JP2011023305A - Substrate for organic el element, method of manufacturing organic el layer, organic el element, and plate member - Google Patents

Substrate for organic el element, method of manufacturing organic el layer, organic el element, and plate member

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JP2011023305A JP2009169404A JP2009169404A JP2011023305A JP 2011023305 A JP2011023305 A JP 2011023305A JP 2009169404 A JP2009169404 A JP 2009169404A JP 2009169404 A JP2009169404 A JP 2009169404A JP 2011023305 A JP2011023305 A JP 2011023305A
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Tadashi Aida
匡志 合田
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Sumitomo Chemical Co Ltd
住友化学株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for organic EL elements capable of forming flat and high-performance organic EL layers having a small amount of unevenness in a film thicknesses. <P>SOLUTION: The substrate 1 for organic EL elements includes: a plurality of partitions 43 disposed on a support substrate in parallel; a plurality of plate members 44 for prevention of an ink flow disposed in a direction crossing the plurality of partitions; and at least one pixel electrode 41 disposed inside a partitioned area 41b partitioned by the partitions and the plate members. The plate members 44 are disposed while both ends abut on the partitions 43, and include a constriction 44a caused by a decrease in a thickness from both ends toward the center. A flow of ink supplied to the partitioned area 41b to the adjacent partitioned area 41b in a direction parallel to the partitions 43 is suppressed, and further the ink is uniformly separated on the plate members 44 including the constriction for falling into the partitioned area, thus forming the flat and high-performance organic EL layer having a small amount of unevenness in film thickness. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(organic electroluminescence、以下、「有機EL」と称す。)素子の製造に使用される基板、該基板を使用する有機EL層の製造方法、有機EL素子および該基板に使用される板状部材に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescence (Organic Electroluminescence, hereinafter. Referred to as "organic EL") method of manufacturing an organic EL layer used substrate, the substrate used in the manufacture of the device used in the organic EL element and the substrate It relates plate member to be.

有機EL素子およびこれを搭載した有機EL表示装置は、携帯電話用などとして既に実用に供されている。 The organic EL element and an organic EL display device equipped with this have already been put into practical use as such for a cellular phone. 有機EL素子は、陽極および陰極と、これら電極に挟まれた発光層を含む1層以上の有機EL層とを有する積層体である。 The organic EL element is a laminate including an anode and a cathode, and one or more layers of the organic EL layer including a light emitting layer sandwiched between the electrodes. 発光層は電圧が印加されて電流が流れると発光する有機化合物で形成される。 Emitting layer is formed of an organic compound that emits light when current flows voltage is applied. 有機EL素子は様々な特性を有するが、薄膜を積層して形成できるため、これを実装する表示装置などの装置を極めて薄型にし得る点が一つの大きな特徴となっている。 Organic EL elements have various properties, since it formed by laminating thin films, that may render the device such as a display device extremely thin are major features of one to implement this.

有機EL素子は、通常、支持基板上に、電極と発光層を含む1層以上の有機EL層とを所定の順序で積層させて作製され、有機EL素子を多数配列して表示素子が製造される。 The organic EL device is normally on a supporting substrate, is prepared and one or more layers of the organic EL layer including the electrode and the light emitting layer are laminated in a predetermined order, the display device is manufactured by arranging a large number of organic EL devices that. 既に実用化されている有機EL素子を用いた表示素子においては、各有機EL素子の有機EL層はマスクを用いた真空蒸着法を用いて形成されている。 In already display element using organic EL elements have been put into practical use, the organic EL layer of the organic EL element is formed by a vacuum evaporation method using a mask. しかしマスクのたわみによるパターニング精度の問題や大型真空装置の必要性による成膜コストの問題などから、大画面化が困難とされている。 However etc. deposition cost issue by the need for patterning precision problems and large vacuum apparatus due to the deflection of the mask, screen size is difficult.
一方で、有機EL層形成手法として、塗布法の検討もなされている。 On the other hand, as the organic EL layer forming technique, it has been made considering the coating method. 塗布法は、有機EL層を構成する成分、すなわち有機EL材料を含むインクを塗布し、これを乾燥等により硬化させて層を形成する方法である。 Coating method is a method of components constituting the organic EL layer, i.e. the ink containing the organic EL material is applied to form a layer cured by drying it. 塗布法としては、例えば、インクジェット法(液滴塗布法)が挙げられる。 As the coating method, for example, an ink jet method (droplet application method). インクジェット法は、有機EL材料の塗布量を精密に制御でき、また数ミクロン単位での精密な位置制御が可能であり、大画面化の技術として、開発が進められている。 Inkjet method can precisely control the coating amount of the organic EL material and is capable of precise position control of a few microns, as a technique of screen size, has been developed. しかしながら、インクジェット法(液滴塗布法)は、インクがノズルから液滴として噴射されるため、ノズル孔が閉塞しやすいという課題がある。 However, an ink jet method (droplet application method), the ink is ejected as droplets from the nozzle, the nozzle hole there is a problem of easy clogging.

そこで、インクジェット法に代わる技術として、ノズルプリンティング法(液柱塗布法)が研究、開発されている(例えば、特許文献1〜3)。 Therefore, as a technology alternative to the inkjet method, nozzle printing method (liquid column coating method) have been studied and developed (e.g., Patent Documents 1 to 3).
ノズルプリンティング法は、吐出ノズルからインクを連続的に液柱として吐出させて、基板上にインクを塗布する方法であり、上述のインクジェット法と同様の利点に加えて、ノズル孔の閉塞が起こりづらいという利点がある。 Nozzle printing method by ejecting an ink from the discharge nozzle as continuous liquid column, a method of applying the ink onto a substrate, in addition to the same advantage as the ink jet method described above, difficult to occur clogging of the nozzle hole there is an advantage in that.

特開2002−75640号公報 JP 2002-75640 JP 特開2009−43499号公報 JP 2009-43499 JP 特開2007−188862号公報 JP 2007-188862 JP

ところで、インクジェット法やノズルプリンティング法などの湿式プロセスを用いた成膜では、基板に多数の有機EL素子を形成するための塗布パターンに応じた隔壁を設け、塗布領域を制御する方法が一般的に採用されている。 Incidentally, in the film formation using a wet process such as an inkjet method or a nozzle printing method, the partition wall in accordance with the application pattern to form a plurality of organic EL element on a substrate is provided, is generally a method of controlling the coating region It has been adopted.
通常、ノズルプリンティング法などの連続液柱塗布で用いられる隔壁形状としては、特許文献1で開示されているような塗布方向(ノズルのスキャン方向)に平行なストライプ形状の隔壁が用いられている。 Normally, the barrier ribs used in the continuous liquid column coating, such as a nozzle printing method, have been used parallel stripe-shaped barrier ribs in the coating direction as disclosed in Patent Document 1 (scanning direction of the nozzle). インクはノズルから吐出された後、徐々に乾燥していくが、乾燥する前に隔壁内で隔壁の長手方向(以下、「ストライプ方向」ともいう。)にインクが流動してしまい、乾燥後の有機EL層の膜厚むらの一因となる。 After ink ejected from the nozzles, but gradually dried, the longitudinal direction of the partition wall in a dividing wall before drying (hereinafter, also referred to as "stripe direction".) To the ink ends up flowing, after drying It contributes to the uneven thickness of the organic EL layer. インク流動の原因としては主に次の2点、すなわち、1点目として、インクは液状であり表面張力を持つため、インク自体の表面張力により球状にまとまろうとする力が働き、インクの流動が生じること、二点目として、ストライプ形状の隔壁の端部では隔壁が無い領域があるため、この端部からのインクの流出が起こることなどを挙げることができ、これらが原因となり、隔壁内でインクの流動がおこり、乾燥後の有機EL層の膜厚むらの一因となっているものと考えられる。 Two primary points causes the ink flow, i.e., as a first point, because the ink with is surface tension liquid, force acts to be Matomaro spherical by the surface tension of the ink itself, the flow of ink to occur, as the second point, since there is a zone partitions is not the end of the stripe-shaped barrier ribs, and the like can be illustrated that the outflow of ink from the end happens, they cause, in a dividing wall occurs the flow of ink is considered to have contributed to the thickness unevenness of the organic EL layer after drying.
また、特許文献2で開示された基板は、ストライプ形状の隔壁の間に設けられた領域と領域との間に突起物を設けたものであるが、依然としてストライプ方向の領域間はつながっており、結局インクの流動が生じてしまい、それぞれの領域間のインク流動を抑制することができない。 Further, the substrate disclosed in Patent Document 2, but in which a projection is provided between the region and the region provided between the stripe-shaped barrier ribs, and connected in between still in the stripe direction area, eventually would occur the flow of the ink, it is impossible to suppress the ink flow between the respective regions. また、突起形状に起因して、画素内の膜厚にむらが生じてしまい、有機EL素子の発光特性低下の原因となってしまう。 Further, due to the protrusion shape, it will occur uneven thickness in the pixel, thereby causing the emission characteristics decrease of the organic EL element.
さらに、インクジェット法で用いられるようなボックス形状の隔壁に対して、液柱塗布する場合には、隔壁によって区画された領域のそれぞれが分離した構造となるため、その領域内に供給されたインクが、隣の領域に流れ込むことを回避することができ、ストライプ形状の隔壁で生じていたような、ストライプ方向のインクの流動を回避することができる。 Further, with respect to the box shape of the partition wall as used in the inkjet method, when the liquid column coating, since the respective regions partitioned by the partition wall is separate structure, ink is supplied to the region can can be avoided from flowing into the adjacent area, such as has occurred in the partition wall of the stripe-shaped, to avoid the flow of the stripe direction of the ink. しかしながら、液柱塗布では、スキャン方向に交差する方向に設けられた、厚みを有する隔壁上にも塗布されるため、隔壁上に乗ったインクが隔壁によって区画された領域(以下、「隔壁区画領域」ともいう。)に落ち込む際に、隔壁のどちら側に落ち込むかの制御をすることができず、隔壁区画領域に供給されるインクの量が各領域により異なり、隔壁区画領域間で有機EL層の膜厚むらが生じていた。 However, the liquid column coating, provided in a direction crossing the scanning direction, since the applied on the partition walls having a thickness, area ink riding on the partition wall is partitioned by a partition wall (hereinafter, "bulkhead compartment area also referred to as ". when falling into), can not be controlled if falling on either side of the partition wall, unlike the amount of ink supplied to the bulkhead compartment region by each region, the organic EL layer between the barrier ribs divided areas uneven thickness has occurred of.

これに対し、特許文献3には、ノズルのスキャン方向に平行な方向にストライプ形状の隔壁を設け、スキャン方向に交差する方向に前記ストライプ形状の隔壁より高さが低い山型形状の隔壁部を設けた基板が開示されている。 In contrast, Patent Document 3, the partition walls of the stripes formed in a direction parallel to the scanning direction of the nozzle, the partition wall portion of said stripe height lower mountain-shape from the partition wall shape in a direction intersecting the scanning direction substrate provided is disclosed. この山形形状の隔壁は、上述のボックス状の隔壁と同様に隔壁区画領域のそれぞれを分離でき、画素同士のつながりを通して電流が流れることに起因するクロストーク現象を抑制できるとしている。 The partition walls of the chevron-shaped, like the above-described box-like partition wall can separate each of the partition walls partition region, and can suppress the cross-talk phenomenon due to a current flowing through the connections between the pixels. さらに上部に平坦な部分を有さないため、隔壁区画領域にインクが落ち込むのを促進し、また、隔壁上にインクが残存するのを防げるとしている。 To further no flat part at the top, to facilitate the ink drops in the bulkhead partition region, the ink is a prevented from remaining on the partition wall.
しかしながら、山型形状、すなわち隔壁の断面形状の規定しかなされていないので、スキャン方向に交差する隔壁上のどこでインクが分離するのかという分離点を制御することができず、各隔壁毎にインクの分離点が異なってしまい、インクの分離が不均一に起こりつつ上記の隔壁区画領域に落ち込んでしまう。 However, a mountain-shaped, that is not made only defined cross-sectional shape of the partition wall, it can not be where the ink on the partition wall intersecting the scanning direction controls the separation point of either to separate, the ink for each partition wall will be separated points are different, thus depressed on the partition walls partition segmentation of the ink taking place unevenly. このため隔壁の両側でインクの液量が異なってしまい、乾燥後の膜厚むらの原因となっていた。 Therefore become different is the amount of liquid ink on both sides of the partition wall, thus causing thickness village after drying.

かかる状況下、本発明は、画素電極上へのインクの供給むらが少なく、平坦で高品質な有機EL層を容易に形成可能な有機EL素子用基板を提供することを目的とする。 Under these circumstances, the present invention aims to supply unevenness of ink onto the pixel electrode is small, provides a flat, high-quality organic EL layer easily formable organic EL device substrate.

本発明の有機EL素子用基板は、支持基板上に、平行に配置された複数の隔壁と、前記複数の隔壁に交差する方向に配置された複数のインク流れ防止用板状部材と、前記隔壁と前記板状部材によって区画された領域に配置された少なくとも1以上の画素電極と、を有する有機EL素子用基板であって、前記板状部材は、その両端部が前記隔壁に接して配置され、かつ、両端部から中央部に向けた厚みの減少によるくびれを有することを特徴とする。 Substrate for an organic EL device of the present invention comprises a support substrate, a plurality of partition walls arranged in parallel, a plurality of ink flow prevention plate member disposed in a direction intersecting the plurality of partition walls, the partition wall a substrate for an organic EL element having, at least one or more pixel electrodes arranged in a region partitioned by the plate member and the plate-like member is disposed both end portions in contact with the partition wall and, characterized by having a constricted by reducing the thickness from both ends toward the central portion.

支持基板上に、平行に配置された複数の隔壁(以下、「ストライプ形状の隔壁」と表現することがある)に交差する方向にインク流れ防止用板状部材(以下、単に「板状部材」と呼ぶ場合がある。)が、隣接する隔壁と隔壁の間に、複数配置されており、その両端部が隔壁に密着するように配置されているため、隔壁と板状部材によって区画された領域(以下、「区画領域」と呼ぶ場合がある。)に連続して液柱状に塗布されたインクが、乾燥前にストライプ方向に流動することを抑制できる。 On a supporting substrate, a plurality of partition walls arranged in parallel to the ink flow prevention plate-like member in a direction crossing (hereinafter, "stripe shape of the partition walls" and there be expressed) (hereinafter, simply "plate member" may be referred to as.) is between adjacent barrier ribs, and a plurality of arranged, partitioned by so both ends are disposed so as to be in close contact with the partition wall, the partition wall and the plate-like member area (hereinafter, may be referred to as "divided area".) can be suppressed ink applied continuously in liquid column in the, it flows in the stripe direction before drying. さらに、板状部材は、その両端部から中央部に向けたストライプ方向の厚みの減少によるくびれを有する構造であるため、基板との密着性を維持しながら、板状部材の両側の区画領域に均一にインクを分離することができる。 Further, the plate-like member, since a structure having a constricted by reducing the stripe direction of thickness toward the center portion from both ends, while maintaining the adhesion to the substrate, the partition regions on both sides of the plate-like member it can uniformly separate the ink. その結果、ストライプ方向の膜厚むらが抑制された良好な成膜が可能となる。 As a result, the film thickness unevenness in the stripe direction is made possible good film formation is suppressed. なお、本発明において、板状部材のくびれは、板状部材の両端部から中央部に向けて厚みが減少することによるものであり、基板の垂直方向からみてくびれの有無を判断することができる。 In the present invention, the constricted plate member is by the thickness decreases toward the center portion from both ends of the plate-like member, it is possible to determine the presence or absence of constriction as viewed from the direction perpendicular to the substrate .

インクの分離という観点からは、板状部材は、その厚みが薄いことが効果的ではある。 From the viewpoint of the separation of the ink, the plate-like member, it is effective in its thickness is thin.
ノズルから供給されたインクは板状部材上にも塗布され、板状部材上のインクは重力と表面張力により板状部材の両側の区画領域に分離して流下する。 The ink supplied from the nozzle is also applied on the plate member, the ink on the plate-like member flows down separated on both sides of divided areas of the plate-shaped member by gravity and surface tension. インクの分離は板状部材上のいずれかの場所で起こるが、板厚が厚い場合、インク分離点を制御することができないため、インクの分離点のばらつきが大きくなり、膜厚むらの原因となるためである。 Although the separation of the ink occurs at any location on the plate member, the plate thickness is thick, it is not possible to control the ink separation point, variations in the separation point of the ink is increased, and causes of the uneven thickness it is to become. また、上記特許文献3のように山型形状にすることにより、インクの画素内への落ち込みを促進することは可能であるが、ストライプ方向の分離点を制御することはできない。 Further, by the mountain-shape as disclosed in Patent Document 3, it is possible to facilitate the fall into the pixels of ink, it is impossible to control the separation point of the stripe direction. また、分離点を制御するに十分な程度にまで板状部材の厚みを薄くすると、板状部材が基板から剥離してしまうという問題が生じる。 Further, when the thickness of the plate-like member to an extent sufficient to control the separation point, a problem that the plate member is peeled off from the substrate. さらに、前記の山形形状や板厚を薄くする方法では、ストライプに交差する方向、すなわち、板状部材に平行な方向の分離点を制御するまでには至らない。 Further, in the method of thinning the chevron shape and thickness of the direction intersecting the striped, i.e., it does not lead to up to control the separation point in a direction parallel to the plate-like member. そこで、本発明では、板状部材が、前記くびれを有することで、インク分離点を完全に制御することができるのである。 Therefore, in the present invention, the plate-like member, by having the constriction, it is possible to completely control the ink separation point. 加えて、本発明では、板状部材は、中央部がくびれてさえいれば、両端部の厚みを厚くすることもできることから、障壁との密着性、ひいては基板との密着性を高め、基板からの剥離を防ぐことも可能である。 In addition, in the present invention, the plate-like member, if only constricted central portion increases because it can also be made thicker the thickness of the end portions, the adhesion between the barrier, thus the adhesion to the substrate, the substrate it is also possible to prevent the peeling.

また、本発明の有機EL素子用基板において、前記画素電極は、隔壁の長手方向に一定間隔で配置されていることが望ましく、この場合、インクの流動の抑制効果を維持できる範囲でできるだけ少数の板状部材が配置されることがより望ましい。 In the organic EL device substrate of the present invention, the pixel electrode is desirably disposed at regular intervals in the longitudinal direction of the partition wall, in this case, a small number of possible within the range that can maintain the effect of suppressing the flow of ink it is more preferable that the plate-like member is disposed. 特に前記板状部材の隔壁の長手方向の配置間隔Dが、前記画素電極の配置間隔Lの2倍以上10倍以下、好ましくは2倍以上5倍以下であると、より均一性の高い膜を形成することができる。 In particular the longitudinal direction of the arrangement interval D of the partition walls of the plate-like member, 10 times 2 times the arrangement interval L of the pixel electrode less, and preferably is less than 5 times 2 times, a more highly uniform film it can be formed.

また、区画領域の膜厚均一性と、板状部材の剥離耐性の観点から、前記板状部材におけるくびれの最小板厚tと、前記画素電極が隔壁の長手方向に配置される間隔Lが、以下の式(1)を満たすことが望ましい。 Further, a film thickness uniformity of the partitioned regions, from the viewpoint of the peeling resistance of the plate-like member, and the minimum thickness t of the constricted in the plate-like member, the interval L of the pixel electrode are arranged in the longitudinal direction of the partition wall, it is desirable to satisfy the following equation (1). ここで、くびれの最小板厚tは、基板の垂直方向から投影したときの厚みで判断する。 Here, the minimum thickness t of the constriction is determined by the thickness of when projected from the vertical direction of the substrate.

L/60≦t≦L/15 (1) L / 60 ≦ t ≦ L / 15 (1)

前述のとおり、板状部材の両側の区画領域に均一にインクを分離するためには、くびれの最小板厚が薄いことが望ましいが、薄すぎると板状部材の剥離の原因となる。 As described above, in order to separate the uniform ink compartment regions on both sides of the plate-like member is that the minimum thickness of the waist is thin is desired, it becomes too thin and causes peeling of the plate-like member. また、基板に配置される画素電極が大きい場合、隣り合う隔壁と隔壁の間が大きくなる場合があり、それに従い板状部材の長さも長くなるため、同じ板厚でも板状部材の剥離がおきやすくなる。 Also, when the pixel electrodes disposed on the substrate is large, there is a case where between adjacent barrier ribs is increased, accordingly since the longer the length of the plate-like member, also put peeling of the plate-like member at the same thickness It becomes easier. 加えて、画素電極が大きくなると区画領域も大きくなるため、供給されるインク量のばらつきの影響を受けにくくなり、そのため、区画領域が大きくするにつれ、相対的にくびれ部の最適板厚を厚くすることができる。 In addition, since the larger the divided region pixel electrode increases, less susceptible to ink amount variation supplied, therefore, as the divided areas is increased, increasing the optimal thickness of the relatively constricted portion be able to.
我々は鋭意検討の結果、画素電極の配置間隔Lと最適なくびれ部の板厚tとの間に上記式(1)の相関関係があることを見出した。 Our result of extensive studies, it has been found that there is correlation between the above-mentioned formula (1) between the arrangement interval L and the optimum constriction of the thickness t of the pixel electrode.
例えば、間隔Lが180μmであるとき、式(1)から最適板厚tは、3μm以上12μm以下の範囲である。 For example, when the distance L is 180 [mu] m, the optimum thickness t from equation (1) is 12μm or less in the range of 3 [mu] m.
なお、tが、L/60より小さい場合には、板状部材が剥離しやすくなるため好ましくなく、L/15より大きい場合には、区画領域のインクの量がばらつきやすくなり区画領域の膜厚均一性が低下するため好ましくない。 Incidentally, t is, when L / 60 smaller than, not preferable since the plate member tends to peel, is greater than L / 15, the thickness of the defined areas likely variation amount of the ink compartment area undesirable because uniformity is deteriorated.

本発明の有機EL層の製造方法は、上述の有機EL素子用基板上に平行に配置された2つの隔壁の間に、隔壁の長手方向に沿って、有機EL材料を含有するインクを液柱塗布により塗布し、乾燥して有機EL層を得ることを特徴とする。 Method for manufacturing an organic EL layer of the present invention, between the two partition walls arranged parallel to the substrate for the above-mentioned organic EL element, in the longitudinal direction of the partition wall, an ink containing an organic EL material liquid column It is applied by coating, dried, characterized in that to obtain an organic EL layer.

本発明の方法で製造した有機EL層は、平坦で膜厚むらが抑制され高品質である。 The organic EL layer prepared by the method of the present invention is a high quality is flat in the thickness unevenness suppressed. そのため、この製造方法により得られる有機EL層を有する有機EL素子は、これを有機EL装置に用いた場合には、表示むらが抑制され、品位が良好であり、発光特性も良好で耐久性が高い。 Therefore, the organic EL element having an organic EL layer obtained by this manufacturing method, if this is used in an organic EL device, display unevenness is suppressed, quality is good, good durability emission characteristics high.

また、本発明のインク流れ防止用板状部材は、両端部から中央部に向けた厚みの減少によるくびれを有することを特徴とし、基板上に配置された互いに平行な2つの隔壁の間に、該両端部を2つの隔壁に接して配置させて用いられる。 The ink flow prevention plate-like member of the present invention, from both ends characterized by having a constricted by reducing the thickness toward the center portion, between the two partition walls parallel to each other disposed on the substrate, used in the both said end portion is disposed in contact with the two partition walls. 上述のようにこの板状部材を配置させることによって、膜厚むらの抑制された良好な成膜が可能である有機EL素子用基板を得ることができる。 By placing the plate-shaped member as described above, it is possible to obtain a substrate for an organic EL element are possible good film formation with suppressed thickness unevenness.

本発明によれば、平坦で膜厚むらのない高品質な有機EL層を形成することができる。 According to the present invention, it is possible to form a high-quality organic EL layer without thickness irregularity in the flat.

本発明の実施形態に係る有機EL素子用基板の平面図である。 It is a plan view of a substrate for an organic EL device according to an embodiment of the present invention. 図1の基板の一部拡大平面図である。 It is a partially enlarged plan view of the substrate of FIG. 図2におけるA−A線における断面図である。 It is a sectional view along line A-A in FIG. 本発明の実施形態に係る板状基材の構造を示す図である。 It is a diagram showing a structure of a plate-shaped substrates according to an embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態に係る板状基材の構造を示す図である。 It is a diagram showing a plate-shaped substrate structure according to another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態に係る板状基材の構造を示す図である。 It is a diagram showing a plate-shaped substrate structure according to another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態に係る板状基材の構造を示す図である。 It is a diagram showing a plate-shaped substrate structure according to another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態に係る板状基材の構造を示す図である。 It is a diagram showing a plate-shaped substrate structure according to another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態に係る板状基材の構造を示す図である。 It is a diagram showing a plate-shaped substrate structure according to another embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の塗布工程におけるノズルとパネル(基板)の移動を示す図である。 Is a diagram illustrating the movement of the nozzle and the panel in the coating process embodiment of the present invention (substrate). 塗布工程におけるノズルの軌道を示す図である。 Is a diagram showing the trajectory of the nozzles in the coating process. 本発明の実施形態に係る有機EL素子用基板のインク塗布直後(乾燥前)の断面図である。 It is a cross-sectional view immediately after the ink applying an organic EL device substrate according to an embodiment of the present invention (before drying). 本発明の実施形態に係る有機EL素子用基板のインク乾燥後の断面図である。 It is a cross-sectional view after the ink drying of the organic EL device substrate according to an embodiment of the present invention. 複数色インクの塗布工程におけるノズルの軌道を示す図である。 Is a diagram showing the trajectory of the nozzles in the coating step plural color inks. 比較例1の有機EL素子用基板のインク塗布直後(乾燥前)の断面図である。 It is a cross-sectional view immediately after inking of the substrate for an organic EL device of Comparative Example 1 (before drying). 比較例1の有機EL素子用基板のインク乾燥後の断面図である。 It is a cross-sectional view after the ink drying of the substrate for the organic EL element of Comparative Example 1. 比較例2の有機EL素子用基板のインク塗布直後(乾燥前)の断面図である。 It is a cross-sectional view immediately after inking of the substrate for an organic EL device of Comparative Example 2 (before drying). 比較例2の有機EL素子用基板のインク乾燥後の断面図である。 It is a cross-sectional view after the ink drying of the substrate for the organic EL element of Comparative Example 2.

本発明は、支持基板上に、平行に配置された複数の隔壁と、前記複数の隔壁に交差する方向に配置された複数のインク流れ防止用板状部材と、前記隔壁と前記板状部材によって区画された領域(区画領域)に配置された少なくとも1以上の画素電極と、を有する有機EL素子用基板であって、前記板状部材は、その両端部が2つの前記隔壁に密着するように配置され、かつ、両端部から中央部に向けた厚みの減少によるくびれを有する有機EL素子用基板(以下、「本発明の基板」と呼ぶ場合がある。)に係るものである。 The present invention comprises a support substrate, a plurality of partition walls arranged in parallel, a plurality of ink flow prevention plate member disposed in a direction intersecting the plurality of partition walls, by the plate-like member and the partition wall a substrate for an organic EL element having at least one or more pixels electrodes, the placed in a compartment area (divided area), the plate-like member, as the both end portions is brought into close contact with two of the partition wall is arranged, and a substrate for an organic EL device having a constricted by reducing the thickness from both ends toward the central portion are those relating to (hereinafter,. may be referred to as "substrate of the present invention").

以下に、本発明の基板の好適な実施形態を、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of the substrate of the present invention will be described with reference to the drawings.
なお、理解の容易のため、本実施形態における基板の画素配列として、列状に設けられる単色の有機EL素子が配列したものを例示するが、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。 Incidentally, for easy understanding, a pixel arrangement of the substrate in the present embodiment, illustrates what organic EL device of a single color provided in columns are arrayed, is not limited thereto, the gist of the present invention It can be appropriately modified without departing from the. 例えば、図8に示されるように、複数色のインクを塗布して、複数色の有機EL素子が周期的に配列した画素配列を有する有機EL装置を得るための基板としても適用可能である。 For example, as shown in FIG. 8, by coating a plurality of color inks, a plurality of colors of the organic EL element is also applicable as the substrate to obtain an organic EL device having a pixel array in which periodically arranged. また、図面における各部材の縮尺は実際とは異なる場合がある。 Also, the scale of each member in the drawings may be different from the actual.

図1は、本発明の実施形態の有機EL素子用基板を示す平面図であり、図2は、本発明の実施形態の基板の一部拡大平面図であり、図3は図2におけるA−A線における断面図である。 Figure 1 is a plan view showing a substrate for an organic EL device embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged plan view of a substrate according to the embodiment of the present invention, FIG. 3 in FIG. 2 A- it is a sectional view taken along the line a.
本発明の実施形態における有機EL素子用基板1は、支持基板30上に4つのマトリクス部(表示エリア部)40が設けられたパネルである。 The organic EL device substrate 1 in an embodiment of the present invention, four matrix portions on the supporting substrate 30 (display area unit) 40 is a panel provided. マトリクス部40において、41は画素電極、41aは画素電極の列、41bは区画領域、42は画素規制層、43は隔壁、44はインク流れ防止用板状部材である。 In the matrix portion 40, 41 is pixel electrodes, 41a is the pixel electrode array, 41b are partitioned regions, 42 pixel regulating layer, 43 partition wall, 44 is a plate-shaped member for preventing ink flow. なお、画素とは、画素規制層で規定された発光領域のことをいう。 Note that the pixel refers to a light-emitting region defined by the pixel regulating layer.

支持基板30は、それを構成する材料が電極や有機EL層を形成する際に化学的に安定なものであればよく、例えばガラス、プラスチック、高分子フィルム、シリコン基板、金属板、これらを積層したものなどが用いられる。 Supporting substrate 30 may be one chemically stable when the material constituting the it to form an electrode and an organic EL layer, such as glass, plastic, polymer film, silicon substrate, metal plate, laminating these such as the ones used.

マトリクス部40において、画素電極41は、直列状に数列規則的に並べられており、それぞれが画素電極を囲む画素規制層42によって区画されている。 In the matrix 40, the pixel electrodes 41 are arranged in sequence regularly in series form, each of which is partitioned by the pixel regulating layer 42 surrounding the pixel electrode. 詳しくは後述するが、画素電極41上に、発光層を含む各種の層を順次積層させることにより、有機EL層が形成される。 Details will be described later, on the pixel electrode 41, by sequentially laminating various layers including a light emitting layer, the organic EL layer is formed. 前記有機EL層を構成する層のうちの少なくとも一層は、発光層であり、その他の有機EL層としては、後述の正孔輸送層、電子ブロック層等が挙げられる。 Wherein the at least one layer of the layers constituting the organic EL layer, a light emitting layer, the other organic EL layer, a hole transport layer described later, and an electron blocking layer. 有機EL層は、これら発光層等の有機EL層を構成する材料(以下、「有機EL材料」と称す。)およびインク溶媒を含む溶液、懸濁液またはコロイド分散液であるインクを使用して作製される。 The organic EL layer, the material constituting the organic EL layer, such as those emitting layer (hereinafter, referred to as "organic EL material".) And a solution containing an ink solvent, using ink which is a suspension or a colloidal dispersion It is produced. なお、本明細書においては、「溶媒」の用語は、特に断らない限り、有機EL材料を溶解させる液体および有機EL材料を分散させる液体の双方を含む概念として用いる。 In this specification, the term "solvent", unless otherwise specified, is used as a concept including both a liquid for dispersing the liquid and organic EL material is dissolved organic EL materials.

画素規制層42は、発光領域を規定するとともに、基板上に配置された電極配線との絶縁性を確保する目的で設けられ、画素規制層42で区画されることにより、画素電極41は、一定間隔に配列している。 With pixel regulating layer 42 defines a light emitting region, provided for the purpose of securing the insulation between the electrodes arranged wiring on the substrate by being partitioned by the pixel regulating layer 42, pixel electrodes 41, a constant They are arranged in the interval.
画素規制層42の材質としては絶縁体であることが望ましく、SiO 2などの無機酸化物、SiNなどの無機窒化物や、ポリイミド、ノボラック樹脂などの耐熱性樹脂材料などが挙げられる。 It is desirable as the material of the pixel regulating layer 42 is an insulator, an inorganic oxide such as SiO 2, inorganic nitrides or the like SiN, polyimide, and heat resistant resin material such as a novolak resin.

隔壁43は、画素電極41からなる画素電極の列41aを一列ずつ区切るように一定間隔に各画素電極の列41aの間に平行に配置されたストライプ形状の隔壁である。 Partition wall 43 is a partition wall configured as stripes disposed in parallel between the column 41a of each pixel electrode at regular intervals so as to separate the column 41a of the pixel electrode consisting of the pixel electrode 41 by a line. なお、隔壁43は、後述するノズルプリンティングにおいてインクを連続塗布する方向(ノズルスキャン方向)に対して平行となる。 Incidentally, the partition wall 43 is parallel to the direction of continuous inking in nozzle printing to be described later (nozzle scan direction).
この隔壁43は、各画素電極の列41aに塗布されるインクが、各列間で混ざり合うことを回避するために配置される。 The partition wall 43, the ink applied to the column 41a of each pixel electrode is arranged in order to avoid being mixed among each column. そのため、隔壁43の高さは、塗布されたインクを保持するために十分な高さとなるように設計される。 Therefore, the height of the partition wall 43 is designed to be high enough to hold the applied ink.
隔壁43は、電気絶縁性の材料であれば良く、例えば、ポリイミド、ノボラック樹脂等の絶縁性樹脂材料が挙げられる。 Partition wall 43 may be any material of electrical insulation, such as polyimide, an insulating resin material such as a novolak resins. また、塗布されたインクの保持性能を高めるため、隔壁の表面に、インクを弾く撥液性を付与しても良い。 In order to enhance the retention performance of the applied ink, the surfaces of the partition walls may impart liquid repellency to repel ink. 例えば、隔壁をCF 4プラズマ処理することで、隔壁を撥液性とすることができる。 For example, the partition wall by CF 4 plasma treatment, the partition wall can be liquid repellent.

インク流れ防止用板状部材44(以下、単に「板状部材44」ともいう。)は、隔壁43と交差する方向に、画素電極41の列41aを区切るように配置されている。 Ink flow prevention plate-like member 44 (hereinafter, simply referred to as "plate-like member 44".) It is, in a direction intersecting the partition wall 43 is disposed so as to delimit the columns 41a of the pixel electrode 41. すなわち、画素電極41は、前記隔壁43と前記板状部材44によって区画された領域41bに配置されている。 That is, the pixel electrode 41 is disposed in a region 41b which is defined as the partition wall 43 by the plate-like member 44. なお、本実施形態では、隔壁43と板状部材44とは垂直に交差しているが、必ずしも垂直に交差する必要はない。 In the present embodiment, although intersect perpendicularly to the partition wall 43 and the plate-like member 44 need not necessarily intersect perpendicularly.

板状部材44は、隙間を通ってインクが各画素電極の列41a内で流動することがないように、その両端部が2つの前記隔壁に密着するように配置されている。 Plate member 44 is, so as not to ink through the gap flows in the column 41a of each pixel electrode are arranged such that both end portions is brought into close contact with two of said partition wall.
また、図4−1にその拡大図を示すように、板状部材44は、両端部から中央部に向けた厚みの減少によるくびれを有した、山型形状であり、膜厚方向の中心線付近に頂点を有す。 Also, as shown the enlarged view in Figure 4-1, the plate-like member 44 had a constricted by reducing the thickness from both ends toward the central portion, a mountain-shape, a thickness-direction center line having a vertex in the vicinity. 詳しくは製造工程に併せて後述するが、このようにくびれを有する構造であるため、板状部材の基板からの剥がれを防ぎつつ、インクを画素内に均一に分離させることが可能となる。 Details will be described later in conjunction with the manufacturing process, since such a structure having a constricted, while preventing peeling from the substrate of the plate-like member, ink can be uniformly separated within pixel.

ここで、前記板状部材におけるくびれの最小板厚t(図4−1参照)と前記電極の配置間隔Lが、以下の式(1)を満たすことが好ましい。 Here, the arrangement interval L of the minimum thickness t (see FIG. 4-1) and the electrode of the constriction in the plate-like member, it is preferable to satisfy the following equation (1).
L/60≦t≦L/15 (1) L / 60 ≦ t ≦ L / 15 (1)

この関係を満たすことにより、板状部材の基板からの剥がれを防ぎつつ、効果的にインクむらの発生を抑制することができる。 By satisfying this relationship, while preventing peeling from the substrate of the plate-like member, it is possible to effectively suppress the occurrence of ink unevenness.
なお、本実施形態の板状部材44では、t=5μm、L=180μmであり、t=L/36である。 In the plate-like member 44 of the present embodiment, t = 5 [mu] m, an L = 180 [mu] m, is t = L / 36.

なお、板状部材44の形状としては、図4−1の形状に限定されず、両端部から中央部に向けた厚みの減少によるくびれを有する構造であればよい。 As the shape of the plate-like member 44 is not limited to the shape shown in Figure 4-1, may be a structure having a constricted by reducing the thickness from both ends toward the central portion. 例えば、図4−2に示す端面に平行な断面が長方形である板状部材45、図4−3に示す端面に平行な断面が台形である板状部材46などを例示することができる。 For example, it is possible to plate-like member 45 parallel section is rectangular on the end face shown in Figure 4-2, is a cross section parallel to the end face shown in Figure 4-3 to illustrate like plate member 46 is trapezoidal. また、図4−4(板状部材47)、図4−5(板状部材48)、図4−6(板状部材49)のそれぞれに示すように、エッジがとれた形状、すなわち、端面に平行な断面がそれぞれ略山形形状、略長方形、略台形の形状になっていてもよい。 Furthermore, Figure 4-4 (plate member 47), Figure 4-5 (a plate-like member 48), as shown in each of FIGS. 4-6 (plate member 49), the shape of the edge is established, i.e., the end face each substantially chevron shape cross section parallel to, substantially rectangular, may be made substantially trapezoidal shape.

本実施形態の基板において、隔壁43が一定間隔で配置され、板状部材44が2画素電極41ごとに一定間隔に配置されている。 In the substrate of the present embodiment, the partition walls 43 are arranged at regular intervals, are arranged at regular intervals is a plate-like member 44 every two pixel electrodes 41. 詳しくは後述の膜形成工程において説明するが、板状部材44が2画素電極41ごとに配置されているので、インク量が、前記隔壁43と前記板状部材44によって、2画素電極41を囲う区画領域41bで平均化されるため、形成される膜の膜厚むらが少なくなる。 Details will be described in the film forming step to be described later, since the plate-like member 44 is disposed for every two pixel electrodes 41, the ink amount, by the partition wall 43 and the plate-like member 44, surrounding the second pixel electrode 41 because they are averaged in partitioned regions 41b, the thickness unevenness of the film to be formed is reduced. また、板状部材44上へのインクの付着による影響も緩和される。 Moreover, the effect of the ink adhering to the upper plate member 44 is also relaxed.
板状部材44は、インク流動に起因した膜厚むらが生じない範囲でなるべく広い間隔で配置される。 Plate member 44 is disposed in as wide as possible intervals in a range of thickness unevenness caused by the ink flow does not occur.
ここで、図2に示すように画素電極41の配置間隔Lは、長手方向における画素電極41の中心と中心の間隔と定義すると、むら抑制の観点からは、前記板状部材の配置間隔Dが、画素電極の配置間隔Lの2倍以上10倍以下(より好ましくは、2倍以上5倍以下)であることが好ましい。 Here, the arrangement interval L of the pixel electrode 41 as shown in FIG. 2, defining the spacing of the centers of the pixel electrodes 41 in the longitudinal direction, from the viewpoint of unevenness suppression arrangement distance D of the plate-like member (more preferably, more than 2 times 5 times or less) 10 times 2 times or less the arrangement interval L of the pixel electrode is preferably.
2倍未満であると、板状部材44上にインクが乗りあがって膜厚むらが生じてしまった場合に、この膜厚むらが表示品位や発光特性の観点から許容量を越えてしまう場合があり、10倍を超えると板状部材44を形成した効果が得られない場合がある。 If it is less than 2 times, may when the film thickness unevenness riding ink on the plate-like member 44 had occurred, the film thickness unevenness exceeds the allowable amount in terms of display quality and emission characteristics There, the effect of forming the plate-like member 44 exceeds 10 times is not obtained.
このような範囲であると、むら要因をバランスよく抑制できるため、より均一性の高い膜を形成することができる。 With such a range, since the unevenness factor can balance well inhibited, it is possible to form a more highly uniform film.
本実施形態では、画素電極41の2つごとに、板状部材44を配置していることから、D=2Lの関係にある。 In the present embodiment, each two pixel electrodes 41, since it is arranged a plate-shaped member 44, a relationship of D = 2L.

次に本発明の有機EL素子用基板1を用いた、本発明の実施形態に係る有機EL素子の製造方法を図面を参照して説明する。 Then using an organic EL device substrate 1 of the present invention, a method for manufacturing the organic EL device according to an embodiment of the present invention with reference to the drawings. なお、本発明において、少なくとも一対の電極と当該電極間に挟まれた発光層を含む1層以上の有機EL層との積層体を「有機EL素子」と定義し、有機EL素子を2次元配置してなる平板状の表示装置を「有機EL装置」と定義する。 In the present invention, defines at least a pair of electrodes and a laminate of one layer or more organic EL layer including a light emitting layer sandwiched between the electrodes and the "organic EL device", the organic EL element 2-dimensional arrangement a flat display device made by defining as "organic EL device". また、「有機EL層」は、有機EL材料からなる層を意味する。 Further, "organic EL layer" means a layer made of an organic EL material.
また、理解の容易のため、図面における各部材の縮尺は実際とは異なる場合がある。 Further, for easy understanding, the scale of each member in the drawings may be different from the actual. また、本発明は以下の記述によって限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。 Further, the present invention is not limited by the following description, it can be appropriately changed without departing from the scope of the present invention.
さらに、有機EL装置においては電極のリード線等の部材も存在するが、電気的配線、電気回路等については、発光素子、表示装置などの技術分野における通常の知識に基づいて様々な態様を実施可能であり、本発明の説明として直接的には関係はないため詳細な説明は省略している。 Furthermore, it is also member of the lead wire of the electrode is present in the organic EL device, the electrical wiring, for an electric circuit or the like, the light-emitting element, implementing various aspects based on the ordinary skill in the art such as a display device are possible, directly detailed for not relevant description as the description of the present invention are omitted.

図5および図6に、ノズルプリンティングによるインク塗布工程の様子を示す。 5 and 6 show a state of the ink application process by the nozzle printing. なお、図5、図6および図8において、板状部材の表記は省略している。 Incidentally, FIG. 5, 6 and 8, representation of the plate-like member is omitted.
支持基板30上に4つのマトリクス部(表示エリア部)40が設けられた有機EL素子用基板1が、Dd方向へと搬送される。 Four matrix portions on the supporting substrate 30 (display area unit) 40 is an organic EL device substrate 1 which is provided, and is conveyed to Dd direction. ノズルプリンティング装置(本体不図示)のノズル20から、積層体の層を形成するためのインクが吐出される。 From the nozzle 20 of the nozzle printing apparatus (main body not shown), the ink for forming the layers of the stack is ejected. ノズル20は、有機EL素子用基板の搬送方向Ddに対し、直交する方向Nmに反復移動する。 Nozzle 20 with respect to the transporting direction Dd of the substrate for the organic EL element, it is reciprocated in the direction orthogonal to Nm.

インクは、非断続的に液柱として連続して吐出される。 The ink is non-intermittently ejected continuously as the liquid column. ノズルプリンティング装置は、微小なノズルからインクを連続的に吐出することができる装置である。 Nozzle printing apparatus is a device capable of continuously ejecting ink from a minute nozzle. ノズルプリンティング装置は、微細な線幅に安定して非断続的な連続線状に塗布するのに好適である。 Nozzle printing apparatus is suitable for coating stably in uninterrupted continuous linear fine line width.

使用されるインクは、有機EL素子を構成する正孔輸送層、電子ブロック層、発光層等の材料(以下、「有機EL材料」と称す。)およびインク溶媒を含む溶液、懸濁液またはコロイド溶液である。 Inks used, the hole transport layer constituting the organic EL device, an electron blocking layer, a material such as a light-emitting layer (hereinafter, referred to as "organic EL material".) And a solution containing an ink solvent, a suspension or a colloid it is a solution. なお、本明細書においては、「溶媒」の用語は、特に断らない限り、有機EL材料を溶解させる液体および有機EL材料を分散させる液体の双方を含む概念として用いる。 In this specification, the term "solvent", unless otherwise specified, is used as a concept including both a liquid for dispersing the liquid and organic EL material is dissolved organic EL materials.

インク溶媒は、有機EL材料の溶解性や基板との親和性等の条件によって適宜選択してよい。 Ink solvent may be appropriately selected depending on the conditions of the affinity, etc. between the solubility and the substrate of the organic EL material. インク溶媒として、好ましくは、揮発性、層形成成分の溶解性または分散性などに関し、インク溶媒としての好ましい諸要件を満たすことが好適である。 As an ink solvent, preferably volatile, relates such as solubility or dispersibility of the layer forming component, it is preferable to satisfy the preferred various requirements as an ink solvent. インク溶媒として好ましくは、例えば、水、アルコール溶媒、グリコール溶媒、エーテル溶媒、エステル溶媒、含塩素溶媒および芳香族炭化水素溶媒からなる群より選ばれる1種またはこれらの2種以上の混合物が挙げられる。 The preferred ink solvent, for example, water, alcohol solvent, glycol solvent, an ether solvent, an ester solvent, one or a mixture of two or more thereof selected from the group consisting of chlorine-containing solvent and the aromatic hydrocarbon solvent . アルコール溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノールなどが挙げられる。 Examples of the alcohol solvents, such as methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol. グリコール溶媒としては、エチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げられる。 The glycol solvents include ethylene glycol, propylene glycol, and the like. エーテル溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、メトキシベンゼン等が挙げられる。 Examples of the ether solvents such as tetrahydrofuran, methoxybenzene and the like. エステル溶媒としては、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等が挙げられる。 Examples of the ester solvents include ethyl acetate, butyl acetate and the like. 含塩素溶媒としては、クロロホルム、クロロベンゼン、塩化メチレン等が挙げられる。 The chlorine-containing solvents, chloroform, chlorobenzene, methylene chloride and the like. 芳香族炭化水素溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等が挙げられる。 Examples of the aromatic hydrocarbon solvents, e.g., toluene, xylene, trimethylbenzene, tetramethylbenzene, and the like.

図5に示すように、ノズル20の下に有機EL素子用基板1が搬送され、ノズルがNm方向に反復移動することにより、相対的にノズル20は図6に示す軌道Ipを描くように、パネル上を移動することになる。 As shown in FIG. 5, is conveyed organic EL device substrate 1 below the nozzle 20, by the nozzle is reciprocated in Nm direction relatively the nozzle 20 so as to draw a trajectory Ip shown in FIG. 6, It will move on the panel. ノズル20の軌道Ipは、画素電極の列41aを長手方向に一列移動した後、次の列へと移動し、新たな画素電極の列41aを長手方向に移動する。 Trajectory Ip of the nozzle 20, after moving one column to column 41a of the pixel electrode in the longitudinal direction, and moves to the next column, move a column 41a of the new pixel electrodes in the longitudinal direction. パネル1が、ノズル20の下方を通過する際にノズル20からインクが吐出され、図6に示すような軌跡を描きつつ、次々に区画領域41bにインクが塗布されていく。 Panel 1, the ink is ejected from the nozzle 20 when passing through the lower nozzle 20, while drawing a locus as shown in FIG. 6, the ink is gradually applied to defined areas 41b one after another.

インクは、ノズル20から非断続的に液柱の状態で連続して吐出されていくため、軌道Ipが示すように、インクは区画領域41bおよび区画領域41bの長手方向にある板状部材44の上にも非断続的に連続して塗布される。 Ink, because going discharged continuously in the state of non-intermittently the liquid column from the nozzle 20, as shown orbit Ip, ink of the plate member 44 in the longitudinal direction of the partitioned region 41b and the partitioning region 41b It applied also uninterrupted and continuously on. したがって、インクは、区画領域41bの長手方向に並ぶ複数の区画領域41bおよび板状部材44の上に非断続的な線状に塗布されていく。 Therefore, the ink will be applied over the plurality of divided areas 41b and the plate member 44 arranged in the longitudinal direction of the partitioned region 41b in the non-intermittent linear. 区画領域41bは隔壁43および板状部材44によって区画されており、区画領域41b内に塗布されたインクは、領域内に広がる。 Dividing area 41b is partitioned by a partition wall 43 and the plate member 44, ink applied to the compartment area 41b spreads into the region.

図7−1、7−2に、インクが塗布後から乾燥する過程における区画領域41bの様子を模式的に示した図を示す。 Figure 7-1 and 7-2 shows a diagram ink showing a state of divided areas 41b in the process of drying after coating schematically. 図7−1は、本発明の実施形態に係る有機EL素子用基板のインク塗布直後(乾燥前)の断面図であり、図7−2は、そのインク乾燥後の断面図である。 Figure 7-1 is a cross-sectional view immediately after the ink applying an organic EL device substrate according to an embodiment of the present invention (before drying), Figure 7-2 is a cross-sectional view after the ink drying.

本発明の実施形態では、インクを非断続的に液柱として連続して吐出し、区画領域41bおよび区画領域41bの長手方向にある板状部材44上に非断続的に連続してインクを塗布しながら、区画領域41bの長手方向に並ぶ複数の区画領域41bおよび板状部材44の上に線状にインクを塗布していく。 In an embodiment of the present invention, ejecting ink continuously as a non-intermittent liquid column, the uninterrupted continuous ink onto the plate-like member 44 in the longitudinal direction of the partitioned region 41b and the partitioning region 41b coating while, the ink will be applied linearly on a plurality of divided areas 41b and the plate member 44 arranged in the longitudinal direction of the partitioned region 41b.

隔壁は十分な高さを有するため、塗布されたインクは隔壁を越えて隣接する区画領域41bに混入することはない。 Since the partition wall is of sufficient height, the applied ink will not be incorporated into the partitioned region 41b adjacent across the septum. また、より混入を防ぐため、隔壁43はインクを弾く撥液処理が施されていてもよい。 Moreover, in order to prevent more contamination, the partition wall 43 may be subjected to liquid-repellent treatment to repel ink. 板状部材44の上に塗布されたインク51は均一に分離され、乾燥する間に板状部材44の上から区画領域41b内へ流れ落ち、最終的には区画領域41b内で層の一部を構成する。 Ink 51 applied on the plate member 44 is uniformly separated, during the drying flows down from the top of the plate-shaped member 44 to the compartment region 41b, finally some of the layers in the partitioned region 41b Configure. インクの塗布が完了後、乾燥工程において基板30は所定の雰囲気下に置かれ、インクから溶媒が蒸発し硬化して層が形成される。 After application of the ink is completed, the substrate 30 in the drying process is placed under a predetermined atmosphere, the solvent from the ink layer to cure evaporated is formed.

上述のように本発明では、両端部から中央部に向けて厚みが減少するくびれを有した板状部材44が配置されている。 In the present invention, as described above, the plate-like member 44 having a thickness having a constricted decreases from both ends toward the center portion is arranged. したがって、隔壁と板状部材によって区画された複数の区画領域41bに連続して液柱状に塗布されたインクが、乾燥前にストライプ方向に流動することを抑制できる。 Therefore, it is possible to suppress the ink applied to the liquid column in succession into a plurality of divided areas 41b partitioned by the partition wall and the plate-like member, to flow the stripe direction before drying. また、板状部材44の上に塗布されたインクは板状部材44の両側で均一に分離され、区画領域41bに流れ落ちることができる。 The ink applied onto the plate member 44 are uniformly separated on both sides of the plate member 44, can flow down to the partitioned region 41b. その結果、それぞれの区画領域41b内に供給されるインクの量が均一化され、インクを乾燥させて得られる有機EL層の膜厚を均一化できる。 As a result, the amount of homogenization of the ink supplied to the respective divided areas 41b, can equalize the film thickness of the organic EL layer obtained by drying the ink.

また、隔壁43および板状部材44の表面は、インクを良好に保持するため、インクを弾く撥水性を有しても良い。 The surface of the partition wall 43 and the plate member 44, to better retain the ink may have a water repellency repel ink. 撥液性を付与する方法としては、隔壁あるいは板状部材を構成する成分に撥液性の成分を混合させておいても良いし、あるいは、隔壁あるいは板状部材表面に撥液性の被膜を設けてもよい。 As a method for imparting liquid repellency may be allowed to mix liquid repellency of the components to the components constituting the partition wall or plate member, or a liquid-repellent film on the partition wall or plate member surface it may be provided. 塗布されたインクのストライプ方向への流動をより良好に防ぐためには、少なくとも板状部材44が撥液性を備えることが好ましく、インクが隔壁を越えて隣接する区画領域41bに混入することをより良好に防ぐためには、隔壁43および板状部材44の表面全体が撥液性を備えることがより好ましい。 To prevent the flow of the stripe direction of the applied ink better is more that at least the plate-like member 44 is preferably provided with a liquid repellency, mixed in defined areas 41b where the ink is adjacent beyond the partition wall to better prevent, it is more preferable that the entire surface of the partition wall 43 and the plate member 44 is provided with liquid repellency.

板状部材の支持基板上からの剥がれを防止しつつ、インクの分離を効果的に行うという観点から、板状部材はくびれを持つことが重要である。 While preventing peeling from the supporting substrate of the plate-like member, from the viewpoint of effectively performing the separation of the ink, the plate-like member, it is important to have a constriction. くびれが無く板厚が厚い場合は、インクが板の上面のどこで分離するかの制御ができず、インクが分離する位置のばらつきが大きくなり、膜厚むらの原因となる。 If constriction is no thickness is thick, the ink can not be controlled or separated where the upper surface of the plate, the variation of the position where the ink is separated is increased, causing uneven thickness. また、くびれが無く板厚が薄い場合は、基板との密着性が低下し板状部材が基板から剥離してしまう。 Also, if the constriction without thickness is thin, plate-shaped member reduces the adhesion to the substrate is peeled off from the substrate. くびれを設けることにより、板状部材の基板との密着性を保って剥離を抑制しつつ、くびれ部分の板厚の薄い部分からインクが分離するため、インクが分離する位置のばらつきが良好に抑えられ、膜厚むらが抑制される。 By providing the constriction, while suppressing the peeling while maintaining the adhesion to the substrate of the plate member, the ink from the plate a thin portion of the thickness of the constricted portion is separated, suppressed good dispersion of the position where the ink is separated is, the film thickness unevenness is suppressed.

インクの塗布工程に続く、インクの乾燥工程では、インクから溶媒が留去し、区画領域41bに有機EL材料が固定される。 Subsequent to the coating step of the ink, the ink drying process, the solvent was distilled off from the ink, the organic EL material is fixed to the partition region 41b. インクの乾燥温度は使用した溶媒などに応じて適宜選択すればよい。 The drying temperature of the ink may be appropriately selected depending on the solvent used. また、上記のような乾燥後、インクを焼成する工程を設けてもよい。 Further, after drying as described above, the ink may be provided a step of firing the.

以上、画素配列として列状に設けられる単色の有機EL素子が配列した有機EL素子用基板を例示したが、複数色の有機EL素子が周期的に配列した画素配列を有する有機EL素子用基板にも適用可能である。 Has been described by way of single-color organic EL device substrate for the organic EL elements are arranged in provided in rows as the pixel array, an organic EL device substrate having a plurality of colors pixel arrangement organic EL elements are periodically arranged in It can also be applied.
このような複数色のインクの塗布工程を図8を参照しつつ説明する。 Such a plurality of colors of ink applying process will be described with reference to FIG. 図8中、上述の単色インクの塗布工程で既に説明した事項については、同じ符号を付け、その説明を省略する。 In Figure 8, the matters already described in the process of applying a single color ink mentioned above, the same reference numerals, and a description thereof will be omitted.
図8に示すように、インクの供給には、3つのノズル(3連ノズル)21が備えられた装置が用いられる。 As shown in FIG. 8, the supply of ink, the three nozzles (3-nozzle) 21 is provided apparatus is used. 3連ノズルの各ノズルはそれぞれ、赤色発光材料を含むインクを吐出するノズルN R 、緑色発光材料を含むインクを吐出するノズルN G 、青色発光材料を含むインクを吐出するノズルN Bである。 Each nozzle of the triple nozzle is a nozzle N B to the discharge nozzle N R for ejecting ink containing a red light-emitting material, a nozzle N G for ejecting ink containing a green light-emitting material, an ink containing a blue luminescent material. 3連ノズル21は、当初位置(P 1 )に待機する。 3-nozzle 21 waits initially position (P 1). 所定の位置あわせ完了後、3つのノズルからそれぞれのインクを非断続的に連続して吐出しながら、移動方向Nm 1に移動する。 After completion combined predetermined position, while discharging the respective inks from three nozzles uninterrupted and continuously, moves in the movement direction Nm 1. 3連ノズル21が位置(P 2 )に到達すると、パネル1を搬送方向Ddに移動し、3連ノズル21が位置(P 3 )に達した時点でパネルの移動を停止する。 When 3-nozzle 21 reaches the position (P 2), to move the panel 1 in the conveying direction Dd, 3-nozzle 21 stops the movement of the panel when it reaches the position (P 3). 3連ノズル21は、移動方向Nm 3に移動し、位置(P 4 )に達した時点で停止する。 3-nozzle 21 is moved in the moving direction Nm 3, and stops when it reaches the position (P 4). このような稼働を繰り返し、順次パネル上の区画領域内の画素電極にインクが塗布される。 Repeating such operation, ink is applied to the pixel electrode of the segment area on the order panel.
また、複数色の有機EL素子が周期的に配列した画素配列(例えば、有機ELカラーディスプレイの画素配列など)の場合には、複数色の発光領域をまとめて画素と呼び、その中の単色の発光領域について副画素と呼ぶ場合もあるが、この場合、副画素についても同様に、本願発明を適用することができる。 Further, a plurality of colors of organic EL elements periodically arranged pixel array (e.g., an organic such as an EL color display pixel array) in the case of, it referred to as pixels are collectively emitting region of the plurality of colors, monochromatic therein in some cases a light-emitting region is referred to as a sub-pixel, but in this case, the same applies to the sub-pixels, it is possible to apply the present invention.

次に、本発明の製造方法により製造し得る有機EL装置に実装される有機EL素子の構造について、より具体的に説明する。 Next, the structure of the organic EL elements mounted on the organic EL device can be produced by the production method of the present invention will be described more specifically.
有機EL素子は、少なくとも一対の電極と、当該電極間に挟まれた発光層を含む有機EL層とで形成される積層体である。 The organic EL element is at least a pair of electrodes, the laminated body formed by the organic EL layer including a light emitting layer sandwiched between the electrodes. 有機EL素子は、下記に説明するように、発光層以外にも、様々な種類の有機EL層を設けてよい。 The organic EL element, as described below, in addition to the light emitting layer may also be provided various kinds of organic EL layers. また、層の積層順序等も様々な変形例をとり得る。 Also, stacking order etc. of the layers may take various modifications.

本発明によって製造される有機EL素子は、下記の有機EL素子に限定されるわけではない。 The organic EL device produced according to the present invention is not limited to the organic EL element below. また、本発明の製造方法においては、有機EL素子を構成する有機EL層のうちの少なくとも一層は、インクを使用して、上記に説明した実施形態などに示されるように所定の塗布工程と乾燥工程とを含む工程によって形成された層である。 Further, in the manufacturing method of the present invention, at least one layer of the organic EL layer constituting the organic EL device, using the ink, a predetermined coating process, as shown, such as in the embodiments described above drying it is a layer formed by a process comprising the step. したがって、他の層の形成においては、他の方法により層を形成させてもよい。 Therefore, in the formation of other layers, may be formed a layer by other methods.
また、一般に、有機EL素子を構成する各有機EL層は極めて薄いものであり、その層形成には各種の成膜方法を採用し得る。 In general, the organic EL layer constituting the organic EL element are those very thin, may employ various film forming method in the layer formation. そのため以下の説明においては、層形成のことを成膜という場合がある。 In the following description therefore, it is sometimes referred deposited a layer formation.

有機EL素子は、陽極、発光層及び陰極を必須に有するのに加えて、前記陽極と前記発光層との間、及び/又は前記発光層と前記陰極との間にさらに他の層を有することができる。 The organic EL element includes an anode, in addition to having the essential light-emitting layer and the cathode, to have a further layer between the between, and / or the light-emitting layer and the cathode and the anode and the light emitting layer can.

有機EL素子の陽極としては、光を透過可能な透明電極を用いることが、陽極を通して発光する素子を構成しうるため好ましい。 The anode of the organic EL element, it is preferable because it can constitute the element which emits light through the anode using a permeable transparent electrode of light. かかる透明電極としては、電気伝導度の高い金属酸化物、金属硫化物や金属の薄膜を用いることができ、透過率の高いものが好適に利用でき、用いる有機層により適宜、選択して用いる。 Such a transparent electrode, a high metal oxide electric conductivity, can be used a thin film of metal sulfide or a metal, having a high transmittance can be suitably utilized, suitably an organic layer used, selected and used. 具体的には、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide:略称IZO)から成る薄膜や、金、白金、銀、銅、アルミニウム、またはこれらの金属を少なくとも1種類以上含む合金等が用いられる。 Specifically, indium oxide, zinc oxide, tin oxide, ITO, indium zinc oxide: or a thin film made of (Indium Zinc Oxide abbreviation IZO), gold, platinum, silver, copper, aluminum least 1 or of these metals, and alloys containing more than are used.

陰極の材料としては、仕事関数の小さく発光層への電子注入が容易な材料及び/又は電気伝導度が高い材料及び/又は可視光反射率の高い材料が好ましい。 As the cathode material, less material easy electron injection into the light-emitting layer and / or the electrical conductivity is high material and / or high visible light reflective material having a work function are preferable. 金属では、アルカリ金属やアルカリ土類金属、遷移金属やIII−B族金属を用いることができる。 Metals can be used as an alkali metal or an alkaline earth metal, a transition metal or Group III-B metals.

発光層は、有機化合物を含む。 Emitting layer comprises an organic compound. 通常、主として蛍光またはりん光を発光する有機物(低分子化合物および高分子化合物)が含まれる。 Typically include organic (low molecular compounds and polymer compounds) that emits mainly fluorescence or phosphorescence. なお、さらにドーパント材料を含んでいてもよい。 It may further contain a dopant material. 本発明において用いることができる発光層を形成する材料としては、例えば、以下の色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料、およびドーパント材料などが挙げられる。 As the material for forming the light-emitting layer that can be used in the present invention, for example, the following dye-based materials, metal complex materials, polymer-based materials, and the like dopant materials.

色素系材料としては、例えば、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマーなどが挙げられる。 The dye material, for example, cyclopropyl derivatives, tetraphenyl butadiene derivative compounds, triphenylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyryl benzene derivatives, distyryl arylene derivatives, pyrrole derivatives, thiophene ring compounds , pyridine ring compounds, perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives, triflumizole Mani propylamine derivatives, oxadiazole dimers, and the like pyrazoline dimer.

金属錯体系材料としては、例えば、イリジウム錯体、白金錯体等の三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体など、中心金属に、Al、Zn、BeなどまたはTb、Eu、Dyなどの希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造などを有する金属錯体などを挙げることができる。 As the metal complex-based materials, for example, iridium complexes, metal complexes having light emission from a triplet excited state, such as platinum complexes, an aluminum quinolinol complex, a benzoquinolinol beryllium complex, a benzoxazolyl zinc complexes, benzothiazole zinc complexes, azomethyl zinc complex, a porphyrin zinc complex, etc. europium complex, the central metal, Al, Zn, Be, etc. or Tb, Eu, have a rare earth metal such as Dy, oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole imidazole, a metal complex having a quinoline structure and the like.

高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記色素体や金属錯体系発光材料を高分子化したものなどが挙げられる。 As the polymer material, polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyfluorene derivatives, polyvinylcarbazole derivatives, those of the dye body and the metal complex based light emitting material by polymerizing and the like.

発光層中に発光効率の向上や発光波長を変化させるなどの目的で、ドーパントを添加することができる。 For the purpose of varying the increase or emission wavelength of the light emitting efficiency in the light-emitting layer may be added a dopant. このようなドーパント材料としては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾロン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾンなどを挙げることができる。 Such dopant material, for example, perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacridone derivatives, squarylium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazolone derivatives, mention may be made of decacyclene, phenoxazone and the like. なお、発光層の厚さは、通常約2nm〜2000nmである。 The thickness of the light-emitting layer is generally about 2Nm~2000nm.

有機EL素子において、発光層は通常1層設けられるが、これに限らず2層以上の発光層を設けることもできる。 In the organic EL device, the light emitting layer is usually provided one layer, may also be provided two or more light emitting layers is not limited thereto. その場合、2層以上の発光層は、直接接して積層することもでき、かかる層の間に発光層以外の層を設けることができる。 In that case, two or more light emitting layers, can be laminated in direct contact, it is possible to provide a layer other than the light emitting layer between such layers.

次に有機EL素子における陽極、発光層及び陰極以外の層について説明する。 Then the anode in the organic EL device, the layers other than the light-emitting layer and the cathode will be described.

陽極と発光層の間に設けるものとしては、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層等があげられる。 As those provided between the anode and the light-emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron blocking layer, and the like. 正孔注入層及び正孔輸送層の両方が設けられる場合、陽極に近い層が正孔注入層となり、発光層に近い層が正孔輸送層となる。 When both of the hole injection layer and the hole transport layer is provided, close to the anode layer is a hole injection layer, a layer close to the light-emitting layer is the hole transport layer. また、正孔注入層、若しくは正孔輸送層が電子の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が電子ブロック層を兼ねることがある。 Further, when the hole injection layer or hole transport layer has a function to block the transport of electrons, these layers may also serve as the electron block layer.

正孔注入層は、陽極と正孔輸送層との間、または陽極と発光層との間に設けることができる。 The hole injection layer may be provided between the anode and the hole transport layer or between the anode and the light emitting layer. 正孔注入層を構成する正孔注入層材料としては、特に制限はなく、公知の材料を適宜用いることができ、例えばフェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有するオキサジアゾール誘導体、酸化バナジウム、酸化タンタル、酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウム等の酸化物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。 As the hole injection layer material constituting the hole injection layer is not particularly limited and may be appropriately used a known material, for example, phenyl amines, starburst type amine-based, phthalocyanine-based, hydrazone derivatives, carbazole derivatives, triazole derivatives, imidazole derivatives, oxadiazole derivatives having an amino group, vanadium oxide, tantalum oxide, tungsten oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, aluminum oxide, amorphous carbon, polyaniline, polythiophene derivatives, and the like.

正孔輸送層を構成する正孔輸送層材料としては特に制限はないが、例えばN,N'−ジフェニル−N,N'−ジ(3−メチルフェニル)4,4'−ジアミノビフェニル(TPD)、NPB(4,4'−bis[N−(1−naphthyl)−N−phenylamino]biphenyl)等の芳香族アミン誘導体、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン) There are no particular limitations on the hole transport layer material constituting the hole transport layer, for example N, N'-diphenyl -N, N'-di (3-methylphenyl) 4,4'-diaminobiphenyl (TPD) , NPB (4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl) aromatic amine derivatives such as polyvinyl carbazole or derivatives thereof, polysilane or derivatives thereof, aromatic in the side chain or the main chain polysiloxane derivatives having an amine, a pyrazoline derivative, arylamine derivative, stilbene derivatives, triphenyl diamine derivative, polyaniline or derivatives thereof, polythiophene or derivatives thereof, polyarylamine or a derivative thereof, polypyrrole or derivatives thereof, poly (p- phenylenevinylene ) 若しくはその誘導体、又はポリ(2,5−チエニレンビニレン)若しくはその誘導体などが例示される。 Or a derivative thereof, or a poly (2,5-thienylene vinylene) or derivatives thereof.

陰極と発光層の間に設け得る層としては、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層等が挙げられる。 The layer may be provided between the cathode and the light-emitting layer, an electron injection layer, an electron transport layer, a hole blocking layer. 電子注入層及び電子輸送層の両方が設けられる場合、陰極に近い層が電子注入層となり、発光層に近い層が電子輸送層となる。 When both the electron injection layer and the electron transport layer is provided, close to the cathode layer is an electron injection layer, the layer closer to the light-emitting layer is the electron transport layer. また、電子注入層、若しくは電子輸送層が正孔の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が正孔ブロック層を兼ねることがある。 Further, an electron injection layer, or when the electron transport layer has a function of blocking transport of holes may these layers may also serve as the hole blocking layer.

電子注入層としては、発光層の種類に応じて、アルカリ金属やアルカリ土類金属、或いは前記金属を1種類以上含む合金、或いは前記金属の酸化物、ハロゲン化物及び炭酸化物、或いは前記物質の混合物などが挙げられる。 As the electron injection layer, depending on the type of the light-emitting layer, an alkali metal or an alkaline earth metal, or an alloy containing the metal one or more, or oxides of the metals, halides and carbonates, or mixtures of the substances and the like.

電子輸送層を構成する電子輸送材料としては、特に制限はなく公知のものが使用でき、例えば、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン若しくはその誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、ナフトキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、テトラシアノアントラキノジメタン若しくはその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン若しくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、又は8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体等が例示される。 As the electron transporting material constituting the electron-transporting layer, particularly restrictions can be used known ones without, for example, oxadiazole derivatives, anthraquinodimethane or derivatives thereof, benzoquinone or derivatives thereof, naphthoquinone or derivatives thereof, anthraquinone or its derivatives, tetra cyano anthraquinodimethane or derivatives thereof, fluorenone derivatives, diphenyldicyanoethylene or derivatives thereof, diphenoquinone derivatives, 8-hydroxyquinoline or a metal complex, polyquinoline or a derivative thereof derivative, polyquinoxaline or derivatives thereof, poly fluorene or derivatives thereof, and the like.

さらに具体的には、有機EL素子は、下記の層構成のいずれかを有することができる: More specifically, the organic EL device may have any of the following layer arrangement:
a) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極 a) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode
b) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極 b) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transporting layer / cathode
c) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極 c) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode
d) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極 d) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / cathode
e) 陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極 e) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode
f) 陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極 f) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron transporting layer / cathode
g) 陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極 g) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode
h) 陽極/正孔注入層/発光層/陰極 h) anode / hole injection layer / light emitting layer / cathode
i) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極 i) anode / hole transporting layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode
j) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極 j) anode / hole transporting layer / light emitting layer / electron transporting layer / cathode
k) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極 k) anode / hole transporting layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode
l) 陽極/正孔輸送層/発光層/陰極 l) anode / hole transporting layer / light emitting layer / cathode
m) 陽極/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極 m) anode / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode
n) 陽極/発光層/電子輸送層/陰極 n) anode / light emitting layer / electron transporting layer / cathode
o) 陽極/発光層/電子注入層/陰極 o) anode / light emitting layer / electron injection layer / cathode
p) 陽極/発光層/陰極(ここで、/は各層が隣接して積層されていることを示す。) In p) anode / light emitting layer / cathode (wherein, / indicates that each layer is laminated adjacently.)

本発明により製造し得る有機EL装置は、上記のようにして有機EL素子で構成された画素が複数実装された装置である。 The organic EL device may be prepared by the present invention is a pixel that is composed of an organic EL device as described above has a plurality of mounting devices. 電気的配線、駆動手段等の設置については、通常の有機EL装置の製造における様々な態様を採用し得る。 Electrical wiring for the installation of such drive means may employ various aspects in the production of conventional organic EL devices.

本発明により製造し得る有機EL装置は、面状光源、セグメント表示装置、ドットマトリックス表示装置、液晶表示装置のバックライトとして用いることができる。 The organic EL device which can be produced according to the invention, a sheet light source, segment display, dot matrix display, can be used as a back light of a liquid crystal display device.

有機EL装置を用いて面状の発光を得るためには、面状の陽極と陰極が重なり合うように配置すればよい。 To obtain planar light emission using the organic EL device may be place a sheet anode and a sheet cathode so as to overlap. また、パターン状の発光を得るためには、前記面状の発光素子の表面にパターン状の窓を設けたマスクを設置する方法、非発光部の有機物層を極端に厚く形成し実質的に非発光とする方法、陽極または陰極のいずれか一方、または両方の電極をパターン状に形成する方法がある。 Moreover, to obtain patterned light emission, a method of installing the mask having a patterned window on the surface of the planar light-emitting device, the non-light emitting portion organic layers is formed with extremely large thickness to substantially non how to emission, there is a method of forming either anode or cathode, or both electrodes in a pattern. これらのいずれかの方法でパターンを形成し、いくつかの電極を独立にON/OFFできるように配置することにより、数字や文字、簡単な記号などを表示できるセグメントタイプの表示装置が得られる。 Form these patterns in any way, by arranging so that some electrodes can ON / OFF independently, numbers and characters, the display device of segment type which can display simple marks and the like are obtained. 更に、ドットマトリックス素子とするためには、陽極と陰極をともにストライプ状に形成して直交するように配置するパッシブマトリックス用基板、あるいは薄膜トランジスタを配置した画素単位で制御を行うアクティブマトリックス用基板を用いればよい。 Further, for providing a dot matrix device, it is a substrate for an active matrix that performs control pixel by pixel arranged a passive matrix substrate or a thin film transistor is placed so as to cross to form an anode and a cathode both in stripes Bayoi. さらに、発光色の異なる発光材料を塗り分ける方法や、カラーフィルターまたは蛍光変換フィルターを用いる方法により、部分カラー表示、マルチカラー表示が可能となる。 Furthermore, a method of separately applying an emission color different luminescent materials, by a method using a color filter or a fluorescence conversion filter, partial color display and multicolor display are made possible. これらの表示素子は、コンピュータ、テレビ、携帯端末、携帯電話、カーナビゲーション、ビデオカメラのビューファインダーなどの表示装置として用いることができる。 These display devices can be used a computer, television, portable terminal, portable telephone, car navigation, a display device such as a video camera viewfinder.

さらに、前記面状の発光装置は、自発光薄型であり、液晶表示装置のバックライト用の面状光源、あるいは面状の照明用光源として好適に用いることができる。 Furthermore, the planar light emitting device is of self emitting and thin type, and can be suitably used as a backlight for a planar light source or as a sheet light source for illumination of a liquid crystal display device. また、フレキシブルな基板を用いれば、曲面状の光源や表示装置としても使用できる。 Further, if a flexible substrate can be used as a curved light source or display.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明の要旨を越えない限り以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, a more detailed explanation of the present invention through examples, but is not limited to the following Examples unless exceeding the gist of the present invention.

(実施例1) (Example 1)
上述の本発明の実施形態に示した、有機EL素子用基板1を用意した。 Shown in the embodiment of the present invention as described above, it was prepared organic EL device substrate 1. 以下の説明における符番は、上述の実施形態と同一である。 Reference numeral in the following description are the same as the above-described embodiments.

板状部材:ポリイミド樹脂製 Plate-like member: made of polyimide resin
板状部材の形状(図4−1参照) The shape of the plate-shaped member (see Figure 4-1)
くびれあり(くびれの最小板厚t:6μm) Yes constriction (minimum thickness of the constricted t: 6μm)
断面の形状:膜厚方向の中心線付近に頂点をもつ山形形状板状部材の配置間隔D:360μm Sectional shape: the arrangement interval of the chevron-shaped plate-shaped member having a vertex in the vicinity of the thickness direction of the center line D: 360 .mu.m
画素電極の配置間隔L:180μm Arrangement interval of the pixel electrode L: 180 [mu] m
隔壁の配置間隔:60μm The partition wall of the arrangement interval: 60μm

画素電極41として、ITO電極により、陽極が形成されている。 As the pixel electrode 41, the ITO electrodes, an anode is formed. この基板を、RIE装置(SAMCO社製、RIE−200L)を用いて酸素プラズマ処理(3Pa、30W、30SCCM、3分)およびCF 4プラズマ処理(20Pa、20W、20SCCM、2分)を行ったところ、隔壁43および板状部材44に対して選択的に撥液処理が施された。 The substrate, RIE apparatus (SAMCO Inc., RIE-200L) oxygen plasma treatment using a (3Pa, 30W, 30SCCM, 3 min) and CF 4 plasma treatment (20Pa, 20W, 20SCCM, 2 minutes) was carried out selectively repellent process on the partition wall 43 and the plate-like member 44 has been subjected. また、画素電極41および画素規制層42上は親液状態となった。 Further, on the pixel electrode 41 and the pixel regulating layer 42 was a lyophilic state.

区画領域41bの画素電極41(陽極)上に、ノズルプリンティング装置(大日本スクリーン社製、NP−300G)を用い、H. On the pixel electrode 41 of the partition area 41b (anode), a nozzle printing apparatus (Dainippon Screen Co., NP-300G) using, H. C. C. Starck社製CLEVIOS TM. P CH8000 を50%、水を40%、エチレングリコールを10%添加して作製したインクを液柱にて塗布した。 Starck Inc. CLEVIOS TM. P CH8000 50%, water 40%, the ink of ethylene glycol was prepared by adding 10% was applied at the liquid column. ノズルプリンティング装置のノズルから、途絶えることなく連続してインクを吐出させつつ、画素電極41上を通り、隔壁43に平行な方向にノズルを移動させ、基板上の一列をなす複数の画素電極41上にインクを塗布した。 From a nozzle of a nozzle printing apparatus, while discharging a continuous ink without interrupted, through the upper pixel electrode 41, to move the nozzle in a direction parallel to the partition 43, on a plurality of pixel electrodes 41 constituting one row on the substrate the ink was applied to.
視認に基づく、インク塗布直後(乾燥前)の断面図を図7−1に示す。 Based on visual, shown in Figure 7-1 is a sectional view immediately after inking (pre-drying). また、視認および触診式段差計の測定結果に基づくインク乾燥後の断面図を図7−2に示す。 Also, it is shown in Figure 7-2 a cross-sectional view after the ink drying based on the measurement results of the visual and palpation step meter.
図7−1に示すようにインク塗布直後には、インクが画素電極41上および板状部材44上に非断続的に連続して塗布されていたが、この基板を大気中に放置したところ、隔壁上に塗布されたインクが均一に区画領域内に落ち込んだ。 Where immediately after ink coating, as shown in Figure 7-1, the ink has been uninterrupted and continuously coated on the upper and the plate member 44 pixel electrode 41, which was left to the substrate in the atmosphere, ink applied onto the partition walls fell to uniformly segment area. その後、溶媒が蒸発し、乾燥することにより、図7−2に示すような、画素間むらおよび画素内むらが小さい均一な層を形成することが出来た。 Thereafter, the solvent is evaporated by drying, it was possible to form a uniform layer, such, small unevenness and pixel unevenness between pixels as shown in Figure 7-2.
上面からマトリクス部を拡大視認したところ、各画素電極41上において塗り残し部位は見られず、画素電極41上に良好に膜形成されていることが確認された。 Was expanded viewing the matrix unit from the top, the site unpainted on each pixel electrode 41 is not observed, it was confirmed to be good film formed on the pixel electrode 41.
また、触針式段差計(KLA−Tencor Corporation社製P−16+)にて、形成された層の断面形状を評価したところ、良好な平坦性をもつ層が形成されていることが確認できた。 Further, a stylus profilometer at (KLA-Tencor Corporation Ltd. P-16 +), was evaluated the cross-sectional shape of the formed layer, it was confirmed that a layer having a good flatness is formed .

このように、ノズルプリンティング装置にてインクを塗布し、乾燥、焼成することにより、塗り残しがなく、良好な平坦性をもつ正孔注入層を形成することができた。 Thus, ink is applied using a nozzle printing apparatus, dried and fired, no unpainted, it was possible to form a hole injection layer having a good flatness. この正孔注入層上に、同様にして発光層を形成し、発光層上に、真空蒸着法などを用いて陰極を形成することで、有機EL素子を製造できる。 The hole injection layer, the same way to form a light emitting layer over the light emitting layer, by forming a cathode by vacuum evaporation or the like, can be produced organic EL device.

(比較例1) (Comparative Example 1)
有機EL素子用基板1の代わりに、板状部材44を設けていない有機EL素子用基板2を使用し、その他の条件は、上記実施例1と同様のプロセスにより、基板上にインクの塗布を行った。 Instead of the organic EL device substrate 1, using the organic EL device substrate 2 provided with no plate-like member 44, other conditions, the same process as in Example 1, the application of ink onto substrate went. なお、有機EL素子用基板2は、板状部材44を設けていない点以外の構成は、有機EL素子用基板1と同じである。 The organic EL device substrate 2, the configuration other than that is not provided with the plate-like member 44 is the same as the substrate 1 for an organic EL device.
視認に基づくインク塗布直後(乾燥前)の断面図を図9−1に示す。 Immediately after inking based on viewing a cross-sectional view of (before drying) shown in Figure 9-1. また、視認および触診式段差計の測定結果に基づくインク乾燥後の断面図を図9−2に示す。 Also, it is shown in Figure 9-2 a cross-sectional view after the ink drying based on the measurement results of the visual and palpation step meter.
インク塗布直後の基板について、上面からマトリクス部を拡大視認したところ、インクが表面張力によりまとまろうとする力が働き、インクの量が、隔壁43に平行な方向に明らかな偏りを生じていることが確認された。 The substrate immediately after ink coating, was expanded viewing the matrix unit from the top, that the force acts which ink is going Matomaro by the surface tension, the amount of ink, which results in obvious bias in a direction parallel to the partition wall 43 confirmed. また、触針式段差計(KLA−Tencor Corporation社製P−16+)にて、インク乾燥後に形成された層の断面形状を測定した結果からも、膜厚に明らかな偏りが確認された。 Further, a stylus profilometer at (KLA-Tencor Corporation Ltd. P-16 +), from the results of measurement of the cross-sectional shape of the layer formed after ink drying, obvious bias was observed in the film thickness.

(比較例2) (Comparative Example 2)
ストライプ形状の隔壁をもつ基板に代わり、インクジェット法などで一般的に用いられる、ボックス形状の隔壁を持つ有機EL素子用基板3を使用し、その他の条件は、上記実施例1と同様のプロセスにより、基板上にインクの塗布を行った。 Instead substrate having a barrier rib stripe shape, the ink jet method generally used such as, using an organic EL device substrate 3 with a partition wall of the box shape, other conditions, the same process as in Example 1 , was the application of the ink on the substrate.
視認に基づくインク塗布直後(乾燥前)の断面模式図を図10−1に示す。 The cross section view immediately after inking-based viewing (before drying) shown in Figure 10-1. また、視認および触診式段差計の測定結果に基づくインク乾燥後の断面模式図を図10−2に示す。 Moreover, a schematic cross-sectional view of after the ink drying based on the measurement results of the visual and palpation step measurement in Figure 10-2.
インク塗布直後の基板について、上面からマトリクス部を拡大視認したところ、ボックス形状の隔壁のうち、スキャン方向に存在する隔壁上に連続塗布されたインクが隔壁上で不均一に分離したことが確認された。 The substrate immediately after ink coating, was expanded viewing the matrix unit from the upper surface, of the partition wall of the box-shaped, it was confirmed that ink to the continuous application over a barrier rib present in the scanning direction is unevenly separated on bulkhead It was.
また、触針式段差計(KLA−Tencor Corporation社製P−16+)にて、インク乾燥後に形成された層の断面形状を測定したところ、区画領域内の膜厚に明らかな膜厚分布があることが確認された。 Further, a stylus profilometer at (KLA-Tencor Corporation Ltd. P-16 +), was measured the cross-sectional shape of the layer formed after ink drying, there is a clear film thickness distribution in the film thickness of the segment area it has been confirmed. また、目視によっても、各区画領域間のむらがあることが確認された。 Further, by visual observation, it was confirmed that there is unevenness among the partitioned regions.

本発明の有機EL素子用基板は、有機EL素子をノズルプリンティング法などの液柱塗布によって作製するのに好適である。 The organic EL device substrate of the present invention is suitable for organic EL element to make the liquid column coating, such as a nozzle printing. 該基板を使用することにより、塗りむらが小さく、高品質な有機EL素子および該有機EL素子を有する有機EL装置を得ることができるため、工業的に極めて有用である。 By using the substrate, a small coating unevenness, it is possible to obtain an organic EL device having a high-quality organic EL device and organic EL elements, industrially very useful.

1 有機EL素子用基板 20 ノズル 21 3連ノズル 30 支持基板 40 マトリクス部 41 画素電極 41a 画素電極の列 41b 区画領域 42 画素規制層 43 隔壁 44,45,46,47,48,49 (インク流れ防止用)板状部材 44a,45a,46a,47a,48a,49a くびれ 44b,45b,46b,47b,48b,49b 断面 51 インク(乾燥前) 1 for an organic EL device substrate 20 nozzle 21 3-nozzle 30 supporting substrate 40 matrix section 41 pixel electrode 41a pixel row 41b partitioned region 42 pixel regulating layer 43 barrier rib electrodes 44,45,46,47,48,49 (ink flow prevention use) the plate-like member 44a, 45a, 46a, 47a, 48a, 49a constriction 44b, 45b, 46b, 47b, 48b, 49b cross 51 ink (before drying)
52 インク(乾燥後) 52 ink (after drying)
D 板状部材の配置間隔 L 画素電極の配置間隔 t 板状部材におけるくびれの最小板厚 Dd 有機EL素子用基板の搬送方向 Ip ノズルの軌道 N Rノズル(赤色インク吐出用) D-shaped trajectory N R nozzles in the transport direction Ip nozzles minimum thickness Dd substrate for an organic EL element of the constriction in the arrangement interval t-shaped member of the arrangement interval L pixel electrode members (for red ink discharge)
Gノズル(緑色インク吐出用) N G nozzle (green ink ejection)
Bノズル(青色インク吐出用) N B nozzles (blue ink ejection)
Nm ノズルの移動方向 Nm 1 〜Nm 3ノズルの移動方向 P 1 〜P 4位置 Direction of movement P 1 to P 4 position in the movement direction Nm 1 to NM 3 nozzles Nm nozzles

Claims (7)

  1. 支持基板上に、平行に配置された複数の隔壁と、 On a supporting substrate, a plurality of partition walls arranged in parallel,
    前記複数の隔壁に交差する方向に配置された複数のインク流れ防止用板状部材と、 A plurality of ink flow prevention plate member disposed in a direction intersecting the plurality of partition walls,
    前記隔壁と前記板状部材によって区画された領域に配置された少なくとも1以上の画素電極と、を有する有機EL素子用基板であって、 A substrate for an organic EL element having at least one or more pixels electrodes, the disposed in a region partitioned by the plate-like member and the partition wall,
    前記板状部材は、その両端部が前記隔壁に接して配置され、かつ、両端部から中央部に向けた厚みの減少によるくびれを有することを特徴とする有機EL素子用基板。 The plate-like member is disposed both end portions in contact with the partition wall, and the substrate for an organic EL element characterized by having a constricted by reducing the thickness from both ends toward the central portion.
  2. 前記画素電極が、隔壁の長手方向に一定間隔に配置されている請求項1記載の有機EL素子用基板。 The pixel electrode, an organic EL device substrate according to claim 1, wherein the longitudinal direction of the partition walls are arranged at regular intervals.
  3. 前記板状部材の隔壁の長手方向の配置間隔Dが、前記画素電極の配置間隔Lの2倍以上10倍以下である請求項2記載の有機EL素子用基板。 Longitudinal arrangement interval D is 10 times less than twice organic EL device substrate according to claim 2, wherein the arrangement interval L of the pixel electrode of the partition walls of the plate-like member.
  4. 前記板状部材におけるくびれの最小板厚tと、前記画素電極の配置間隔Lが、以下の式(1)を満たす請求項2または3のいずれかに記載の有機EL素子用基板。 And the minimum thickness t of the constricted in the plate-like member, the arrangement interval L of the pixel electrode, an organic EL device substrate according to claim 2 or 3 satisfying the following formula (1).

    L/60≦t≦L/15 (1) L / 60 ≦ t ≦ L / 15 (1)
  5. 請求項1から4のいずれかに記載の有機EL素子用基板における2つの隔壁の間に、隔壁の長手方向に沿って、有機EL材料を含有するインクを液柱塗布により塗布し、乾燥して有機EL層を得ることを特徴とする有機EL層の製造方法。 Between two partition walls in the substrate for an organic EL device according to any one of claims 1 to 4, along the longitudinal direction of the partition wall, the ink containing the organic EL material is applied by liquid column coating, dried method for manufacturing an organic EL layer, characterized in that to obtain an organic EL layer.
  6. 請求項5記載の製造方法により得られる有機EL層を有する有機EL素子。 The organic EL element having an organic EL layer obtained by the method of claim 5, wherein.
  7. 基板上に配置された互いに平行な2つの隔壁の間に、両端部を2つの隔壁に接して配置させて用いられるインク流れ防止用板状部材であって、該両端部から中央部に向けた厚みの減少によるくびれを有することを特徴とするインク流れ防止用板状部材。 Between two parallel partition walls disposed on the substrate, a plate-like member for ink flow prevention used by arranged in contact with both ends to the two partition walls, towards the center portion from the both ends ink flow prevention plate member and having a constricted due to reduced thickness.
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