011027455A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の角速度センサは、第1のセンス電極34と第1の積分回路56との間に、電荷を注入する第1の電圧源77を第1の断線検知スイッチ78を介して設けるとともに、第2のセンス電極35と第2の積分回路67との間に、電荷を注入する第2の電圧源79を第2の断線検知スイッチ80を介して設けたものである。
【選択図】図1
Description
32 駆動電極
33 モニタ電極
34 第1のセンス電極
35 第2のセンス電極
40 ドライブ回路
43 タイミング制御回路
47 第1のDA切替手段
48 第1のDA変換手段
56 第1の積分回路
59 第2のDA切替手段
66 第2のDA変換手段
67 第2の積分回路
70 比較回路
77 第1の電圧源
78 第1の断線検知スイッチ
79 第2の電圧源
80 第2の断線検知スイッチ
Claims (3)
- 駆動電極と第1のセンス電極と第2のセンス電極とモニタ電極とを設けた振動子と、この振動子を所定の駆動周波数で駆動振動させるドライブ回路と、少なくとも2つのレベルの電荷量を出力する第1のDA変換手段および第2のDA変換手段と、前記第1のセンス電極と第1のDA変換手段とから出力される電荷を積分しその積分値を保持する第1の積分回路と、前記第2のセンス電極と第2のDA変換手段とから出力される電荷を積分しその積分値を保持する第2の積分回路と、前記第1の積分回路と第2の積分回路からの出力信号を比較する比較回路と、この比較回路からの出力信号を基に前記第1のDA変換手段からの出力信号のレベルを切り替える第1のDA切替手段と、前記比較回路からの出力信号を基に前記第2のDA変換手段からの出力信号のレベルを切り替える第2のDA切替手段とを備え、前記第1のセンス電極と第1の積分回路との間に、電荷を注入する第1の電圧源を第1の断線検知スイッチを介して設けるとともに、前記第2のセンス電極と第2の積分回路との間に、電荷を注入する第2の電圧源を第2の断線検知スイッチを介して設けた角速度センサ。
- 第1の電圧源および第2の電圧源から注入する電荷を、互いに逆極性で、絶対値が略同一となるように構成した請求項1記載の角速度センサ。
- コリオリ力により第1のセンス電極から発生する電荷と第1の電圧源から発生する電荷との和の絶対値が、第1のDA変換手段から注入される電荷の絶対値より小さくなるようにするとともに、コリオリ力により第2のセンス電極から発生する電荷と第2の電圧源から発生する電荷との和の絶対値が、第2のDA変換手段から注入される電荷の絶対値より小さくなるように構成した請求項1記載の角速度センサ。
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---|---|---|---|---|
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09281138A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JPH1073437A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Fujitsu Ltd | 振動ジャイロの検出回路及びこれを用いた振動ジャイロ装置 |
JP2000146594A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Toyota Motor Corp | 振動型センサの断線検出装置 |
JP2005114394A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 慣性センサ及びそれを用いた複合センサ |
JP2008128859A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 慣性力センサ |
WO2008090747A1 (ja) * | 2007-01-26 | 2008-07-31 | Panasonic Corporation | Σδ型ad変換器およびそれを用いた角速度センサ |
JP2009020034A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 角速度センサ |
-
2009
- 2009-07-22 JP JP2009170939A patent/JP5515482B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09281138A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JPH1073437A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Fujitsu Ltd | 振動ジャイロの検出回路及びこれを用いた振動ジャイロ装置 |
JP2000146594A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Toyota Motor Corp | 振動型センサの断線検出装置 |
JP2005114394A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 慣性センサ及びそれを用いた複合センサ |
JP2008128859A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 慣性力センサ |
WO2008090747A1 (ja) * | 2007-01-26 | 2008-07-31 | Panasonic Corporation | Σδ型ad変換器およびそれを用いた角速度センサ |
JP2009020034A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Panasonic Corp | 角速度センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11014571B2 (en) | 2017-10-31 | 2021-05-25 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity measurement device, electronic apparatus, and vehicle |
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Publication number | Publication date |
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